JPS61124850A - 超純水の不純物測定装置 - Google Patents
超純水の不純物測定装置Info
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- JPS61124850A JPS61124850A JP59247535A JP24753584A JPS61124850A JP S61124850 A JPS61124850 A JP S61124850A JP 59247535 A JP59247535 A JP 59247535A JP 24753584 A JP24753584 A JP 24753584A JP S61124850 A JPS61124850 A JP S61124850A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
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- G01N15/10—Investigating individual particles
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- G01N15/12—Investigating individual particles by measuring electrical or magnetic effects by observing changes in resistance or impedance across apertures when traversed by individual particles, e.g. by using the Coulter principle
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、超純水中に浮遊している微細な塵埃やバクテ
リア等の微粒子状不純物の筒数及び大きさを測定する為
の測定装置に関し、更に詳しくはサンプル容器内に設置
した検出器の細孔を不純物が通過する時の電気抵抗変化
を電圧パルスとして取出し計測するようにした電気パル
ス法による不純物測定装置に関するものである。
リア等の微粒子状不純物の筒数及び大きさを測定する為
の測定装置に関し、更に詳しくはサンプル容器内に設置
した検出器の細孔を不純物が通過する時の電気抵抗変化
を電圧パルスとして取出し計測するようにした電気パル
ス法による不純物測定装置に関するものである。
〈従来の技術〉
電気パルス法による不純物測定装置の原理を−説明すれ
ば、サンプル容器内に細孔を有する検出器を設置せしめ
、該検出器の内部とサンプル容器内に各々電極と電解液
を入れ、その電解液を通して上記電極間に電流が流れる
ようにしておき、サンプル容器内の電解液中に測定すべ
き超純水を混和させると共に、検出器の内部を陰圧状憇
にしてその細孔からサンプル容器内の液（電解液＋超純
水）を通過させ、その時不純物が検出器の細孔を通過す
ると前記両電極間の電気抵抗が変化するので、この変化
を電圧パルスとして取出し計測するようにしたものであ
る。
ば、サンプル容器内に細孔を有する検出器を設置せしめ
、該検出器の内部とサンプル容器内に各々電極と電解液
を入れ、その電解液を通して上記電極間に電流が流れる
ようにしておき、サンプル容器内の電解液中に測定すべ
き超純水を混和させると共に、検出器の内部を陰圧状憇
にしてその細孔からサンプル容器内の液（電解液＋超純
水）を通過させ、その時不純物が検出器の細孔を通過す
ると前記両電極間の電気抵抗が変化するので、この変化
を電圧パルスとして取出し計測するようにしたものであ
る。
従来のこの種不純物測定装置では、サンプル容器内に測
定すべき超純水を測定の都度バッチ式に入れていた。そ
の為に、被測定超純水をサンプル容器内に入れる時や測
定中に、大気及び大気中の塵埃やバクテリア等が混入し
てしまい、正確な測定ができない不便欠点があった。大
気中の塵埃やバクテリア等がサンプル容器内に混入する
ことはクリーンルーム内で測定すればある程度防げるが
、クリーンルームの設備には美大な費用が掛るだけでな
く、クリーンルーム内で測定しても大気の混入は避けら
れず、しかも超純水にはバクテリアの増殖を防ぐために
窒素を加圧しており、その結果超純水中に大気や窒素ガ
スが溶込んで微粒子状となり、正確な測定を妨げる不便
欠点があった。
定すべき超純水を測定の都度バッチ式に入れていた。そ
