JPS6110291A - 炭酸ガスレ−ザ装置 - Google Patents
炭酸ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS6110291A JPS6110291A JP13169284A JP13169284A JPS6110291A JP S6110291 A JPS6110291 A JP S6110291A JP 13169284 A JP13169284 A JP 13169284A JP 13169284 A JP13169284 A JP 13169284A JP S6110291 A JPS6110291 A JP S6110291A
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- JP
- Japan
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- mirror
- resonator
- polarized light
- output
- angle
- Prior art date
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- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は大出力の炭酸がスレーザ装置に係り、特にそ
の出力レーザ光の偏光特性の改善に関する。
の出力レーザ光の偏光特性の改善に関する。
従来、大出力の炭酸ガスレーザ装置は、第３図及び第４
図に示すようにエンドミラー１と出力ミラー２から共振
器が構成されている。第３図では、ｔｂｌに示すような
ランダム偏光レーザ光４が得られ、第４図では共振器内
にブリュスターウインドウ５を設けてｆｂｌに示すよう
な直線偏光レーザ光６を得ている。この直線偏光レーザ
光６を円偏光に変換する方法が、第５図に示しである。
図に示すようにエンドミラー１と出力ミラー２から共振
器が構成されている。第３図では、ｔｂｌに示すような
ランダム偏光レーザ光４が得られ、第４図では共振器内
にブリュスターウインドウ５を設けてｆｂｌに示すよう
な直線偏光レーザ光６を得ている。この直線偏光レーザ
光６を円偏光に変換する方法が、第５図に示しである。
尚、第３図及び第４図の３は、レーザ共振を示している
。
。
従来の炭酸がスレーザ装置においては、第４図に示した
ように、プリュスターウインドウ５を設け、そのプリュ
スターウインドウ５の光の偏光面の違いによる透過率の
違いにより、レーザ共＠光の偏光面を決定していた。し
かしながら、レーザ出力が高くなり、又、炭酸がスレー
ザのように波長が１０．６μｍと長くなると、一般のが
ラス祠が用いられず、特殊な材料（Ｚｎ８ｅ等）を用い
る必要がある。共振エネルギーが高くなると、このプリ
ュスターウインドウ５を通過するエネルギーも多くなり
、従ってプリュスターウインドウ６が吸収するエネルギ
ーが増大する。そのため、このプリュスターウイントウ
材が光学的熱歪を受け、共振器の構成を狂わせ、レーザ
出力の低下１発振横モードの変化をもたらすことがあっ
た。
ように、プリュスターウインドウ５を設け、そのプリュ
スターウインドウ５の光の偏光面の違いによる透過率の
違いにより、レーザ共＠光の偏光面を決定していた。し
かしながら、レーザ出力が高くなり、又、炭酸がスレー
ザのように波長が１０．６μｍと長くなると、一般のが
ラス祠が用いられず、特殊な材料（Ｚｎ８ｅ等）を用い
る必要がある。共振エネルギーが高くなると、このプリ
ュスターウインドウ５を通過するエネルギーも多くなり
、従ってプリュスターウインドウ６が吸収するエネルギ
ーが増大する。そのため、このプリュスターウイントウ
材が光学的熱歪を受け、共振器の構成を狂わせ、レーザ
出力の低下１発振横モードの変化をもたらすことがあっ
た。
又、第５図に示したように、直線偏光のレーザ光６の円
偏光のレーザ光８への変換においても、Ｋ波長板７を用
いて行なっていたが、この場合も上記プリュスターウィ
ンドゥ５とｔ［ような不具合を生じると共に、その熱負
荷のため、破壊されてしまう場合もあった。
偏光のレーザ光８への変換においても、Ｋ波長板７を用
いて行なっていたが、この場合も上記プリュスターウィ
ンドゥ５とｔ［ような不具合を生じると共に、その熱負
荷のため、破壊されてしまう場合もあった。
この発明の目的は、上記従来の問題点を解消し、きれい
な円偏光の大出力炭酸ガスレーザ光が得られる炭酸がス
レーザ装置を提供することである。
な円偏光の大出力炭酸ガスレーザ光が得られる炭酸がス
レーザ装置を提供することである。
この発明は、共振器の内部に折曲げ反射ミラーを入射角
及び出射角が３０’〜６０’になるように配設すると共
に、共振器より射出されたレーザ光を受は共振器の主軸
と平行とする阿波長変換ミラーを設けた炭酸ガスレーザ
装置である。
及び出射角が３０’〜６０’になるように配設すると共
に、共振器より射出されたレーザ光を受は共振器の主軸
と平行とする阿波長変換ミラーを設けた炭酸ガスレーザ
装置である。
この発明の炭酸ガスレーザ装置は第１図に示すようにな
