JPS6097207A - 薄肉大面積の板状長尺製品の鋳造用鋳込み装置 - Google Patents
薄肉大面積の板状長尺製品の鋳造用鋳込み装置Info
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- JPS6097207A JPS6097207A JP59211582A JP21158284A JPS6097207A JP S6097207 A JPS6097207 A JP S6097207A JP 59211582 A JP59211582 A JP 59211582A JP 21158284 A JP21158284 A JP 21158284A JP S6097207 A JPS6097207 A JP S6097207A
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- Japan
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- switch sensor
- test object
- memory
- sensing speed
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0011—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
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- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
- G01B21/045—Correction of measurements
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、被検体に対し相対的に移動可能なスイッチセ
ンサと、被検体とスイッチセンサとの間の相対位置を測
定するだめの少なくとも1つの測定装置とを使用し、被
検体の位置及び/又は寸法を導出する方法であって、被
検体との接触の時間に、スイッチセンサが、この時間に
存在する測定装置の測定値を固定・保持する信号を発生
する被検体の位置及び/又は寸法の導出方法及びその方
法を実施する装置に関する。
ンサと、被検体とスイッチセンサとの間の相対位置を測
定するだめの少なくとも1つの測定装置とを使用し、被
検体の位置及び/又は寸法を導出する方法であって、被
検体との接触の時間に、スイッチセンサが、この時間に
存在する測定装置の測定値を固定・保持する信号を発生
する被検体の位置及び/又は寸法の導出方法及びその方
法を実施する装置に関する。
被検体の位置及び/又は寸法を導出する上記方法は、例
えば多座標測定機器に使用される。
えば多座標測定機器に使用される。
従来の技術
ヨーロッパ特許出願第0029499号明細書から、被
検体に対し相対的に移動可能なスイッチセンサと、被検
体とスイッチセンサとの間の相対位置を検出するための
少なくとも1つの測定装置とを使用し、被検体の寸法を
導出する装置は公知である。この装置では、被検体との
接触の時間に、この時間における測定装置の測定値を固
定・保持する信号が、スイッチセンサから生ずる。
検体に対し相対的に移動可能なスイッチセンサと、被検
体とスイッチセンサとの間の相対位置を検出するための
少なくとも1つの測定装置とを使用し、被検体の寸法を
導出する装置は公知である。この装置では、被検体との
接触の時間に、この時間における測定装置の測定値を固
定・保持する信号が、スイッチセンサから生ずる。
スイッチセンサによる被検体のセンシングは、種々に設
定された速度で行なわれる。測定装置により導出される
被検採とスイッチセンサとの間の相対位置のだめの測定
値には、センシングの際、共通の接触個所におけるスイ
ッチセンサ及び被検体の変形によシ、誤シをともなうこ
とが判っている。これらの変形は、一方ではセンシング
速度に依存し、他方ではスイッチセンサと被検体との間
の物質組合せに依存する。
定された速度で行なわれる。測定装置により導出される
被検採とスイッチセンサとの間の相対位置のだめの測定
値には、センシングの際、共通の接触個所におけるスイ
ッチセンサ及び被検体の変形によシ、誤シをともなうこ
