JPS62169830A - 真空シ−ル装置 - Google Patents
真空シ−ル装置Info
- Publication number
- JPS62169830A JPS62169830A JP61012475A JP1247586A JPS62169830A JP S62169830 A JPS62169830 A JP S62169830A JP 61012475 A JP61012475 A JP 61012475A JP 1247586 A JP1247586 A JP 1247586A JP S62169830 A JPS62169830 A JP S62169830A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- pair
- casing
- rolls
- sealing device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 8
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/03—Pressure vessels, or vacuum vessels, having closure members or seals specially adapted therefor
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
- F16J15/168—Sealings between relatively-moving surfaces which permits material to be continuously conveyed
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
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- Sealing With Elastic Sealing Lips (AREA)
- Sealing Devices (AREA)
- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野〕
本発明は、真空シール装置に関するものであり、詳しく
はシート状体を連続的に供給しつつ、真空シールを行う
真空シール装置に関するものである。
はシート状体を連続的に供給しつつ、真空シールを行う
真空シール装置に関するものである。
（背景技術〕
近来、シート状体へのプラズマ処理、真空蒸着などの真
空中（減圧下を含む〕での連続処理が盛んに行われてい
る。しかし、シート状体を連続的に減圧下へ供給しつつ
、減圧下状態を維持させるのは難しく、その几めにシー
ル装置全多段化させたり、又、真空ポンプの排気能力を
増大させる等で対応しているが、その結果、装置の大規
模化、更にはコストアップ會招いてい友。ま之、シート
状体をロールで挟着して減圧下へ送り込む場合には、気
密性が低下したり、シート状体にシワや目ズレが発生す
るなどの問題があった。
空中（減圧下を含む〕での連続処理が盛んに行われてい
る。しかし、シート状体を連続的に減圧下へ供給しつつ
、減圧下状態を維持させるのは難しく、その几めにシー
ル装置全多段化させたり、又、真空ポンプの排気能力を
増大させる等で対応しているが、その結果、装置の大規
模化、更にはコストアップ會招いてい友。ま之、シート
状体をロールで挟着して減圧下へ送り込む場合には、気
密性が低下したり、シート状体にシワや目ズレが発生す
るなどの問題があった。
（発明の目的〕
本発明は、上記の問題点全解決するために提案されたも
ので、充分なシール効果を示す真空シール装置を提供す
ることを目的とする０（発明の開示） 本発明はシート状体を減圧空間に送り込む出入口に設け
られる真空シール装置において、ケーシング内に、シー
ト状体を挟着して送るための金属ロール及びゴムライニ
ングロールよシなるピンチロール対を備え、前記のピン
チロール対の夫々の端面とケーシング内面間との空間に
、流体圧にＬつて膨らむ膨出面を備えたサイドシール具
が挿入され、かつ前記のピンチロール対とケーシング内
面間の空間に、大気圧下と減圧下の差圧に工り、ピンチ
ロールにシート状部材を押えつけてシールする機構を有
するリップシール具を配したこと全特徴とする真空シー
ル装置に関する。
ので、充分なシール効果を示す真空シール装置を提供す
ることを目的とする０（発明の開示） 本発明はシート状体を減圧空間に送り込む出入口に設け
られる真空シール装置において、ケーシング内に、シー
ト状体を挟着して送るための金属ロール及びゴムライニ
ングロールよシなるピンチロール対を備え、前記のピン
チロール対の夫々の端面とケーシング内面間との空間に
、流体圧にＬつて膨らむ膨出面を備えたサイドシール具
が挿入され、かつ前記のピンチロール対とケーシング内
面間の空間に、大気圧下と減圧下の差圧に工り、ピンチ
ロールにシート状部材を押えつけてシールする機構を有
するリップシール具を配したこと全特徴とする真空シー
ル装置に関する。
次に不発明の実施例上図面に従って説明する。
第１図は本発明の１実施例金示す。同図に見るＬうに、
この真空シール装置は、ケーシング１内に、シート状体
（図示省略）を挟着して送るピンチロール対４．５がｕ
転自在に設けられ、このピンチロールの一方は金属ロー
ル４であり、他方はゴムライニングロール５である。ゴ
ムライニングロール５にライニングされたゴムの硬−ル