の為に、被測定超純水をサンプル容器内に入れる時や測
定中に、大気及び大気中の塵埃やバクテリア等が混入し
てしまい、正確な測定ができない不便欠点があった。大
気中の塵埃やバクテリア等がサンプル容器内に混入する
ことはクリーンルーム内で測定すればある程度防げるが
、クリーンルームの設備には美大な費用が掛るだけでな
く、クリーンルーム内で測定しても大気の混入は避けら
れず、しかも超純水にはバクテリアの増殖を防ぐために
窒素を加圧しており、その結果超純水中に大気や窒素ガ
スが溶込んで微粒子状となり、正確な測定を妨げる不便
欠点があった。
〈発明が解決しようとする問題点〉
本発明はこの様な従来の不便欠点に鑑みてなされたもの
であり、クリーンルームでない普通の部屋内で正確な測
定が行なえる超純水の不純物測定装置を提供せんとする
ものである。
であり、クリーンルームでない普通の部屋内で正確な測
定が行なえる超純水の不純物測定装置を提供せんとする
ものである。
く問題点を解決するための手段〉
係る目的を達成する本発明超純水の不純物測定装置は、
サンプル容器に超純水供給源と連通した被測定超純水供
給管を接続せしめてなることを特徴とし、また被測定超
純水供給管に′！Ｉｔｊｊｌ液槽と接続した透析装置を
接続せしめてなる事を特徴とし、また前記透析装置と被
測定超純水供給管との間に脱気装置を介在させてなる事
を特徴としたものである。
サンプル容器に超純水供給源と連通した被測定超純水供
給管を接続せしめてなることを特徴とし、また被測定超
純水供給管に′！Ｉｔｊｊｌ液槽と接続した透析装置を
接続せしめてなる事を特徴とし、また前記透析装置と被
測定超純水供給管との間に脱気装置を介在させてなる事
を特徴としたものである。
〈実施例〉
以下、本発明実施の一例を図面に基づいて説明する。
図中（１）はサンプル容器、（２）は検出器、（３）は
外部電極（マイナス電極）、（４）は内部電極（プラス
電極）であり、（ａ）は被測定超純水（超純水＋電解液
）、（ｂ）は電解液である。
外部電極（マイナス電極）、（４）は内部電極（プラス
電極）であり、（ａ）は被測定超純水（超純水＋電解液
）、（ｂ）は電解液である。
サンプル容器（１）はガラス゛等の電気絶縁材で成形し
、その内部に検出器′（２）と外部電極（３）を収容設
置すると共に、着具（５）でもって内部を気密状に構成
するものである。
、その内部に検出器′（２）と外部電極（３）を収容設
置すると共に、着具（５）でもって内部を気密状に構成
するものである。
検出器１２）は従来品と同様に、ガラス材で中空形状に
成形してその下部側壁に被測定超純水（ａ）を通す細孔
（６）を形成せしめ、内部に内部電極（４）を設置する
と共に電解液供給管（７）と排液管（８）を連通接続し
てなる。
成形してその下部側壁に被測定超純水（ａ）を通す細孔
（６）を形成せしめ、内部に内部電極（４）を設置する
と共に電解液供給管（７）と排液管（８）を連通接続し
てなる。
そして、前記外部電極（３）と内部電極（４）藺に直流
一定電流を流すと共に、パルス検出回路（９）、増巾回
路（１０）、弁別回路（１１）、計数回路（１２）、補
正回路（１３）、表示回路（１４）を順次電気的に接続
する。
一定電流を流すと共に、パルス検出回路（９）、増巾回
路（１０）、弁別回路（１１）、計数回路（１２）、補
正回路（１３）、表示回路（１４）を順次電気的に接続
する。
また、サンプル容器（１）には超純水供給源（１６）と
連通接続せしめた被測定超純水供給管（１１）を接続す
ると共に、サンプル容器（１）内の被測定超純水（ａ）
を排出させる排水管（１８）を連通接続する。即ち、サ
ンプル容器（１）の底壁部に被測定超純水供給管（１７
）を連通接続させ、側壁−に排水管（１８）を連通接続
させて、その供給管（１７）から被測定超純水（ａ）を
サンプル容器（１）内にオンラインで供給すると共に、
サンプル容器（１）内の一定以上の被測定超純水（ａ）
はオーバーフローさせて排水管（１８）からオンライン
で排出させるものである。
連通接続せしめた被測定超純水供給管（１１）を接続す
ると共に、サンプル容器（１）内の被測定超純水（ａ）
を排出させる排水管（１８）を連通接続する。即ち、サ
ンプル容器（１）の底壁部に被測定超純水供給管（１７
）を連通接続させ、側壁−に排水管（１８）を連通接続
させて、その供給管（１７）から被測定超純水（ａ）を
サンプル容器（１）内にオンラインで供給すると共に、
サンプル容器（１）内の一定以上の被測定超純水（ａ）
