JPS6110828A - 蛍光スクリ−ンの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ この発明は、ブラックマトリックスタイプの蛍光スクリ
ーン、特に、グラファイトやカーホンブラックなどの光
吸収性黒色物質の背面に二酸化珪素被膜を備えたブラッ
クマトリックスタイプの蛍光スクリーンの製造方法に関
するものである。

［従来技術］ 従来のこの種のカラー陰極線管の蛍光スクリーンは、第
１　Ｍのような］二程によって製造されている。すなわ
ち、まず始めに、第１図（ａ）に示すように、パネルガ
ラス（１）の背面を洗浄したうえで、フオＩ・レシス１
−（２）をＷ／＞　ｄｉ　シ、乾燥する。つきに、所定
の３個所の光源位１６からシャドウマスク（図小ゼず）
を介して、」−記フオドレジスト（２）の緑画素Ｇ、ｖ
’ｒ画素Ｂ、赤画素Ｒか形成される部分を露光する。つ
きに、現像を行なって、第１図（ｂ）に小すように、未
露光部分（３）を除去し、この背面に、第１１；Ｊ（ｃ
）に小すように、グラファイトあるいはカーボンブラッ
クなどの光吸収性黒色物質（４）のサスペンションをｐ
　７１４して乾燥させる。つきに、この光吸収性黒色物
質（４）の４−から過醇化水素や過よう素醇塩なとの過
醇化物水溶液を加え、残っていたフォトレジスト（２）
を酸化して可溶化する。さらに、この可溶化したフオＩ
・レジスト（２）を、水洗によって背面の光吸収性黒色
物質（４）とともに除去し、第１図（ｄ）に示すブラッ
クマトリックス（１０）を形成する。つぎに、公知の写
真印刷法により、第１図（ｅ）に示すように、このブラ
ックマトリクス（ｌＯ）の背面に緑画素Ｇ、青画素Ｂ、
赤画素Ｒからなる画素（５）を形成する。しかるのち、
第１図（ｆ）に７４＜すように、」二記画素（５）の背
面を有機物の薄膜（６）で平滑化してから、アルミニウ
ム薄膜（７）を蒸着して、蛍光スクリーン（２０）が製
造される。

ところで、上記従来の蛍光スクリーン（２０）において
は、あとのベーキング工程で有機物の薄膜（６）が分解
除去されて、アルミニウム薄膜（７）と光吸収性黒色物
質（４）とが直接接触すると、この光吸収性黒色物質（
４）からのアルカリ溶出でアルミニウム薄膜（７）か変
質する問題が発生した。このため、最近、第２図に示さ
れるような光吸収性黒色物質（４）の背面に二酸化珪素
被膜（８）を形成した蛍光スクリーン（２１）、あるい
は、第３Ｖに示されるような光吸収性黒色物質（４）の
背面だけでなく、画素（５）が形成されるべきパネルガ
ラス（１）の背面にも一耐化珪素被膜（８）を形成した
構造の蛍光スクリーン（２２）が提案されるようになっ
た。すなわち、」−記二酸化珪素被膜（８）は上記光吸
収性黒色物質（４）からのアルカリ溶出を防止する効果
を看するので、上記アルミニウム薄膜（７）の変質を防
ＩＩ−することができる。

この二酸化珪素被膜（８）を形成する方法は、珪咳エチ
ルや珪酸ブチルなどの珪酸エステルをアルコールと少量
１（の木で希釈した反応液を作り、この反応液を塗布す
るというもので、上記珪酸エステルが加水分解すること
により、二酸化珪素被膜（８）か形成される。

さて、上記従来方法で形成された二酸化珪素被膜（８）
について、その珪酸エステル濃度に対するアルカリ溶出
防ｌ−効果の関係を第４図の実線のグラフで示す。この
グラフからも分かるように、上記従来の二酸化珪素被膜
（８）の形成方法では、珪酸エステル濃度を１０重量％
以上としないと光吸収性黒色物質（４）からのアルカリ
溶出を防止できない。

