JPS61121249A - 電子線像情報の記録再生方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の分野］ 本発明は、電子線像情報の記録再生方法に関するもので
ある。更に詳しくは本発明は、試料の透過電子線像また
は反射電子線像を、高感度かつ高精度にて記録再生する
ことが可能な電子線像情報の記録再生方法に関するもの
である。

［発明の背景］ 真空下にて電子線を試料に照射し、その透過電子線像あ
るいは反射電子線像を得る電子顕微鏡装置や電子線回折
装置は以前より知られている。

電子Ｗ４微鏡装置では、試料を透過した電子線により対
物レンズの後熱平面に試料−の回折パターンが形成され
、その回折線が再び干渉して試料の拡大像が形成される
ようになっている。従って投影レンズにより上記の拡大
像を投影すれば試料の拡大像（散乱像）が観察され、ま
た上記後熱平面を投影すれば拡大された試料の回折パタ
ーンが観察される。なお対物レンズと投影レンズとの間
に中間レンズを配置しておけば、この中間レンズの焦点
距離を調節することにより、上述の拡大像（散乱像）あ
るいは回折パターンが随意に得られる。また、電子線回
折装置では試料表面に電子線を照射し、反射してくる回
折線を記録して回折パターンを得るもの（反射法）と試
料を透過してくる回折線を記録して回折パターンを得る
もの（透過法）とがある。

上述の拡大像あるいは回折パターン（以下、これらを電
子線像という）を可視画像とするための手段として一般
に、結像面に写真フィルムを置いて、これに電子線像を
記録したり、あるいはイメージインテンシファイアを配
して電子線像を増幅投影する方法が利用されている。し
かし写真フィルムは電子線に対して感度が低い上に、現
像処理が面倒であるという欠点を有し、一方イメージイ
ンテンシファイアを用いる場合、画像の鮮鋭度が低い上
、画像に歪みが生じやすいという問題がある。

さらに上記のようにして記録された電子線像に対しては
、その画像を見易くする等の目的で階調処理、周波数強
調処理、濃度処理、減算処理、加算処理等の画像処理や
、フーリエ解析法による三次元像の再構成、画像の二値
化および粒子径測定等のための画像解析、さらには回折
パターンの処理（結晶情報の解析、格子定数、転移、格
子欠陥の解明等）等の処理が施されることが多い。

このような処理は、従来では写真フィルムを現像して得
た可視画像をミクロフォトメータで読み取って、これを
電気信号に変換し、この電気信号を例えばＡ／Ｄ変換し
てからコンピュータを用いて処理するというような煩雑
な作業によって行なっていた。

［発明の目的］ 本発明は、電子線像もしくは該電子線像に対応する各種
の情報（以下、これらを電子線像情報という）を高感度
かつ高精度にて記録再生することを可能にし、しかも該
電子線像情報に対して各種の処理を容易に施すことがで
きるような電子線像情報の記録再生方法を提供すること
を目的とするものである。

［発明の要旨］ 本発明は、電子顕微鏡装置内または電子線回折装置内な
どにおいて試料を透過した、または試料から反射した電
子線像を１表面に保護膜を備えることなく露出した蓄積
性蛍光体層を有する蓄積性蛍光体シートに電子線エネル
ギー潜像として記録し１次いで該蓄積性蛍光体シートに
蓄積された電子線エネルギーの少なくとも一部を該蓄積
性蛍光体シートに電磁波を照射することにより蛍光とし
て放出させ、この蛍光を検知したのち、検知された蛍光
に光電処理を施すことによって該試料の電子線像情報を
得ることからなる電子線像情報の記録再生方法からなる
ものである。

なお、本発明において用いられる電子線像情報との用語
は、電子線像そのものと、電子線像を数値の組合わせな
どの記号として表わしたデジタル情報などを含む意味で
用いられている。

［発明の詳細な記述］ 本発明は、電子顕微鏡装置や電子線回折装置において形
成された試料の電子線像の記録再生方法として、保護膜
を表面に備えることなく、その表面が露出した蓄積性蛍
光体層を有する蓄積性蛍光体シートを用いることを特徴
とするものである。

蓄積性蛍光体シートは、基本構造として、支持体と、そ
の片面に設けられた少なくとも一層の蛍光体層とからな
るもので、この基本構造は既に公知である。蛍光体層は
、輝尽性蛍光体とこの輝尽性蛍光体を分散状態で含有支
持する結合剤からなる。これまで、Ｘ線撮影などに用い
られる蓄積性蛍光体シートにおいては通常、蛍光体層の
表面（支持体に而していない側の表面）には一般に。

透明な保護膜が設けられていて、蛍光体層を化学的な変
質あるいは物理的な衝撃から保護している。

これに対して、本発明で用いる蓄積性蛍光体シートの蛍
光体層はその表面に保護膜が設けられておらず、その表
面が露出していることを特徴とする。

すなわち、公知の蓄積性蛍光体シートを利用する画像再
生系の代表的な系であるＸ線撮影などにおいては、透過
用保護膜としては、特に厚いものでない限り、任意の膜
厚のものを利用することができ、通常は膜厚１０ｇ、ｍ
程度のものが利用されている。しかしながら、本発明者
の研究によると、このような膜厚１０Ｂｍ程度の透明保
護膜を備えた蛍光体層を有する蓄端性蛍光体シートを電
子線像の画像記録手段として用いた場合、得られる画像
の鮮鋭度が必ずしも満足できるレベルに達しないことが
判明した。