とが判っている。これらの変形は、一方ではセンシング
速度に依存し、他方ではスイッチセンサと被検体との間
の物質組合せに依存する。
発明の解決しようとする問題点
本発明の基本的課題は、被検体の位置及び/又は寸法の
導出法において、上記のような速度や物質に依存する測
定誤差を除去することである。
導出法において、上記のような速度や物質に依存する測
定誤差を除去することである。
本発明によればこの課題は次のようにして解決される。
即ち、あらかじめセンシング速度及び/又はスイッチセ
ンサと被検体との間の物質組合せに依存して導出される
(I正値を、センシング速度及び/又は物質組合せによ
り誤シをともなう測定値の修正に使用するのである。
ンサと被検体との間の物質組合せに依存して導出される
(I正値を、センシング速度及び/又は物質組合せによ
り誤シをともなう測定値の修正に使用するのである。
本発明の方法を実施する装置は、計数器を加算器に接続
し、加算器を、センシング速度に依存して修正値のため
のメモリに接続しかつ/又は物質組合せに依存して修正
値のだめのメモリに接続することを特徴としている。
し、加算器を、センシング速度に依存して修正値のため
のメモリに接続しかつ/又は物質組合せに依存して修正
値のだめのメモリに接続することを特徴としている。
発明の効果
本発明によシ達成される効果は例えば次のとおシである
。即ち、あらかじめ導出される修正値によシ、誤シをと
もなう測定値を簡単な方法で素早くかつ正確に修正する
ことができ、従ってその都度のセンシング速度及びスイ
ッチセンサと被検体との間の物質組合せに依存すること
なく、被検体の位置及び寸法を正確に導出し、ひいては
装置を高い効率で使用することが可能となる。
。即ち、あらかじめ導出される修正値によシ、誤シをと
もなう測定値を簡単な方法で素早くかつ正確に修正する
ことができ、従ってその都度のセンシング速度及びスイ
ッチセンサと被検体との間の物質組合せに依存すること
なく、被検体の位置及び寸法を正確に導出し、ひいては
装置を高い効率で使用することが可能となる。
本発明の他の有利な実施例は特許請求の範囲の従属項に
記載されている。
記載されている。
実施例
次に本発明の実施例を図面によシ詳細に説明する。第1
図は3座標測定装置を示す。第2図は、センシング速度
に依存してスイッチセンサのスイッチング点がシフトす
ることの説明に供するダイヤグラムである。第3図は本
発明の方法を実施する装置を示す。
図は3座標測定装置を示す。第2図は、センシング速度
に依存してスイッチセンサのスイッチング点がシフトす
ることの説明に供するダイヤグラムである。第3図は本
発明の方法を実施する装置を示す。
第1図には、被検体Pを収容する台Tを具備する3座標
測定装置が図示されている。台Tは、装置架台B上にお
いて3本の直交装置軸で移動可能である。X方向(ここ
ではもっばらこれを考察する)における被検体Pをとも
なう台Tの移動を測定するために、測長装置りを6座標
測定装置に設けである。被検体Pの面F、 、F2をセ
ンシングするために、3本の機械軸で作用するスイッチ
センサSを装置架台Bに取シ付けである。
測定装置が図示されている。台Tは、装置架台B上にお
いて3本の直交装置軸で移動可能である。X方向(ここ
ではもっばらこれを考察する)における被検体Pをとも
なう台Tの移動を測定するために、測長装置りを6座標
測定装置に設けである。被検体Pの面F、 、F2をセ
ンシングするために、3本の機械軸で作用するスイッチ
センサSを装置架台Bに取シ付けである。
X方向における被検体Pの位置及び/又は外寸を検出す
るために、被検体Pのセンシングすヘキ面F1がスイッ
チセンサSのセンシング球にと接触するまで、被検体P
を上側に載せた台Tを、所定の速度でX方向に移動させ
る。台Tの移動従って被検体Pの移動は、測長装RLに
よシ測定される。被検体Pのセンシングすべき面F1と
スイッチセンサSのセンシング球にとが接触する時間に
、スイッチセンサSは、この時間に測長装置りに存する
被検体PとスイッチセンサSとの間の相対位置のだめの
測定値を固定・保持するだめの信号を送出する。次いで
同様の方法で、面F1に対向する被検体Pの面F2も、
スイッチセンサSによシセンシングされる。このように
して導出される2つの測定値から、X方向における被検
体Pの位置及び外寸が導出されることになる。
