JPS61106781A - エツチング処理液の再生方法 - Google Patents

エツチング処理液の再生方法

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JPS61106781A
JPS61106781A JP22915684A JP22915684A JPS61106781A JP S61106781 A JPS61106781 A JP S61106781A JP 22915684 A JP22915684 A JP 22915684A JP 22915684 A JP22915684 A JP 22915684A JP S61106781 A JPS61106781 A JP S61106781A
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JP
Japan
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soln
regeneration
etching solution
etching
liquid
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JP22915684A
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English (en)
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JPS6360833B2 (ja
Inventor
Tetsuharu Hayakawa
早川 徹治
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Proterial Ltd
Original Assignee
Sumitomo Special Metals Co Ltd
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Publication date
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23FNON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/46Regeneration of etching compositions

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は塩化鉄を主成分とするエツチング処理液を再
生する方法に関する。
〔従来技術〕
鉄合金、合金鋼等被処理材のエツチング処理液としては
、従来の硝弗酸に代って塩化第二鉄(FeCe3)が用
いられ、これにHC1!および/またはH2SO4の単
独あるいは混合酸を添加することによりデスケール性お
よび表面平滑性とも優れたエツチング処理が行われてい
るが、被処理材のエツチング処理量増大とともにエツチ
ング液は劣化し、処理液中のFeCe3が減少し、Fe
Cl2が増大して、被処理材のデスケール性、表面平滑
性が劣化する。
そのため、エツチング処理液の再生法として従来、オゾ
ン、CI!2ガスを吹込む方法、過酸化水素やさらし粉
等の酸化剤を添加する方法、および隔膜を使用した電解
酸化法等が行われているが、オゾン、Clzガスを吹込
む方法では発生設備費に多額を要する許りでな(、環境
問題や取扱上、大きな障害がある。また上記酸化剤添加
法はコスト高になるとともに過酸化水素の場合は多量の
水が発生し、またさらし粉の場合は再生液中にムイオン
が不純物として残存するおそれがある。さらに電解酸化
法の場合は設備費に高額を要し、且つ発生水素が多量に
なると爆発のおそれがある。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、上記従来法の欠点を除去し、安価な装
置にて犬なる再生能率を有するエツチング処理液の再生
方法を提供するにある。
〔発明の構成〕
この発明はへ含有の酸化性気体によりエツチング処理液
を処理する方法に関する。一般にエツチング処理液は下
記反応式(1)により再生が行われる。
4Fe”+4H++32−e4Fe”+2H2Q  −
・−fi1発明者は上記(1)反応式を左側より右側に
進行させる安価、簡単且つ能率的方法について種々検討
した結果、第一鉄イオン含有のエツチング処理液にHと
して塩酸を添加する。この塩酸含有のエツチング処理液
に02を供給するため、耐酸、耐熱性の充填剤、例えば
リング状ガラス片等を充填した再生槽内に母含有の酸化
性気体を送入しながら前記混合処理液を通して接触反応
を促進し、且つこの混合処理液を特定温度に加熱するこ
とにより前記(1)式の左側より右側への反応を促進で
きることが判明した。
本発明は上記知見に基くのであって、気液接触子 促進用充填剤を充填した再生槽に再生しようとするエツ
チング処理液を添加塩酸とともに収容し、前記混合液中
に02含有の酸化性気体を吹込み、60℃〜95℃の加
熱状態で撹拌して再生する方法を特徴とする。
本発明の方法をさらに例示の図面により説明する。
第1図において、再生槽(1)内には気液接触を促進す
る充填剤(2)が充填され、エツチング処理液が収容さ
れる。エツチング処理液に添加される塩酸は塩酸供給管
(4)より供給される。
再生槽(1)内の上記混合処理液(3)中に空気、酸素
等を吹込む02含有酸化性気体吹込管(5)を挿入して
、)含有酸化性気体を吹込むとともに、混合処理液(3
)中に挿入したヒーター(6)にて混合処理液(3)を
60℃〜95℃に加熱しながら前記吹込み気体により液
(3)を撹拌し再生する。
再生液は再生槽(1)下部の再生液取出口(7)より循
環管(8)を経て再生槽(1)内の混合処理液(3)上
部に噴霧して循環再生される。           
     iこの発明において、再生槽(1)内に充填
する充填剤(2)は、ラシとリング、ンシノグリングそ
の他の    ′形状でもよく、材質はガラス質等の混
合処理液と化学反応の生じないものならよく、大きさは
3mm〜100閣のものが適宜使用できる。
また本発明において、エツチング処理液に塩酸を添加す
る理由は、前記した如く反応式(1)において、tを供
給するためであり、そのため塩酸の添加量はFe2+量
に対して当量以上のtを供給する塩酸量が必要である。
また処理液(3)中に吹込むq含有の酸化性気体は酸素
でもよいが、コスト的には空気が一番好ましく、その吹
込圧は0.5K1g10n’〜5即A−1吹込流量はq
量として51!Ain〜20 l min が好ましい
さらに混合処理液(3)を60℃〜95℃に加熱する手
段としては、混合処理液を前記の如くヒーターにより直
接あるいは間接に加熱してもよく、また前記02含有酸
化性気体を予熱して吹込んでもよく、または再生液を循
環させる途中で加熱してもよい。加熱温度は60℃以下
ではFe  −+Fe  への反応速度が遅くなり、ま
た95℃を超えると処理液が蒸発するので好ましくない
〔実施例〕
次に第2図は、第1表の条件に基き再生前の処理液(組
成: FeCea 5wt%、FeCe21 i、 s
 w t%、HCJl、5wt%、H2SO45wt%
)に02含有酸化性気体として空気を圧力1.0KS’
/mat 、流量15 /!Axin  にて吹込み、
液循環をR’zfninとした場合の処理液の酸化時間
と処理液中のFeCe2がFeα3に変化する量(再生
量)との関係を示す。図中、曲線(5)は本発明方法、
曲線+11 +21 +3+ +41は本発明に属さな
いものである。
第   1   表 〔発明の効果〕 Fe −42Ni合金を20時間エッチ/グした再生前
の処理i2/を5 mm jのガラス製ラシヒリング2
eを充填した第1図に示す再生槽に収容し、この槽内の
処理液に12NHC/150mgを添加後、再生槽に5
 wn/の気体吹込管を挿入し、これより80℃に加熱
した空気を圧力l−O1−0K91 、流量15沙霜i
nにて処理液中に15時間吹込み、この吹込みにより液
を撹拌する一方、循環管を通して槽内処理後上方より再
生液を噴霧し、R’A+inで循環させて再生する本発
明方法により得られた再生後の処理液を再生前と比較す
ると下表の如くであって、本発明方法が設備費を殆んど
要せず、しかも極めて優れた再生能率を有することを示
すものである。
第   2   表
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明方法を実施する装置例の説明図、第2図
は処理液に空気を吹込み、液を循環させた場合の処理液
の酸化時間と処理液中のFeCl2  がFeCj’3
に変化する再生量との関係図である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)気液接触促進用充填剤を充填した再生槽に再生し
    ようとするエッチング処理液を添加塩酸とともに収容し
    、前記混合液中にO_2含有の酸化性気体を吹込み、6
    0℃〜95℃の加熱状態で撹拌して再生することを特徴
    とするエッチング処理液の再生方法。
JP22915684A 1984-10-30 1984-10-30 エツチング処理液の再生方法 Granted JPS61106781A (ja)

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