本発明者はその理由を更に研究した結果、電子顕微鏡や
電子線回折に用いられる電子線は、透明保護膜として用
いられるプラスチック材料により散乱されやすく、また
蛍光体層に記録蓄積された電子線エネルギー像（′ＷＩ
像）を読み出す際に用いられるレーザーなどの電磁波（
励起光）も透明保護膜により散乱される傾向があり、こ
れらの作用が再生画像の鮮鋭度を低下させる原因となる
との結論に到達した。そして、本発明者は上記の結論に
基づき更に研究を進めた結果、蓄積性蛍光体シートの蛍
光体層の表面にむしろ保護膜を設けるこ゛となく蛍光体
層を露出面とすることにより実用上満足できる鮮鋭度を
有する再生画像が得られることを見い出して本発明に到
達したものである。

一般にＸ線撮影系で用いられる蓄積性蛍光体シートは大
気中で処理され、かつ種々の搬送系により移動される場
合が多く、このため蛍光体層の物理的あるいは化学的な
劣化が発生しやすい、従って従来の蓄積性蛍光体シート
は殆ど保護膜を付設した形態にて利用されてきた。しか
しながら、電子線像撮影系にて用いる蓄積性蛍光体シー
トについては、少なくとも電子線像記録操作は真空系内
で実施され、また記録画像の読出しも真空系内で行なわ
れることが多く、さらに蓄積性蛍光体シートの搬送系も
比較的単純な系となることが多いから、蛍光体層の物理
的あるいは化学的な劣化が発生しにくい、従って１本発
明の検討によると電子線像情報記録再生用の蓄積性蛍光
体シートにおいては、保護膜を省略して蛍光体層の表面
を露出させ、この露出表面に直接電子線を照射すること
が有利であることが判明した。

上記の構成を有する蓄積性蛍光体シートは、たとえば、
まず粒子状輝尽性蛍光体と結合剤とをアルコール、ケト
ン、エーテルなどの適当な溶剤に加え、これを充分に混
合して、結合剤溶液中に輝尽性蛍光体が均一に分散した
塗布液を調製し、これを支持体に塗布したのち、乾燥す
る方法により形成することができる。

輝尽性蛍光体は、電子線を照射した後、電磁波（励起光
）を照射すると輝尽発光を示す蛍光体であるが、実用的
な面からは波長が４００〜９００ｎｍの範囲にある励起
光によって３００〜５００ｎｍの波長範囲の輝尽発光を
示す蛍光体であることが望ましい、蓄積性蛍光体シート
に用いられる輝尽性蛍光体の例としては、 （１）米国特許第３．８５９，５２７号明細書に記載さ
れているＳｒＳ：Ｃｅ、Ｓｍ、ＳｒＳ：Ｅｕ　、Ｓｍ’
、’Ｔｈ０２　：Ｅｒ、およびＬａｚＯｚＳ：Ｅｕ、Ｓ
ｍ、 （２）特開昭５５−１２１４２号公報に記載されている
ＺｎＳ：Ｃｕ、Ｐｂ、Ｂａ０ＩＩｘＡ９．ｚｏ３：Ｅｕ
（ただし、０．８≦Ｘ≦１０）、および、Ｍｌ［ｏｌＩ
ＸＳｉＯ２：Ａ（ただし、Ｍ　”　ＬｔＭｇ、Ｃａ、Ｓ
　ｒ、Ｚｎ、Ｃｄ、またはＢａであり、ＡはＣｅ、Ｔｂ
、Ｅｕ、Ｔｍ、Ｐｂ、１文。

Ｂｉ、またはＭ　ｎ　＋あり、Ｘは、０．５≦Ｘ≦２．
５である）。

（３）特開昭５５−１２１４３号公報に記載されている
ＣＢ　＆５−ｘ−ｙ　ｔ　Ｍｇｘ　、　Ｃａｙ）　ＦＸ
：ａＥｕ２＋（ただし、ＸはＣｌおよびＢｒのうちの少
なくとも一つであり、Ｘおよびｙは、０くｘ＋ｙ≦０．
６、かつＸ７＃０であり、ａは、ｉｏ″≦ａ≦５Ｘ１０
−”ｔ’ある）、（４）特開昭５５−１２１４４号公報
に記載されていｊＬｎＯＸ：ｘＡ（ただし、ＬｎはＬａ
、Ｙ、Ｇｄ、およびＬｕのうちの少なくとも一つ、Ｘは
Ｃ１およびＢｒのうちの少なくとも一つ、ＡはＣｅおよ
びＴｂのうちの少なくとも一つ、そして、Ｘは、０＜ｘ
＜Ｏ、Ｌである）、 （５）特開昭５５−１２１４５号公報に記載されている
ＣＢ　ａ　ｌ−Ｘ　、　Ｍ２＋Ｘ）　ＦＸ　：　７　Ａ
　（ただし、Ｍ”ｔ±Ｍｇ、Ｃａ、Ｓ　ｒ、Ｚｎ、およ
びＣｄのうちの少なくとも一つ、ＸはＣ１、Ｂｒ、およ
び工のうちの少なくとも一つ、ＡはＥｕ、Ｔｂ、Ｃｅ、
Ｔｍ、　Ｄｙ、Ｐｒ、Ｈｏ、Ｎｄ、Ｙｂ。

およびＥｒのうちの少なくとも一つ、モしてＸは、Ｏ≦
Ｘ≦０．６、ｙは、０≦ｙ≦０．２である）、 （６）特開昭５５−１６００７８号公報に記載されてい
るＭ冨ＦＸ−ｘＡ：ｙＬｎ［ただし。

