JPS6112867A - ロール式シール装置 - Google Patents
ロール式シール装置Info
- Publication number
- JPS6112867A JPS6112867A JP13104084A JP13104084A JPS6112867A JP S6112867 A JPS6112867 A JP S6112867A JP 13104084 A JP13104084 A JP 13104084A JP 13104084 A JP13104084 A JP 13104084A JP S6112867 A JPS6112867 A JP S6112867A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roller
- pressure side
- sheet
- sealing
- sealing member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はシートに真空蒸着、スパッタ、イオンブレーテ
ィング、真空乾燥などを施す連続真空処理装置に用いら
れるロール式シール装置に関するものである。
ィング、真空乾燥などを施す連続真空処理装置に用いら
れるロール式シール装置に関するものである。
従来、大量のロール・シートを真空中で真空蒸着および
スパッタなどの処理を行う場合、処理前にシートを予め
真空槽に装てんした後に、その真空槽を真空にしてから
シートを自動的に送り出して処理する６いわゆるバッチ
式真空処理が主として実施されていた。
スパッタなどの処理を行う場合、処理前にシートを予め
真空槽に装てんした後に、その真空槽を真空にしてから
シートを自動的に送り出して処理する６いわゆるバッチ
式真空処理が主として実施されていた。
一方、連続真空処理装置用ロール式シール装置は、シー
トを高圧側から低圧側へ搬入し、または低圧側から高圧
側へ搬出させるローラと、このローラに対設した円筒状
の固定壁との間に細隙を形成し、この細隙を前記ローラ
を介してシートが通過するように構成されている。この
ようなローラ式シール装置の詳細については、米国特許
第２９７２３３０号および特開昭５８−１３１４７０号
公報などに開示されている。
トを高圧側から低圧側へ搬入し、または低圧側から高圧
側へ搬出させるローラと、このローラに対設した円筒状
の固定壁との間に細隙を形成し、この細隙を前記ローラ
を介してシートが通過するように構成されている。この
ようなローラ式シール装置の詳細については、米国特許
第２９７２３３０号および特開昭５８−１３１４７０号
公報などに開示されている。
上記米国特許第２９７２３３０号では第１図に示すよう
に、シート６に接触してこれを搬送するローラ１と、こ
のローラ１の上、下側にそれぞれ対設された半円筒状の
シール部材２，３との間に細隙１２．１３がそれぞれ形
成されており、前記細隙１２．１３により、大気側Ａの
シート転入口４と真空側Ｂのシート転出口５との間の差
圧を維持する。すなわち、空気は前記転入口４より流入
し。
に、シート６に接触してこれを搬送するローラ１と、こ
のローラ１の上、下側にそれぞれ対設された半円筒状の
シール部材２，３との間に細隙１２．１３がそれぞれ形
成されており、前記細隙１２．１３により、大気側Ａの
シート転入口４と真空側Ｂのシート転出口５との間の差
圧を維持する。すなわち、空気は前記転入口４より流入
し。
細隙１１．１２を経て前記転出口５から流出する。
一方、シート６はローラ１の回転により、前記転入口４
から細隙１１内に搬入され、ついで、その細隙１１を通
過して前記転出口５から真空側へ搬出される。
から細隙１１内に搬入され、ついで、その細隙１１を通
過して前記転出口５から真空側へ搬出される。
実際に真空処理槽で必要とされる真空度は１０−”〜１
０’ｔｏｒｒであるので、真空側では大型真空ポンプに
より大容量の空気を排出しなければならない。この際、
前記細隙１１．１２内の空気の流速は高速となるため、
シート６が振動して損傷を生じ、製品の品質を著しく損
なう恐れがある。
０’ｔｏｒｒであるので、真空側では大型真空ポンプに
より大容量の空気を排出しなければならない。この際、
前記細隙１１．１２内の空気の流速は高速となるため、
シート６が振動して損傷を生じ、製品の品質を著しく損
なう恐れがある。
このため第２図に示すように、シート６が処理真空槽７
内のローラ１に至るまでに、第１図に示すシール装置と