るために、被検体Pのセンシングすヘキ面F1がスイッ
チセンサSのセンシング球にと接触するまで、被検体P
を上側に載せた台Tを、所定の速度でX方向に移動させ
る。台Tの移動従って被検体Pの移動は、測長装RLに
よシ測定される。被検体Pのセンシングすべき面F1と
スイッチセンサSのセンシング球にとが接触する時間に
、スイッチセンサSは、この時間に測長装置りに存する
被検体PとスイッチセンサSとの間の相対位置のだめの
測定値を固定・保持するだめの信号を送出する。次いで
同様の方法で、面F1に対向する被検体Pの面F2も、
スイッチセンサSによシセンシングされる。このように
して導出される2つの測定値から、X方向における被検
体Pの位置及び外寸が導出されることになる。
被検体Pをセンシングするために、台Tは、スピンドル
SPを介して駆動ユニットATによシ移動可能である。
SPを介して駆動ユニットATによシ移動可能である。
第3図によれば駆動ユニツ)ATには、DA変換器り及
び駆動制御装置ARを介して数値制御装置BTから信号
が加わる。スイッチセンサSに対する被検体Pの移動を
測定する測長装置りは、カウントアツプ・カウントダウ
ン計数器2に接続されている。カウントアツプ・カウン
トダウン計数器2は、測長装置りによシ生ずる測定パル
スを適正な極性で計数する。スイッチセンサSは、被検
体Pのセンシングすべき面F1.II′2とセンシング
球にとの間の接触の時間に、カウントアツプ・カウント
ダウン計数器2及び制御装置BTに信号を送出する。こ
の信号は、カウントアツプ・カウントダウン計数器2で
は、その都度の測定値を固定・保持し、加算器ADへ転
送せしめ、制御装置STでは、スイッチセンサSと被検
体Pとの間の相対運動を停止せしめる働きをする。
び駆動制御装置ARを介して数値制御装置BTから信号
が加わる。スイッチセンサSに対する被検体Pの移動を
測定する測長装置りは、カウントアツプ・カウントダウ
ン計数器2に接続されている。カウントアツプ・カウン
トダウン計数器2は、測長装置りによシ生ずる測定パル
スを適正な極性で計数する。スイッチセンサSは、被検
体Pのセンシングすべき面F1.II′2とセンシング
球にとの間の接触の時間に、カウントアツプ・カウント
ダウン計数器2及び制御装置BTに信号を送出する。こ
の信号は、カウントアツプ・カウントダウン計数器2で
は、その都度の測定値を固定・保持し、加算器ADへ転
送せしめ、制御装置STでは、スイッチセンサSと被検
体Pとの間の相対運動を停止せしめる働きをする。
第2図には、所定の物質組合せの場合に、スイッチセン
サSのセンシング球にと被検体Pとの間において共通の
接触個所で変形が原因で生ずる、センシング速度Vに依
存するスイッチセンサSのスイッチング点のシフト8を
示すダイヤグラムを掲示しである。
サSのセンシング球にと被検体Pとの間において共通の
接触個所で変形が原因で生ずる、センシング速度Vに依
存するスイッチセンサSのスイッチング点のシフト8を
示すダイヤグラムを掲示しである。
本発明によれば、これらのスイッチング点のシフト日は
、あらかじめ導出される修正値として、センシング速度
Vに依存してデジタルで修正表の形式によりメモリM1
に記憶される。メモリM1は加算器AD及び制御装置S
Tに接続されている。種々の物質組合せのためのあらか
じめ導出される修正値は、デジタルでメモJM2に記憶
される。メモリM2は加算器AD及び入カニニットEに
接続されている。この入力ユニツ)Eiによシ、メモリ
M2に記憶された修正値から、尚該物質組合せのだめの
当該修正値が選出され、加算器ADに提供される。制御
装置STは、制御装置STによシ指定されるセンシング
速度に基づいて、メモリM1で当該修正値を選出し、こ
の修正値を加算器ADに提供する。
、あらかじめ導出される修正値として、センシング速度
Vに依存してデジタルで修正表の形式によりメモリM1
に記憶される。メモリM1は加算器AD及び制御装置S
Tに接続されている。種々の物質組合せのためのあらか
じめ導出される修正値は、デジタルでメモJM2に記憶
される。メモリM2は加算器AD及び入カニニットEに
接続されている。この入力ユニツ)Eiによシ、メモリ
M2に記憶された修正値から、尚該物質組合せのだめの
当該修正値が選出され、加算器ADに提供される。制御