ＭＵはＢａ、Ｃａ、Ｓ　ｒ、Ｍｇ、Ｚｎ、およびＣｄの
うちの少なくとも一種、ＡはＢｅ０１Ｍｇ０．Ｃａｂ、
ＳｒＯ，Ｂａｄ、ＺｎＯ，Ａ文２０３、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ
２Ｏ３、Ｉｎ２Ｏ３，ＳｉＯ□、Ｔ　ｉ　Ｏ２、Ｚ　ｒ
ｏｚ、Ｇｅｍ□、ＳａＯ２、Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａｚ０５、
およびＴｈＯ２のうちの少なくとも一種、ＬｎはＥｕ、
Ｔｂ、Ｃｅ、Ｔｍ、Ｄｙ、Ｐｒ、Ｈｏ、Ｎｄ、Ｙｂ、Ｅ
ｒ、Ｓ　ｍ　、　、およびＧｄのうちの少なくとも一種
、ＸはＣｆＬ、Ｂｒ、およびＩのうちの少なくとも一種
であり、Ｘおよびｙはそれぞれ５Ｘ１０４≦Ｘ≦０．５
、およびＯ＜７≦０．２である］の組成式で表わされる
蛍光体、 （７）特開昭５６−１１６７７７号公報に記載されてい
る（Ｂａｔ−ｘ　、Ｍ”ｘ）Ｆ２　・ａＢａＸ２：ｙＥ
ｕ、ｚＡ［ただし１Ｍ菫はベリリウム、マグネシウム、
カルシウム、ストロンチウム、亜鉛、およびカドミウム
のうちの少なくとも一種、Ｘは塩素、臭素、および沃素
のうちの少なくとも−ｓ、Ａはジルジニウムおよびスカ
ンジウムのうちの少なくとも一種であり、ａ、ｘ、ｙ、
および２はそれぞれ０．５≦ａ≦１．２５、Ｏ≦Ｘ≦１
．１０４≦ｙ≦２　Ｘ　ｌ　Ｏ−”、および０＜ｚ≦ｌ
Ｏ″４である］の組成式で表わされる蛍光体。

（８）特開昭５７−２３８７３号公報に記載されている
ＣＢ　ａｌ−ｘ　、Ｍ”ｘ）Ｆｚ　・ａＢａＸ２：ｙＥ
ｕ、ｚＢ［ただし、Ｍｌはベリリウム、マグネシウム、
カルシウム、ストロンチウム、亜鉛、およびカドミウム
のうちの少なくとも一種、Ｘは塩素、臭素、および沃素
のうちの少なくとも一種であり、＆、Ｘ、７、および２
はそれぞれ０．５≦ａ≦１．２５．０≦Ｘ≦１．１０”
≦ｙ≦２　Ｘ　１０−’、およびＯ＜ｚ≦２　Ｘ　ｌ　
Ｏ−’である］の組成式で表わされる蛍光体、 （９）特開昭５７−２３６７５号公報に記載されている
（Ｂ　ａｔ−Ｘ　、Ｍ”！’）Ｆ２ａ　ａＢ　ａｌ２：
ｙＥｕ、ｚＡ［ただし、Ｍｌはベリリウム、マグネシウ
ム、カルシウム、ストロンチウム、亜鉛、およびカドミ
ウムのうちの少なくとも一種。

Ｘは塩素、臭素、および沃素のうちの少なくとも一種、
Ａは砒素および硅素のうちの少なくとも一種であり、ａ
、ｘ、ｙ、およびＺはそれぞれ０．５≦ａ≦１．２５．
０≦Ｘ≦１．１０−６≦ｙ≦２ＸＩＯ−’、およびＯ＜
ｚ≦５ｘｔｏ−”−＋＝ある］の組成式で表わされる蛍
光体、 （１０）特開昭５８−２０６６７８号公報に記載されて
いるＢ　ａ　１−　Ｘ　Ｍ　Ｘ　／２Ｌ　Ｘ　／２Ｆ　
Ｘ　：ＹＥｕ２＋［ただし、ＭはＬｉ、Ｎａ、に、Ｒｂ
。

