JPS61132807A - 非接触式微小間隙測定方法 - Google Patents
非接触式微小間隙測定方法Info
- Publication number
- JPS61132807A JPS61132807A JP25411784A JP25411784A JPS61132807A JP S61132807 A JPS61132807 A JP S61132807A JP 25411784 A JP25411784 A JP 25411784A JP 25411784 A JP25411784 A JP 25411784A JP S61132807 A JPS61132807 A JP S61132807A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gap
- light
- optical fiber
- projecting
- frequency component
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/14—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は非接触式微小間隙測定方法に関する。
例えば、多段型遠心圧縮機においては、第５図縦断面図
に示すように、回転軸１に圧縮用インペラー２が多段組
み込まれ、各インペラー間にはガスシール用ラビリンス
３が設置されており、ラビリンス３は第６図拡大横断面
図に示すように、隔壁４の内周に組み込まれ、回転軸１
との間には通常０．１〜０．５順程度の適度のラビリン
ス間隙δが設けられている。
に示すように、回転軸１に圧縮用インペラー２が多段組
み込まれ、各インペラー間にはガスシール用ラビリンス
３が設置されており、ラビリンス３は第６図拡大横断面
図に示すように、隔壁４の内周に組み込まれ、回転軸１
との間には通常０．１〜０．５順程度の適度のラビリン
ス間隙δが設けられている。
このラビリンス間隙δを測定する方法としては、従来、
単室及び隔壁４の上半分を取り除き、α）手の入る範囲
ですきまゲージを差し込み測定する、Ｃ）ラビリンスと
自転軸の間に鉛線をはさみ込み、鉛線な変形させ、変形
後の厚みをノギス等で測定する等の接触方式での測定方
法が採られ℃いる。
単室及び隔壁４の上半分を取り除き、α）手の入る範囲
ですきまゲージを差し込み測定する、Ｃ）ラビリンスと
自転軸の間に鉛線をはさみ込み、鉛線な変形させ、変形
後の厚みをノギス等で測定する等の接触方式での測定方
法が採られ℃いる。
しかしながら、（１）の方法では測定精匿が悪く、（２
）の方法では測定に時間と労力を安する等の問題がある
。
）の方法では測定に時間と労力を安する等の問題がある
。
本発明はこのような事情に鑑みて提案されたもので、労
力少なく迅速かつ正確に測定することのできる非接触式
微小間隙測定方法を提供することを目的とする。
力少なく迅速かつ正確に測定することのできる非接触式
微小間隙測定方法を提供することを目的とする。
Ｃ問題点？消決するための手段〕
そのために本発明は、測定すべき間
隙に該間隙よシも大きい径のスポット
光の周期的パルス光を投射し、該間隙
からの反射光を受光し、これを電気パ
ルス信号に変換のうえ、該電気パルス
信号のうちよシ投光パルス周波数成分
のみを検出し、この検出値に基づいて
間隙値を求めることを特徴とする。
このような構成によシ、労力少なく
迅速かつ正確に測定することのできる
非接、触式微小間隙測定方法を得ることができる。
本発明を遠心圧縮機のう°ビリンス間
隙の測定に適用した一実施例を図面に。
ついて説明すると、第１図はその測定
回路を示すブロック線図、第２図は
第１図のラビリンス間隙と受光°量との関係を示す線図
、第３図は第１図の投 受光ファイバーを一体化した間隙測定 グローブを示す側面図、第４図は第５ 図のグローブ本体を示す縦断面図であ る。
、第３図は第１図の投 受光ファイバーを一体化した間隙測定 グローブを示す側面図、第４図は第５ 図のグローブ本体を示す縦断面図であ る。
上図において、第５〜６図と同一の
記号はそれぞれ第５〜６図と同一の部
材を示し、５は投光及び受光用光ファ
イバー、６は各々の光ファイバー５の
先端に取シつけられた集光用レンズ、
７は発光装置、８は光電変換装置、９
は指示計である。
このような装置において、発光装置７で発光した周期的
パルス光は投光用光ファイバー５を通じて少なくとも測
定すべき間隙より大きい径のスポット光として、回転軸
１とラビリンス３の間隙部へ投光され、その反射光が受
光用光ファイバーで受光され、光電変換装置８で電気パ
ルス信号へ変換され、帯域フィルター又はバイパスフィ
ルターで投光パルス信号周波数成分のみが検出され、他
からの散乱入射光による雑音信号を除去して増巾の後、
指示計９へ導かれ間隙値が表示される。
パルス光は投光用光ファイバー５を通じて少なくとも測
定すべき間隙より大きい径のスポット光として、回転軸
