JPS61125410A - 真空ポンプオイルの清浄化方法 - Google Patents
真空ポンプオイルの清浄化方法Info
- Publication number
- JPS61125410A JPS61125410A JP24564484A JP24564484A JPS61125410A JP S61125410 A JPS61125410 A JP S61125410A JP 24564484 A JP24564484 A JP 24564484A JP 24564484 A JP24564484 A JP 24564484A JP S61125410 A JPS61125410 A JP S61125410A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oil
- pump
- vacuum pump
- cleaning
- vacuum
- Prior art date
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- Granted
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- Compressor (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Treatment Of Liquids With Adsorbents In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技暫分野〕
本発明は、真空ポンプに対して有害なガスを吸引する真
空ポンプのオイル９忙、腐食性および摩耗性不純分が蓄
積して、真空ポンプの能力が低下するのを防止するため
の、真空ポンプオイルの清浄化方法に関する。
空ポンプのオイル９忙、腐食性および摩耗性不純分が蓄
積して、真空ポンプの能力が低下するのを防止するため
の、真空ポンプオイルの清浄化方法に関する。
従来、真空ポンプに対して有害なガスを吸引して減圧し
なければならない〜例えば半導体産業等においては、使
用する真空ポンプのオイルの清浄化が重要な課題となっ
ている。
なければならない〜例えば半導体産業等においては、使
用する真空ポンプのオイルの清浄化が重要な課題となっ
ている。
特に、ＡＪドライエツチング用コロタリー真空ポンプは
、腐食性ガスの使用によるボン１内の腐食およびオイル
の劣化、或いはＡｅｃｅ、 等の微粒子の発生による
回転部分の摩耗などくよりその性能が低下し、短時間で
所定の真空度を保持出来なくなり、分解、清擾しなけれ
ばならず稼動率が低下する。
、腐食性ガスの使用によるボン１内の腐食およびオイル
の劣化、或いはＡｅｃｅ、 等の微粒子の発生による
回転部分の摩耗などくよりその性能が低下し、短時間で
所定の真空度を保持出来なくなり、分解、清擾しなけれ
ばならず稼動率が低下する。
このため、運転中の真空ポンプのオイルを一部抜き出し
てポンプによって循環させ、その循ｉ１Ｍ路ＫＪ＆付け
て有害物質を除去する活性アルミナ焼結フィルター、或
いは普通のカートリッジフィルター等が市販されている
。
てポンプによって循環させ、その循ｉ１Ｍ路ＫＪ＆付け
て有害物質を除去する活性アルミナ焼結フィルター、或
いは普通のカートリッジフィルター等が市販されている
。
しかし、上記市販のフィルターは、酸分、水分、オイル
分解物が殆ど除去づれないので、オイルの清浄化が充分
に行なわれず、筐だ、微粒子は除去出来るが、７〜１０
日間程度で目詰りしてフイルターへの導入圧が上昇する
ので、そのたびにフィルターを交換しなければならず、
清浄効果が不充分な上（、づらに人手と費用がかかる欠
点があった。
分解物が殆ど除去づれないので、オイルの清浄化が充分
に行なわれず、筐だ、微粒子は除去出来るが、７〜１０
日間程度で目詰りしてフイルターへの導入圧が上昇する
ので、そのたびにフィルターを交換しなければならず、
清浄効果が不充分な上（、づらに人手と費用がかかる欠
点があった。
本発明は上記の事情に鑑み、真空ポンプオイル中に含ま
れる酸分、水分、微粒子、オイル分解物を長時間にわた
って同時に除去出来る真空ポンプオイルの清浄化方法を
提供することを目的とするもので、その要旨は、酸分、
水分、微粒子、オイル分解物等を含有する真空ポンプオ
イルを、無定形シリカアルミナと、ケイソウ土、ゼオラ
イト或いはシリカゲルから選ばれた少くとも１種とより
なる清浄剤に接触でせる真空ポンプオイルの清浄化方法
にある。
れる酸分、水分、微粒子、オイル分解物を長時間にわた
って同時に除去出来る真空ポンプオイルの清浄化方法を
