JPS6093955A - 超音波検査装置 - Google Patents
超音波検査装置Info
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- JPS6093955A JPS6093955A JP58202211A JP20221183A JPS6093955A JP S6093955 A JPS6093955 A JP S6093955A JP 58202211 A JP58202211 A JP 58202211A JP 20221183 A JP20221183 A JP 20221183A JP S6093955 A JPS6093955 A JP S6093955A
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- Japan
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- ultrasonic
- frequency
- circuit
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/34—Generating the ultrasonic, sonic or infrasonic waves, e.g. electronic circuits specially adapted therefor
- G01N29/348—Generating the ultrasonic, sonic or infrasonic waves, e.g. electronic circuits specially adapted therefor with frequency characteristics, e.g. single frequency signals, chirp signals
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
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- G01N2291/0289—Internal structure, e.g. defects, grain size, texture
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、超音波検査装置に検知とくに、被検体の金属
組織の粒界の大きさを測定するのに好適ガ検査装置に関
する。
組織の粒界の大きさを測定するのに好適ガ検査装置に関
する。
金属組織の状態や大きさは、光学的方法や渦電流検査法
などによって測定することができる。しかし、これらの
従来法では被検体の表面か、あるいは衣層部しか測定で
きないので、深層部の検査には向かない。一方、超音波
検査法は、超音波周波数を低くすれば、深層部も調べる
ことができる。
などによって測定することができる。しかし、これらの
従来法では被検体の表面か、あるいは衣層部しか測定で
きないので、深層部の検査には向かない。一方、超音波
検査法は、超音波周波数を低くすれば、深層部も調べる
ことができる。
しかし、この方法でも、数１０μｍの金属組織の粒界を
調べるには、波長が長すぎ、適当ではない。
調べるには、波長が長すぎ、適当ではない。
例えば、鋼材深さ５０ｗｍは、超音波周波数２ＭＩ−Ｉ
Ｚで最深部まで検査可能であるが、その波長は約３鰭と
なり、方位分解能は３ｍｍよりも小さくはならない。
Ｚで最深部まで検査可能であるが、その波長は約３鰭と
なり、方位分解能は３ｍｍよりも小さくはならない。
このように、従来技術では金属材料内部の組織の状態や
粒界の太きキラ測定することが非常に困難である。
粒界の太きキラ測定することが非常に困難である。
本発明の目的は、従来の超音波探傷に使われている周波
数の超音波探触子を使用しても、金属材料内部の組織の
状態や粒界の大きさを簡易に測定できる超音波検査装置
を提供することにある。
数の超音波探触子を使用しても、金属材料内部の組織の
状態や粒界の大きさを簡易に測定できる超音波検査装置
を提供することにある。
本発明は、被検体に超音波を入射して受信されるその被