り、従来例と同一箇所は同一符号を付すと、共振器はエ
ンドミラーノと出力ミラー２により構成されている。そ
して、この共振器の内部には、上記出力ミラー２側に、
折曲げ反射 −７−９がその入射角及び反射角が３００
〜６０°、例えば４５°になるように配設されている。
り、従来例と同一箇所は同一符号を付すと、共振器はエ
ンドミラーノと出力ミラー２により構成されている。そ
して、この共振器の内部には、上記出力ミラー２側に、
折曲げ反射 −７−９がその入射角及び反射角が３００
〜６０°、例えば４５°になるように配設されている。
更に、共振器の外部、即ち上記出力ミラー２の直後には
％４５°の入射角に設定された阿波長変換ミラー１０が
設けられている。
％４５°の入射角に設定された阿波長変換ミラー１０が
設けられている。
動作時には、折曲げ反射ミラー９により共振におけるレ
ーザ光の偏光面が決定される。これは、Ｐ偏光、Ｓ偏光
により反射率が違うことと、炭酸ガスレーデでは発振の
ダインが高いことにより、決定させるものである。その
Ｐ偏光、Ｓ偏光における反射の特性曲線を第２図に示し
た。
ーザ光の偏光面が決定される。これは、Ｐ偏光、Ｓ偏光
により反射率が違うことと、炭酸ガスレーデでは発振の
ダインが高いことにより、決定させるものである。その
Ｐ偏光、Ｓ偏光における反射の特性曲線を第２図に示し
た。
次に、Ｚ波長変換ミラー１０により、共振器がら射出さ
れた直線偏光のレーザ光６は、阿波長変換ミラー１０に
より偏光面の回転作用を受け・円偏光のレーザ光８に変
換される。
れた直線偏光のレーザ光６は、阿波長変換ミラー１０に
より偏光面の回転作用を受け・円偏光のレーザ光８に変
換される。
この発明によれば、従来のように光学部品。
特にブリュスターウインドウ５及び阿波長板７に対して
大きな熱負荷を与えることなく、折曲げ反射ミラー９を
共振器内部に１枚、Ｋ波長変換ミラーＩＱをレーザ出射
直後に１枚、それぞれ設けることにより、簡単に円偏光
の炭酸ガスレーデ元を得ることができ、そのレーザ光の
加工等への応用の効果は大である。
大きな熱負荷を与えることなく、折曲げ反射ミラー９を
共振器内部に１枚、Ｋ波長変換ミラーＩＱをレーザ出射
直後に１枚、それぞれ設けることにより、簡単に円偏光
の炭酸ガスレーデ元を得ることができ、そのレーザ光の
加工等への応用の効果は大である。
又、この発明では、上記機能を出力ミラー２付近に集結
したため、全機能のユニット化が可能となった。更に一
体構造としたため、直線偏光面とλ波長変換ミラー１０
との位置関係を機械的精度で設定することができた。こ
の一体構造のため、出力ミラーユニット部での回転に関
しても、その円偏光（直線偏光から円偏光への変換機能
）には影響がない。
したため、全機能のユニット化が可能となった。更に一
体構造としたため、直線偏光面とλ波長変換ミラー１０
との位置関係を機械的精度で設定することができた。こ
の一体構造のため、出力ミラーユニット部での回転に関
しても、その円偏光（直線偏光から円偏光への変換機能
）には影響がない。
更にこの発明によれば、レーザの共振器の基本の光軸と
円偏光化された後の光軸とを平行にすることができるう
え、更に同軸上に合わせる場合にも、あと２枚の折曲げ
反射ミラー９の使用でよい。この場合には、Ｋ波長変換
ミラー１０を％波長変換ミラー２枚としてもよい。
円偏光化された後の光軸とを平行にすることができるう
え、更に同軸上に合わせる場合にも、あと２枚の折曲げ
反射ミラー９の使用でよい。この場合には、Ｋ波長変換
ミラー１０を％波長変換ミラー２枚としてもよい。
尚、この発明は、単軸の共振器に適用できるのみならず
、多重折返し型の共振器にも適用できるのは勿論である
。
、多重折返し型の共振器にも適用できるのは勿論である
。
第１因はこの発明の一実施例に係る炭酸ガスレーザ装置
を示す概略構成図、第２図はＰ偏光、Ｓ偏光における反
射特性を示す特性曲線図、第３図及び第４図は従来の炭
酸ガスレーザ装置の２例を示す概略構成図、第５図は直
線偏光のレーザ光をに波長板により円偏光のレーザ光に
変換する方法を示す説明図である。 １・・・エンドミラー、２・・・出力ミラー、９・・・
折曲げ反射ミラー、１０・・・へ波長変換ミラー。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第２図 Ｐ偏光とＳ漏光 第３図 （ａ） （ｂ） 第４図 （ａ） （ｂ） 第５図
を示す概略構成図、第２図はＰ偏光、Ｓ偏光における反
射特性を示す特性曲線図、第３図及び第４図は従来の炭
酸ガスレーザ装置の２例を示す概略構成図、第５図は直
線偏光のレーザ光をに波長板により円偏光のレーザ光に
変換する方法を示す説明図である。 １・・・エンドミラー、２・・・出力ミラー、９・・・
折曲げ反射ミラー、１０・・・へ波長変換ミラー。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第２図 Ｐ偏光とＳ漏光 第３図 （ａ） （ｂ） 第４図 （ａ） （ｂ） 第５図
Claims (1)
- エンドミラーと出力ミラーとからなる共振器の内部の出
力側に、１つ以上の折曲げ反射ミラーをその入射角及び
反射角が３０°〜６０°になるように配設し、更に上記
