JPS61130682A - 空気作動弁 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は空気作動弁に係り、流体を雇いて作動される各
種目的装置への清浄な流体の供給を制御するものであり
で、製造時に於ける部材の洗浄を容易なものとし、使用
時に洗浄流体の汚染を生じろ事がないようにするととも
に一定時間の使用によって部材が汚染された時には、こ
の部材を容易に取り外し洗浄し得るようにしたものであ
る。

従来の技術 従来空気作動弁には、一定方向に付勢されるピストンの
付勢力により、ピストンロッドに設けた弁部で流体の流
通路を常時開放するとともに流体の異常圧を感知して空
気圧を付勢力に抗してピストンに加へることに上り、流
体の流通路を常時開放から閉止状態とするｉｌｌ’！空
気作動弁と、常時はピストンの付勢力により、ピストン
ロッドに設けた弁部で流体の流通路を常時閉止するとと
もに流体の異常圧を感知して空気圧を付勢力に抗してピ
ストンに加へろことにより、流体の流通路を常時閉止か
ら開放状態とする常閉空気作動弁とが存在する。この空
気作動弁が流通を制御する流体に、ＩＣ基盤の洗浄に用
いるような、純水を使用する場合には、塵あい等の混入
が生じる事のないようにするため、組立前の部材の洗浄
を確実に行なう必要がある。しかしながら弁部材には、
Ｏリング等の軟弾性部材が多数用いられているため、超
音、波等により強力な洗浄を行なうと、こにらの軟弾性
部材が超音波によって破壊されるものとなり、好喪しく
ない、またＯリング等の欧弾性材を分離して洗浄すると
、０リング等を組込む必要性から、組立時に部材に接触
する回数が多（なり、塵あい等もそれだけ多く付着する
ものとなる。また一定時間の使用に上り、流体と接触す
る部材が必然的に汚染されるものとなるが、従来は汚染
された部材を容易に分離することが出来ず、部材の洗浄
作業に支障を生じる場合の多いものであった。

発明が解決しようとする問題点 本発明は上述の如き欠点を除去した空気作動弁に係るも
のであって１、ピストンロッドを、超音波洗浄によって
破損される虞れのあるＯリング等を有する一方部材と、
清浄な流体が接触しＯリング等超音波洗浄によって破損
される虞れのない他方部材とを別部材にで形成し、製造
時に於ける洗浄作業を一方部材と他方部材を別個に行な
う事により、清浄な内容液と接触する他方部材を確実に
洗浄することができ、清浄洗浄液の汚染を生じることが
ないようにするとともに組立作業を簡便にすることによ
り、ピストンロッドを構成する部材と組立作業時の接触
を少なくし、組立時に於ける塵あい付着の可能性を防止
するとともに一定時間の使用により、流体と接触する部
材が必然的に汚染された場合には、一方部材と他方部材
を容易に分離し、部材の洗浄作業に支障を生じる事がな
いようにしようとするものである。　　　　　　　　　
　　　　　　　　）問題、αを解決するための手段 本発明は上述の如き問題、αを解決するため、一定方向
に付勢されるピストンの付勢力により、ピストンロッド
に設けた弁部で流体の流通路を常時開放または常時閉止
とするとともに流体の異常圧を感知して空気圧を付勢力
に抗してピストンに加えることにより、流体の流通路を
常時開放から閉止状！！または常時閉止から開放状態と
するものに於て、ピストンロッドを、空気圧導入方向の
一方部材と流通路方向の他方部材にで形成するとともに
ピストンロッドの輪方向外周に摺動可能に形成したスリ
ーブの摺動により、押圧若しくは非押圧状態とされる係
合球によって、一方部材と他方部材とを、接続若しくは
接続解除し得るよう連結しで成るものである。

作用 本発明は上述の如く構成したものであるから、常閉空気
作動弁に於ては、ピストンの付勢力により、ピストンロ
ッドに連結した弁部で流体の流通路を常時開放とすると
ともに流体の異常圧を感知した場合は、空気圧を付勢力
に抗してピストンに加へることにより、流体の流通路を
常時開放から閉止状態とする。また常閉空気作動弁にあ
っては、ピストンの付勢力により、ピストンロッドに連
結した弁部で流体の流通路を常時閉止するとともに流体
の異常圧をＩＡ句した場合は、空気圧を付勢力に抗して
ピストンに加へることにより、流体の流通路を閉止状態
から開放状態とする。またピストンロッドを、空気圧導
入方向の一方部材と、流通路方向の他方部材とに別個に
形成するものであるから、清浄な流体と接触する他方部
材を確実に洗浄してから組立てることができるとともに
ピストンロッドの輪方向外周に摺動可能に形成したスリ
ーブにより押圧若しくは非押圧状態とされる係合球によ
って、一方部材と他方部材とを、接続若しくは接続解除
し得るよう連結して成るものであるから、組立作業を簡
便にすることができ、ピストンを構成する部材の、組立
作業時に於ける接触を少なくし、組立時に於ける塵あい
の付着を防止する事が出来る。またスリーブを摺動する
二とによって、一方部材と他方部材の接続を容易に解除
する事が出来るから、流体と接触する部材が、一定時間
の使用によって必然的に汚染された場合には、一方部材
と他方部材を分離し、汚染された他方部材の洗浄を行な
うことができ、常に他方部材を清浄に保つ事が出来るも
のである。

