JPS61112101A - マイクロレンズアレ−及びその製造方法 - Google Patents
マイクロレンズアレ−及びその製造方法Info
- Publication number
- JPS61112101A JPS61112101A JP59233125A JP23312584A JPS61112101A JP S61112101 A JPS61112101 A JP S61112101A JP 59233125 A JP59233125 A JP 59233125A JP 23312584 A JP23312584 A JP 23312584A JP S61112101 A JPS61112101 A JP S61112101A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microlens array
- thickness
- lens
- circular patterns
- spherical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、微小なレンズを直線に沿って配列し、若しく
は平面上に配列してなるマイクロレンズアレー、及び、
その製造方法に関するものである。
は平面上に配列してなるマイクロレンズアレー、及び、
その製造方法に関するものである。
微小なレンズ（ミリメートルオーダー）を配列したマイ
クロレンズアレーは、例えばファクシミリ装置の読取部
に必要な構成部材である◎従来、マイクロレンズアレー
として２例えば日本硝子株式会社製のＳ Ｌ Ａ （５
ｅｌｆｌｃ Ｌｅｎｓ Ａｒｒａｙの略・商標名ンが公
知である。
クロレンズアレーは、例えばファクシミリ装置の読取部
に必要な構成部材である◎従来、マイクロレンズアレー
として２例えば日本硝子株式会社製のＳ Ｌ Ａ （５
ｅｌｆｌｃ Ｌｅｎｓ Ａｒｒａｙの略・商標名ンが公
知である。
＃！３図は上記ＳＩ、Ａの平面図、第４図はその■−■
断面図である。このマイクロレンズアレーは複数個のロ
ッドレンズ１と、これらのロッドレンズを平行に配列、
支承するためのＦＲＰ側板２とから成っている。第４図
に破線矢印ａ、ａ’の如く図の下方からロッドレンズ１
に入射し次光は、該ロッドレンズの屈折率が半径方向に
分布しているため、凸レンズにおけると等価的に屈折せ
しめられて点Ｐに集光する。
断面図である。このマイクロレンズアレーは複数個のロ
ッドレンズ１と、これらのロッドレンズを平行に配列、
支承するためのＦＲＰ側板２とから成っている。第４図
に破線矢印ａ、ａ’の如く図の下方からロッドレンズ１
に入射し次光は、該ロッドレンズの屈折率が半径方向に
分布しているため、凸レンズにおけると等価的に屈折せ
しめられて点Ｐに集光する。
このようなロッドレンズ１を一直線上に配列されたマイ
クロレンズアレーが従来一般にファクシミリに用いられ
ている。
クロレンズアレーが従来一般にファクシミリに用いられ
ている。
この種のマイクロレンズアレーの厚さ寸法１゜Ｉｄ、
４ ｍｍ−１０ｍｍ８度であるが、ファクシミリ等の光
学−電子機器の一層の小形化の為に、上記の厚さ寸法の
縮小が要望されている。
４ ｍｍ−１０ｍｍ８度であるが、ファクシミリ等の光
学−電子機器の一層の小形化の為に、上記の厚さ寸法の
縮小が要望されている。
その上、前記のＳＬＡの供給は１社に独占されていて高
価であ夛、マイクロレンズアレーを用いたファクシミリ
の実用化、普及の障害となっている。
価であ夛、マイクロレンズアレーを用いたファクシミリ
の実用化、普及の障害となっている。
本発明社上述の事情に鑑みて為されたもので、従来のマ
イクロレンズアレーよりも厚さ寸法の小さいマイクロレ
ンズアレー、並びに、上記改良形マイクロレンズアレー
の簡便な製造方法を提供しようとするものである。
イクロレンズアレーよりも厚さ寸法の小さいマイクロレ
ンズアレー、並びに、上記改良形マイクロレンズアレー
の簡便な製造方法を提供しようとするものである。
第１図は本発明のマイクロレンズアレーの１実施例の平
面図、第２図は第１図のｎ−ｍ断面図である。
面図、第２図は第１図のｎ−ｍ断面図である。
本例のマイクロレンズアレーは透明なガラス基板３０表
面に半球状のレンズ４を一列に配列して固着しである。
面に半球状のレンズ４を一列に配列して固着しである。
本発明を実施する場合、ガラス基板の表面に半球状のレ
ンズを縦横に配列することもできる。
ンズを縦横に配列することもできる。
本例におけるカラス基板３の厚さ寸法ｔ２は１ｍｍであ
る。半球状のレンズ４の焦点距離をα５ ｍｍに設定し
た場合のレンズＮさ寸法ｔ、を含めた全厚さ寸法ｔ４は
約１．５ ｍｍであシ、従来例のマイクロレンズアレー
（第４図）に比して約１７２の空間に設置することがで
きる〇 第２図の破線矢印す、ｂ’は入射光、点Ｐ′は焦点を示
す。
る。半球状のレンズ４の焦点距離をα５ ｍｍに設定し
た場合のレンズＮさ寸法ｔ、を含めた全厚さ寸法ｔ４は
約１．５ ｍｍであシ、従来例のマイクロレンズアレー
（第４図）に比して約１７２の空間に設置することがで
きる〇 第２図の破線矢印す、ｂ’は入射光、点Ｐ′は焦点を示
す。
次に、上記実施例のマイクロレンズアレーの製造方法に
ついて述べる。
ついて述べる。
ガラス基板５の上に、スルホン基を介した石炭酸樹脂と
キノンジアザイド類を結合させた高分子化合物（ポジ型
ホトレジストの−ａ［）を塗布・ベーク・現像・リンス
という通常のホトレジスト処理工程を経てマイクロレン
ズとする円形のパターンを形成した後、１６０℃の熱処
理を行なう事により該円形のパターンが軟化乃至溶融し
、異面張力によって球面を形成しマイクロレンズアレー
が構成される。この時、パターンの円形の直径とレジス
ト厚の比を約１０：１にする事によ少、はぼ真球面に近
いレンズが形成され、レジスト厚をコントロールする事
によシ焦点距離の調整が可能である。
キノンジアザイド類を結合させた高分子化合物（ポジ型
ホトレジストの−ａ［）を塗布・ベーク・現像・リンス
という通常のホトレジスト処理工程を経てマイクロレン
ズとする円形のパターンを形成した後、１６０℃の熱処
理を行なう事により該円形のパターンが軟化乃至溶融し
