JPS61118605A - 磁気センサ - Google Patents

磁気センサ

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JPS61118605A
JPS61118605A JP23934984A JP23934984A JPS61118605A JP S61118605 A JPS61118605 A JP S61118605A JP 23934984 A JP23934984 A JP 23934984A JP 23934984 A JP23934984 A JP 23934984A JP S61118605 A JPS61118605 A JP S61118605A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
length
flux density
magnetic flux
permanent magnet
Prior art date
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Pending
Application number
JP23934984A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshiyuki Hayashi
林 美行
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fanuc Corp
Original Assignee
Fanuc Corp
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Publication date
Application filed by Fanuc Corp filed Critical Fanuc Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は磁気センサの改良に関する。
〔従来技術〕
従来から磁気センサは回転位置検出器等に広く用いられ
ている。第4図ないし第6図は磁気センサの作動原理を
示すものである。第4図に示すように、一般に、磁気セ
ンサ1は永久磁石体2の端面にフェライト、Fe等から
なるサブストレート3を固着し、サブストレー1−3の
表面に一対の磁気抵抗素子4,5を互いに所定間隔あけ
て配設した構成となっている。磁気抵抗素子4,5は回
転ギア6の歯の近傍に対向配置される。磁気抵抗素子4
.5は、第5図に示すように、直流電源7に対して直列
に接続され、再磁気抵抗素子4.5の間に接続された出
力端子8から電圧出力が取り出される。第7図に示すよ
うに、磁気抵抗素子4゜5の抵抗値は磁気抵抗素子4.
5を通る磁束密度に応じて変化する。回転ギア6が回転
すると回転ギア6の歯が交互に2つの磁気抵抗素子4,
5に接近するので、磁気抵抗素子4.5を通る磁束密度
が交互に動的に変化し、これに伴って、磁気抵抗素子4
,5の抵抗値が変化する。第7図において、磁気抵抗素
子4,5を通る磁束密度がB1−B2の範囲で変化する
と、磁気抵抗素子4,5の抵抗値ばA1−A2の範囲で
変化する。したがって、磁気抵抗素子4,5の抵抗比が
周期的に変化し、出力端子8から第6図に示すような正
弦波状の電圧出力が得られる。
−に述したように、磁気抵抗素子4.5の抵抗値は磁束
密度の変化に応じて変化するが、磁束密度が一定であっ
ても、第8図に示すように、温度の変化に伴って抵抗値
は変化する。しかも、温度変化に対する抵抗値の変化率
は磁束密度の大きさにより異なる。すなわち、磁束密度
が大きい場合には、温度変化に対する抵抗値の変化率が
大きくなる。第8図において、曲線9は磁束密度がB(
Wb/m2)のときの変化特性を示しており、曲線10
は磁束密度が2 X B (W b 7m2 )のとき
の特性を示している。
磁気抵抗素子4.5を通る静的な磁束密度が異なってい
ると、温度変化に対する抵抗値の変化率が異なってくる
ので、2つの磁気抵抗素子4.5の抵抗比が変動し、電
圧出力の中心電圧E、(第6図)が変動する原因となる
。また、磁気抵抗素子4,5の各々を通る静的な磁束密
度分布が一定でない場合にも温度変化に伴って抵抗比の
変動が生し易くなり、中心電圧EOが変動する原因とな
る。中心電圧E、の変動は回転位置検出精度の低下の原
因となる。
したがって、回転位置検出精度を高めるためには、磁気
抵抗素子4.5の各々を通る静的な磁束密度分布を一定
にすることが望ましく、また、一対の磁気抵抗素子4.
5における静的な磁束密度を等しくすることが望ましい
〔発明が解決しようとする問題点〕
第9図を参照すると、従来の磁気センサーにおいては、
磁気抵抗素子4.5の配列方向におけるサブストレート
3の長さが永久磁石体2の長さとほぼ等しくなっている
。このような構造の磁気センサーにおいては、サブスト
レート3」−に生じる静的な磁束密度分布はサブストレ
ート3の両端のエツジ効果により第9図に示すような分
布となっている。このため、サブストレート3上の磁気
抵抗素子4,5の各々を通る静的な磁束密度分布はエツ
ジ効果の影響を受けて不均一になっており、このため、
磁気センサ1からの電圧出力の中心電圧Eo  (第6
図)が温度変化の影響で変動し易いという欠点がある。
また、磁気抵抗素子4.5の配置がサブストレート3の
長平方向中心線に対して非対称に配置された場合には再
磁気抵抗素子4゜5の磁束密度が大きく変化するため、
磁気抵抗素子4.5の位置決めに高い精度が要求される
こととなる。
第10図及び第11図は4つの磁気抵抗素子を備えた従
来の磁気センサを示す。磁気抵抗素子11.12は互い
に直列接続されており、磁気紙 。
抗素子13.14は互いに直列接続されている。
対をなす磁気抵抗素子11.12及び13.14は永久
磁石体I5と同一長さのサブストレート16」−でその
長手方向中心軸線に対し互いに非対称に配置されている
ため、静的な磁束密度は大きく異なり、温度の変化によ
って電圧出力の中心型圧EOが大きく変動する原因とな
っている。
〔問題点を解決するための手段〕
上記問題点を解決するための手段として、本発明は、永
久磁石体上にサブストレート サブストレート上に磁気抵抗素子を互いに間隔をあけて
配設した磁気センサにおいて、前記磁気抵抗素子の配列
方向における前記サブストレートの長さを前記永久磁石
体の同方向の長さよりも長くすることにより、前記磁気
抵抗素子を通る静的な磁束密度分布をほぼ均一にしたこ
とを特徴とする磁気センサを提供する。
好ましくは、前記サブストレートの長さは前記永久磁石
体の長さの約1.5倍以」二である。
〔作用〕
上記手段によれば、磁気抵抗素子を通る静的な磁束密度