対の両端面とケーシング１の内面との間に挿入されてい
る。３はリップシールでＬ字形の本体の内側には支柱３
ａが設けられ、下面にはゴム部材３ｂが設けられ、この
リップシール３は金属ロール４とゴムライニングロール
５の上面にゴム部材３ｂが接するようにケーシング１の
内壁に取り付けられている。しかしてケーシングｌの上
面は大気圧であり、下面は真空であるので、リップシー
ル３のゴムｉ；ｉａｂは両ロール４．５の上面に押圧さ
れて、気密性が保持される。ピンチロール対４．５の一
方のゴムライニングロール５は、エアーシリンダ６によ
って押えられており、エアーシリンダへの気体供給圧を
変えることにニジ、ピンチロール対のピンチ圧を適宜変
化させることができる工うになっている。
この真空シール装置は、ケーシング１内に、シート状体
（図示省略）を挟着して送るピンチロール対４．５がｕ
転自在に設けられ、このピンチロールの一方は金属ロー
ル４であり、他方はゴムライニングロール５である。ゴ
ムライニングロール５にライニングされたゴムの硬−ル
対の両端面とケーシング１の内面との間に挿入されてい
る。３はリップシールでＬ字形の本体の内側には支柱３
ａが設けられ、下面にはゴム部材３ｂが設けられ、この
リップシール３は金属ロール４とゴムライニングロール
５の上面にゴム部材３ｂが接するようにケーシング１の
内壁に取り付けられている。しかしてケーシングｌの上
面は大気圧であり、下面は真空であるので、リップシー
ル３のゴムｉ；ｉａｂは両ロール４．５の上面に押圧さ
れて、気密性が保持される。ピンチロール対４．５の一
方のゴムライニングロール５は、エアーシリンダ６によ
って押えられており、エアーシリンダへの気体供給圧を
変えることにニジ、ピンチロール対のピンチ圧を適宜変
化させることができる工うになっている。
ゴムライニングロールのゴム硬度に関しては、６５〜７
０であることが必要である。その根拠を以下に述べる。
０であることが必要である。その根拠を以下に述べる。
第２図は金属ロール４．ゴムライニングロール５及びシ
ート状体７の断面の状態を示すもので、図中９は金属ロ
ール４とシート状体７との間に生ずるスキマである。ゴ
ム硬度が７０ニジも大きい場合、第２図に示す工うに、
ゴムの弾性が十分生かぜないｔめにシート状体の端部に
スキマ９が生じ、真空シール装置として必要な気密性能
が低下する。一方、ゴム硬度が６５Ｌす小さい場合、第
３図に示すように、７ゑ 一ト状体とゴムライニングロールの接触面積が、（イ）
図、（ロフ図に示すように場所にＬって異なり、その結
果、シート状体の送り速度が場所によって異なり、シワ
が発生するのである。第３図（ロ）。
ート状体７の断面の状態を示すもので、図中９は金属ロ
ール４とシート状体７との間に生ずるスキマである。ゴ
ム硬度が７０ニジも大きい場合、第２図に示す工うに、
ゴムの弾性が十分生かぜないｔめにシート状体の端部に
スキマ９が生じ、真空シール装置として必要な気密性能
が低下する。一方、ゴム硬度が６５Ｌす小さい場合、第
３図に示すように、７ゑ 一ト状体とゴムライニングロールの接触面積が、（イ）
図、（ロフ図に示すように場所にＬって異なり、その結
果、シート状体の送り速度が場所によって異なり、シワ
が発生するのである。第３図（ロ）。
七９は夫々（イ）図においてＡ部断面図、Ｂ部断面図を
示す〇 一般にゴムライニングを施し九場合、ゴム硬度にバラツ
キがでるが、ゴム硬度が小さい程、そのバラツキの几め
にロールとシート状体との接触面積にバラツキが出る傾
向が出や丁くなる。
示す〇 一般にゴムライニングを施し九場合、ゴム硬度にバラツ
キがでるが、ゴム硬度が小さい程、そのバラツキの几め
にロールとシート状体との接触面積にバラツキが出る傾
向が出や丁くなる。
発明者らは繰り返し実験を行い、上記の現象を発見し、
ゴムライニングロールのゴム硬度がω〜７０の場合が最
適であることを確認し友のである０ 本発明の真空シール装置は、友とえは、減圧空間を積っ
ている壁や蓋などに気体の漏れがないようにして取付け
られ、シート状体を連続的に減圧空間へと送り込む入口
、あるいは連続的に減圧空間から送り出す出口として使
用される。
ゴムライニングロールのゴム硬度がω〜７０の場合が最
適であることを確認し友のである０ 本発明の真空シール装置は、友とえは、減圧空間を積っ
ている壁や蓋などに気体の漏れがないようにして取付け
られ、シート状体を連続的に減圧空間へと送り込む入口
、あるいは連続的に減圧空間から送り出す出口として使
用される。
（発明の効果）
叙上のように本発明によれば、シート状体を減圧空間に
送り込む出入口に設けられる真空シール装置において、
ケーシング内に、シート状体を挟着して送るための金属
ロール及びゴムライニングロールよりなるピンチロール
対を備え、前記のピンチロール対の夫々の端面とケーシ
ング内面間との空間に、流体圧によって膨らむ膨出面を
備えたサイドシール具が挿入され、かつ前記のピンチロ
ール対とケーシング内面間の空間に、大気圧下と減圧下
の差圧に工り、ピンチロールにシート状部材七押えつけ
てシールする機構を有するリップシール具を配したこと
にニジ、シート状体にシワや目ズレを発生させずに、シ
ート状体を減圧空間へ連続的に供給することができる。
送り込む出入口に設けられる真空シール装置において、
ケーシング内に、シート状体を挟着して送るための金属
ロール及びゴムライニングロールよりなるピンチロール
対を備え、前記のピンチロール対の夫々の端面とケーシ
ング内面間との空間に、流体圧によって膨らむ膨出面を
