JPS61120915A - 磁気センサ - Google Patents
磁気センサInfo
- Publication number
- JPS61120915A JPS61120915A JP59242877A JP24287784A JPS61120915A JP S61120915 A JPS61120915 A JP S61120915A JP 59242877 A JP59242877 A JP 59242877A JP 24287784 A JP24287784 A JP 24287784A JP S61120915 A JPS61120915 A JP S61120915A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- elements
- temperature
- output
- magnetic sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、ビデオテープレコーダやプリンタやポテンシ
目メータ等に用いることができる周波数ジヱネレータ用
としての磁気センサに関するものである。
目メータ等に用いることができる周波数ジヱネレータ用
としての磁気センサに関するものである。
従来例の構成とその問題点
一般に磁気センサを用いて周波数ジエネレータヲ構成す
るにあたり、第１図に示すように強磁性薄膜抵抗エレメ
ント対は第１センサ出力を得るためのエレメント１ａと
１ｂの有する第１対称軸と、第２センサ出力を得るため
のエレメント２ａと２ｂの有する第２対称軸とが異なる
位置に存在していた。このため、端子４ａと４Ｃに電源
を接続すると、センナの温変分布は第２図に示すごとく
なり、エレメント対はそれぞれ異なった温度に位置して
いた。例えば第１センサ出力を決定するエレメント１ａ
と１ｂはそれぞれＴ２ とＴ１ の異なる視度を有す
る。このため、端子４ｂの電位は導度差（Ｔ２−Ｔ１）
に相等するバランスのくずれを生じる。
るにあたり、第１図に示すように強磁性薄膜抵抗エレメ
ント対は第１センサ出力を得るためのエレメント１ａと
１ｂの有する第１対称軸と、第２センサ出力を得るため
のエレメント２ａと２ｂの有する第２対称軸とが異なる
位置に存在していた。このため、端子４ａと４Ｃに電源
を接続すると、センナの温変分布は第２図に示すごとく
なり、エレメント対はそれぞれ異なった温度に位置して
いた。例えば第１センサ出力を決定するエレメント１ａ
と１ｂはそれぞれＴ２ とＴ１ の異なる視度を有す
る。このため、端子４ｂの電位は導度差（Ｔ２−Ｔ１）
に相等するバランスのくずれを生じる。
さらに端子４ａと４Ｃ間に印加する電圧が増大すればす
るほど各エレメントの自己発熱量が増しエレメント１ａ
と１ｂの温度差が増大する。同様に第２センサ出力端子
４ｄにおいてもエレメント対の温度差成分のバランスの
くずれを生ずる。すなわち、従来例による磁気センサの
出力は、センサエレメントの自己発熱にエリ、エレメン
ト対の温度差を生じて中点電位の温度ドリフトを生じる
問題を有している。
るほど各エレメントの自己発熱量が増しエレメント１ａ
と１ｂの温度差が増大する。同様に第２センサ出力端子
４ｄにおいてもエレメント対の温度差成分のバランスの
くずれを生ずる。すなわち、従来例による磁気センサの
出力は、センサエレメントの自己発熱にエリ、エレメン
ト対の温度差を生じて中点電位の温度ドリフトを生じる
問題を有している。
このため従来の磁気センナにおいては信号処理回路にＤ
Ｃアンプ（直結型増幅器）を用いると温間ドリフトによ
り周波数ジェネレータセンサ出力が歪むという問題を有
していた。
Ｃアンプ（直結型増幅器）を用いると温間ドリフトによ
り周波数ジェネレータセンサ出力が歪むという問題を有
していた。
発明の目的
本発明はこのような従来の欠点を除去するものであり、
温嵯ドリフトの極めて小さな磁気センサを提供すること
を目的とするものである。
温嵯ドリフトの極めて小さな磁気センサを提供すること
を目的とするものである。
発明の構成
本発明の磁気センサは、第３図に示すごとく第１センサ
出力を得るためのニッケル合金を材料とする強磁性薄膜
抵抗体よりなるセンサエレメント６ａと６ｂの第１対称
軸と第２センサ出力を得るだめのセンナエレメント５ａ