装置STは、制御装置STによシ指定されるセンシング
速度に基づいて、メモリM1で当該修正値を選出し、こ
の修正値を加算器ADに提供する。
スイッチセンサSの接触の際に生ずる信号に基づいて加
算器ADに転送される測定値には、当該センシング速度
及び物質組合せのための修正値が重畳される。修正され
た測定値はメモリM3に記憶され、次いで制御装置ST
によ)表示ユニッ)Aで表示される。面y、、p’2の
センシングによシ、修正された測測定値から被検体Pの
X方向における位置及び外寸が導出される。
算器ADに転送される測定値には、当該センシング速度
及び物質組合せのための修正値が重畳される。修正され
た測定値はメモリM3に記憶され、次いで制御装置ST
によ)表示ユニッ)Aで表示される。面y、、p’2の
センシングによシ、修正された測測定値から被検体Pの
X方向における位置及び外寸が導出される。
加算器ADは、制御装置STに存在する計算機によシ、
図示していない態様で構成テることができる。この計算
機によシ、メモリM3に記憶される修正された測定値の
以後の処理も実施することができる。
図示していない態様で構成テることができる。この計算
機によシ、メモリM3に記憶される修正された測定値の
以後の処理も実施することができる。
修正値は、それぞれの個別的な可変センシング速度に応
じてあらかじめ導出するか、あるいはセンシング速度の
所定の領域に各々対応させることができる。
じてあらかじめ導出するか、あるいはセンシング速度の
所定の領域に各々対応させることができる。
なお、物質組合せとは、スイッチセンサSのセンシング
球K及びセンシングすべき被検体Pの硬度に関する物質
特性、即ちセンシングの際の共通の接触個所における機
械的変形に対するそれらの抵抗に関する物質特性、を意
味している。
球K及びセンシングすべき被検体Pの硬度に関する物質
特性、即ちセンシングの際の共通の接触個所における機
械的変形に対するそれらの抵抗に関する物質特性、を意
味している。
第1図は3座標測定装置の略図、第2図はセンシング速
度に依存するスイッチセンナのスイッチング点のシフト
を示すダイヤグラム、第3図は本発明の方法を実施する
装置のブロックダイヤグラムである。 P・・・被検体 S・・・スイッチセンサ に拳・・センシング球 ?1.72・・・被検体のセンシングすべき面T・・・
台 B・・・装置架台 L・・・測長装置 V−〇センシング速度 B・・・スイッチング点のシフト 8r・・・スピンドル AT・・・駆動ユニット AR・・・駆動制御装置 D・・・DA変換器 A・・・表示ユニット BT・・・制御装置 2・・・カウントアツプ・カウントダウン計数器 E・・・入カニニット M1〜M5・・・メモリ AD・・・加算器 代理人 江崎光好 代理人 江崎光史
度に依存するスイッチセンナのスイッチング点のシフト
を示すダイヤグラム、第3図は本発明の方法を実施する
装置のブロックダイヤグラムである。 P・・・被検体 S・・・スイッチセンサ に拳・・センシング球 ?1.72・・・被検体のセンシングすべき面T・・・
台 B・・・装置架台 L・・・測長装置 V−〇センシング速度 B・・・スイッチング点のシフト 8r・・・スピンドル AT・・・駆動ユニット AR・・・駆動制御装置 D・・・DA変換器 A・・・表示ユニット BT・・・制御装置 2・・・カウントアツプ・カウントダウン計数器 E・・・入カニニット M1〜M5・・・メモリ AD・・・加算器 代理人 江崎光好 代理人 江崎光史
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (1)被検体に対し相対的に移動可能がスイッチセンサ
と、被検体とスイッチセンサとの間の相対位置を測定す
るための少なくとも1つの測定装置とを使用し、被検体
の位置及び/又は寸法を導出する方法であって、被検体
との接触の時間に、スイッチセンサが、この時間に存在
する測定装置の測定値を固定・保持する信号を発生する
被検体の位置及び/又は寸法の導出方法において、 あらかじめセンシング速度及び/又はスイッチセンサ(
S)と被検体(P)との間の物質組合せに依存して導出
される修正値を、センシング速度及び/又は物質組合せ
によシ誤シをともなう測定値の修正に使用することを特
徴とする被検体の位置及び/又は寸法の導出方法。 (2) センシング速度に依存して導出される修正値を