１とラビリンス３の間隙部へ投光され、その反射光が受
光用光ファイバーで受光され、光電変換装置８で電気パ
ルス信号へ変換され、帯域フィルター又はバイパスフィ
ルターで投光パルス信号周波数成分のみが検出され、他
からの散乱入射光による雑音信号を除去して増巾の後、
指示計９へ導かれ間隙値が表示される。
そうすると、ラビリンス間隙δと受光光量Ｌｕとの間に
は第２図に示すような特性があり、δが大きいほど、受
光用光ファイバーによる受光量Ｌｕも大きくなるので本
方法によって０Ｔｒｒｌｎから受光用集光レンズの直径
程度の範囲の間隙を測定することができ、測定値の分解
能は光電変換装置８．指示計９で規制されるが、従来の
方法に比較すると大巾に改善される。
は第２図に示すような特性があり、δが大きいほど、受
光用光ファイバーによる受光量Ｌｕも大きくなるので本
方法によって０Ｔｒｒｌｎから受光用集光レンズの直径
程度の範囲の間隙を測定することができ、測定値の分解
能は光電変換装置８．指示計９で規制されるが、従来の
方法に比較すると大巾に改善される。
上記実施例では説明の便宜上、回転軸１と集光レンズ６
を互いに引き離して図示しているが、集光レンズを先端
が測定部に向（ようにして回転軸の側面１０へ固着して
おくと、回転軸１をゆっくりと回転させることによって
ラビリンス円周上任意の場所での間隙測定が容易に可能
となる。
を互いに引き離して図示しているが、集光レンズを先端
が測定部に向（ようにして回転軸の側面１０へ固着して
おくと、回転軸１をゆっくりと回転させることによって
ラビリンス円周上任意の場所での間隙測定が容易に可能
となる。
こ〜で、投受光光ファイバーは、第３図側面図に示すよ
うに、それぞれの一端を間隙測定プローブ１０とし℃一
体化し、他端には光コネクタ−１１を取りつける構造と
することもできる。
うに、それぞれの一端を間隙測定プローブ１０とし℃一
体化し、他端には光コネクタ−１１を取りつける構造と
することもできる。
間隙測定グローブ１０の内部構造は第４図縦断面図に示
すように、投光、受光用光ファイバー１２．１３が同軸
的に套管１４内に配列され、投光ファイバーの先端には
直角プリズム１５が付設され、光が直角に折れまがり、
側方向へ投光されるようにし、反射光は直角フリスム１
５を介してグローブ１０内に・入光し、集光レンズ１６
を通じて受光用光ファイバー１３に入光するようになっ
ている。
すように、投光、受光用光ファイバー１２．１３が同軸
的に套管１４内に配列され、投光ファイバーの先端には
直角プリズム１５が付設され、光が直角に折れまがり、
側方向へ投光されるようにし、反射光は直角フリスム１
５を介してグローブ１０内に・入光し、集光レンズ１６
を通じて受光用光ファイバー１３に入光するようになっ
ている。
このように一体化したセンサーを使用することにより、
回転軸の側面に固着することが容易となり、より安定し
た測定が可能となる。
回転軸の側面に固着することが容易となり、より安定し
た測定が可能となる。
このような方法によれば、下記の効果が奏せられる。
（１）一対の投受光光ファイバーを使用することにより
、排接触で微小間隙の測定が可能となる。
、排接触で微小間隙の測定が可能となる。
Ｃ）光源に周期的パルス光を使用することにより、照明
光、その他外来散乱光による測定誤差が生じな（なる。
光、その他外来散乱光による測定誤差が生じな（なる。
Ｇ） 本発明方法はタービン、圧縮機等のはか一般の
機械装置ですきまゲージ等が使用できない狭隘な部位で
の丁きまの測定に使用することができる。
機械装置ですきまゲージ等が使用できない狭隘な部位で
の丁きまの測定に使用することができる。
要するに本発明によれば、測定すべき間隙に該間隙より
も大きい径のスポット光の周期的パルス光を投射し、該
間隙からの反射光を受光し、これを電気パルス信号に変
換のうえ、該電気パルス信号のうちより投光パルス周波
数成分のみを検出し、この検出値に基づいて間隙値を求
めることにより労力少なく迅速かつ正確に測定すること
のできる非接触式微小間隙測定方法を得るから、本発明
は産業上極めて有益なものである。
も大きい径のスポット光の周期的パルス光を投射し、該
間隙からの反射光を受光し、これを電気パルス信号に変
換のうえ、該電気パルス信号のうちより投光パルス周波
数成分のみを検出し、この検出値に基づいて間隙値を求
めることにより労力少なく迅速かつ正確に測定すること
のできる非接触式微小間隙測定方法を得るから、本発明
は産業上極めて有益なものである。
第１図は本発明を多段遠心圧縮機のラビリンス間隙の測
定に適用した一実施例を示すブロック線図、第２図は第
１図のラビリンス間隙と受光量との関係を示す線図、第
３図は第１図の投受光ファイバーを一体化した間隙測定
プローブを示す側面図、第４図は第３図のプローブ本体
を示す縦断面図である。 第５図は公知の多段遠心圧縮機を示す縦断面図、第６図
は第５図のＶＩ−ＶＩに浴った部分拡大横断面図である