と６ｂの第２対称軸を同じ位置に設けることにより、第
４図に示すごとくエレメント６ａと６ｂけτ３という同
じ温度を有し、さらに５ａと５ｂもＴ４という同じ温度
を有し、それぞれの出力は温度ドリフトがほぼな電圧、
ｖ８ を端子４ａと４Ｃに印加した場合の端子４ｂと４
ｄの出力雷、圧をｖ４ｂとｖ４ｄとする。
出力を得るためのニッケル合金を材料とする強磁性薄膜
抵抗体よりなるセンサエレメント６ａと６ｂの第１対称
軸と第２センサ出力を得るだめのセンナエレメント５ａ
と６ｂの第２対称軸を同じ位置に設けることにより、第
４図に示すごとくエレメント６ａと６ｂけτ３という同
じ温度を有し、さらに５ａと５ｂもＴ４という同じ温度
を有し、それぞれの出力は温度ドリフトがほぼな電圧、
ｖ８ を端子４ａと４Ｃに印加した場合の端子４ｂと４
ｄの出力雷、圧をｖ４ｂとｖ４ｄとする。
Ｒａ（Ｔａ） ＝Ｒａ（Ｔ＝２０°Ｃ）×（１＋α・Δ
Ｔ、） 、・・・・剃Ｒｂ（Ｔｂ）＝Ｒｂ（Ｔ＝２０
″Ｃ）×（１＋α・Δ’ｒｂ） −−−−−−＜１
αはエレメントの有する温度係数であり、同一素材によ
り構成されたエレメントはほぼ同じ温度係数値を有する
。
Ｔ、） 、・・・・剃Ｒｂ（Ｔｂ）＝Ｒｂ（Ｔ＝２０
″Ｃ）×（１＋α・Δ’ｒｂ） −−−−−−＜１
αはエレメントの有する温度係数であり、同一素材によ
り構成されたエレメントはほぼ同じ温度係数値を有する
。
式（１）〜（′４より
ｖ４ｂ（Ｔ〉２０）＝
Ｒｂ（Ｔ＝２σＣ）×（１＋α・ΔＴｂ）Ｒａ（Ｔ＝２
０°Ｃ）×（１＋α・ΔＴａ）＋Ｒｂ（Ｔ−！σＣ）Ｘ
（１−）−＋２・ΔＴｂｘＶ、 ・・・・・・・
・・・・・（４なる式を得る。
０°Ｃ）×（１＋α・ΔＴａ）＋Ｒｂ（Ｔ−！σＣ）Ｘ
（１−）−＋２・ΔＴｂｘＶ、 ・・・・・・・
・・・・・（４なる式を得る。
本発明の実施例においては、第４図からエレメント対の
有する温度は等しく、ΔＴａ＝ΔＴｂとなる。
有する温度は等しく、ΔＴａ＝ΔＴｂとなる。
従って、第（４式は次式のごとくなる。
すなわち、ｖ４ｂの電位は、自己発熱による温度ドリフ
ト成分が除去され、Ｔ＝２０″Ｃのときの電位と同じ値
を有することがわかる。
ト成分が除去され、Ｔ＝２０″Ｃのときの電位と同じ値
を有することがわかる。
逆に従来例では第（４式において、ΔＴａ＼ΔＴｂが第
２図から明らかとなり、ｖ４ｂ（Ｔ＝２０）＼ｖ４ｂ（
Ｔ＞２０）となる。
２図から明らかとなり、ｖ４ｂ（Ｔ＝２０）＼ｖ４ｂ（
Ｔ＞２０）となる。
以下本発明の具体例を図面を参照して説明する。
第６図に示すごとく、第１センナ出力を構成するエレメ
ント対６ａと６ｂの対称軸と、第２センサ出力を構成す
るエレメント対５＆と６ｂの対称軸とを同じ位置に重ね
た後、さらに基板３の対称軸に重ねる。この後端子４ａ
と４０に電圧を供給し、出力を端子４ｂと４ｄからとり
だす。
ント対６ａと６ｂの対称軸と、第２センサ出力を構成す
るエレメント対５＆と６ｂの対称軸とを同じ位置に重ね
た後、さらに基板３の対称軸に重ねる。この後端子４ａ
と４０に電圧を供給し、出力を端子４ｂと４ｄからとり
だす。
このようにして、構成された磁気センサは第４図に示す
温度分布を有するため、各出力を構成するエレメント対
は等温分布曲線上に位置しエレメント対の対称軸が温度
分布の対称軸とほぼ同一となる。
温度分布を有するため、各出力を構成するエレメント対
は等温分布曲線上に位置しエレメント対の対称軸が温度
分布の対称軸とほぼ同一となる。
なお本実施例では出力を第１と第２に限定したが、第３
以降の多出力にも対応可能であることがうかがえる。さ
らに考察を加えるならば、エレメント対以外の電極とり
まわし部による＠度分布の乱れを生じることがあり、電
極とりまわし部の対称軸もエレメント対の対称軸に重ね
ることが好ましい。
以降の多出力にも対応可能であることがうかがえる。さ
らに考察を加えるならば、エレメント対以外の電極とり
まわし部による＠度分布の乱れを生じることがあり、電
極とりまわし部の対称軸もエレメント対の対称軸に重ね
ることが好ましい。
発明の効果
以上のように本発明は、温度ドリフトの極めて小さな磁
気センサを供給可能としたものである。
気センサを供給可能としたものである。
第５図に示すごとく、従来の磁気センサにおいては、印
加電圧を増大してゆくと自己発熱量が増大してセンサ出
