JPS61122163A - ダイヤモンド焼結体及びその製造方法 - Google Patents

ダイヤモンド焼結体及びその製造方法

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JPS61122163A
JPS61122163A JP59241904A JP24190484A JPS61122163A JP S61122163 A JPS61122163 A JP S61122163A JP 59241904 A JP59241904 A JP 59241904A JP 24190484 A JP24190484 A JP 24190484A JP S61122163 A JPS61122163 A JP S61122163A
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JP
Japan
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diamond
sintered body
gas
particles
precipitated
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Pending
Application number
JP59241904A
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English (en)
Inventor
信吾 森本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Resonac Holdings Corp
Original Assignee
Showa Denko KK
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Publication date
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  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 不発明は、ダイヤモンド微粒子間を気相法で析出したダ
イヤモンドで結合したダイヤモンド焼結体、およびその
製造法に関する〇 従来の技術 従来、ダイヤモンド焼結体を造るには、ダイヤモンドの
微粒子Y:Ni、Co等の並Xを焼結助剤として、高温
、高圧下で焼結する方法が行なわれている。しかし、こ
の方法は上記焼結助剤の艙属が焼結体に残存し、ダイヤ
モンド本来の特注が光分発傅されない。そのため、この
g!LJ!!に含有量を減少するため、ダイヤモンド微
粒子の表−に焼結助剤金!II4を薄くコーティングし
た仮、高温、亮圧下で焼結させたり、さらには、ダイヤ
モンド焼結体より、含まれる逮属な#出てる方法などが
開発されている。
しかし、上記方法によって遺られたダイヤモンド焼結体
は、含有量の多寡はあるが、不質的にダイヤモンドに比
して強直の劣るfe属が含まれるため、ダイヤモンド単
体の′#注と異るものとなり。
ダイヤモンドの特注を十分に@揮出来ない欠点があった
不発明は上記の$情に鑑み、ダイヤモンド単味の焼結体
Hよびその製造法を提供することにある。
問題点を解決するための手段 高温、高圧法ではダイヤモンド単味の焼結体は得られな
いと云われている。
一万Cv口においては、原料炭化水素の熱分解に工って
析出する黒鉛は、キャリアガスの水素から発生する水素
原子によりC)i、となって消失することが知られてS
す、また、CVI)によってダイヤモンドを基板上に析
出した場合、先ず核が発生し、それが成長じて遂に相互
に合体して膜状となるが、この膜の横方向の結合力は強
(、その弾a軍は天然ダイヤモンドの90憾近くを示す
。したがってダイヤモンド粒子を基板としてCvDに工
りダイヤモンドを析出して合体させれば、結合力の強い
ダイヤモンド焼結体が得られる筈で1間遍は粒子間を効
率よく埋め得るか否かである。
不発明省等は、CVDダイヤモンド合gaによる焼結体
の製造の可能性を鋭意研究した結果、ダイヤモンド粒子
を気相法により析出したダイヤモンドによって結合する
ことが司舵であることな知見し心。