はオーバーフローさせて排水管（１８）からオンライン
で排出させるものである。
この様に、サンプル容器（１）を着具（５）で内部気密
状に構成すると共に、サンプル容器（１）内に被測定超
純水（ａ）をオンラインで供給排出することによって、
サンプル容器内に測定すべき超純水を入れる時は勿論、
測定中であってもサンプル容器内の被測定超純水が大気
にさらされることがなく、従ってクリーンルームでない
普通の部屋に設置して測定しても、測定すべき超純水中
に大気や大気中の塵埃、バクテリア等が混入する恐れが
なく、その結果正確な測定を行なうことが出来るように
なる。
状に構成すると共に、サンプル容器（１）内に被測定超
純水（ａ）をオンラインで供給排出することによって、
サンプル容器内に測定すべき超純水を入れる時は勿論、
測定中であってもサンプル容器内の被測定超純水が大気
にさらされることがなく、従ってクリーンルームでない
普通の部屋に設置して測定しても、測定すべき超純水中
に大気や大気中の塵埃、バクテリア等が混入する恐れが
なく、その結果正確な測定を行なうことが出来るように
なる。
被測定超純水供給管（１１）は透析装置（１５）と脱気
装置（１９）を介して超純水製造装置のユースポイント
又はそのタンク等の超純水供給源（１６）に接続せしめ
、所用濃度の電解液（通常１５％食塩水）となった脱気
された被測定超純水（ａ）をサンプル容器（１）内にオ
ンラインで供給するようになす。即ち、超純水製造装置
で製造された超純水はユースポイント又はタンク等の超
純水供給源（１６）から透析装置（１５）を通って所用
濃度の電解液となり、次いで脱気装置ｔ（１９）を通っ
て脱気され、そのまま供給管（１１）を通ってサンプル
容器（１）内にオンラインで供給されるものである。
装置（１９）を介して超純水製造装置のユースポイント
又はそのタンク等の超純水供給源（１６）に接続せしめ
、所用濃度の電解液（通常１５％食塩水）となった脱気
された被測定超純水（ａ）をサンプル容器（１）内にオ
ンラインで供給するようになす。即ち、超純水製造装置
で製造された超純水はユースポイント又はタンク等の超
純水供給源（１６）から透析装置（１５）を通って所用
濃度の電解液となり、次いで脱気装置ｔ（１９）を通っ
て脱気され、そのまま供給管（１１）を通ってサンプル
容器（１）内にオンラインで供給されるものである。
透析装置（１５）はポリビニルアルコール系中空繊維Ｉ
ＦＪ（半透１！ｌ）を多数本束ねて容器内に収納したモ
ジュールを主要部とした公知のものであり、この透析装
置を超純水供給源（１６）に連通接続すると共に、電解
液槽（２０）と接続せしめ、前記中空繊維膜（管）の内
に超純水を流通させ、この中空繊維膜の外に電解液槽（
２０）から適当な濃度の電解液（例えば２０％食塩水）
（Ｃ）を流通させることにより、中空繊維膜の透析作用
によって電解液（Ｃ）が超純水中に浸透拡散して所用濃
度（例えば１５％食塩水）の電解液となった被測定超純
水が得られる。被測定超純水＜ａ＞の電解液濃度は透析
装置（１５）に送る電解液（Ｃ）の流層によって調整す
る。図中（２１）は電解液Ｉｆ（２Ｇ）内の電解液（ｃ
）を透析装置（１５）に送るポンプであり、（２２）は
電解液用排液タンク、（２３）は流量計である。
ＦＪ（半透１！ｌ）を多数本束ねて容器内に収納したモ
ジュールを主要部とした公知のものであり、この透析装
置を超純水供給源（１６）に連通接続すると共に、電解
液槽（２０）と接続せしめ、前記中空繊維膜（管）の内
に超純水を流通させ、この中空繊維膜の外に電解液槽（
２０）から適当な濃度の電解液（例えば２０％食塩水）
（Ｃ）を流通させることにより、中空繊維膜の透析作用
によって電解液（Ｃ）が超純水中に浸透拡散して所用濃
度（例えば１５％食塩水）の電解液となった被測定超純
水が得られる。被測定超純水＜ａ＞の電解液濃度は透析
装置（１５）に送る電解液（Ｃ）の流層によって調整す
る。図中（２１）は電解液Ｉｆ（２Ｇ）内の電解液（ｃ
）を透析装置（１５）に送るポンプであり、（２２）は
電解液用排液タンク、（２３）は流量計である。
脱気装置（１９）は真空ポンプと連通接続せしめた減圧
タンク内に、気体のみを通し液体の透過を阻止する非多
孔質製チューブを収納してなる公知のものであり、その
チューブ内に所用濃度の電解液となった被測定超純水を
通すことにより溶存ガスを脱気するようにしたものであ
る。
タンク内に、気体のみを通し液体の透過を阻止する非多