検体内部からの超音波エコー（以後、エコー）の周波数
スペクトルについて重心周波数を演算し、６該重心周波
数を予めめておいた実験値または理論値と比較し金属組
織の状態や粒界の大きさを測定するものである。
検体内部からの超音波エコー（以後、エコー）の周波数
スペクトルについて重心周波数を演算し、６該重心周波
数を予めめておいた実験値または理論値と比較し金属組
織の状態や粒界の大きさを測定するものである。
本発明の原理について、第１図を用いて説明する。超音
波検査において、超音波探触子で受信するエコー信号の
振幅は、被検体での超音波の減衰と反射を考慮すればめ
ることができる。エコー振幅ｐは（１）式で近似的に表
わされる。
波検査において、超音波探触子で受信するエコー信号の
振幅は、被検体での超音波の減衰と反射を考慮すればめ
ることができる。エコー振幅ｐは（１）式で近似的に表
わされる。
ｐ−ｐＩＩＤ・γ ・・・・・・（１）ここで、ｐ＋＋
＋ ：入射波の振幅、Ｄ：超音波の往復時の減衰率、ｒ
；反射体の反射率。以後、簡単のために入射波の振幅ｐ
＋ ｓ ＝１として扱う。
＋ ：入射波の振幅、Ｄ：超音波の往復時の減衰率、ｒ
；反射体の反射率。以後、簡単のために入射波の振幅ｐ
＋ ｓ ＝１として扱う。
超音波の往復時の減衰率りは、日本学術振興会製鋼第１
９委員会編「超音波探傷法」１日刊工業新聞社（昭４９
．７）によれば、（２）〜（３）式で表わされる。した
がって、周波数ｆに対しては、第１図の細実線のような
減衰率りになる。
９委員会編「超音波探傷法」１日刊工業新聞社（昭４９
．７）によれば、（２）〜（３）式で表わされる。した
がって、周波数ｆに対しては、第１図の細実線のような
減衰率りになる。
Ｄ＝ ｅ −” ・・・・・・（２）
α−Ａｆ十Ｂｆ４ ・・・・・・（３）ここで、α：減
衰定数、Ｘ：超音波の伝播距離。
衰定数、Ｘ：超音波の伝播距離。
ｆ：周波数、ＡおよびＢ：定数。
反射体の反射率ｒは、上記参考文献によれば、反射体が
小さい場合、近似的に（４）式の如く表わされる。
小さい場合、近似的に（４）式の如く表わされる。
ここで、Ｓ：円形平面反射体の面積、Ｒ：球形反射体の
半径、λ＝Ｖ／ｆ：波長、ｖ：被検体内での超音波の音
速０ 金属組織の形状は、超音波の反射体としては、円形平面
あるいは球形と考えても問題はない。倒れにせよ、反射
率γは、反射体の大きさを一定とすれば、周波数ｆの増
加に対して大きくなることは確かである。第１図の破線
は、反射体の面積Ｓをパラメータにした反射率γである
。
半径、λ＝Ｖ／ｆ：波長、ｖ：被検体内での超音波の音
速０ 金属組織の形状は、超音波の反射体としては、円形平面
あるいは球形と考えても問題はない。倒れにせよ、反射
率γは、反射体の大きさを一定とすれば、周波数ｆの増
加に対して大きくなることは確かである。第１図の破線
は、反射体の面積Ｓをパラメータにした反射率γである
。
エコー振幅ｐは、（１）式から、第１図の太い実線のよ
うになる。つまり、エコー振幅ｐと周波数ｆの関係図に
おいて、最大値を示す周波数（後述の重心周波数ｆａ）
は、反射体が小さくなる程、高い方に移っている。この
現象を利用すれは、金属組織の状態または粒界の大きさ
を測定できる。上記のｐ−１曲線をめる方法として、一
定の周波数ｆｈ（ｋ＝１〜Ｎ）毎にエコー振幅ｐｖｆ、
測定する方法、または周波数帯域の広い超音波探触子を
用いて検査し、エコー信号を周波数分析する方法がある
。周波数分析の場合は、エコー振幅を（５）式からめる
。なお、多周波数ｆｂ （ｋ＝ｉ〜Ｎ）の場合と区別す
る意味で、スペクトル強度ｑ（ｆ）の記号を用いた。以
後は、周波数分析の場合について説明する。
うになる。つまり、エコー振幅ｐと周波数ｆの関係図に
おいて、最大値を示す周波数（後述の重心周波数ｆａ）
は、反射体が小さくなる程、高い方に移っている。この
現象を利用すれは、金属組織の状態または粒界の大きさ
を測定できる。上記のｐ−１曲線をめる方法として、一
定の周波数ｆｈ（ｋ＝１〜Ｎ）毎にエコー振幅ｐｖｆ、
測定する方法、または周波数帯域の広い超音波探触子を
用いて検査し、エコー信号を周波数分析する方法がある
。周波数分析の場合は、エコー振幅を（５）式からめる