不発明は上記の知見に基づいてなされたもので。
その要旨は、ダイヤモンド粒子間に気相法により析出し
たダイヤモンドを充填し、粒子同志を結合してなるダイ
ヤモンド焼結体、Sよびダイヤモンド粒子の果合体な″
A相伝ダイヤモンド析出条件下に設置し、この果合体中
に水素又は水素と不t8注ガスで希釈した炭化水素ガス
′?:通し、…1記ダイヤモンド粒子間にダイヤモンド
を析出させるダイヤモンド焼結体のaa方云にある。
本発明に用いるダイヤモンド粒子は、静圧法等で合成し
たダイヤモンド粉粒体で、粒度は特に限定されないが、
ダイヤモンド果合体は、ガスが通り易いことが必要で1
粒度が小さい場合には、上記果合体の層の厚さは、厚く
ない方がよい。
炭化水素を希釈するガスは周知の水素又は水素とアルゴ
ン等の不活性ガスの混合ガスを用いることが出来る。
炭化水素ガスは、入手が容易で安価なことがらCH4が
好ましいカ、エタン、プロパン、エチレン等、気相法ダ
イヤモンドの析出条件において熱分解して炭素な析出す
るものであればいずれも便用出来る。
第1図は、不発明に係るダイヤモンド焼結体を製造する
装置の一実施例を示すもので1図中符号1は低部が多孔
fla(例えば石英の焼結体又は石英板に小さい穴を多
数あけたもの等Jとなっている石英ガラス製の容器であ
る。この容器1は石英ガラス製のケース2内には部を挿
入して気密に取付けられている。上記容器1円には、別
途合成された所定盆のダイヤモンド粒子が充填されダイ
ヤモンド果合体3が形成されている。上記容器1の上端
部には、炭化水素ガス、水素ガス、不活性ガスのガス供
給源4エリ、それぞれのガスを所定の混合比、流速で蚕
#r1円に導入するガス導入管4aが接+fされている
。またケース2には、ケース2お工び容器1内ン1う1
定の減圧度に保持する排気装置(例えばロータリーポン
プ)5が排気管5aを弁じて接続されている。また、マ
イクロ波発振磯6が設けられ、この発振機6エリのマイ
クロ波が導波管6aを通って上記ダイヤモンド果合体に
到るようになっている。
なお、図示してないが、ダイヤモンド粒子充填層の外側
に加熱装置41−設け、ダイヤモンド粒子充填層の温反
を調節することもできる。
上記装置を用いてダイヤモンド焼結体をつくるには、嘴
定童のダイヤモンド粒子ftG器1内に充填し、ガス導
入管4a七m続し、排気装置5を作動してケース2お工
び容器、1内ヲF9r定の減圧度に保持てる。仄いで炭
化水素ガスSよび水素ガス或い・は水素、、jf、’ス
・と不活性ガス4r:Ffr定の割合に混合して容器1
内に導入する。しかる後マイクロ波発振磯6によって無
極放WLt発生させ、導入されたガスをプラズマ状態と
するとともVこ、ダイヤモンド果合体3%r:F9r定
の@匿に加熱する。プラズマ状態の原料ガスは、ダイヤ
モンド果合体3ン通過するが、その際、加熱されてダイ
ヤモンドが析出される。この析出されたダイヤモンドは
、果合体30粒子間に充填され、01つ粒子間を結合し
てダイヤモンド焼結体が得られる。
上記説明はマイクロ波を用いているが、これに代えて高
周波を用いてもよい。その場合には、マイクロ波発振機
、導波管の代りに、ケース2又は容器1の周囲にコイル
を巻き、高周波電流を流すことによってダイヤモンド集
合体を加熱し、かつ導入ガスを励起する。
ダイヤモンド集合体3にダイヤモンドを析出させる条件
は、公知のCVDダイヤモンドの製造条件がそのまま使
用出来る。
一例を示せば、 (al  ケース、容器の真空度:5〜1OQTorr
(b)  ダイヤモンド集合体の温度;750〜950
℃ (C)  導入ガスの混合比は、使用するガスによって
異なるが1、例えば、CH,とH冨の場合・”H4/H
t = 10〜0.001、(d)  マイクロ波を使
用する場合、マイクロ波は700MHz 〜9000M
Hzが適当テアリ、例えば公用の2450MHzが好適
である口(e)  高周波を使用する場合、fi11周
波は、1、M・ftv〜50MHzが適当であり、例え
ば公用の13.56M)izが好適である。
また、反応時間は、容器に入れるダイヤモンド集合体3
の空隙率によって異なるが、例えば空隙率が50%の場
合、集合体3の厚さ1mm当り10〜20時間で充填が
ほぼ完了する。