孔質製チューブを収納してなる公知のものであり、その
チューブ内に所用濃度の電解液となった被測定超純水を
通すことにより溶存ガスを脱気するようにしたものであ
る。
尚図中、（２４）は電解液給水ビン（２５）内の電解液
（ｄ）を脱気して検出器（２）内に送るための脱気装置
であり、（２６）は光検出器により液高を測定するよう
にしたマノメータである。
（ｄ）を脱気して検出器（２）内に送るための脱気装置
であり、（２６）は光検出器により液高を測定するよう
にしたマノメータである。
〈発明の効果〉
本発明超純水の不純物測定装置は斯様に、サンプル容器
に超純水供給源と連通した被測定超純水供給管を接続せ
しめたので、サンプル容器内に被測定超純水を供給する
時は勿論、測定中であってもサンプル容器内に被測定超
純水をオンラインで連続して供給することが出来、仮に
塵埃やバクテリア等がサンプル容器内に混入したとして
も簡便迅速に排出されてしまい、バクテリア等の増殖も
防止することが出来、従ってクリーンルームでない普通
の部屋に設置して測定しても、正確な測定値が得られる
と共に、測定がいつでも簡便に行なえる。
に超純水供給源と連通した被測定超純水供給管を接続せ
しめたので、サンプル容器内に被測定超純水を供給する
時は勿論、測定中であってもサンプル容器内に被測定超
純水をオンラインで連続して供給することが出来、仮に
塵埃やバクテリア等がサンプル容器内に混入したとして
も簡便迅速に排出されてしまい、バクテリア等の増殖も
防止することが出来、従ってクリーンルームでない普通
の部屋に設置して測定しても、正確な測定値が得られる
と共に、測定がいつでも簡便に行なえる。
しかも、被測定超純水供給管に電解液槽と接続した透析
装置を接続せしめてなるので、被測定超純水をオンライ
ンで簡単且つ正確に所用濃度の電解液にすることが出来
ると共に、被測定超純水に電解液を混入させる際も大気
中の塵埃やバクテリア等が混入する恐れがなくなる。
装置を接続せしめてなるので、被測定超純水をオンライ
ンで簡単且つ正確に所用濃度の電解液にすることが出来
ると共に、被測定超純水に電解液を混入させる際も大気
中の塵埃やバクテリア等が混入する恐れがなくなる。
更に、所用濃度の電解液になった被測定超純水を脱気装
置で脱気してそのままオンラインでサンプル容器内に供
給するようにしたので、溶存ガスによる測定誤差をなく
することが出来、一層精度の高い測定値を得ることが出
来る。
置で脱気してそのままオンラインでサンプル容器内に供
給するようにしたので、溶存ガスによる測定誤差をなく
することが出来、一層精度の高い測定値を得ることが出
来る。
よって、所期の目的を達成し得る。
図面は本発明実施の一例を示す模式図であり、図中（１
）はサンプル容器、（２）は検出器、（１５）は透析装
置、（１６）は超純水供給源、（１７）は被測定超純水
供給管、（１９）は脱気装置、（２０）は電解液槽、で
ある。
）はサンプル容器、（２）は検出器、（１５）は透析装
置、（１６）は超純水供給源、（１７）は被測定超純水
供給管、（１９）は脱気装置、（２０）は電解液槽、で
ある。
Claims (3)
- （１）サンプル容器内に設置した検出器の細孔を不純物
が通過する時の電気抵抗変化を電圧パルスとして取出し
計測するようにした不純物測定装置において、前記サン
プル容器に超純水供給源と連通した被測定超純水供給管
を接続せしめてなる事を特徴とする超純水の不純物測定
装置。 - （２）サンプル容器内に設置した検出器の細孔を不純物
が通過する時の電気抵抗変化を電圧パルスとして取出し
計測するようにした不純物測定装置において、前記サン
プル容器に超純水供給源と連通した被測定超純水供給管
を接続せしめると共に、該供給管に電解液槽と接続せし
めた透析装置を接続せしめてなる事を特徴とする超純水
の不純物測定装置。 - （３）サンプル容器内に設置した検出器の細孔を不純物
が通過する時の電気抵抗変化を電圧パルスとして取出し
計測するようにした不純物測定装置において、前記サン
プル容器に被測定超純水供給管を接続せしめ、該供給管
に脱気装置を接続すると共に上記脱気装置と超純水供給
源との間に電解液槽と接続せしめた透析装置を介在させ
てなる事を特徴とする超純水の不純物測定装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59247535A JPS61124850A (ja) | 1984-11-21 | 1984-11-21 | 超純水の不純物測定装置 |