。なお、多周波数ｆｂ （ｋ＝ｉ〜Ｎ）の場合と区別す
る意味で、スペクトル強度ｑ（ｆ）の記号を用いた。以
後は、周波数分析の場合について説明する。
ここで、ｒ（ｔ）：超音波エコー、１；虚数単位。
ω＝２πｆ、τ：サンプル幅。
本発明の実施例を第２図〜第５図を用いて説明する。
第２図は本発明の一実施例の構成を示すブロック図であ
る。図中、被検体１に超音波探触子２および超音波送受
信器３を用いて超音波を入射し、その被検体１からのエ
コー信号ｒ（ｔ）？受信する。
る。図中、被検体１に超音波探触子２および超音波送受
信器３を用いて超音波を入射し、その被検体１からのエ
コー信号ｒ（ｔ）？受信する。
サンプル回路４は、上記エコー信号ｒ（ｔ）’ｔ−所定
時開帳τだけ次段のアナライザ５に通過させる。このア
ナライザ５は、前記（５）式に従って、エコー信号ｒ
（ｔ）のスペクトル強度ｑ（ｆ）ｋ計算する。その結果
に基づいて演算回路６は重心周波数ｆａを計算し、評価
回路８に出力する。他方、較正値または較正曲線記憶回
路７には、上記被検体と同一の標準試験片によって実験
的に得られた金属粒界の大きさＲ（ここでは、球形反射
体として説明する）と重心周波数ｆ、の関係を記憶して
おく。上記評価回路８は、演算回路６からの出力を校正
値記憶回路７のデータと比較して、重心周波数ｆ、から
逆に金属粒界の大きさＲを評価し、表示回路９に表示さ
せる。
時開帳τだけ次段のアナライザ５に通過させる。このア
ナライザ５は、前記（５）式に従って、エコー信号ｒ
（ｔ）のスペクトル強度ｑ（ｆ）ｋ計算する。その結果
に基づいて演算回路６は重心周波数ｆａを計算し、評価
回路８に出力する。他方、較正値または較正曲線記憶回
路７には、上記被検体と同一の標準試験片によって実験
的に得られた金属粒界の大きさＲ（ここでは、球形反射
体として説明する）と重心周波数ｆ、の関係を記憶して
おく。上記評価回路８は、演算回路６からの出力を校正
値記憶回路７のデータと比較して、重心周波数ｆ、から
逆に金属粒界の大きさＲを評価し、表示回路９に表示さ
せる。
超音波探触子２および超音波送受信器３は、通常の市販
品でよい。超音波探触子２の周波数帯域は広いものを用
いる。広い周波数帯域のものでない場合は、複数個の狭
帯域探触子を使用し、実質的に広帯域探触子を用いたの
と同様にすればよい。
品でよい。超音波探触子２の周波数帯域は広いものを用
いる。広い周波数帯域のものでない場合は、複数個の狭
帯域探触子を使用し、実質的に広帯域探触子を用いたの
と同様にすればよい。
サンプル回路４は、第３図の例の如く、サンプル指令信
号ω（１）によって、エコー信号ｒ （ｔ）からノイズ
を除去するため時間幅τだけ通過させ、出力ｒ”（ｔ）
を次段の回路に送る。
号ω（１）によって、エコー信号ｒ （ｔ）からノイズ
を除去するため時間幅τだけ通過させ、出力ｒ”（ｔ）
を次段の回路に送る。
アナライザ５においては、上記出力ｒ”（ｔ）から、例
えば、（６）式の如く、スペクトル強度ｑ（ｆＩ）をめ
る。
えば、（６）式の如く、スペクトル強度ｑ（ｆＩ）をめ
る。
ここで、Ｍ＝τ／Δｔ、ｊ＝１〜Ｎ０
演算回路６での重心周波数ｆ、の計算は、（７）式％式
％ 上記アナライザ５および演算回路６で夾行する計算のフ
ロー線図を、それぞれ第４図および第５図に示す。
％ 上記アナライザ５および演算回路６で夾行する計算のフ
ロー線図を、それぞれ第４図および第５図に示す。
校正値記憶回路７には、試験片の材質や製造条件などの
違うもの毎に、重心周波数ｆａと金属組織粒界の大きさ
Ｈの関係式、または表を記憶しておく。つまり、大きさ
Ｒ，は次のように表わす。
違うもの毎に、重心周波数ｆａと金属組織粒界の大きさ
Ｈの関係式、または表を記憶しておく。つまり、大きさ
Ｒ，は次のように表わす。
Ｒ，＝Ｒ，（ｆｏ ） ・・・・・・（８）ここで、ｎ
：試験片の違いを表わす添字。
：試験片の違いを表わす添字。
上記の関係式またはデータは、標準試験片についての実
験あるいは理論的計算によりめて、例えばマイクロコン
ピュータシステムでデータ処理を行う場合は、リードオ
ンリーメモリ（Ｒ，ＯＭ）やランダムアクセスメモリ（
ＲＡＭ）などに記憶しておけばよい。