本発明で得られる焼結体の代表例を示せば焼結体中ダイ
ヤモンド粒子は、20〜70重酸%、CVD析出ダイヤ
モンドは80〜30重It%である。
実施例 次に実施例を示して本発明を説明する。
〔実施例1〕 男1図に示した反応装置を用い、平均粒径;10μmの
粒状ダイヤモンドを容器lに入れてダイヤモンド巣合体
3の厚み2mmとし、ケース内を30〜50TorrK
IM持してC)l、/)iy :1vol/99vol
のガスヲ流しながら、出カニ400W、2.45GHz
のrイクa波9e送って、上記ガスをプラズマ状態とす
るとともに、上記ダイヤモンド巣合体3火800〜90
0’Cに保持してダイヤモンドン析出させ、15時間後
に気相焼結されたダイヤモンドを得た。このダイヤモン
ド焼結体は、やや黒つぼ(着色しており、シ度:600
0kg/mm  (ヌープ11f、計Kzる測定]1弾
弾車率60ton/mm  、密度=3.2ag/cm
3であった。焼結体中CVIJ析出ダイヤそンドは約4
0東tSであった。
〔実施例2〕 ダイヤモンド果合体3の温度コントロールを容易にする
ため、渠2図に示す工うに、その位@yr’マイクロ波
の中心エリガス下流側にやや移動せしめ1周囲にセット
した加熱源7にLつ【、ダイヤモンド果合体火8506
Cの温度と保ち、プラズマ状態の導入ガスがダイヤモン
ド果合体火造過する工うにした他は、実施例1と同じよ
うにしてダイヤモンド焼結体を遺った。
このダイヤモンド焼結体は、実施例1のものより白色で
あり、 !1![:6500kg/mm  (X−プ1
11!度計による測定]、弾性率ニア0ton/mm、
密度:3,25g/cm  であった。
以上述へたように、不発明に係るダイヤモンド焼結体′
J6よびそのjB造方法は、ダイヤモンド粉粒体よりな
る層に、プラズマ状態の原料ガス欠通過せしめ1粒子間
火気相法(工って析出したダイヤモンドによって結合す
るので、ダイヤモンド単味に近い物性の焼結体が容易に
得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は1本発明に係るダイヤモンド焼結体の製造装置
の一実49!lを示す図、第2図は、第1図のダイヤモ
ンド果合体の位ifを原料ガス下流側に移動せしめた装
置の図である。 1°°・容器、la・・・多孔板、2・・・ケース、3
・・・ダイヤモンド果合体、4・・・ガス供給#、4a
・・・ガス尋人管、5・・・排気装置、5a・・・排気
管。 6・・・マイクロ元振機、6a=°尋波t。 第2図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)ダイヤモンド粒子間に気相法により析出したダイ
    ヤモンドを充填し、粒子同志を結合してなるダイヤモン
    ド焼結体。
  2. (2)ダイヤモンド粒子の果合体を気相法ダイヤモンド
    析出条件下に設置し、この集合体中に水素又は水素と不
    活性ガスで希釈した炭化水素ガスを通し、前記ダイヤモ
    ンド粒子間にダイヤモンドを析出させることを特徴とす
    るダイヤモンド焼結体の製造方法。
JP59241904A 1984-11-16 1984-11-16 ダイヤモンド焼結体及びその製造方法 Pending JPS61122163A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0251413A (ja) * 1988-04-28 1990-02-21 De Beers Ind Diamond Div Ltd ダイヤモンドをダイヤモンドに結合する方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0251413A (ja) * 1988-04-28 1990-02-21 De Beers Ind Diamond Div Ltd ダイヤモンドをダイヤモンドに結合する方法
JPH0653638B2 (ja) * 1988-04-28 1994-07-20 デ ビアス インダストリアル ダイアモンド デイビジヨン(プロプライエタリイ)リミテツド ダイヤモンドをダイヤモンドに結合する方法

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