JPH02165932A - マイクロレンズアレイの製造方法 - Google Patents
マイクロレンズアレイの製造方法Info
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- JPH02165932A JPH02165932A JP32135288A JP32135288A JPH02165932A JP H02165932 A JPH02165932 A JP H02165932A JP 32135288 A JP32135288 A JP 32135288A JP 32135288 A JP32135288 A JP 32135288A JP H02165932 A JPH02165932 A JP H02165932A
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Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 21
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 17
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 13
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims abstract description 7
- 238000003848 UV Light-Curing Methods 0.000 claims abstract description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 10
- 238000001723 curing Methods 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 2
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 abstract 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 2
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 2
- 239000011550 stock solution Substances 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
- B29D11/00—Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
- B29D11/00009—Production of simple or compound lenses
- B29D11/00278—Lenticular sheets
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、微小な凸レンズを多数有するマイクロレンズ
アレイに関スル。
アレイに関スル。
［従来の技術］
従来のマイクロレンズアレイは［伊賀他、光学第１０巻
、６号（１９８１）４１４Ｊに記載されているように、
平板マイクロレンズアレイとして作製されている。つま
り、ガラス基板上に円形開口のパターンを用い、イオン
拡散を行うと、３次元的な屈折率分布を基板内に形成す
ることができ、中心から二乗分布近似で屈折率が減少す
るという屈折率分布形のマイクロレンズを作製している
ものである。また、分布屈折率レンズとしては、セルフ
ォックレンズという名称で市販されているこれは、ロッ
ド状ガラスの周辺からイオン交換を行い、中心軸から二
乗分布で屈折率を減少させたもので、そのロッド状レン
ズを多数、周期的に求めることで、セルフォックレンズ
アレイとしたものである。
、６号（１９８１）４１４Ｊに記載されているように、
平板マイクロレンズアレイとして作製されている。つま
り、ガラス基板上に円形開口のパターンを用い、イオン
拡散を行うと、３次元的な屈折率分布を基板内に形成す
ることができ、中心から二乗分布近似で屈折率が減少す
るという屈折率分布形のマイクロレンズを作製している
ものである。また、分布屈折率レンズとしては、セルフ
ォックレンズという名称で市販されているこれは、ロッ
ド状ガラスの周辺からイオン交換を行い、中心軸から二
乗分布で屈折率を減少させたもので、そのロッド状レン
ズを多数、周期的に求めることで、セルフォックレンズ
アレイとしたものである。
［発明が解決しようとする課題］
しかし、前述の従来技術では、平板マイ、クロレンズも
セルフォックレンズにしろ、イオン拡散（イオン交換）
により屈折率分布を形成しているため、素子作製に要す
る時間は数日から数週間必要であり、工業化するにはコ
スト高になり、生産性が低いという問題点を有する。
セルフォックレンズにしろ、イオン拡散（イオン交換）
により屈折率分布を形成しているため、素子作製に要す
る時間は数日から数週間必要であり、工業化するにはコ
スト高になり、生産性が低いという問題点を有する。
そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、そ
の目的とするところは、短時間で容易に製造できるマイ
クロレンズアレイを提供するところにある。
の目的とするところは、短時間で容易に製造できるマイ
クロレンズアレイを提供するところにある。
〔課題を解決するための手段］
本発明のマイクロレンズアレイの製造方法は、透明基板
上に、熱硬化樹脂あるいはＵＶ硬化樹脂の硬化前の原料
液体を小滴にし、マイクロレンズを形成したい場所に付
け、その原料液滴の表面張力により、凸レンズ形状に保
ち、熱硬化樹脂の場合は、熱を加えることにより、ある
いはＵＶ硬化樹脂の場合は、ＵＶ光を照射することによ
り原料液滴を硬化し、凸レンズを透明基板上に形成する
ことを特徴とする。
上に、熱硬化樹脂あるいはＵＶ硬化樹脂の硬化前の原料
液体を小滴にし、マイクロレンズを形成したい場所に付
け、その原料液滴の表面張力により、凸レンズ形状に保
ち、熱硬化樹脂の場合は、熱を加えることにより、ある
いはＵＶ硬化樹脂の場合は、ＵＶ光を照射することによ
り原料液滴を硬化し、凸レンズを透明基板上に形成する
ことを特徴とする。
［作用コ
本発明の上記の構成によれば、樹脂の硬化前の液体は、