ところが、この珪酸エステル濃度が大きすぎると、あと
の蛍光体スラリー塗布工程で第５図に示すような塗布む
らが発生する恐れがある。この蛍光体スラリー塗布むら
発生度と、珪酸エステル濃度との関係を第４図の破線の
グラフにホす。このグラフからも分かるように、上記珪
酪エステル濃度か１５重量％以上となると、上記塗布む
らが非常に発生し易くなる。

したがって、上記従来の二酸化珪素被膜（８）の形成方
法においては、珪酸エステルの濃度を１０〜１５重量％
に制御する必要があるが、この制御は実際上、非常に困
難である。また、原価低減のためにも、上記珪酸エステ
ルの濃度が少なくて済む二酸化珪素被膜（８）の形成方
法の開発か望まれている。

［発明の概要］ この発明は上記の点に鑑みてなされたもので。

グラファイトやカーボンブラックのような光吸収性黒色
物質を、パネルガラスの背面における蛍光体からなる画
素の周囲に配置したブラックマトリックスタイプの蛍光
スクリーンの製造方法において、上記光吸収性黒色物質
の背面に形成する二酸化珪素被膜か、珪酸エステルと、
オルト燐酸、ピロ燐酸またはメタ燐酸のうち少なくとも
１種の燐酸とを含む反応液を、加水分解させて形成され
ていることにより、珪酸エステルの濃度か少なくて済む
とともにその許容範囲が広くなり、しかも１、；＋１．
光体スラリーの塗布むらが発生しにくい蛍光スクリーン
の製造方法を提供することを目的とする。

［発明の実施例］ この発ＩＪＩは、−酸化珪素被膜（８）中の珪酸エステ
ルの濃度をトーぼるべく、これに添加する種々の化？物
質を試験した結果得られたものである。この試験による
と、オルト燐酸、ピロ燐酸またはメタ燐酸などの燐酸を
少量添加することにより、低１農度の珪ｍエステルを加
水分解して形成した二酸化珪素被＋１Ｑ（８）でも、ア
ルカリ溶出によるアルミニウム薄膜（７）の４ｉ寅防止
が達成できることか分かった。

第６図のグラフはその結果の１例を示すものであり、珪
酸エチル（珪酸エステル）に対して１０重量％のオルト
燐酸を添加した反応液を加水分解することにより、第３
図の二酸化珪素被膜（８）を形成し、その珪酸エチルの
濃度とアルカリ溶出防１１効果および蛍光体スラリーの
塗布むら発生度との関係をそれぞれ実線および破線のグ
ラフで示したものである。第６図から、燐酸（オルト燐
酸）の添加により、珪酸エステル（珪酸エチル）の濃度
を４重量％まで引き下げた場合でも、これによって形成
された二酸化珪素被膜（８）は、光吸収性黒色物質（４
）からのアルカリ溶出防止効果を充分有することが分か
る。しかも、蛍光体スラリーの塗布むらは、珪酸エステ
ル濃度が２５重量％以上の場合に発生するので、珪酸エ
ステル濃度の許容範囲が従来よりも広がっていることが
分かる。

以下、実施例によりさらに詳細に説明する。

（実施例１） 公知のブラックマトリックス形成方法に従って、グラフ
ァイト（光吸収性黒色物！（４））のサスペンションを
塗布し、第１図（ｄ）のブラックマトリクス（１０）を
パネルガラス（１）の内面に形成したのち、つきの組成
のこの発明の燐酸を含む４重ｊ−１％珪酸エチル（珪酸
エステル）溶液を塗布して加水分解し、第３図の構造の
二酸化珪素被膜（８）を形成した。

珪酸エチル・・・４．０重量％ オルト燐酸・・・０．４重量％ 水　　　　　　　　・　・　・　０　、４重量％エタノ
ール・・・残部 こののち、公知の写真印刷法で蛍光スクリーン（２２）
を完成した。

このざし光スクリーン（２２）を４５０　’Ｃで２時間
ヘーキングして４１機物の薄膜（６）を分解除去し、１
ｉ期間保管した結果、グラファイト（光吸収性黒色物質
（４））からのアルカリ溶出によるアルミニウム薄膜（
７）の変質は見られなかった。なお、これと同等のアル
カリ溶出防止効果を従来の方法で得るためには、第４図
のグラフからも分かるように一１１０重ｊ１ｔ％以上の
珪酸エステルが必要である。