験あるいは理論的計算によりめて、例えばマイクロコン
ピュータシステムでデータ処理を行う場合は、リードオ
ンリーメモリ（Ｒ，ＯＭ）やランダムアクセスメモリ（
ＲＡＭ）などに記憶しておけばよい。
特に、メモリ内容′（ｉｌ−書き替え可能なＲＡＭやデ
ィスクなどにデータを保持しておく場合は、試験データ
の蓄積と更新を継続していけば、精度が逐次向上し、よ
シ正確な計測と製造プロセスなどの制御が可能である。
ィスクなどにデータを保持しておく場合は、試験データ
の蓄積と更新を継続していけば、精度が逐次向上し、よ
シ正確な計測と製造プロセスなどの制御が可能である。
評価回路８は、上記演算回路６でめた重心周波数ｆａｋ
用い、（８）式の関係から、金属組織粒界の大きさ請求
め、これを表示回路９に出力する。
用い、（８）式の関係から、金属組織粒界の大きさ請求
め、これを表示回路９に出力する。
表示回路９は、通常のＣＲＴ、あるいは数字の表示管で
よい。Ｃ１（、Ｔへの表示としては、金属組織の大きさ
Ｒだけでなく、エコー信号の振幅ｐと合せて、例えば、
後記の第１０図の形式でもよい。
よい。Ｃ１（、Ｔへの表示としては、金属組織の大きさ
Ｒだけでなく、エコー信号の振幅ｐと合せて、例えば、
後記の第１０図の形式でもよい。
ｒＱ）
上記の本発明の実施例によって、実験的に重心周波数ｆ
、から金属組織の大きさ請求めた例を以下に示す。
、から金属組織の大きさ請求めた例を以下に示す。
第６図および第７図は、それぞれ金属組織の粒界が大き
い場合と小さい場合の周波数スペクトルの例を示す。同
図は、超音波の周波数帯域が約１〜５ＭＨ２の超音波探
触子を用い、鋼材の試験片を検査したものである。これ
らの図から明らかな如く、粒界が大きい場合の重心周波
数ｆａは小さい場合に比べ、直感的に低い方に位置して
いることが分る。
い場合と小さい場合の周波数スペクトルの例を示す。同
図は、超音波の周波数帯域が約１〜５ＭＨ２の超音波探
触子を用い、鋼材の試験片を検査したものである。これ
らの図から明らかな如く、粒界が大きい場合の重心周波
数ｆａは小さい場合に比べ、直感的に低い方に位置して
いることが分る。
他の鋼材試験片での検査例を第８図および第９図に示す
。第８図は金属組織の粒界が大きい場合、第９図は小さ
い場合の周波数スペクトルである。
。第８図は金属組織の粒界が大きい場合、第９図は小さ
い場合の周波数スペクトルである。
これらの図でも、上記の第６図および第７図と同じ傾向
がみられる。第６図および第７図の例では重心周波数の
定性的な解釈をしたが、粒界の大きさが異なる種々の個
所を検査した結果について、定量的に整理すると、第１
０図のようにプロットされる。同図には重心周波数ｆ、
とともに、エコ（１０） −振幅を表わす探傷感度ｐを示した。図中の口部のデー
タおよび○印のデータは、それぞれ、同一試験片におけ
る金属組織のムラおよび均質組織（正常部）からのエコ
ーを解析したものである。
がみられる。第６図および第７図の例では重心周波数の
定性的な解釈をしたが、粒界の大きさが異なる種々の個
所を検査した結果について、定量的に整理すると、第１
０図のようにプロットされる。同図には重心周波数ｆ、
とともに、エコ（１０） −振幅を表わす探傷感度ｐを示した。図中の口部のデー
タおよび○印のデータは、それぞれ、同一試験片におけ
る金属組織のムラおよび均質組織（正常部）からのエコ
ーを解析したものである。
探傷感度ｐは組織ムラと正常部とに拘らず、バラつきが
みられるので、エコー振幅による粒界の大きさの評価は
困難であることを示している。これに対し、重心周波数
ｆ、は、組織ムラと正常部とに分けられる。逆に云えば
、重心周波数ｆ、から、粒界の大きさ全評価できること
が分る。
みられるので、エコー振幅による粒界の大きさの評価は
困難であることを示している。これに対し、重心周波数
ｆ、は、組織ムラと正常部とに分けられる。逆に云えば
、重心周波数ｆ、から、粒界の大きさ全評価できること
が分る。
第６図〜第９図の周波数スペクトルにおいて、重心周波
数ｆａｋ計算して粒界の大きさを評価する方法の他に、
被検体によっては、ｆＷｊ単のためにスペクトル強度ｑ
の最大値を示す周波数から評価する方法もある。どの評
価法を選ぶかは、被検体の材質や製作条件などが同一の