小滴になる程度の少量であれば、ある基板に付着した場
合、接触角θで半円弧状態を形成する。その曲率はθで
決定され、一定形状の半円弧状態を保持できる。この状
態を維持しながら、硬化処理を施すとマイクロレンズを
形成することができる。この液滴なアレイ状に並べれば
、マイクロレンズアレイにできることは明らかである。
小滴になる程度の少量であれば、ある基板に付着した場
合、接触角θで半円弧状態を形成する。その曲率はθで
決定され、一定形状の半円弧状態を保持できる。この状
態を維持しながら、硬化処理を施すとマイクロレンズを
形成することができる。この液滴なアレイ状に並べれば
、マイクロレンズアレイにできることは明らかである。
また、そのマイクロレンズの開口率ＮＡや焦点距離は樹
脂の硬化前の液体の組成や、粘度、接触角を適当に調整
することで可変である。しかし、そのレンズの曲率な変
え収差を変えることについては、接触角によって形が決
定されているため困難であるが、集光程度の目的であれ
ば、本発明の方法で十分である。
脂の硬化前の液体の組成や、粘度、接触角を適当に調整
することで可変である。しかし、そのレンズの曲率な変
え収差を変えることについては、接触角によって形が決
定されているため困難であるが、集光程度の目的であれ
ば、本発明の方法で十分である。
［実施例］
以下に実施例にて、本発明の詳細な説明する。
（実施例１）
シリコン樹脂の硬化前の原料液体を注射器にとり、ガラ
ス基板上に、等間隔で、縦横に一滴づつ原料液体を付着
させた。液体は小滴のため、基板上に半円弧状の液滴に
なり、液体が広がりてしまうことはなかった。この状態
で２００ ”Ｏで熱処理しシリコン樹脂を硬化させた。
ス基板上に、等間隔で、縦横に一滴づつ原料液体を付着
させた。液体は小滴のため、基板上に半円弧状の液滴に
なり、液体が広がりてしまうことはなかった。この状態
で２００ ”Ｏで熱処理しシリコン樹脂を硬化させた。
これだけの簡単な工程により、シリコン樹脂によるマイ
クロレンズをガラス基板上に配列されたマイクロレンズ
アレイが作製できた。
クロレンズをガラス基板上に配列されたマイクロレンズ
アレイが作製できた。
（実施例２）
ポリイミド樹脂の原液を実施例１と同様に注射器にとり
、ポリカーボネート板上に、等間隔に一列に、−滴づつ
原液を付着させた。この状態で、液滴が広がらないよう
に、オーブン中で加熱し、硬化させた。これで、マイク
ロレンズアレイヲ形成した。
、ポリカーボネート板上に、等間隔に一列に、−滴づつ
原液を付着させた。この状態で、液滴が広がらないよう
に、オーブン中で加熱し、硬化させた。これで、マイク
ロレンズアレイヲ形成した。
（実施例５）
ＵＶ硬化樹脂の硬化前の原料液体を注射器にとり、ポリ
メチルメタクリレート樹脂性の平板基板上に等間隔で、
縦横に一滴づつ原料液体を付着させた。液体は小滴のた
め、基板上に半円弧状の液滴になり、液体が広がってし
まうことはなかったこの状態で紫外光を照射し硬化させ
た。
メチルメタクリレート樹脂性の平板基板上に等間隔で、
縦横に一滴づつ原料液体を付着させた。液体は小滴のた
め、基板上に半円弧状の液滴になり、液体が広がってし
まうことはなかったこの状態で紫外光を照射し硬化させ
た。
これだけの簡単な工程により、ＵＶ硬化型樹脂によるマ
イクロレンズアレイが作製できた。
イクロレンズアレイが作製できた。
［発明の効果コ
以上述べたように、本発明によれば、硬化前の液滴を基
板に付着し、表面張力により半円弧状に保ちながら、硬
化処理を施し、凸レンズを形成することにより、低コス
トで、容易に作製できるマイクロレンズアレイを提供で
きる効果を有する。
板に付着し、表面張力により半円弧状に保ちながら、硬
化処理を施し、凸レンズを形成することにより、低コス
トで、容易に作製できるマイクロレンズアレイを提供で
きる効果を有する。
このようにして得られるマイクロレンズアレイはファク
シミリや複写機に使用でき、その低コスト化に貢献する
であろう。また、液晶プロジェクタ−に用い、その画素
に対応するようにマイクロレンズを配置すると、高輝度
化に役立つものと考えられる。
シミリや複写機に使用でき、その低コスト化に貢献する
であろう。また、液晶プロジェクタ−に用い、その画素
に対応するようにマイクロレンズを配置すると、高輝度
化に役立つものと考えられる。
このように、本発明の低コストで、製造容易なマイクロ
レンズアレイは、種々の光学製品の高機能化、 低コス ト化に太き（貢献することになるであ ろう。
レンズアレイは、種々の光学製品の高機能化、 低コス ト化に太き（貢献することになるであ ろう。
以
上
Claims (1)
- 透明基板上に、熱硬化樹脂あるいはＵＶ硬化樹脂の硬化
前の原料液体を小滴にし、マイクロレンズを形成したい
場所に付け、その原料液滴の表面張力により、凸レンズ
形状に保ち、熱硬化樹脂の場合は、熱を加えることによ
り、あるいはＵＶ硬化樹脂の場合は、ＵＶ光を照射する
ことにより原料液滴を硬化し、凸レンズを透明基板上に
形成することを特徴とするマイクロレンズアレイの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32135288A JPH02165932A (ja) | 1988-12-20 | 1988-12-20 | マイクロレンズアレイの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32135288A JPH02165932A (ja) | 1988-12-20 | 1988-12-20 | マイクロレンズアレイの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02165932A true JPH02165932A (ja) | 1990-06-26 |
Family
ID=18131623
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32135288A Pending JPH02165932A (ja) | 1988-12-20 | 1988-12-20 | マイクロレンズアレイの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02165932A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7179728B2 (en) | 2002-09-25 | 2007-02-20 | Seiko Epson Corporation | Optical component and manufacturing method thereof, microlens substrate and manufacturing method thereof, display device, and imaging device |