| US06/702,641 US4680552A (en) | 1984-11-21 | 1985-02-19 | Apparatus for measuring impurities in super-pure water without exposure to surrounding atmosphere |
| EP85301184A EP0184273A1 (en) | 1984-11-21 | 1985-02-22 | Apparatus for measuring impurities in super-pure water |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59247535A JPS61124850A (ja) | 1984-11-21 | 1984-11-21 | 超純水の不純物測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61124850A true JPS61124850A (ja) | 1986-06-12 |
Family
ID=17164939
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59247535A Pending JPS61124850A (ja) | 1984-11-21 | 1984-11-21 | 超純水の不純物測定装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4680552A (ja) |
| EP (1) | EP0184273A1 (ja) |
| JP (1) | JPS61124850A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5521510A (en) * | 1993-10-08 | 1996-05-28 | Hoechst Aktiengesellschaft | Process for monitoring for organic impurities in water |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3668991D1 (de) * | 1986-04-15 | 1990-03-15 | Yokagawa Electrofact B V | Vorrichtung zur pruefung der vollstaendigkeit einer elektrode in einem potentiometrischen elektrodensystem. |
| US4775833A (en) * | 1986-10-03 | 1988-10-04 | Coulter Electronics, Inc. | Lodged debris detector for a particle analyzer |
| IT1211721B (it) * | 1987-08-13 | 1989-11-03 | Genesis S R L | Apparecchiatura per il conteggio automatico di microrganismi eventualmente presenti in liquidi, con particolare riferimento alle acque per uso umano |
| US5945831A (en) * | 1997-06-10 | 1999-08-31 | Sargent; John S. | Volume charge density measuring system |
| CN1296140C (zh) * | 2003-01-16 | 2007-01-24 | 华南师范大学 | 大气微尘颗粒的物理分选方法 |
| CN104535479B (zh) * | 2015-01-20 | 2017-06-30 | 中国人民解放军第三军医大学第一附属医院 | 用于单个或少量细胞检测的亚太赫兹纳米生物传感器 |
Citations (4)
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| EP0184273A1 (en) | 1986-06-11 |
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