。 １・・・回転軸、２・・−インペラー、３・・・ラビリ
ンス、４・・・隔壁、５・・・光ファイバー、６・・・
集光レンズ、７・・・発光装置、８・・・光′Ｗ！、変
換装置、９・・・指示計、１０・・・間隙測定プローブ
、１１・・・光コネクタ−，１２川投光用光フアイバー
、１３・・・受光用光ファイバー、１４・・・套管、１
５・・・直角プリズム、１６・・・集光レンズ、δ・・
・ラビリンス間隙、Ｌｕ・・・受光量復代理人 弁理士
塚 本 正 文 第１図 第２図 第３図 第５図 第６図
定に適用した一実施例を示すブロック線図、第２図は第
１図のラビリンス間隙と受光量との関係を示す線図、第
３図は第１図の投受光ファイバーを一体化した間隙測定
プローブを示す側面図、第４図は第３図のプローブ本体
を示す縦断面図である。 第５図は公知の多段遠心圧縮機を示す縦断面図、第６図
は第５図のＶＩ−ＶＩに浴った部分拡大横断面図である
。 １・・・回転軸、２・・−インペラー、３・・・ラビリ
ンス、４・・・隔壁、５・・・光ファイバー、６・・・
集光レンズ、７・・・発光装置、８・・・光′Ｗ！、変
換装置、９・・・指示計、１０・・・間隙測定プローブ
、１１・・・光コネクタ−，１２川投光用光フアイバー
、１３・・・受光用光ファイバー、１４・・・套管、１
５・・・直角プリズム、１６・・・集光レンズ、δ・・
・ラビリンス間隙、Ｌｕ・・・受光量復代理人 弁理士
塚 本 正 文 第１図 第２図 第３図 第５図 第６図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 測定すべき間隙に該間隙よりも大きい径の スポット光の周期的パルス光を投射し、該間隙からの反
射光を受光し、これを電気パルス信号に変換のうえ、該
電気パルス信号のうちより投光パルス周波数成分のみを
検出し、この検出値に基づいて間隙値を求めることを特
徴とする非接触式微小間隙測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25411784A JPS61132807A (ja) | 1984-12-03 | 1984-12-03 | 非接触式微小間隙測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25411784A JPS61132807A (ja) | 1984-12-03 | 1984-12-03 | 非接触式微小間隙測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61132807A true JPS61132807A (ja) | 1986-06-20 |
Family
ID=17260455
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25411784A Pending JPS61132807A (ja) | 1984-12-03 | 1984-12-03 | 非接触式微小間隙測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61132807A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ITBO20130687A1 (it) * | 2013-12-13 | 2015-06-14 | Aea Srl | Dispositivo e metodo per verificare il corretto montaggio di un organo di collegamento avente una testa, rispetto ad una superficie di montaggio |
-
1984
- 1984-12-03 JP JP25411784A patent/JPS61132807A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ITBO20130687A1 (it) * | 2013-12-13 | 2015-06-14 | Aea Srl | Dispositivo e metodo per verificare il corretto montaggio di un organo di collegamento avente una testa, rispetto ad una superficie di montaggio |
| WO2015087302A1 (en) * | 2013-12-13 | 2015-06-18 | Aea S.R.L. | Device and method for checking the correct fitting of a connection organ having a head, relative to a fitting surface |
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