力端子の電位は初期状態のバランスから大きくズレを生
じている。（このときのバランスとは中点電位の変化量
を印加電圧で割算した値）。これに対し本発明の実施例
では極めて小さなバランスのズレしか生じない。このた
めＤＣカップリング型のアンプで信号処理が容易に行え
るようになり、加えてエンコーダ等の周波数ジェネレー
タとして用いた場合の位置情報検出精度が高まることが
理解できる。
加電圧を増大してゆくと自己発熱量が増大してセンサ出
力端子の電位は初期状態のバランスから大きくズレを生
じている。（このときのバランスとは中点電位の変化量
を印加電圧で割算した値）。これに対し本発明の実施例
では極めて小さなバランスのズレしか生じない。このた
めＤＣカップリング型のアンプで信号処理が容易に行え
るようになり、加えてエンコーダ等の周波数ジェネレー
タとして用いた場合の位置情報検出精度が高まることが
理解できる。
第１図は従来例の磁気センサの基本構造図、第２図は従
来例の磁気センサの温度分布図、第３図は本発明の磁気
センサの基本構造図、第４図は本発明の磁気セ／すの温
度分布図、第５図は、従来例と本発明実施例の特性比較
図、第６図は本発明の磁気センナの一実施例における平
面パターン形状図である。 １ａ、１ｂ、２ａ、２ｂ・・・・・・強磁性薄膜抵抗エ
レメント、３−−−・基台、４ａ、４ｂ、４ａ、４ｄ・
・・・・出力端子、５ａ、５ｂ、６ａ、６ｂ・・・・・
・強磁性薄膜抵抗エレメント、Ｔ１．Ｔ２．Ｔ３．Ｔ４
・・・・・・端子４ａと４ｃに電圧印加した場合のエレ
メントの示す温度。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名菓１
図 イン ネ【 第 ３ 図 第５図 ７寸 ン ス ｐリ カ口 ｆｃｆ
来例の磁気センサの温度分布図、第３図は本発明の磁気
センサの基本構造図、第４図は本発明の磁気セ／すの温
度分布図、第５図は、従来例と本発明実施例の特性比較
図、第６図は本発明の磁気センナの一実施例における平
面パターン形状図である。 １ａ、１ｂ、２ａ、２ｂ・・・・・・強磁性薄膜抵抗エ
レメント、３−−−・基台、４ａ、４ｂ、４ａ、４ｄ・
・・・・出力端子、５ａ、５ｂ、６ａ、６ｂ・・・・・
・強磁性薄膜抵抗エレメント、Ｔ１．Ｔ２．Ｔ３．Ｔ４
・・・・・・端子４ａと４ｃに電圧印加した場合のエレ
メントの示す温度。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名菓１
図 イン ネ【 第 ３ 図 第５図 ７寸 ン ス ｐリ カ口 ｆｃｆ
Claims (1)
- ２個一対の強磁性薄膜抵抗体よりなるセンサエレメント
を直列に接続し両端を電源に接続し中点からセンサ出力
を取出すものを複数対備え、この各センサエレメントの
対称軸をほゞ同じ位置にくるように各センサエレメント
を配置してなる磁気センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59242877A JPS61120915A (ja) | 1984-11-16 | 1984-11-16 | 磁気センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59242877A JPS61120915A (ja) | 1984-11-16 | 1984-11-16 | 磁気センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61120915A true JPS61120915A (ja) | 1986-06-09 |
Family
ID=17095558
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59242877A Pending JPS61120915A (ja) | 1984-11-16 | 1984-11-16 | 磁気センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61120915A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11543470B2 (en) | 2020-07-21 | 2023-01-03 | Tdk Corporation | Magnetic sensor |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58106462A (ja) * | 1981-12-18 | 1983-06-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回転検出装置 |
