JPS61114494A - 発光素子およびその製造方法 - Google Patents

発光素子およびその製造方法

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JPS61114494A
JPS61114494A JP59235507A JP23550784A JPS61114494A JP S61114494 A JPS61114494 A JP S61114494A JP 59235507 A JP59235507 A JP 59235507A JP 23550784 A JP23550784 A JP 23550784A JP S61114494 A JPS61114494 A JP S61114494A
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JP
Japan
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light emitting
thin film
electroluminescent
emitting device
dielectric
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一文 小川
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、電界発光素子(エレクトロルミネッセンス素
子、以下EL素子という)およびその製造方法に関する
ものである。さらに詳しくは、面光源や各種表示板ある
いは動画ディスプレイパネル等に利用可能な分散型EL
素子およびその製造方法に関するものである。
従来の技術 従来、分散型EL素子の製造は、あらかじめ、第1電極
が形成された基板上へ、電界発光粒子を液状の誘電体膜
材料中へ分散させた塗料をスクリーン印刷法等によシ塗
布し、さらに透明導電性電衡の形成されたフィルムを接
着硬化させる方法が用いられている。
発明が解決しようとした問題点 ところが、従来の方法では、電界発光粒子の分散性の限
界や液状の誘電体材料により形成された誘電体膜を薄膜
化した場合の耐圧劣化防止のため、発光層の厚みは数ミ
クロンから数十ミクロンが必要であった。従って駆動電
圧も1o○■程度を必要としており、駆動ICの高耐圧
化等に負担がかかる等の欠点のため応用分野が限定され
、現在、液晶表示板のバックライトへの応用が検討され
ている程度である。
本発明は、駆動電圧が低く、発光効率の良いEL素子を
提供することを目的としたものである。
問題点を解決するための手段 本発明のEL素子は、電界発光体材料を誘電体薄膜を形
成する雰囲気中でプラズマ成膜(プラズマCVDや、プ
ラズマ重合等)を伴いながら蒸発させて、プラズマ成膜
中に電界発光粒子を分散させたことを特徴としたもので
ある。
さらに詳しくは、誘電体薄膜を形成するガス雰囲気中で
、電界発光材料をスパッタリング蒸着あるいはイオング
レーティングあるいはクラスターイオンビーム蒸着する
ことにより、電界発光微粒子を蒸発させながら誘電体薄
膜をプラズマ成膜する。
作  用 本発明では誘電体膜をきわめて高密度化でき、内に誘電
体原料ガス(例えば、テトラフロロエチレン、スチレン
、キシレン、ブタジェン、メチルメタアクリレート等の
重合成有機モノマーをArで希釈したもの)を導入し、
ターゲットとした電界発光材料(例えば、ZnS :M
n 、 ZnS :Cn 、 ZnS :Ag。
Y 202 S :If: u・・・)2と透明電極3
の形成されたガラス基板4を載置したサセプター5の間
に真空度1o−3〜10mtorr  で高周波電圧(
例えば  。
13 、56MHz )を印加し、電界発光材料をスパ
ッタリング蒸発させながら、誘電体原料ガスをプラズマ
重合して亡り薄膜6を形成する。
次に、第2の電極として金属電極7を蒸着することによ
シEL薄膜を製造できる。(第2図)例えば、誘電体原
料ガスとしてテトラフロロエチレンを用い、電界発光材
料としてZnS:Mnを用いて1μm程度の厚みを成膜
すると、誘電体膜がポリテトラ70ロエチレンでZnS
:Mnが分散したEL薄膜が得られ、駆動電圧10v前
後で黄橙色の発光が得られる。
なお、上述の実施例では、電界発光体を蒸発させる手断
としてスパッタリング法を用いたが、雰囲気ガスのプラ
ズマ化を伴う方法例えばイオンプレーティングやクラス
タイオンビーム蒸着法を用いても同じ効果が得られるこ
とは言うまでもない。
また、電界発光体の蒸発速度あるいは、雰囲気ガスの流
量で電界発光体の粒子の大きさや分散濃度を制御できる
ことは言うまでもない。
さらにまだ、誘電体膜原料ガスの代りに、誘電体材料と
電界発光体を同時に蒸着させても同じものが得られるこ
とも明らかである。
一方、パターンニングについては、従来のマスク蒸着法
やホトリソ法を用いて容易に行なえるので何ら問題はな
い。
発明の効果 本発明の方法を用いることにより、従来の塗布法に比べ
誘電体膜をきわめて高密度化できるので薄膜化した場合
の耐圧を大幅に向上できる。すなわち駆動電圧の低いE
L素子を提供でき、各種表示板や動画ディスプレイ等へ
の応用の道を開くものであシ産業上効果大なるものであ
る。
第2図は本発明の方法によシ形成されたEL素子の断面
図である。
2・・・・・・電界発光材料、6・・・・・・EL薄膜

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. (1) プラズマ成膜法により作成された電界発光粒子
    分散誘電体薄膜を少くとも一方が透明な2つの電極で狭
    んだことを特徴とした発光素子。
  2. (2) 電界発光粒子分散誘電体薄膜として有機物を用
    いることを特徴とした特許請求の範囲第1項記載の発光
    素子。
  3. (3) 第1の電極が形成された基板上に誘電体膜形成
    用原料ガス雰囲気中で電界発光物質を蒸発させて前記電
    界発光粒子が分散された誘電体薄膜を形成する工程と、
    第2の電極を積層形成する工程を含むことを特徴とした
    発光素子の製造方法。
  4. (4) 誘電体薄膜形成用原料ガスとして有機物を用い
    ることを特徴とした特許請求の範囲第3項記載の発光素
    子の製造方法。
  5. (5) 蒸着の方法として、スパッタリング蒸着または
    イオンプレーティングまたはクラスターイオンビーム蒸
    着等の雰囲気ガスのプラズマ化を伴う方法を用いること
    を特徴とした特許請求の範囲第3項記載の発光素子の製
    造方法。
JP59235507A 1984-11-08 1984-11-08 発光素子およびその製造方法 Granted JPS61114494A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5115706A (en) * 1989-03-03 1992-05-26 Aluisi Alan L Ergonomic drum assembly

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57123684A (en) * 1981-01-23 1982-08-02 Sumitomo Electric Industries Method of producing thin film light emitting element

Patent Citations (1)

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