およびＣｓからなる群より選ばれる少なくとも一種のア
ルカリ金属を表わし；Ｌは、Ｓｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐ
ｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ
、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ、Ａ文、Ｇａ、Ｉｎ、および１文か
らなる群より選ばれる少なくとも一種の三価全屈を表わ
し；Ｘは、０文、Ｂｒ、および工からなる群より選ばれ
る少なくとも一種のハロゲンを表わし；そして、又は１
０′″２≦Ｘ≦ｏ、ｓ、ｙはｏ＜ｙ≦０，１である］の
組成式で表わされる蛍光体、 （工１）特開昭５９−２７９８０号公報に記載されてい
るＢａＦＸ＊ｘＡ：ｙＥｕ＆しただし、Ｘは、Ｃ１、Ｂ
ｒ、および工からなる群より選ばれる少なくとも一種の
ハロゲンであり：Ａは、テトラフルオロホウ酸化合物の
焼成物であり；そして、Ｘは１０４≦Ｘ≦０．１、ｙは
Ｏ＜７≦０．１である］の組成式で表わされる蛍光体、
（１２）特開昭５９−４７２８９号公報に記載されてい
るＢａＦＸ＊ｘＡ：ｙＥｕ”［ただし、Ｘは、Ｃ１，Ｂ
ｒ、および工からなる群より選ばれる少なくとも一種の
ハロゲンであり；Ａは、ヘキサフルオロケイ酸、ヘキサ
フルオロチタン酸およびヘキサフルオロジルコニウム酸
の一価もしくは二価金属の塩からなるヘキサフルオロ化
合物群より選ばれる少なくとも一種の化合物の焼成物で
゛　あり；そして、Ｘは１０４≦Ｘ≦Ｏ−１，ｙは０く
ｙ≦０．１である］の組成式で表わされる蛍光体、 （１３）特開昭５９−５６４７９号公報に記載されティ
るＢａＦＸＩＩｘＮａＸ’：ａＥｕ”　［ただし、Ｘ８
よびＸｏは、それぞれＣ２、Ｂｒ、およびＩのうちの少
なくとも一種であり、ＸおよびａはそれぞれＯ＜ｘ≦２
、およびＯｖａ≦０．２である］の組成式で表わされる
蛍光体、 （１４）特開昭５９−５６４８０号公報に記載されティ
るＭ”　ＦＸ　＠ｘＮａＸ’：ｙＥ　ｕ２＋：　ＺＡ［
ただし　Ｍｌは、Ｂ＆、Ｓｒ、およびＣａからなる群よ
り選ばれる少なくとも一種のアルカリ土類金属であり；
ＸおよびＸｏは、それぞれＣ１、Ｂｒ、およびＩからな
る群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンであり：Ａ
は、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、およびＮｉより選ば
れる少なくとも一種の遷移金属であり；そしてＸはＯ＜
ｘ≦２、ｙはｏ＜ｙ≦０．２、および２は０＜Ｚ≦１０
″４である］の組成式で表わされる蛍光体、（１５）特
開昭５９−７５２００号公報に記載さｎ　テｌ、％　６
　Ｍ菫ＦＸ＊　ａＭ！Ｘ’　・ｂＭ’　”Ｘｏ２＊　ｃ
Ｍ”Ｘ”、　＠ｘＡ　＝　ｙＥ　ｕ２＋［ただし、Ｍｆ
ｆはＢａ、Ｓｒ、およびＣａからなる群より選ばれる少
なくとも一種のアルカリ土類金属であり、　Ｍ　ＫはＬ
ｉ、Ｎａ、に、Ｒｈ、およびＣｓからなる群より選ばれ
る少なくとも一種のアルカリ金属であり；Ｍ°冨はＢｅ
およびＭｇからなる群より選ばれる少なくとも一種の二
価金属であり；Ｍ　ＮはＡ２、Ｇａ、Ｉｎ、およびＴｌ
からなる群より選ばれる少なくとも一種の二価金属であ
り；Ａは金属酸化物であり；ＸはＣＩ、Ｂｒ、および■
からなる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンであ
り；Ｘ’、ｘ”、およびＸ″°は、Ｆ、０文、Ｂｒ、お
よびＩからなる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲ
ンであり；そして、ａは０≦ａ≦２、ｂはＯ≦ｂ≦ｉｏ
４、ＣはＯ≦Ｃ≦１０４、かつａ−１７ｂ＋ｃ≧１０″
であり；Ｘは０＜Ｘ≦０．５、ｙはｏ＜ｙ≦０．２であ
る］の組成式で表わされる蛍光体、および （１６）特願昭５８−１９３１６１号明細書に記・成さ
れたＭ”Ｘｚ　＊　ａＭ”Ｘ’　２：　ｘＥｕ　［ただ
し、Ｍｌ［はＢａ、Ｓｒ、およびＣａからなる群より選
ばれる少なくとも一種のアルカリ土類金属であり：Ｘお
よびＸｏは、Ｃ立、Ｂｒ、および工からなる群より選ば
れる少なくとも一種のハロゲンであって、かつＸ＃Ｘ’
であり：そして、ａは０．１≦ａ≦１０．．０の範囲の
数値であり、Ｘは０＜Ｘ≦０．２の範囲の数値である〕
なる組成式で表わされる蛍光体、 などを挙げることができる。

上記の輝尽性蛍光体のうちで、二価ユーロピウム賦活ア
ルカリ土類金属ハロゲン化物系蛍光体［（３）、（５）
〜（１６）］および希土類元素賦活希土類オキシハロゲ
ン化物系蛍光体（４）は高輝度の輝尽発光を示すので特
に好ましい、ただし１本発明に用いられる輝尽性蛍光体
は上述の蛍光体に限られるものではなく、電子線を照射
したのちに励起光を照射した場合に、輝尽発光を示す蛍
光体であればいかなるものであってもよい。

蛍光体層の結合剤の例としては、ゼラチン等の蛋白質、
デキストラン等のポリサッカライド、またはアラビアゴ
ムのような天然高分子物質：および、ポリビニルブチラ
ール、ポリ酢酸ビニル、二トロセルロース、エチルセル
ロース、塩化ヒニリデン・塩化ビニルコポリマー、ポリ
アルキル（メタ）アクリレート、塩化ビニルΦ酢酸ビニ
ルコポリマー、ポリウレタン、セルロースアセテートブ
チレート、ポリビニルアルコール、線状ポリエステルな
どような合成高分子物質などにより代表される結合剤を
挙げることができる。このような結合剤・のなかで特に
好ましいものは、ニトロセルロース、線状ポリエステル
、ポリアルキル（メタ）アクリレート、ニトロセルロー
スと線状ポリエステルとの混合物およびニトロセルロー
スとポリアルキル（メタ）アクリレートとの混合物であ
る。

なお、これらの結合剤は架橋剤によって架橋されたもの
であってもよい。

結合剤と輝尽性蛍光体との混合比は、目的とする蓄積・
性質光体シートの特性、蛍光体の種類などによって異な
るが、一般には結合剤と蛍光体との混合比は、１：１乃
至ｔ　：　ｉｏｏ　（重量比）の範囲から選ばれ、そし
て特に１：８乃至に４０（重量比）の範囲から選ぶこと
が好゛ましい。

支持体としては、従来の電子線写真法における増感紙（
または増感用スクリーン）の支持体として用いられてい
る各種の材料、あるいは蓄積性蛍光体シートの支持体と
して公知の材料から任意に選ぶことができる。そのよう
な材料の例としては、セルロースアセテート、ポリエス
テル、ポリエチレンテレフタレート、ポリアミド、ポリ
イミド、トリアセテート、ポリカーボネートなどのプラ
スチック物質のフィルム、アルミニウム箔、アルミニウ
ム合金箔などの金属シート、通常の紙。