提供することを目的とするもので、その要旨は、酸分、
水分、微粒子、オイル分解物等を含有する真空ポンプオ
イルを、無定形シリカアルミナと、ケイソウ土、ゼオラ
イト或いはシリカゲルから選ばれた少くとも１種とより
なる清浄剤に接触でせる真空ポンプオイルの清浄化方法
にある。
第１図は、本発明に係る真空ポンプオイルの清浄化方法
を実施する装置の一例を示すもので、図中符号１は、ド
ライエツチングチャンＩく−である。
を実施する装置の一例を示すもので、図中符号１は、ド
ライエツチングチャンＩく−である。
このドライエツチングチャンバー１には、内部な所定の
真空度に減圧するロータリー真空ポンプ（以下ポンプと
いう）２が接続されている。このポンプ２のケーシング
２ａＶｃＨ，ポンプオイルの一部を抜出す配管が設けら
れ、ダイヤフラムポンプ３、清浄筒４を経て、ポンプ２
に循環されるようになっており、清浄筒４は、ワンタッ
チで循環ラインに着脱自在となっている。上記ポンプ２
と清浄筒４との間の配管には、ポンプ２の吐出圧を指示
する圧力計５が取付けられている。
真空度に減圧するロータリー真空ポンプ（以下ポンプと
いう）２が接続されている。このポンプ２のケーシング
２ａＶｃＨ，ポンプオイルの一部を抜出す配管が設けら
れ、ダイヤフラムポンプ３、清浄筒４を経て、ポンプ２
に循環されるようになっており、清浄筒４は、ワンタッ
チで循環ラインに着脱自在となっている。上記ポンプ２
と清浄筒４との間の配管には、ポンプ２の吐出圧を指示
する圧力計５が取付けられている。
上記清浄筒４には、無定形シリカアルミナ（例えば８揮
化学製、商品名Ｎ６５３ ＨＮ等）Ａと、ケイソウ土、
ゼオライト或いはシリカゲルかう選ばれた少くとも１種
Ｂとを混合した清浄剤Ｃが充填されている。
化学製、商品名Ｎ６５３ ＨＮ等）Ａと、ケイソウ土、
ゼオライト或いはシリカゲルかう選ばれた少くとも１種
Ｂとを混合した清浄剤Ｃが充填されている。
清浄剤ＣのＡとＢとの混合割合は、八が多い方がＣの固
化が発生せず、Ａ／Ｂ＝１／１〜３／１が好ましい。
化が発生せず、Ａ／Ｂ＝１／１〜３／１が好ましい。
上記装置を用いてポンプ２のオイルを清浄化するには、
先ず、ポンプ２を駆動して、ドライエツチングチャンバ
ー１内を所定の真空度に保持するとともに、ポンプ２の
オイルの一部を循環させる。
先ず、ポンプ２を駆動して、ドライエツチングチャンバ
ー１内を所定の真空度に保持するとともに、ポンプ２の
オイルの一部を循環させる。
その過程において、循環オイルを清＃ＷＪＪ内の清浄剤
ＣＫ微接触せる。清浄剤Ｃはドライエツチングチャンバ
ー２より吸引され、オイル内に含有されろ酸分、水分、
１μｍ以上の劣化物よりなる微粒子、オイル分解物等よ
りなる不純分を同時に除去するので、これら不純分がオ
イル内に蓄積することがない。また、オイルの循環には
、ダイヤ７ラムポンプを使用しているので、ギヤポンプ
のようにオイル中の不純分によって摩耗され性能低下す
るようなことはなく、オイル循環は、順調に行なわれる
。したがって、ポンプ２の性能は低下せず、ドライエツ
チングチャンバー１内を長期にわたって所定の減圧ＵＫ
保持することが出来る。
ＣＫ微接触せる。清浄剤Ｃはドライエツチングチャンバ
ー２より吸引され、オイル内に含有されろ酸分、水分、
１μｍ以上の劣化物よりなる微粒子、オイル分解物等よ
りなる不純分を同時に除去するので、これら不純分がオ
イル内に蓄積することがない。また、オイルの循環には
、ダイヤ７ラムポンプを使用しているので、ギヤポンプ
のようにオイル中の不純分によって摩耗され性能低下す
るようなことはなく、オイル循環は、順調に行なわれる
。したがって、ポンプ２の性能は低下せず、ドライエツ
チングチャンバー１内を長期にわたって所定の減圧ＵＫ
保持することが出来る。
なお、上記清浄筒４の圧損失は徐々に増大するが、通常
ダイヤ７ラムボンプ３の吐出圧が７￥１に達した時点で
、オイルの循環を停止し清浄筒４を新しい清浄筒と交換
する。この変換は、一般に行なわれているような着脱自
在なカートリッジ方式が採用されワンタッチで行なわれ
、取外された清浄筒４はオイルの入った状態のまま清浄
剤メーカーに送られ、清浄剤Ｃが交換され、オイルが回
収される。したがってユーザーは、交換に人手を要せず
、高価な真空ポンプオイル、例えば７オンプリンオイル
等のロス量も極めて少なく、経済的である。
ダイヤ７ラムボンプ３の吐出圧が７￥１に達した時点で
、オイルの循環を停止し清浄筒４を新しい清浄筒と交換
する。この変換は、一般に行なわれているような着脱自
在なカートリッジ方式が採用されワンタッチで行なわれ
、取外された清浄筒４はオイルの入った状態のまま清浄