| JP2007112021A (ja) * | 2005-10-20 | 2007-05-10 | National Univ Corp Shizuoka Univ | 光硬化性樹脂の微細加工方法及び装置 |
| US7575845B2 (en) | 1997-08-08 | 2009-08-18 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Structure for pattern formation, method for pattern formation, and application thereof |
| JP2010223976A (ja) * | 2009-03-19 | 2010-10-07 | Dhs:Kk | レンズアレイの製造方法及びレンズアレイ |
| JP2012506933A (ja) * | 2008-10-30 | 2012-03-22 | ワッカー ケミー アクチエンゲゼルシャフト | 光によって架橋可能なシリコーン混合物からのシリコーン成形体の製造法 |
-
1988
- 1988-12-20 JP JP32135288A patent/JPH02165932A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7575845B2 (en) | 1997-08-08 | 2009-08-18 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Structure for pattern formation, method for pattern formation, and application thereof |
| US7943275B2 (en) | 1997-08-08 | 2011-05-17 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Structure for pattern formation, method for pattern formation, and application thereof |
| US7965446B2 (en) | 1997-08-08 | 2011-06-21 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Structure for pattern formation, method for pattern formation, and application thereof |
| US7998662B2 (en) | 1997-08-08 | 2011-08-16 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Structure for pattern formation, method for pattern formation, and application thereof |
| US8268546B2 (en) | 1997-08-08 | 2012-09-18 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Structure for pattern formation, method for pattern formation, and application thereof |
| US8785108B2 (en) | 1997-08-08 | 2014-07-22 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Structure for pattern formation, method for pattern formation, and application thereof |
| US8815130B2 (en) | 1997-08-08 | 2014-08-26 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Method for producing a lens |
| US7179728B2 (en) | 2002-09-25 | 2007-02-20 | Seiko Epson Corporation | Optical component and manufacturing method thereof, microlens substrate and manufacturing method thereof, display device, and imaging device |
| JP2007112021A (ja) * | 2005-10-20 | 2007-05-10 | National Univ Corp Shizuoka Univ | 光硬化性樹脂の微細加工方法及び装置 |
| JP2012506933A (ja) * | 2008-10-30 | 2012-03-22 | ワッカー ケミー アクチエンゲゼルシャフト | 光によって架橋可能なシリコーン混合物からのシリコーン成形体の製造法 |
| EP2350173B1 (de) * | 2008-10-30 | 2013-12-04 | Wacker Chemie AG | VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SILICONLINSEN FÜR LEDs AUS DURCH LICHT VERNETZBAREN SILICONMISCHUNGEN |
| JP2010223976A (ja) * | 2009-03-19 | 2010-10-07 | Dhs:Kk | レンズアレイの製造方法及びレンズアレイ |
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