試験体での実験値によって決めればよい。
数ｆａｋ計算して粒界の大きさを評価する方法の他に、
被検体によっては、ｆＷｊ単のためにスペクトル強度ｑ
の最大値を示す周波数から評価する方法もある。どの評
価法を選ぶかは、被検体の材質や製作条件などが同一の
試験体での実験値によって決めればよい。
これまでの説明では、スペクトル強度ｑ（ｆ）を（５）
式によって算出したが、さらに供試探触子による影響を
なくす方法として、（９）からめてもよい。
式によって算出したが、さらに供試探触子による影響を
なくす方法として、（９）からめてもよい。
（１１）
ここで、ｑｐ（ｆ）は探触子の周波数スペクトルである
。この特性は、例えば被検体と同一の材質および製作条
件の試験片の底面エコーを周波数分析することによって
めることができる。
。この特性は、例えば被検体と同一の材質および製作条
件の試験片の底面エコーを周波数分析することによって
めることができる。
（９）式において、ｑｐげ）で割る意味は、次の通りで
ある。例えば、供試された超音波探触子の感度が周波数
領域の両端付近で低い場合には、被検体が急峻な周波数
応答を示すかに見られてし壕う。
ある。例えば、供試された超音波探触子の感度が周波数
領域の両端付近で低い場合には、被検体が急峻な周波数
応答を示すかに見られてし壕う。
そこで、各測定周波数点における感度ＱＰ（ｊ’）で割
れば、探触子の感度が低いところでは、この分母も小さ
くなるから、探触子の感度差による測定値の誤差が補正
される。すなわち正規化されるのである。
れば、探触子の感度が低いところでは、この分母も小さ
くなるから、探触子の感度差による測定値の誤差が補正
される。すなわち正規化されるのである。
広帯域探触子ではなく、狭帯域の探触子を複数個用いた
場合についても、各周波数ｆ＋別に（６）式からスペク
トル強度ｑ（ｆｓ）を計算し、上記の場合と同様にして
金属組織の粒界の大きさを評価することができる。
場合についても、各周波数ｆ＋別に（６）式からスペク
トル強度ｑ（ｆｓ）を計算し、上記の場合と同様にして
金属組織の粒界の大きさを評価することができる。
（１２）
第３図におけるサンプリングの時間幅τは、検査領域（
長さ）との関係から、（１０）式を用いて設定する。
長さ）との関係から、（１０）式を用いて設定する。
τ＝ｔ／２Ｃ・・・・・・（１０）
ここで、ｔ：検査領域、Ｃ：超音波の音速。
本発明によれば、超音波エコーの周波数スペクトルの重
心周波数から、特別な超音波探触子を使わずに超音波の
波長よりもはるかによい分解能で、被検体の金属組織の
粒界の大きさを測定できるので、材料検査や診断または
品質管理に大きく寄与する。また、製造プロセスの改良
にも役立てることができる。
心周波数から、特別な超音波探触子を使わずに超音波の
波長よりもはるかによい分解能で、被検体の金属組織の
粒界の大きさを測定できるので、材料検査や診断または
品質管理に大きく寄与する。また、製造プロセスの改良
にも役立てることができる。
第１図は本発明の詳細な説明図、第２図は本発明の一実
施例のブロック図、第３図はエコー信号のサンプリング
状況を示す図、第４図および第５図は周波数スペクトル
および重心周波数計算のフロー線図、第６図〜第９図は
エコー信号の周波数スペクトルの例、第１０図は重心周
波数とエコー振幅との関係を示すマツプにおける検査デ
ータを示す。 １・・・被検体、２・・・超音波探触子、３・・・超音
波送受信器、４・・・サンプル回路、５・・・周波数ス
ペクトルアナライザ、６・・・演算回路、７・・・校正
値記憶回路、８・・・評価回路、９・・・表示回路。 代理人 弁理士 鵜沼辰之 （１４） ０２ ｔト ６−Ｊ− キー図 〃 ０７ 年 ６１
施例のブロック図、第３図はエコー信号のサンプリング
状況を示す図、第４図および第５図は周波数スペクトル
および重心周波数計算のフロー線図、第６図〜第９図は
エコー信号の周波数スペクトルの例、第１０図は重心周
波数とエコー振幅との関係を示すマツプにおける検査デ
ータを示す。 １・・・被検体、２・・・超音波探触子、３・・・超音
波送受信器、４・・・サンプル回路、５・・・周波数ス
ペクトルアナライザ、６・・・演算回路、７・・・校正