実施例 以下本発明を、常開空気作動弁に用いた場合の一実施例
を第１図〜第３図に於て説明すれば、（１）はピストン
で、別個の部材により形成した一方部材（２）と他方部
材（３）とから成るピストンロッド（４）を中央部に固
定するとともに本体（５）との間に介装した押圧発条（
６）により、一定方向に付勢されでいる。このピストン
（１）を、０リング（７）を介して、円筒状のケーシン
グ（８）に摺動自在に装着し、二〇ケーシング（８）の
輪方向側面で、ピストン（１）の付勢方向の外面に対応
する部分に、空気注入管（１０）を接続する、制御空気
の注入口（１１）を形成するとともにケーシング（８）
の一端を、本体（５）にロックリング（１２）を介して
接続固定することにより、本体（５）に対して回啄自在
とし、またケーシング（８）の他端を一体に形成した天
［（１３）にて被覆することによＩ）密閉している。ま
た本体（５）の内周には、制御流体の流通路（１４）を
有する接続体（１５）を、螺溝（１６）を介して１１ｍ
固定し、接続体（１５）内にピストンロッド（４）を挿
入するとともにビス）　７　＊−／ド（４）の端部に設
けた弁部（１８）を、流通路（１４）の開閉部（２０）
に臨ませて、流通路　（１４）を常時は閉止することの
ないよう位置している。

またピストンロッド（４）の他方部材（３）の外周で、
一方部材（２）方向の、一部をベローズ（２１）にて被
覆し、流通路（１４）を流通する清浄な制御目的流体が
、ピストンロッド（４）との接触によりで、汚染される
二とのないよう保護しで（％る。このベローズ（２１）
は、ピストンロッド（４）の他方部材（３）の外周に突
出した７リング部（２２）に一端を固定するとともにピ
ストンロッド（４）の他方部材（３）の外周に摺動自在
に位置し、本体（５）と接続体（１５）との間隔に固定
したベローＸ７ラン７（２３）に、ベローＸ”（２１”
）の他層を固定するこ　　　　　　　　　　　；とによ
り、ピストンロッド（４）の他方部材（３）を被覆して
いる。またこの他方部材（３）と一方部材（２）の後続
は、次のごとき構成に上って行なわれる。一方部材（２
）の他方部材（３）方向に突出した係合ｆｌ（２４）の
輪方向外周に、スリーブ（２５）を摺動可能でかつ係合
発条（２６）によって他方部材（３）方向に押圧付勢す
るとともに付勢方向の一端内周を径大な解１部（２７）
とし、他端方向内周を係合ａ（２４）の外周面に密接す
る押圧部（２８）に形成している。また係合部（２４）
に１よ係合口（３０）を円周方向に複数個開口し、この
係合口（３０）の外方部（３１）よりも直径を径小とす
るとともに係合口（３０）の内方部（３２）よりも直径
を少しく径大とする係合球（３３）を、係合口（３０）
に嵌合する。また他方部材（３）の一方部材（２）方向
には、係合部（２４）内に摺動可能に挿入するための係
合柱（３４）を突出形成し、この係合柱（３４）の外周
には、係合口（３０）から係合ＩＩ（２４）内に突出す
る係合球（３３）を係合させるための保合溝（３５）を
形成し、係合ｆｌ（２４）の外周に摺動可能に位置する
スリーブ（２５）により、係合球（３３）を内方に押圧
した時に一方部材（２）と他方部材（３）を第３図に示
すごとく連結する。また係合球（３３）をスリーブ（２
５）の摺動により非押圧状想とすることにぶりで、一方
部材（２）と他方部材（３）の接続を、第２図に示すご
とく解除する事ができる。また前記ケーシング（８）の
押圧発条（６）側の側面には、ピストン（１）の進退に
伴なう気体の＠排気口（３６）を形成しでいる。