真空機能を有する任意数のローラ１ａ〜１ｄをそれぞれ
備える中間圧力の排気室８〜１０を設けると共に、シー
ト６が前記処理真空槽７から大気側へ搬出される側にも
任意数のローラ１’ ａ〜１’ ｄをそれぞれ備え
る中間圧力の排気室１３〜１５を設ける。このように構
成すれば、一つのローラ式シール装置における差圧を小
さくすることができるので、シートが振動するのを防ぎ
損傷の発生を阻止することが可能である。
内のローラ１に至るまでに、第１図に示すシール装置と
真空機能を有する任意数のローラ１ａ〜１ｄをそれぞれ
備える中間圧力の排気室８〜１０を設けると共に、シー
ト６が前記処理真空槽７から大気側へ搬出される側にも
任意数のローラ１’ ａ〜１’ ｄをそれぞれ備え
る中間圧力の排気室１３〜１５を設ける。このように構
成すれば、一つのローラ式シール装置における差圧を小
さくすることができるので、シートが振動するのを防ぎ
損傷の発生を阻止することが可能である。
一方、前記特開昭５８−１３１４７０号では第３図に示
すように、シート６を搬送するローラ１に対数した上、
下側のシール部材２，３に圧力室１６゜１７をそれぞれ
設け、この圧力室１６．１７にローラ軸方向に並置した
排気口１６Ａ、１７Ａがら空気を排出することにより、
シート６の振動を防ぎ損傷の発生を阻止することができ
る。
すように、シート６を搬送するローラ１に対数した上、
下側のシール部材２，３に圧力室１６゜１７をそれぞれ
設け、この圧力室１６．１７にローラ軸方向に並置した
排気口１６Ａ、１７Ａがら空気を排出することにより、
シート６の振動を防ぎ損傷の発生を阻止することができ
る。
ところが、従来例は上記のように二つの細隙。
１１．１２が設けられているため、大容量の排気ポンプ
を必要とするから装置が大型となるので、必要動力が増
大する恐れがある。
を必要とするから装置が大型となるので、必要動力が増
大する恐れがある。
本発明は上記にかんがみ、シートを搬送するローラの細
隙シール部を減少させ、その細隙シール部の調整を容易
にし、かつシール性能の向上をはかると共に、真空排気
ポンプの容量を減少させて、処理真空槽の真空度を高め
ることを目的とするものである。
隙シール部を減少させ、その細隙シール部の調整を容易
にし、かつシール性能の向上をはかると共に、真空排気
ポンプの容量を減少させて、処理真空槽の真空度を高め
ることを目的とするものである。
本発明は上記目的を達成するために、シートを搬送する
ローラと、このローラと細隙を保って対設した半円筒状
のシール部材と、前記ローラにより前記細隙を通って高
圧側から低圧側へ、または低圧側から高圧側へそれぞれ
移送されるシート、前記シール部材と反対側のローラ表
面に、かつローラ軸方向に接触するように設けた弾性舌
状のシール部材とからなり、前記両シール部材により高
圧側と低圧側とを区画するように構成したことを特徴と
するものである。
ローラと、このローラと細隙を保って対設した半円筒状
のシール部材と、前記ローラにより前記細隙を通って高
圧側から低圧側へ、または低圧側から高圧側へそれぞれ
移送されるシート、前記シール部材と反対側のローラ表
面に、かつローラ軸方向に接触するように設けた弾性舌
状のシール部材とからなり、前記両シール部材により高
圧側と低圧側とを区画するように構成したことを特徴と
するものである。
以下１本発明の実施例°を図面について説明する。
第４図ないし第６図′に示す符号のうち、第１図および
第２図に示す符号と同一のものは、同一または該当する
部分を示すものとする。
第２図に示す符号と同一のものは、同一または該当する
部分を示すものとする。
第４図および第５図において、２は回転自在に設けたロ
ーラ１の上半部を覆うように設けられた半円筒状のシー
ル部材、１６はこのシール部材２と反対側のローラ表面
、すなわちローラ１の下端部表面に、かつローラ１の軸
方向に接触するように設けた可撓性の弾性体により舌状
に形成されたシール部材である。その他の構造は、第１
図の下側シール部材３を除いた構造と同様であるから説
明を省略する。
ーラ１の上半部を覆うように設けられた半円筒状のシー
ル部材、１６はこのシール部材２と反対側のローラ表面
、すなわちローラ１の下端部表面に、かつローラ１の軸
方向に接触するように設けた可撓性の弾性体により舌状
に形成されたシール部材である。その他の構造は、第１
図の下側シール部材３を除いた構造と同様であるから説
明を省略する。
次に上記のような構成からなる本実施例の作用について