備えたサイドシール具が挿入され、かつ前記のピンチロ
ール対とケーシング内面間の空間に、大気圧下と減圧下
の差圧に工り、ピンチロールにシート状部材七押えつけ
てシールする機構を有するリップシール具を配したこと
にニジ、シート状体にシワや目ズレを発生させずに、シ
ート状体を減圧空間へ連続的に供給することができる。
又、充分な気密性を確保できるので、真空ポンプの能力
を小さくでき、シール部を多段化する必要がなくなるた
め、コストアップｔおさえることも可能となる効果を有
するものである。
を小さくでき、シール部を多段化する必要がなくなるた
め、コストアップｔおさえることも可能となる効果を有
するものである。
第１図は本発明の真空シール装置の１実施例の分解斜視
図、第２図はゴム硬度が７０より大きい場合の問題点、
第３図はゴム硬度が６５より小さい場合の問題点を示す
。 １・・・・・・ケーシング、２・・・・・・サイドシー
ル、３・・・・・・リップシール、４・−・・・・金属
ロール、５・・・・・・ゴムライニングロール、６・・
・・・・エアーシリンダ、７・・・・・・シート状体
図、第２図はゴム硬度が７０より大きい場合の問題点、
第３図はゴム硬度が６５より小さい場合の問題点を示す
。 １・・・・・・ケーシング、２・・・・・・サイドシー
ル、３・・・・・・リップシール、４・−・・・・金属
ロール、５・・・・・・ゴムライニングロール、６・・
・・・・エアーシリンダ、７・・・・・・シート状体
Claims (2)
- （１）シート状体を減圧空間に送り込む出入口に設けら
れる真空シール装置において、ケーシング内に、シート
状体を挟着して送るための金属ロール及びゴムライニン
グロールよりなるピンチロール対を備え、前記のピンチ
ロール対の夫々の端面とケーシング内面間との空間に、
流体圧によつて膨らむ膨出面を備えたサイドシール具が
挿入され、かつ前記のピンチロール対とケーシング内面
間の空間に、大気圧下と減圧下の差圧により、ピンチロ
ールにシート状部材を押えつけてシールする機構を有す
るリップシール具を配したことを特徴とする真空シール
装置。 - （２）ゴムの硬度は６５〜７０であることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の真空シール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61012475A JPS62169830A (ja) | 1986-01-22 | 1986-01-22 | 真空シ−ル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61012475A JPS62169830A (ja) | 1986-01-22 | 1986-01-22 | 真空シ−ル装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62169830A true JPS62169830A (ja) | 1987-07-27 |
Family
ID=11806402
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61012475A Pending JPS62169830A (ja) | 1986-01-22 | 1986-01-22 | 真空シ−ル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62169830A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016017182A (ja) * | 2014-07-04 | 2016-02-01 | 株式会社Ihi | 真空シール装置及び真空プロセス処理システム |
| CN113737149A (zh) * | 2020-05-28 | 2021-12-03 | 宝山钢铁股份有限公司 | 一种用于金属带材上的连续真空镀膜密封锁 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5773025A (en) * | 1980-10-27 | 1982-05-07 | Shin Etsu Chem Co Ltd | Apparatus for continuous vacuum treatment |
-
1986
- 1986-01-22 JP JP61012475A patent/JPS62169830A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5773025A (en) * | 1980-10-27 | 1982-05-07 | Shin Etsu Chem Co Ltd | Apparatus for continuous vacuum treatment |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016017182A (ja) * | 2014-07-04 | 2016-02-01 | 株式会社Ihi | 真空シール装置及び真空プロセス処理システム |
| CN113737149A (zh) * | 2020-05-28 | 2021-12-03 | 宝山钢铁股份有限公司 | 一种用于金属带材上的连续真空镀膜密封锁 |
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