バライタ紙、レジンコート紙、二酸化チタンなどの顔料
を含有するピグメント紙、ポリビニルアルコールなどを
サイジングしだ紙などを挙げることができる。

ただし、蓄積性蛍光体シートの情報記録材料としての特
性および取扱いなどを考慮した場合、本発明において特
に好ましい支持体の材料はプラスチックフィルムである
。このプラスチックフィルムにはカーボンブラックなど
の光吸収性物質が練り込まれていてもよく、あるいは二
酸化チタンなどの光反射性物質が練り込まれていてもよ
い。

公知の蓄積性蛍光体シートにおいて、支持体と蛍光体層
の結合を強化するため、あるいは蓄積性蛍光体シートと
しての感度もしくは画質（ｇ親爪、粒状性）を向上させ
るために、蛍光体層が設けられる側の支持体表面にゼラ
チンなどの高分子物質を塗布して接着性付与層としたり
、あるいは二酸化チタンなどの光反射性物質からなる光
反射層、もしくはカーボンブラックなどの光吸収性物質
からなる光吸収層などを設けることが知られている０本
発明において用いられる蓄積性蛍光体シートの支持体に
ついても、これらの各種の層を設けることができ、それ
らの構成は所望の蓄積性蛍光体シートの目的、用途など
に応じて任意に選択することができる。

更に、本出願人による特開昭５８−２００２００号公報
に記載されているように、得られる画像の鮮鋭度を向上
させる目的で、支持体の蛍光体層側の表面（支持体の蛍
光体層側の表面に接着性付与層、光反射層あるいは光吸
収層などが設けられている場合には、その表面を意味す
る）には微小の凹凸が形成されていてもよい。

本発明の電子顕微鏡画像情報の記録再生方法において用
いられる蓄積性蛍光体シートに備えられる蛍光体層の層
厚は通常は３００．ｃｍ以下とされる。ただし、蛍光体
層の層厚は１０〜１５０　ｇｍの範囲内とすること好ま
しい。

なお、蓄積性蛍光体シートの製造に際して輝尽性蛍光体
層は、必ずしも上記のように支持体上に塗布液を直接塗
布して形成する必要はなく、たとえば、別に、ガラス板
、金属板、プラスチ７クシートなどのシート上に塗布液
を塗布し乾燥することにより蛍光体層を形成したのち、
これを、支持体上に押圧するか、あるいは接着剤を用い
るなどして支持体と蛍光体層とを接合してもよい。

さらに、塗布液には、画像の鮮鋭度を向上させる目的で
、輝尽性蛍光体の励起光波長領域における平均反射率が
、輝尽性蛍光体の輝尽発光波長領域における平均反射率
よりも小さいような反射特性を有する着色剤が含有され
ていてもよい。そのような着色剤としては、たとえば、
特開昭５５−１６３５００号公報および特開昭５７−９
６３００号公報に開示されているような着色剤を挙げる
ことができる。あるいは、同じく画像の鮮鋭度を向上さ
せる目的で、塗布液には特開昭５５−１４６４４７号公
報に記載されているような白色粉体が含有されていても
よい、なお蓄積性蛍光体シートの形状はエンドレスベル
ト状、ロール状、一枚毎に切りはなされた形状等のいず
れであってもよい。

上述のような方法によって形成される蓄積性蛍光体層に
おける蓄積性蛍光体粒子と結合剤との比率は層全体に実
質的に均一であるか、あるいは蛍光体層の深さ方向に連
続して若干変化する程度であり、いずれも層全体として
、その比率はほぼ均一である。

しかし、本発明において用いる蓄積性蛍光体シートは、
その蛍光体層の表面相を実質的に結合剤のみからなるよ
うにし、蛍光体粒子の存在相を若干深い部分から開始さ
せるようにすることもできる。蛍光体層をこのような構
成とした場合には。

上記の実質的に結合剤のみからなる表面相が蛍光体層を
保護する機能を果す、ただし、そのような実質的に結合
剤のみからなる表面相は蛍光体層表面から５ｇｍより深
い位置までは到達しないことが望ましい、すなわち、蛍
・光体層における実質的に結合剤のみからなる表面相が
蛍光体層表面からたとえば１０μｍ程度より深い位置ま
で到達している場合には、本発明の目的とする画像鮮鋭
度の優れた電子線像情報の記録再生が困難になる。従っ
て、蛍光体層に実質的に結合剤のみからなる表面相が形
成されている場合、その蛍光体層の表面から深さ５ｇｍ
までの部分に含まれる蛍光体粒子と結合剤との重量割合
（蛍光体粒子／結合剤）は０．２以上であることが好ま
しい、特に表面から深さ３ＪＬｍまでの部分の前記重量
比が０．２以北であることが好ましい。

上記の実質的に結合剤のみからなる表面相が形成されて
いる蛍光体層は、たとえば、支持体上に蛍光体粒子と結
合剤とを含む第一塗布液、および結合剤のみを含む第二
塗布液を同時に重ねて塗布する方法（同時重層法）によ
り形成することができる。この同時重層法については本
願出願人の出願にかかる特願昭５９−１８２２１２号お
よび特願昭５９−２０３５００号の各明細書に詳細に記
載されている。