剤メーカーに送られ、清浄剤Ｃが交換され、オイルが回
収される。したがってユーザーは、交換に人手を要せず
、高価な真空ポンプオイル、例えば７オンプリンオイル
等のロス量も極めて少なく、経済的である。
次に実施例、比較例を示して本発明を説明する。
「実施例１〜３」
第１図の装置を用いて八ｅのドライエツチングを行なっ
た。
た。
すなわち、ポンプ２によりドライエツチングチャンバー
１内を１０〜２０Ｐａに保持し、標準状態でＢｅ ｅＨ
： ２７ Ｑｃｃ／′Ｍｍ、Ｃｇ２ ’、 ５０ｃｃ／
−を導入【７た。約４８時間運転した後、ポンプ２のオ
イルを、ダイア７ラムボ／プ３を用いて５０〜１００
ＣＣ／Ａｌ１１で抜出し、清浄筒４を通して循環し、清
伊化した。
１内を１０〜２０Ｐａに保持し、標準状態でＢｅ ｅＨ
： ２７ Ｑｃｃ／′Ｍｍ、Ｃｇ２ ’、 ５０ｃｃ／
−を導入【７た。約４８時間運転した後、ポンプ２のオ
イルを、ダイア７ラムボ／プ３を用いて５０〜１００
ＣＣ／Ａｌ１１で抜出し、清浄筒４を通して循環し、清
伊化した。
使用したロータリーポンプ３のオイル世ハ五５ｇ、、？
＃浄筒４は、１１５０間ｇ×４０（１＋冨り、清浄剤Ｃ
として、無定形シリカアルミナＡとケイソウ土、ゼオラ
イト或はシリカゲルより選ばれた少なくとも１ｆｉＢを
混合したちの約５ｇを用いた。
＃浄筒４は、１１５０間ｇ×４０（１＋冨り、清浄剤Ｃ
として、無定形シリカアルミナＡとケイソウ土、ゼオラ
イト或はシリカゲルより選ばれた少なくとも１ｆｉＢを
混合したちの約５ｇを用いた。
上記清浄筒４の入口圧力が７〜になるまで運転を行なっ
たが、その場合オイルには変色が認められなかった。ま
た、清浄筒４を交換して運転を続けても真空ポンプの性
能低下はなく、所定の減圧度を保持することが出来た。
たが、その場合オイルには変色が認められなかった。ま
た、清浄筒４を交換して運転を続けても真空ポンプの性
能低下はなく、所定の減圧度を保持することが出来た。
上記入口圧力が７鴇に達し、運転を停止した場合のオイ
ル中の不純分を測定し、第１表に示す。
ル中の不純分を測定し、第１表に示す。
不純分の測定は次の方法による。酸分はｃ ｇ−１Ｆ
等であるがＨＣ６ｍ算値で示し、水分はカーにフィッシ
ャー法、オイル分解物は液体クロマトで行なった。また
、生成する！ＬＩＣ／！、或いはその他方化物よりなる
粒就１μｍ以上の微粒子の測定に、ＪＩＳ−ＫＤ１０２
の工業排水試験方法中の懸濁物質試験（準じ、１４５μ
ｍのメンブランフィルタ−で濾過し、重蓋差によって求
めた。その際のオイルの洗浄液及び溶媒としては、フロ
ン１１３を使用した。
等であるがＨＣ６ｍ算値で示し、水分はカーにフィッシ
ャー法、オイル分解物は液体クロマトで行なった。また
、生成する！ＬＩＣ／！、或いはその他方化物よりなる
粒就１μｍ以上の微粒子の測定に、ＪＩＳ−ＫＤ１０２
の工業排水試験方法中の懸濁物質試験（準じ、１４５μ
ｍのメンブランフィルタ−で濾過し、重蓋差によって求
めた。その際のオイルの洗浄液及び溶媒としては、フロ
ン１１３を使用した。
「比較例１，２」
清浄剤を充填した清浄筒を用いる代りに、市販の活性ア
ルミナ焼結フィルター或いはカートリッジフィルターを
使用し、オイルの循環量を１９００ＣＣ／順とした外は
実施例と同じにしてオイルの清浄化を行なった。その結
果、１００〜２００時間で人口圧力が上昇し７〜〈達し
た時点で運転を停止した。その際オイルは白黄色に変色
していた。
ルミナ焼結フィルター或いはカートリッジフィルターを
使用し、オイルの循環量を１９００ＣＣ／順とした外は
実施例と同じにしてオイルの清浄化を行なった。その結
果、１００〜２００時間で人口圧力が上昇し７〜〈達し
た時点で運転を停止した。その際オイルは白黄色に変色
していた。
ばらにフィルターを交換し運転を継続したが、間もなく
真空ポンプの性能が低下し、２０Ｐ＆以下の真空度を保
持することが出来なくなった。
真空ポンプの性能が低下し、２０Ｐ＆以下の真空度を保
持することが出来なくなった。
上記運転を停止した際のオイル中の不純分を測定し＠１
表に示す。
表に示す。
表より本発明の方法が格段Ｋｉれていることがわかる。
以上述べたように、本発明に係る真空ポンプオイルの清
浄化方法は、種々な不純分を同時に除去し、オイル中の
不純分濃度を低く保持するので、真空ポンプの性能が持
続される。さらに清浄剤の圧損失が大きくなった場合に
は、これを交換することによって、ポンプの性能はさら
に持続されるので、半導体産業などのように真空ポンプ
に対して有害なガスを吸引して所定の減圧度を保持しな
ければならない場合に、極めて経済的に使用出来る方法
である。
浄化方法は、種々な不純分を同時に除去し、オイル中の