分布がほぼ均一になるので、温度変化に対する磁気抵抗
素子の抵抗値の変化率が一定となり、磁気抵抗素子の抵
抗比の変動が極めて小さくなる。したがって、磁気セン
サからの電圧出力の中心電圧が温度変化の影響を受けに
くくなり、検出精度が高まる。
〔実施例〕
以下、図面の第1図ないし第3図を参照して本発明の詳
細な説明する。
第1図及び第2図は本発明の一実施例を示すものである
。これらの図を参照すると、磁気センサ20は永久磁石
体21を備えており、永久磁石体21上にはフェライト
、Fe等からなるサブストレート22が固着されている
。サブストレート22上には4つの磁気抵抗素子23〜
26が互いに間隔をあけて配設されている。互いに直列
に接続されている磁気抵抗素子23.24は図示してい
ない直流電源に接続され、再磁気抵抗素子23゜24の
間から電圧出力が取り出される。また、互いに直列に接
続されている磁気抵抗素子25゜26は図示していない
直流電源に接続され、再磁気抵抗素子25.26の間か
ら電圧出力が取り出される。互いに対をなす磁気抵抗素
子23.24と磁気抵抗素子25.26とが交互に配列
されているため、磁気抵抗素子23.24及び磁気抵抗
素子25,2.6はサブストレート22の長手方向中心
軸線に対して非対称な配置となっている。しかし、磁気
抵抗素子23〜26の配列方向におけるサブストレート
22の長さL2は同方向における永久磁石体21の長さ
Llよりも長くなっているため、磁気抵抗素子23〜2
6はサブストレート22のエツジ効果の影響を受けにく
くなっている。好ましくは、サブストレートの長さL2
は永久磁石体21の長さLlの約1.5倍以」二である
第3図は上記構成からなる磁気センサのサブストレート
22上の静的な磁束密度分布の計測結果を示している。
サブストレート22における長手方向両端のエツジ効果
により、磁束密度分布Sはサブストレート22の両端近
傍で中央部分の倍以上に高くなっているが、磁気抵抗素
子23〜26の配設区間においては磁束密度分布Sはほ
ぼ均一になっている。
したがって、この磁気センサにおいては、一対の磁気抵
抗素子23.24の間及び一対の磁気抵1″+25・2
6(Dffjl”6+t+J’tljt!’)tB’a
hZy     。
電圧出力の中心電圧は温度変化の影響を受けずほぼ一定
に保たれることとなる。
以上一実施例につき説明したが、本発明は上記実施例の
態様のみに限定されるものではなく、特許請求の範囲に
記載した発明の範囲内でその構成要素に種々の変更を加
えることができる。例えば、サブストレート上に配設す
る磁気抵抗素子は2個であってもよい。
〔発明の効果〕
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、電圧
出力の中心電圧が温度の影響を受けずほぼ一定に保たれ
る磁気センサを提供できることとなる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す磁気センサの正面図、 第2図は第1図に示す磁気センサの平面図、第3図は第
1図に示す磁気センサのサブストレート上の静的な磁束
密度分布を示す線図1、第4図は2つの磁気抵抗素子を
備えた従来の磁気センサを回転検出器に使用した状態を
示す正面図、 第5図は2つの磁気抵抗素子を備えた磁気センサの電気
出力回路、 第6図は磁気センサの電圧出力波形を示す図、第7図は
磁気抵抗素子を通る磁束密度と抵抗値との関係を示すグ
ラフ、 第8図は磁気抵抗素子の温度と抵抗値との関係を示すグ
ラフ、 第9図は2つの磁気抵抗素子を有する従来の磁気センサ
のサブストレート上に生じる静的な磁束密度の分布を示
す正面図、 第10図は4つの磁気抵抗素子を有する従来の磁気セン
サの平面図、 第11図は第10図に示す射出成形機の正面図である。 21−永久磁石体、 22−サブストレート、23〜2
6−磁気抵抗素子。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.永久磁石体上にサブストレートを設け、該サブスト
    レート上に磁気抵抗素子を互いに間隔をあけて配設した
    磁気センサにおいて、前記磁気抵抗素子の配列方向にお
    ける前記サブストレートの長さを前記永久磁石体の同方
    向の長さよりも長くすることにより、前記磁気抵抗素子
    を通る静的な磁束密度分布をほぼ均一にしたことを特徴
    とする磁気センサ。
  2. 2.前記サブストレートの長さは前記永久磁石体の長さ
    の約1.5倍以上であることを特徴とする特許請求の範
    囲第1項に記載の磁気センサ。
  3. 3.4つの前記磁気抵抗素子を備えてなる特許請求の範
    囲第1項に記載の磁気センサ。
JP23934984A 1984-11-15 1984-11-15 磁気センサ Pending JPS61118605A (ja)

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JP23934984A JPS61118605A (ja) 1984-11-15 1984-11-15 磁気センサ

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JP23934984A JPS61118605A (ja) 1984-11-15 1984-11-15 磁気センサ

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JP23934984A Pending JPS61118605A (ja) 1984-11-15 1984-11-15 磁気センサ

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0642906A (ja) * 1992-07-24 1994-02-18 Murata Mfg Co Ltd 磁気センサ

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59168381A (ja) * 1983-03-15 1984-09-22 Kawaguchiko Seimitsu Kk 磁気センサ

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59168381A (ja) * 1983-03-15 1984-09-22 Kawaguchiko Seimitsu Kk 磁気センサ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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