上述の如く構成したものに於て、ビスシンロッド（４）
の組立を行なうには、予め確実な洗浄を什なった他方部
材（３）の係合柱（３４）を、第２図に示すごとくスリ
ーブ（２５）の解放部（２７）と係合球（３３）が一致
した状ツで、一方部材（２）の保合１１１（２４）に挿
入した後、スリーブ（２５）を摺動すれば、係合球（３
３）は押圧部（２８）で押圧されて係合溝（３５）内に
一部を挿入し、他の部分を係合口（３０）に位置するか
ら、係合球（３３）を介して一方部材（２）と他方部材
（３）とは一体に係合し、ピストンロッド（４）を構成
する。この係合を解除するには、上記とは逆の方法によ
って行なうことができる。

次に空気乍動弁としての作用を説明すれば、常時は押圧
発条（６）によるピストン（１）への付勢力により、ピ
ストンロッｌ″（４）の弁１ｍ（１８）は、制御流体の
流通路（＋４）を常時開放とするとともに制御流体の異
常圧を感知した場合は、空気注入管（１０）から注入口
（１１）を介して空気圧をピストン（１）に、付勢力に
抗して加へることにより、弁部（１８）ｅで流通路（＋
４）のｌ１Ｍ閉部（２ｏ）を閉止する。

上記実施例に於ては、本発明を常開空気作動弁として用
いた実施例について説明したが、常開空気作動弁として
用いる場合にあっては、天板（１、３）と、ピストン（
１）間に抑圧発条（６）を介装し、弁部（１８）を流通
路（１４）の閏閏部（２ｏ）に常時抑圧閉止することに
より、常ｍ空気作動弁として用いることができる。この
常閉空気作動弁で、流体の異常圧を感知した場合は、空
気圧を押圧発条（６）の付勢力に抗して、注入口（１１
）からピストン（１）に加へることにより、流体の流通
路（１４）を閉止状態から開放状態とする。

また上記実施例に於いては、係合筒（２４）を、一方部
材（２）に形成し、係合柱（３４）を他方部材（３）に
形成したが、全く逆に係合１ｍ（２４）を他方部材（３
）に形成し、係合柱（３４）を一方部材（２）に形成し
ても、その作用、効果は全（同〜であり、任意に決定す
ることができる。

発明の効果 本発明は上述の如く、ピストンロッドを、超音波洗浄に
よって破損される虞れのある０リング等を有する一方部
材と、清浄な流体が接触し０リング等超音波洗浄によっ
て破損される虞れのない他方部材とを別部材にで形成し
、！１造時に於けろ洗浄作業を一方部材と他方部材を別
個に行なつ％により、清浄な内穿液と接触する他方部材
を確実に洗浄することができ、清浄洗浄液の汚染を生じ
ることがないようにするとともに組立作業を簡便にする
ことにより、ピストンを構成する部材と組立作業時の接
触を少なくし、組立時に於ける塵あい　　　　　　　　
　；付着の可能性を防止することができる。またスリー
プを摺動することによって、一方部材と他方部材の接続
を容馬に解除する事が出来るから、流体と接触する部材
が必然的に汚染された場合には、一方部材と他方部材を
分離し、汚染された他方部材の洗浄を行なうことができ
、常に他方部材を清浄に保つ事が出来るものである。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の実施例を示すもので、ｆｆ１１図は常開
空気作動弁に用いた場合の断面図、第２図は一方部材と
他方部材の接続を解除した状態の拡大図、第３図は一方
部材と他方部材の接続状態を示めす拡大図、第４図は常
開空気作動弁に泪いた場合の断面図である。 （１）・・・ピストン　（２）・・・・・・一方部材（
３）・・・他方部材　（４）・・・ピストンロッド（１
４）・・・流通路　（１８）・・・・・・弁　部（２１
）・・べａ−ズ　（２５）・・・・・スリーブ（３３）
・・・係合球 第　　１　　図 第　　２　図 第　　３　因

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）一定方向に付勢されるピストンの付勢力により、
   ピストンロッドに設けた弁部で流体の流通路を常時開放
   または常時閉止とするとともに流体の異常圧を感知して
   空気圧を付勢力に抗してピストンに加えることにより、
   流体の流通路を常時開放から閉止状態または常時閉止か
   ら開放状態とするものに於て、ピストンロッドを、空気
   圧導入方向の一方部材と流通路方向の他方部材にて形成
   するとともにピストンロッドの軸方向外周に摺動可能に
   形成したスリーブの摺動により、押圧若しくは非押圧状
   態とされる係合球によって、一方部材と他方部材とを、
   接続若しくは接続解除し得るよう連結したことを特徴と
   する空気作動弁。
2. （２）他方部材の外周は、ベローズで被覆したものであ
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の空気作
   動弁。