メモリΦ1)に記憶しかつ/又は物質組合せに依存して
導出される修正値メモリ(M2)に記憶する特許請求の
範囲第(1)項に記載の方法。 (6)修正値を、その都度の可変なセンシング速度に依
存してあらかじめ導出する特許請求の範囲第(1)項に
記載の方法。 (4)アらかじめ導出した修正値を、センシング速度の
所定領域に各々配属させる特許請求範囲第(1)項に記
載の方法。 (5)測定装置(L)から供給される測定値に対し、加
算器(AD)において、メモリ(M11M2 )の該当
する修正値を加える特許請求範囲第(1)項又は第(2
)項に記載の方法。 (6)スイッチセンサ(S)と被検体(P)との間の相
対的移動のための制御装置(8℃の計算機によシ、加算
器(AD)を構成する特許請求範囲第(1)項又は第(
5)項に記載の方法。 (7)該当する修正値を選択するために、制御装置(S
ηからメモリ(Mt)に信号を加え、入カニニット(E
)からメモリΦ2)に信号を加える特許請求範囲第(2
)項又は第(6)項に記載の方法。 (8)制御装置によシ指定されるその都度のセンシング
速度若しくはセンシング速度領域に基づいて、該当する
修正値をメモリ■1)で選択する特許請求範囲第(7)
項に記載の方法。 (9)修正された測定値をメモリ廻3)に記憶する特許
請求範囲第(1)項に記載の方法。 θの被検体に対し相対的に移動可能なスイッチセンナと
、被検体とスイッチセンナとの間の相対位置を測定する
ための少なくとも1つの測定装置とを使用し、被検体の
位置及び/又は寸法を導出する方法であって、被検体と
の接触の時間に、スイッチセンナが、この時間に存在す
る測定装置の測定値を固定・保持する信号を発生する被
検体の位置及び/又は寸法の導出方法を実施する装置で
あって、スイッチセンサに対し相対的に移動可能な被検
体と、被検体とスイッチセンサとの間の相対位置を測定
し計数器を具備する少なくとも1つの測定装置とを有し
ている装置において、計数器(Z)を加算器(AD)に
接続し、加算器(AD)を、センシング速度に依存して
修正値のためのメモ!J (Ml)に接続しかつ/又は
物質組合せに依存して修正値のためのメモリ@2)に接
続したことを特徴とする装置。 (11)メモリ艶1)を制御装置(8℃に接続し、メモ
!J (M2)を入カユニツ) (B)に接続した特許
請求範囲第(7)項に記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3336854A DE3336854C2 (de) | 1983-10-11 | 1983-10-11 | Tasteinrichtung zur Ermittlung von Lage und/oder Abmessungen eines Prüfobjekts |
DE3336854.6 | 1983-10-11 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6097207A true JPS6097207A (ja) | 1985-05-31 |
Family
ID=6211478
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59211582A Pending JPS6097207A (ja) | 1983-10-11 | 1984-10-11 | 薄肉大面積の板状長尺製品の鋳造用鋳込み装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4611156A (ja) |
EP (1) | EP0147529B1 (ja) |
JP (1) | JPS6097207A (ja) |
AT (1) | ATE33711T1 (ja) |
DE (2) | DE3336854C2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH01503733A (ja) * | 1987-06-11 | 1989-12-14 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 加工物検査方法および装置 |
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