、異面張力によって球面を形成しマイクロレンズアレー
が構成される。この時、パターンの円形の直径とレジス
ト厚の比を約１０：１にする事によ少、はぼ真球面に近
いレンズが形成され、レジスト厚をコントロールする事
によシ焦点距離の調整が可能である。
本案施例のマイクロレンズはホトレジスト処理工程によ
り形成されるのでアレーとして並べる事は極めて容易で
ある。
り形成されるのでアレーとして並べる事は極めて容易で
ある。
また、上述の製造方法から明らかなように、使用材料は
ガラス基板と、ホトレジスト用の薬品のみであり、かつ
、＃！造工程はホトレジスト操作と熱処理のみであるか
ら安価に構成することができるＯ また、電子部品用の薄膜プロセス技法、又は厚膜プロセ
ス技法を応用できるので、Ａ４版程度の大面積のマイク
ロレンズアレーの製造も容易に行い得る上に、大量生産
に適している。
ガラス基板と、ホトレジスト用の薬品のみであり、かつ
、＃！造工程はホトレジスト操作と熱処理のみであるか
ら安価に構成することができるＯ また、電子部品用の薄膜プロセス技法、又は厚膜プロセ
ス技法を応用できるので、Ａ４版程度の大面積のマイク
ロレンズアレーの製造も容易に行い得る上に、大量生産
に適している。
以上詳述したように、本発明のマイクロレンズアレーは
従来例のマイクロレンズアレーに比して厚さ寸法を格段
に縮小することができるので、マイクロレンズアレーを
用いた光学−電子機器の小形化に貢献するところ多大で
ある。
従来例のマイクロレンズアレーに比して厚さ寸法を格段
に縮小することができるので、マイクロレンズアレーを
用いた光学−電子機器の小形化に貢献するところ多大で
ある。
を喪１本発明のマイクロレンズアレーの製造方法によれ
ば、本発明のマイクロレンズアレーを安価に大量生産す
ることができるので、マイクロレンズアレーを用いた光
学−電子機器のコスト低減、並びに実用化、普及に貢献
するところが極めて大きい。
ば、本発明のマイクロレンズアレーを安価に大量生産す
ることができるので、マイクロレンズアレーを用いた光
学−電子機器のコスト低減、並びに実用化、普及に貢献
するところが極めて大きい。
第１図は本発明のマイクロレンズアレーの１実施例の平
面図、第２図は第１図のｍ−ｍ断面図である。第３図は
従来例のマイクロレンズアレーの平面図、第４図は第３
図のｆｆ−ｆｆ断面図である。 １・・・ロッドレンズ、２・・・ＦＲＰ側板、３・・・
ガラス基板、４・・・半球状レンズ。
面図、第２図は第１図のｍ−ｍ断面図である。第３図は
従来例のマイクロレンズアレーの平面図、第４図は第３
図のｆｆ−ｆｆ断面図である。 １・・・ロッドレンズ、２・・・ＦＲＰ側板、３・・・
ガラス基板、４・・・半球状レンズ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、透明な板状の部材の表面に半球状のレンズを配列し
て固着してなるマイクロレンズアレー。 ２、透明な板状の部材の表面に、電子部品用の薄膜プロ
セス及び厚膜プロセスの何れかによって複数個の円形の
パターンを配列して構成した後、熱処理によって上記複
数個の円形パターンのそれぞれの表面を表面張力によっ
て球面化することを特徴とするマイクロレンズアレーの
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59233125A JPS61112101A (ja) | 1984-11-07 | 1984-11-07 | マイクロレンズアレ−及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59233125A JPS61112101A (ja) | 1984-11-07 | 1984-11-07 | マイクロレンズアレ−及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61112101A true JPS61112101A (ja) | 1986-05-30 |
Family
ID=16950143
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59233125A Pending JPS61112101A (ja) | 1984-11-07 | 1984-11-07 | マイクロレンズアレ−及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61112101A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5608577A (en) * | 1991-08-30 | 1997-03-04 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Optical mirror and optical device using the same |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58185445A (ja) * | 1982-04-20 | 1983-10-29 | Fujitsu Ltd | マイクロレンズアレイの製造方法 |
-
1984
- 1984-11-07 JP JP59233125A patent/JPS61112101A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58185445A (ja) * | 1982-04-20 | 1983-10-29 | Fujitsu Ltd | マイクロレンズアレイの製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5608577A (en) * | 1991-08-30 | 1997-03-04 | Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. | Optical mirror and optical device using the same |
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