説明する。
説明する。
ローラ１に掛けられたシート６は、そのローラ１の回転
により高圧側Ａの転入口４から細隙１１内に搬入され、
この細隙１１を通過して低圧側Ｂの転出口５から低圧側
Ｂへ搬出される。この際、前記舌状シール部材１６とロ
ーラ１との間の細隙は、第１図に示す公知例の細隙１２
に比べて極端に小さいので、低圧側Ｂの排気ポンプ（図
示せず）の容量をほぼ半分に小さくすることができ、か
つ高圧側Ａから低圧側Ｂへ気体が流入するのを防止する
ことが可能である。
により高圧側Ａの転入口４から細隙１１内に搬入され、
この細隙１１を通過して低圧側Ｂの転出口５から低圧側
Ｂへ搬出される。この際、前記舌状シール部材１６とロ
ーラ１との間の細隙は、第１図に示す公知例の細隙１２
に比べて極端に小さいので、低圧側Ｂの排気ポンプ（図
示せず）の容量をほぼ半分に小さくすることができ、か
つ高圧側Ａから低圧側Ｂへ気体が流入するのを防止する
ことが可能である。
一方、ロール１と上側シール部材２との間の細隙１１の
大きさは、低圧側の到達真空度に強く影響するため、実
用上、場合によってはミクロンオーダの調整を必要とす
るが、ロール１に接触する下側シール部材１６は可撓性
を有するので５相対位置に関してはさほど考慮する必要
がない。したがって、公知例では二つの細隙１１．１２
を備えるため、これらの調整が至難であるのに対し、本
実施例によれば、細隙１１のみを調整すればよいので、
調整が非常に容易となる。
大きさは、低圧側の到達真空度に強く影響するため、実
用上、場合によってはミクロンオーダの調整を必要とす
るが、ロール１に接触する下側シール部材１６は可撓性
を有するので５相対位置に関してはさほど考慮する必要
がない。したがって、公知例では二つの細隙１１．１２
を備えるため、これらの調整が至難であるのに対し、本
実施例によれば、細隙１１のみを調整すればよいので、
調整が非常に容易となる。
第６図の他の実施例を示すもので、この実施例では、ロ
ーラＩＡ〜ＩＤおよび１’Ａ〜１’Ｄに上記実施例（第
４，５図）のシール装置を備えたものを用いた点が、前
述した第２図に示す公知例と異なるのみで、その他の構
成は同一であるから説明を省略する。
ーラＩＡ〜ＩＤおよび１’Ａ〜１’Ｄに上記実施例（第
４，５図）のシール装置を備えたものを用いた点が、前
述した第２図に示す公知例と異なるのみで、その他の構
成は同一であるから説明を省略する。
この実施例（第６図）によれば、シール性能の向上によ
り、任意の圧力に制御し易くなるので、中間圧力室８〜
９および１３〜１５間の圧力バランスに基因するシート
６の張力差による幅方向の不均一性のために、シート６
にしわが発生するのを防ぐことができる。したがって、
シート６の品質をより一層に向上させることが可能であ
る。
り、任意の圧力に制御し易くなるので、中間圧力室８〜
９および１３〜１５間の圧力バランスに基因するシート
６の張力差による幅方向の不均一性のために、シート６
にしわが発生するのを防ぐことができる。したがって、
シート６の品質をより一層に向上させることが可能であ
る。
以上説明したように、本発明によれば、従来、ローラの
細隙シール部を二つ設けていたのを一つに減少させたの
で、その細隙シール部の調整が容易となり、かつシール
性能を向上させることができる。また、真空排気ポンプ
の容量を半分程度に減少させることができるから、処理
真空槽の真空度を向上させることが可能である。
細隙シール部を二つ設けていたのを一つに減少させたの
で、その細隙シール部の調整が容易となり、かつシール
性能を向上させることができる。また、真空排気ポンプ
の容量を半分程度に減少させることができるから、処理
真空槽の真空度を向上させることが可能である。
さらに、中間圧力室を設けることにより、その圧力を任
意に選定し、かつシートの張力を均一化することができ
るので、シートにしわが生ずるのを防止して品質の向上
をはかることができる。
意に選定し、かつシートの張力を均一化することができ
るので、シートにしわが生ずるのを防止して品質の向上
をはかることができる。
第１図ないし第３図は各従来例の断面図、第４図および
第５図は本発明のローラ式シール装置の一実施例を示す
縦断面図および正面断面図、第６図は本発明に係わる他
の実施例の断面図である。 １・・・ローラ、２・・・半円筒状シール部材、６・・
・シート、１１・・・細隙、１６・・・弾性舌状シール
部材、Ａ・・・高圧側、Ｂ・・・低圧側。 ′＄１０ り ・事２閏 ５ｊｆ−３口 竿４［２１１ 茅ダロ 茎 Ｇ（２）