すなわち、上記のような方法によって本発明で用いる蓄
積性蛍光体シートを製造することができる。

次に、本発明の電子線像情報の記録再生方法の各操作の
例を、電子顕微鏡装置を例にして詳しく説明する。

第１図は本発明の記録再生方法の実施に際して使用する
のに好ましい電子顕微鏡画像情報記録再生装置の大略を
示すものである。

この電子ＷＪ微微雨画像情報記録再生装置は、通常の電
子顕微鏡の鏡体部１＆の下部に、少なくとも電子顕微鏡
画像情報の記録時は透過電子線像の結像面と同一の真空
系に屈するように配置された蓄積性蛍光体シート１０．
蓄積性蛍光体シート１０を真空状態に置いたままで励起
光で走査する励起手段および蓄積性蛍光体シート１０放
出される輝尽発光を光電的祷検出する検出手段からなる
読取部１ｂを設けてなるものである。この鏡体部１ａ及
び読取部１ｂの一部（図中ハツチングで示した枠の内部
）は、電子顕微鏡の稼動中、周知の手段によって真空状
態に維持される。

鏡体部１ａは、一様の速度の電子線２を射出する電子銃
３．電子線２を試料面に絞り込む磁気レンズと静電レン
ズ等からなる少なくとも一個の集束レンズ４、試料台５
、集束レンズ４と同様の対物レンズ６、そして投影レン
ズ７から構成される。試料台５上にａ置された試料８を
透過した電子線２は対物レンズ６により屈折され、試料
８の拡大散乱像８ａを形成する。この拡大散乱像８ａは
投影レンズ７により、結像面９に結像投影される（図中
の８ｂ）。

読取部１ｂは、円筒形の駆動ローラ１０１と同じく円筒
形の従動ローラ１０２に掛けわたされたエンドレスベル
トに固定載置された複数個の蓄積性蛍光体シー）１０．
Ｈｅ−Ｎｅレーザ管等の励起光源１１と励起光源１１か
ら放出される励起光ビームＬｌａをシーｈｌＯの幅方向
に偏向させるガルバノメータミラー等の光偏向器１２と
からなる励起手段、および励起光の照射によってシート
１０から放出される輝尽発光を集光する集光体１４の射
出端面に設けられ、前記輝尽光を光電変化して電気信号
に変えるフォトマル等の光電変換器１５からなる検出手
段を有している。エンドレスベルトは、駆動装置（図示
せず）によって回転される駆動ローラ１０１により矢印
入方向に適宜回転移動される。

鏡体部ｌ＆と読取部１ｂの間に設（すられているシャッ
ター（図示なし）を開くと、記録位置（すなわち結像面
９）に配置された蓄積性蛍光体シート１０に、試料８を
透過した電子線が照射され、試料の拡大散乱像８ｂに対
応する電子線エネルギー像（潜像）が記録蓄積される０
次いで、この蓄積性蛍光体シート１０は駆動ローラの回
転により読取箇所へ移動される。第１図の装置では、外
部に配置されたレーザ光源等の励起光源１１とガルバノ
メータミラー等の光偏向器１２により蓄積性蛍光体シー
トＩＯの幅方向を走査する励起光ビームｌｌａを、鉛ガ
ラス等の透光性の壁部材１９ａを通してこのシート１０
に入射させる一方、このシート１０を駆動ローラ１０１
によって幅方向とは直角の方向（矢印Ａ方向）へ移動さ
せることにより、このシート１０上の画像蓄積部分を走
査する。この励起光によって蓄積性蛍光体シート１０か
ら発生する輝尽発光は、集光体１４の入射端面（シート
ｉｏに向けられた端面）から集光体１４内に入射し、こ
の中を全反射によって案内されながら射出端面に接続さ
れた光電子増倍管（フォトマルチプライヤ）１５で連続
的に受光され、そこで輝尽発光の光量が光電的に逐次検
知される。

光電子増倍管１５によって読み取られた電気信号は、画
像処理回路１６に伝えられ、必要な画像処理が施された
上、必要な画像再生装置へ送られる。この再生装置は、
ＣＲＴ等のディスプレイ１７でもよいし、写真フィルム
に光走査記録を１行なう記録装置でもよいし、あるいは
一旦磁気テープ等の記憶装置１８に記録するものでもよ
い。

読取りが終了した後、蓄積性蛍光体シート１０はベルト
にｌ！Ｌ置されたまま消去ゾーン２０に送られる。この
消去ゾーン２０では、真空系外に設けられた蛍光灯等の
消去用光源２１から放出される消去光が透光性の壁部材
１９ｂを通して前記シー）１０に照射される。この消去
用光源２１は蓄積性蛍光体シート１０に、該蛍光体の励
起波長領域に含まれる光を照射することにより、この蓄
積性蛍光体シートｌＯの蛍光体層に蓄積されている残像
や、センナの原料中に含まれている放射性元素によるノ
イズを放出させるものであり、この消去用光源としては
、例えば特開昭５６−１１３９２号公報に示されている
ようなタングステンランプ、ハロゲンランプ、赤外線ラ
ンプ、あるいはレーザ光源等が任意に選択使用され得る
。

以上では透過拡大電子線による試料８の拡大散乱像を記
録再生する例について説明したが、本発明は前述した試
料の回折パターンを記録再生するために適用することも
できる。第２図は試料４８の回折パターン４８ｃを記録
する様子を示すものである。この例において、電子顕微
鏡４１は、対物レンズ４６と投影レンズ４７との間に中
間レンズ４０ｔ−備えたものが使用され、対物レンズ４
６の後熱平面に形成された試料４８の回折パターン４８
ｃは、上記後熱平面に焦点を合わせた中間レンズ４０お
よび投影レンズ４７により、結像面４９に拡大投影され
る。この場合にも上記結像面４９に蓄積性蛍光体シート
１Ｏ（５０）を配置すれば、該シー）　１０　（５，，
０）に透過拡大電子線４２による上記回折パターン４８
ｃの拡大像（潜像）が記録される。この記録された回折
パターン４８ｃは、前記第１図で説明したのと全く同様
にして読取り可俺であり、その読取り像はＣＲＴに表示
したり、あるいはハードコピーとして再生したりするこ
とができる。