（実施例２） 公知のブラックマトリックス形成力法に従って、カーボ
ンブラック（光吸収性黒色物ｆｆ（４））のサスペンシ
ョンを塗布し、第１図（ｄ）のブラックマトリクス（１
０）をパネルガラス（１）の内面に形成したのち、つき
の組成のこの発明の燐酸を含む５重量％の珪酸ブチル（
珪酸エステル）溶液を塗布して加水分解し、第３図の構
造の二酸化珪素被膜（８）を形成した。

珪酸ブチル・・−５，０重量％ ピロ燐酎　・・・０．５重量％　　　′水　　　　　　
　　・　・　・　０　、５重量％ブタノール・・・残部 こののち、アルカリ溶出加速試験として、この二酸化珪
素被膜（８）の背面にアルミニウム薄膜（７）を形成し
、４５０　’Ｃで２時間ヘーキングして４１機物の薄膜
（６）を分解除去し、湿度７０％の条件下で保管した結
果、グラファイト（光吸収性黒色物質（４））からのア
ルカリ溶出によるアルミニウム と同等のアルカリ溶出防止効果を従来の方法で得るため
には、第４図のグラフからも分かるように、１３重１．
Ｘ％以」二の珪酸ブチルか必要である。

（実施例３） 実施例２と全く回し条件で次の組成のこの発明の燐酸を
含む６重量％珪酸エチル（珪酸エステル）溶液を加水分
解して二酸化珪素被膜（８）を形成した。

珪酸エチル・・・６．０重量％ メタ燐酸　・・・０．５重量％ 水　　　　　　　　・　・　・　０　、５重量％エタノ
ール・・・残部 モして実施例２と同様に加速試験を行なったかアルミニ
ラＡ　ｔ：Ｉ／膜の変質は発生しなかった。なお、これ
と回イ５のアルカリ溶出効果を得るためには、第４図の
グラフからも分かるように、１５重１．１％以」−のｊ
−１酸エチルが必要である。

［発明の効果］ 以−Ｌ説明したように、この発明によれば、二酸化珪素
被膜を形成する際に、珪酸エステルとともにオルを燐酸
、ピロ燐酸またはメタ燐酸のうち少なくとも１種の燐酸
を少量加えることにより、珪酸エステルの濃度が少なく
て済むとともにその計容範囲が広くなり、しかも、蛍光
体スラリーの塗１１５むらか発生しにくい蛍光スクリー
ンの製造方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はブラックマトリクスタイプの蛍光スクリーンの
製造方法を示す断面図、第２図は光吸収性黒色物質の背
面に二酸化珪素被膜を形成してなるブラックマトリクス
タイプの蛍光スクリーンの断面図、第３図は光吸収性黒
色物質およびパネルガラスの背面に二酸化珪素被膜を形
成してなるブラックマトリクスタイプの蛍光スクリーン
の断面図、第４図は従来方法で形成したニー酸化珪素被
膜の珪酸エステル濃度とアルカリ溶出防止効果および蛍
光体スラリー塗布むら発生度との関係を示すグラフ、第
５図は蛍光体スラリーの塗布むらの１例を示す概略図、
第６図はこの発明の一実施例にかかる方法で形成した二
酸化珪素被膜の珪酸エステル濃度とアルカリ溶出防止効
果および蛍光体スラリー塗布むら発生度との関係を示す
グラフである。 （４）・・・光吸収性黒色物質、（５）・・・画素、（
８）・・・−°、酸化珪素６ｕ膜、（１ｏ）・・・ブラ
ックマトリクス、（２１）、（２２）・・・イＪｆ光ス
クリーン。 なお、図中同一符号は同一もしくは相当部分を小す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）グラファイトやカーボンブラックのような光吸収
   性黒色物質を、パネルガラスの背面における蛍光体から
   なる画素の周囲に配置したブラックマトリクスタイプの
   蛍光スクリーンの製造方法において、上記光吸収性黒色
   物質の背面に形成する二酸化珪素被膜が、珪酸エステル
   と、オルト燐酸、ピロ燐酸またはメタ燐酸のうち少なく
   とも１種の燐酸とを含む反応液を、加水分解させて形成
   されていることを特徴とする蛍光スクリーンの製造方法
   。