| JPS58158017A (ja) * | 1982-03-15 | 1983-09-20 | Hitachi Ltd | 磁気ヘツド |
-
1984
- 1984-11-16 JP JP59242877A patent/JPS61120915A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58106462A (ja) * | 1981-12-18 | 1983-06-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回転検出装置 |
| JPS58158017A (ja) * | 1982-03-15 | 1983-09-20 | Hitachi Ltd | 磁気ヘツド |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11543470B2 (en) | 2020-07-21 | 2023-01-03 | Tdk Corporation | Magnetic sensor |
| US11686787B2 (en) | 2020-07-21 | 2023-06-27 | Tdk Corporation | Magnetic sensor |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4480248A (en) | Temperature and aging compensated magnetoresistive differential potentiometer | |
| JP4347040B2 (ja) | 磁場を測定するためのセンサ及びそのセンサの調整方法 | |
| JPH06176947A (ja) | ロゴスキコイル | |
| US11249116B2 (en) | Magnetic sensor and current sensor | |
| JPS61120915A (ja) | 磁気センサ | |
| CH654921A5 (it) | Dispositivo di supporto flessibile per trasduttori di misurazione di forza. | |
| JPS62291001A (ja) | 薄膜サ−ミスタとその製造方法 | |
| JP2003217903A (ja) | 抵抗器とその製造方法及びその抵抗器を用いた温度センサー | |
| JP2612100B2 (ja) | 半導体圧力センサ | |
| JP2860799B2 (ja) | 感温抵抗器の製造方法 | |
| JP3624454B2 (ja) | 磁電変換器およびそれを用いた位置検知装置 | |
| JPH01148928A (ja) | 応力センサ | |
| JPS63147381A (ja) | 磁気検出素子 | |
| JP2567550Y2 (ja) | 測温マッチング抵抗体 | |
| JPS5817315Y2 (ja) | リ−ドスイッチによる入力切換器 | |
| JP3142031B2 (ja) | 温度測定装置 | |
| JPS625284B2 (ja) | ||
| JPS6192414A (ja) | 磁気抵抗装置 | |
| JPS63196817A (ja) | 磁気エンコ−ダ用磁気ヘツド | |
| JPS5931202B2 (ja) | 真の実効値測定用交流直流変換素子 | |
| JPH0717029Y2 (ja) | 磁場検出回路 | |
| JPS63202978A (ja) | 磁気抵抗デバイス | |
| JPH0258561B2 (ja) | ||
| JPH03296616A (ja) | 磁気センサ | |
| JPH02277263A (ja) | 抵抗ネットワーク |