更に記録条件の変動による影響をなくし、あるいは観察
性の優れた電子￥ｊＡ微鏡両鏡画像るためには、蓄積性
蛍光体シート１０（５０）に記録蓄積された透過拡大潜
像（拡大散乱像あるいは拡大回折パターン）の記録状態
、試料の性状、あるいは記録方法等によって決定される
記録パターンを試料観察のための可視像の出力に先立っ
て把握し、この把握した蓄積記録情報に基づいて読取ゲ
インを適当な値に調節し、あるいは適当な信号処理を施
すことが好ましい。

また、記録パターンのコントラストに応じて分解能が最
適化されるように収録スケールファクターを決定するこ
とが、観察性のすぐれた再生画像を得るために要求され
る。

このように可視像の出力に先立って蓄積性蛍光体シート
１０（５０）の蓄積情報を把握する方法として、例えば
特開昭５８−８９２４５号公報に示されているような方
法が使用可部である。すなわち試料４８の観察のための
可視像を得る読取り操作（本読み）の際に照射すべき励
起光のエネルギーよりも低いエネルギーの励起光を用い
て、前記本読みに先立って予め蓄積性蛍光体シート１０
（５０）に記録されている情報を把握するための読取り
操作（先読み）を行ない、シート１Ｏ（５０）の蓄積記
録情報を把握し、しかる後に本読みを行なって、前記先
読み情報に基づいて読取ゲインを適当にｌ１ｆｆｊＬ、
或いは信号処理を施すことにより、実現することができ
る。

また蓄積性蛍光体シー）１０（５０）から放出された輝
尽発光を読み取る光電読取手段としては、前述のような
光電子増倍管１５を用いる他に、光導電体およびフォト
ダイオードなどの固体光電変化素子を用いることもでき
る（特願昭５８−８６２２６号、特願昭５８−８６２２
７号。

特願昭５８−２１９３１３号および特願昭５８−２１９
３１４号の各明細書、および特開昭５８−１２１８７４
号公報参照）、この場合には、多数の固体光電変換素子
がシート１０（５０）全表面を覆うように構成され、シ
ート１０（５０）と一体化されていてもよいし、あるい
はシート１０（５０）に近接した状態で配置されていて
もよい、また、光電読取手段は複数の光電変化素子が線
状に連なったラインセンナであってもよいし、あるいは
一画素に対応する一個の固体光電変化素子が蓄積性蛍光
体シート１Ｏ（５０）の全表面にわたって走査移動され
るように構成されてもよい。

上記の場合の読取光源としては、レーザ等のような点光
源のほかに１発光ダイオード（ＬＥＤ）や半導体レーザ
等を列状に連ねてなるアレイなどの線光源であってもよ
い、このような装置を用いて読取りを行なうことにより
、蓄積性蛍光体シート１０（５０）から放出される輝尽
発光の読取り効率を高める同時に、受光立体角を大きく
してＳ／Ｎを高めることができる。また、得られる電気
信号は励起光の時系列的な照射によってではなく、光検
出器の電気的な処理により時系列化されるために、読出
し速度を速くすることが可能である。

上記のおいては蓄積性蛍光体シートに記録された透過拡
大電子線像（？ｌ像）等の電子線像の読出し操作は、該
シートを工°ｆ空系に置いたまま実施しているが、この
読出し操作は該シートを真空系外に取り出して行なうこ
ともできることは勿論である。

また、蓄積性蛍光体シートに記録された電子線像を読み
出し、再生するに際しては、その像を可視画像として再
生する以外にも、たとえば、画像を数値などの記号とし
て表示することもできる。

［発明の効果］ 本発明によれば、感度と鮮鋭度との均衡がとれた蓄積性
蛍光体シートに電子線像を記録するようにしたため、電
子線像情報を高精度にて再生することが可能になり、し
たがって電子線露光量を低減でき、試料の損傷を少なく
することができる。

また再生画像を高精度にて即時に像をＣＲＴ等に表示す
ることができるので、この再生画像を電子顕微鏡や電子
線回折のフォーカス調整用モニタ画像として利用すれば
明瞭なモニタ画像が得られ、従来不可能であった低電子
線露光量でのフォーカス２１！！整が可能になる。

しかも本発明においては電子線像情報が電気信号として
読取られるから、電子線像情報に階調処理、周波数強調
処理等の画像処理を施すことも極めて容易になり、また
前述したような回折パターンの処理や、三次元像の再構
成、画像の二値化等の画像解析も、上記電気信号をコン
ピュータに入力することにより、従来に比べ極めて簡単
かつ迅速に行なえるようになる。

さらに、電子線像情報を蓄積記録する蓄積性蛍光体シー
トは、光照射加熱等の処理を施すことにより繰返しの使
用が回走であるから本発明によれば従来の銀塩写真シス
テムを採用する場合等に比べ、高精度であるのみならず
、より経済的に電子線像情報を再生できる。

次に本発明の実施例を記載する。

［実施例１］ 蛍光体（Ｂ　ａ　Ｆ　Ｂ　ｒ　：　０．０Ｏ０５Ｅ　ｕ
”）の粒子と線状ポリエステル樹脂との混合物にメチル
エチルケトンを添加し、さらに硝化度１１．５％のニト
ロセルロースを添加して蛍光体粒子を分散状態で含有す
る分散液を調製した０次に、この分散液に燐酸トリクレ
ジル、ｎ−ブタノール、そしてメチルエチルケトンを添
加した後、プロペラミキサーを用い充分に攪拌混合して
、蛍光体が均一に分散し、かつ結合剤と蛍光体との混合
比が１　　：ｔｏ。