第５図は本発明のローラ式シール装置の一実施例を示す
縦断面図および正面断面図、第６図は本発明に係わる他
の実施例の断面図である。 １・・・ローラ、２・・・半円筒状シール部材、６・・
・シート、１１・・・細隙、１６・・・弾性舌状シール
部材、Ａ・・・高圧側、Ｂ・・・低圧側。 ′＄１０ り ・事２閏 ５ｊｆ−３口 竿４［２１１ 茅ダロ 茎 Ｇ（２）
Claims (1)
- シートを搬送するローラと、このローラと細隙を保つて
対設した半円筒状のシール部材と、前記ローラにより前
記細隙を通つて高圧側から低圧側へ、または低圧側から
高圧側へそれぞれ移行されるシートと、前記シール部材
と反対側のローラ表面に、かつローラ軸方向に接触する
ように設けた弾性舌状のシール部材とからなり、前記両
シール部材により高圧側と低圧側とを区画するように構
成したことを特徴とするロール式シール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13104084A JPS6112867A (ja) | 1984-06-27 | 1984-06-27 | ロール式シール装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13104084A JPS6112867A (ja) | 1984-06-27 | 1984-06-27 | ロール式シール装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6112867A true JPS6112867A (ja) | 1986-01-21 |
Family
ID=15048614
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13104084A Pending JPS6112867A (ja) | 1984-06-27 | 1984-06-27 | ロール式シール装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6112867A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0331474A (ja) * | 1989-06-27 | 1991-02-12 | Kawasaki Steel Corp | 差圧シール装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS474926U (ja) * | 1971-02-03 | 1972-09-13 | ||
| JPS5773025A (en) * | 1980-10-27 | 1982-05-07 | Shin Etsu Chem Co Ltd | Apparatus for continuous vacuum treatment |
| JPS57195754A (en) * | 1981-05-29 | 1982-12-01 | Shin Etsu Chem Co Ltd | Continuous vacuum treatment apparatus |
-
1984
- 1984-06-27 JP JP13104084A patent/JPS6112867A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS474926U (ja) * | 1971-02-03 | 1972-09-13 | ||
| JPS5773025A (en) * | 1980-10-27 | 1982-05-07 | Shin Etsu Chem Co Ltd | Apparatus for continuous vacuum treatment |
| JPS57195754A (en) * | 1981-05-29 | 1982-12-01 | Shin Etsu Chem Co Ltd | Continuous vacuum treatment apparatus |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0331474A (ja) * | 1989-06-27 | 1991-02-12 | Kawasaki Steel Corp | 差圧シール装置 |
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