不純分濃度を低く保持するので、真空ポンプの性能が持
続される。さらに清浄剤の圧損失が大きくなった場合に
は、これを交換することによって、ポンプの性能はさら
に持続されるので、半導体産業などのように真空ポンプ
に対して有害なガスを吸引して所定の減圧度を保持しな
ければならない場合に、極めて経済的に使用出来る方法
である。
第１図は、本発明の方法を実施する装置のフローを示す
図である。
図である。
Claims (1)
- 酸分、水分、微粒子、オイル分解物等の不純分を含有す
る真空ポンプのオイルを、無定形シリカアルミナと、ケ
イソウ土、ゼオライト或いはシリカゲルから選ばれた少
くとも１種とよりなる清浄剤に接触させることを特徴と
する真空ポンプオイルの清浄化方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24564484A JPS61125410A (ja) | 1984-11-20 | 1984-11-20 | 真空ポンプオイルの清浄化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24564484A JPS61125410A (ja) | 1984-11-20 | 1984-11-20 | 真空ポンプオイルの清浄化方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61125410A true JPS61125410A (ja) | 1986-06-13 |
| JPH0250761B2 JPH0250761B2 (ja) | 1990-11-05 |
Family
ID=17136714
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24564484A Granted JPS61125410A (ja) | 1984-11-20 | 1984-11-20 | 真空ポンプオイルの清浄化方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61125410A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2641982A1 (fr) * | 1986-06-16 | 1990-07-27 | Quadrex Hps Inc | Procede pour l'elimination des agents toxiques du trichlorotrifluoroethane |
| CN114344949A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-04-15 | 安徽国孚润滑油工业有限公司 | 一种循环萃余油螺旋冲击式辅助排硅胶的萃余油吸附装置及方法 |
| WO2023100948A1 (ja) * | 2021-11-30 | 2023-06-08 | 大成技研株式会社 | 油水分離システム、添加装置及び油水分離方法 |
-
1984
- 1984-11-20 JP JP24564484A patent/JPS61125410A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2641982A1 (fr) * | 1986-06-16 | 1990-07-27 | Quadrex Hps Inc | Procede pour l'elimination des agents toxiques du trichlorotrifluoroethane |
| WO2023100948A1 (ja) * | 2021-11-30 | 2023-06-08 | 大成技研株式会社 | 油水分離システム、添加装置及び油水分離方法 |
| CN114344949A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-04-15 | 安徽国孚润滑油工业有限公司 | 一种循环萃余油螺旋冲击式辅助排硅胶的萃余油吸附装置及方法 |
| CN114344949B (zh) * | 2021-12-28 | 2023-05-12 | 安徽国孚润滑油工业有限公司 | 一种循环萃余油螺旋冲击式辅助排硅胶的萃余油吸附装置及方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0250761B2 (ja) | 1990-11-05 |
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