粘度が２５〜３５ＰＳ　（２５℃）の塗布液を調製した
。

次に、ガラス板上に水平に置いた二酸化チタン練り込み
ポリエチレンテレフタレートシート　（支持体、厚み：
２５０μｍ）の上に上記塗布液をドクターブレードを用
いて均一に塗布した。そして塗布後に、塗膜が形成され
た支持体を乾燥器内に−入れ、この乾燥器の内部温度を
２５℃から１００℃に徐々に上昇させて、塗膜の乾燥を
行なった。

このようにして、支持体上に層厚１６０４ｍの蛍光体層
を形成した。

以上の方法により、支持体および蛍光体層から構成され
た蓄積性蛍光体シートを得た。

［比較例１］ 実施例１と同一の方法で形成された蛍光体層の上にポリ
エチレンテレフタレートの透明フィルム（厚み＋６μｍ
、ポリエステル系接着剤が付与されているもの）を接着
剤層側を下に向りすて置いて接着することにより、支持
体、蛍光体層、および透明保護膜から構成された蓄積性
蛍光体シートを得た。

［電子顕微鏡画像の記録再生試験］ 実施例１および比較例１で得られた蓄積性蛍光体シート
について下記の方法にて、電子顕微鏡画像の記録再生時
の鮮鋭度の評価を行なった。

（１）電子顕微鏡 日本電子株製の電子顕微鏡（ＪＥＭ−１００Ｃｘ）を用
い下記の電子線照射条件にて測定を行なった。

加速電圧：１００ＫＶ 電流密度：　１　、４Ｘ　１０−Ａ／　ｃｒｒｒ’照射
時間：１秒 （２）画像鮮鋭度の測定 同一の線幅を有する三木の黒色線が横方向に同一間隔で
並べられた一組の被測定線単位が複数個、線幅と線間隔
とが順次変えられて並列されてなる画像鮮鋭度測定用チ
ャー）（０，５０ライン・ペア／ｍｍ〜１．６ライン・
ペア／ｍｍ〜５．００ライン・ペア／　ｍ　ｍ　）を蓄
積性蛍光体シートの上に載せ、上記の条件にて電子線照
射を行なった０次いで、該シートをＨｅ−Ｎｅレーザ光
（波長：６３２．８ｎｍ）で走査して蛍光体を励起し、
蛍光体層から放射される輝尽発光を受光器（分光感度Ｓ
−５の光電子倍増管）で受光して電気信号に変換し、こ
れを画像再生装置によって真フィルム上に可視画像とし
て再生して画像鮮鋭度測定用チャート像を得た。このチ
ャート像の濃度分布をミクロフォトメータで読み取り、
１．６０ラインφペア／　ｍ　ｍに相当するチャート像
の出力振＠（Ｂ）を０．５０ライン・ペア／　ｍ　ｍに
相当するチャート像の出力振幅（Ａ）で除した値ＣＢ／
Ａ）を鮮鋭度値とした。すなわち、この鮮鋭度値が大き
ければ大きい程、画像鮮鋭度が高いことを意味する。

得られた結果を第１表に示す。

第１表 透明保護膜　　　鮮鋭度値 実施例１　　　　　無　　　　　　０．９２比較例１　
　有（Ｊｌ！厚６４ｍ）　　　０．７０第１表に示した
結果から、透明保護膜の付設が省略された蓄積性蛍光体
シートは、電子顕微鏡画像の記録再生において高い鮮鋭
度を有し、実用的に優れた記録再生手段として有用であ
ることがわかる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の電子線像情報の記録再生方法の実施
に用いることのできる電子ｍ微鏡像記録再生装置の例を
示す模式図であり、そして第２図は、同様の記録再生装
置の他の構成例を示す模式％式％（ 鏡）、２・・・電子線、９・・・電子ｍ両鏡の結像面、
１０・・・蓄積性蛍光体シート、１１・・・励起光源。 １１ａ・・・励起光ビーム、１２・・・光偏光器、１４
・・・集光体 特許出願人　富士写真フィルム株式会社弁　理　士　代
理人　　柳　川　泰　男第２図 丁続補上書 昭和５９年１２月１１口

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、試料を透過した、または試料から反射した電子線像
   を、表面に保護膜を備えることなく露出した蓄積性蛍光
   体層を有する蓄積性蛍光体シートに電子線エネルギー潜
   像として記録し、次いで該蓄積性蛍光体シートに蓄積さ
   れた電子線エネルギーの少なくとも一部を、該蓄積性蛍
   光体シートに電磁波を照射することにより蛍光として放
   出させ、この蛍光を検知したのち、検知された蛍光に光
   電処理を施すことによって該試料の電子線像情報を得る
   ことからなる電子線像情報の記録再生方法。 ２、上記蓄積性蛍光体シートの蛍光体層の表面相が実質
   的に蛍光体粒子を含まないことを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の記録再生方法。 ３、上記蓄積性蛍光体シートの蛍光体層が結合剤と、結
   合剤に分散された輝尽性蛍光体粒子とからなるものであ
   り、該蛍光体層の表面から深さ５μｍまでの部分に含ま
   れる該蛍光体粒子と結合剤との重量割合（蛍光体粒子／
   結合剤）が０．２以上であることを特徴とする特許請求
   の範囲第２項記載の記録再生方法。 ４、上記蓄積性蛍光体シートの蓄積性蛍光体層が、結合
   剤に分散された二価ユーロピウム付活アルカリ土類金属
   ハロゲン化物系蛍光体もしくは希土類元素賦活希土類オ
   キシハロゲン化物系蛍光体もしくは希土類元素賦活希土
   類オキシハロゲン化物系蛍光体からなることを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項乃至第３項のいずれかの項記載
   の記録再生方法。