値記憶回路、８・・・評価回路、９・・・表示回路。 代理人 弁理士 鵜沼辰之 （１４） ０２ ｔト ６−Ｊ− キー図 〃 ０７ 年 ６１
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、金属材料の超音波検査装置において、被検体に超音
波を入射させて超音波エコー信号を受信する超音波探触
ギおよび超音波送受信器、超音波エコー信号の所定時間
幅を選択するサンプル回路、このサンプル回路の出力を
周波数分析するアナライザ、アナライザで算出した上記
超音波エコー信号の周波数スペクトルから周波数の重心
をめる演算回路、別途標準試験片による実験や理論計算
からめた金属粒界の大きさと上記重心周波数との関係を
記憶する較正値記憶回路、較正値記憶回路の出力と上記
演算回路の出力とを比較し金属粒界の大きさを評価する
評価回路とからなることを特徴とする超音波検査装置。 ２、特許請求の範囲第１項において、演算回路で重心周
波数を演算するときの周波数範囲を上記超音波探触子の
周波数帯域に設定することを特徴とする超音波検査装置
。 ３８ 特許請求の範囲第１項において、較正値記憶回路
が上記被検体の材料や製作条件毎に較正値を記憶し、こ
の較正値の精度を試験データの蓄積と更新とによって逐
次向上させることを特徴とする超音波検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58202211A JPS6093955A (ja) | 1983-10-28 | 1983-10-28 | 超音波検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58202211A JPS6093955A (ja) | 1983-10-28 | 1983-10-28 | 超音波検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6093955A true JPS6093955A (ja) | 1985-05-25 |
Family
ID=16453796
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58202211A Pending JPS6093955A (ja) | 1983-10-28 | 1983-10-28 | 超音波検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6093955A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008216008A (ja) * | 2007-03-02 | 2008-09-18 | Toshiba Corp | 生体関連物質測定装置およびこれに用いるカートリッジ |
| JP2011027586A (ja) * | 2009-07-27 | 2011-02-10 | Tobishima Corp | ひび割れ深さ計測方法 |
| JP2018205033A (ja) * | 2017-05-31 | 2018-12-27 | 三菱重工業株式会社 | 検査対象物の内部欠陥の検出方法及び検出装置 |
-
1983
- 1983-10-28 JP JP58202211A patent/JPS6093955A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008216008A (ja) * | 2007-03-02 | 2008-09-18 | Toshiba Corp | 生体関連物質測定装置およびこれに用いるカートリッジ |
| JP2011027586A (ja) * | 2009-07-27 | 2011-02-10 | Tobishima Corp | ひび割れ深さ計測方法 |
| JP2018205033A (ja) * | 2017-05-31 | 2018-12-27 | 三菱重工業株式会社 | 検査対象物の内部欠陥の検出方法及び検出装置 |
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