出力ミラーの直後に１／４波長変換ミラーを設けたこと
を特徴とする炭酸ガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59131692A JPH0789591B2 (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | 炭酸ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59131692A JPH0789591B2 (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | 炭酸ガスレ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6110291A true JPS6110291A (ja) | 1986-01-17 |
| JPH0789591B2 JPH0789591B2 (ja) | 1995-09-27 |
Family
ID=15063975
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59131692A Expired - Lifetime JPH0789591B2 (ja) | 1984-06-26 | 1984-06-26 | 炭酸ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0789591B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63292432A (ja) * | 1987-05-25 | 1988-11-29 | Sony Corp | 光学ピックアップ装置 |
| JPH03193323A (ja) * | 1989-12-22 | 1991-08-23 | Matsuda Seisakusho:Kk | 射出成形機における金型移動装置 |
| WO1996005638A1 (fr) * | 1994-08-10 | 1996-02-22 | Fanuc Ltd | Oscillateur laser |
| US5878067A (en) * | 1994-08-10 | 1999-03-02 | Fanuc Ltd. | Laser oscillator |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5613389A (en) * | 1979-06-29 | 1981-02-09 | Ajinomoto Kk | Valve for powder |
| JPS56133889A (en) * | 1980-03-24 | 1981-10-20 | Hitachi Ltd | Laser generating apparatus |
| JPS59129485A (ja) * | 1983-01-13 | 1984-07-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ発振装置 |
-
1984
- 1984-06-26 JP JP59131692A patent/JPH0789591B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5613389A (en) * | 1979-06-29 | 1981-02-09 | Ajinomoto Kk | Valve for powder |
| JPS56133889A (en) * | 1980-03-24 | 1981-10-20 | Hitachi Ltd | Laser generating apparatus |
| JPS59129485A (ja) * | 1983-01-13 | 1984-07-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ発振装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63292432A (ja) * | 1987-05-25 | 1988-11-29 | Sony Corp | 光学ピックアップ装置 |
| JPH03193323A (ja) * | 1989-12-22 | 1991-08-23 | Matsuda Seisakusho:Kk | 射出成形機における金型移動装置 |
| WO1996005638A1 (fr) * | 1994-08-10 | 1996-02-22 | Fanuc Ltd | Oscillateur laser |
| US5878067A (en) * | 1994-08-10 | 1999-03-02 | Fanuc Ltd. | Laser oscillator |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0789591B2 (ja) | 1995-09-27 |
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