JPS6091068A - バルブ駆動軸 - Google Patents
バルブ駆動軸Info
- Publication number
- JPS6091068A JPS6091068A JP18200283A JP18200283A JPS6091068A JP S6091068 A JPS6091068 A JP S6091068A JP 18200283 A JP18200283 A JP 18200283A JP 18200283 A JP18200283 A JP 18200283A JP S6091068 A JPS6091068 A JP S6091068A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drive shaft
- valve
- force
- gate valve
- gate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/30—Details
- F16K3/314—Forms or constructions of slides; Attachment of the slide to the spindle
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１１発明の技術分り！ｒ
本発明はバルブ駆動軸、経しくは雰囲気の異なる袂数の
室金力１ｊｌｌｌ シもしくは結合させるバルブの開閉
に用いる駆りｊ軸に関する。
室金力１ｊｌｌｌ シもしくは結合させるバルブの開閉
に用いる駆りｊ軸に関する。
（２）技術のＩ？景
例えはソリコンウェハ上にアルミニウム膜をスパッタに
よっ゛ζ成長する場合には、Ｉ−ＭＥＸなる商品名の第
１図に概略１１ノ１面図で示される装置が用いられ、同
図において１はアルミニウムスパッタのための処理室、
２はウェハ３を収納したローダ、４ａ、 ４ｂ、 ４ｃ
、 ４ｄは同し構造のゲートバルブ、５はローダと間し
構成のアンローダ、６．７は予備室を示す。
よっ゛ζ成長する場合には、Ｉ−ＭＥＸなる商品名の第
１図に概略１１ノ１面図で示される装置が用いられ、同
図において１はアルミニウムスパッタのための処理室、
２はウェハ３を収納したローダ、４ａ、 ４ｂ、 ４ｃ
、 ４ｄは同し構造のゲートバルブ、５はローダと間し
構成のアンローダ、６．７は予備室を示す。
操作において処理室３は真空に保たれている。
ローダ２が図示の位置に下かつ−でくると、ゲートバル
ブ４ａが開き（このときゲートバルブ４ｂは閉している
）、ウェハ３が予備室ら内に１般人される。
ブ４ａが開き（このときゲートバルブ４ｂは閉している
）、ウェハ３が予備室ら内に１般人される。
次いでゲートバルブ４ａを閉じ、予備室６を真空にし、
ゲートバルブ４ｂを開きウェハ３を処理室１に搬入しゲ
ートバルブ４ｂを閉しる。処理が終ると真空になってい
る予備室７のゲートバルブ４Ｃが開き、ウェハ３が予備
室７内に１般人され終るとゲートバルブ４Ｃが閉じ、ゲ
ートバルブ４ｄを開いてウェハ３をアンローダ５に移ず
。以下この工程を繰り返してアルミニウムのスパックを
継続する。
ゲートバルブ４ｂを開きウェハ３を処理室１に搬入しゲ
ートバルブ４ｂを閉しる。処理が終ると真空になってい
る予備室７のゲートバルブ４Ｃが開き、ウェハ３が予備
室７内に１般人され終るとゲートバルブ４Ｃが閉じ、ゲ
ートバルブ４ｄを開いてウェハ３をアンローダ５に移ず
。以下この工程を繰り返してアルミニウムのスパックを
継続する。
ゲートバルブ４ａ、、、の開閉用の駆動軸はウェハの進
行方向に見て第２図の正面図に示される構成のもので、
同図において、１１はエアシリンダ、１２は駆動軸、Ｉ
３は弁体、１３ａは結合部材、１４はカム、１５はカム
フロー、１６は０リングを示し、 Ｎ２ガスが矢印Ｎ２
で示す方向に供給される。なお第２図以下において、既
に図示した部分と同じ部分は同一符号をイー１して表示
する。
行方向に見て第２図の正面図に示される構成のもので、
同図において、１１はエアシリンダ、１２は駆動軸、Ｉ
３は弁体、１３ａは結合部材、１４はカム、１５はカム
フロー、１６は０リングを示し、 Ｎ２ガスが矢印Ｎ２
で示す方向に供給される。なお第２図以下において、既
に図示した部分と同じ部分は同一符号をイー１して表示
する。
第３図は第２図の駆動軸の側面図であり、Ｉ７ばケート
を示ず。
を示ず。
駆動１す１１１２と弁体１３の結合部材１３ａとは第４
図に分解側面図で示され、結合部材１３ａにはピン１８
が設りられ、それは駆動軸１２に形成された長穴１９内
と係合場る構成となっている。
図に分解側面図で示され、結合部材１３ａにはピン１８
が設りられ、それは駆動軸１２に形成された長穴１９内
と係合場る構成となっている。
（３）従来技術と問題点
」二記した駆動軸の動きを第５図を参照して説明する。
ケートバルブを閉しるとき、ずなわち駆動軸１２がｉ−
１＋ｆ３するときの状態は第５図ｆａｔに示される。
１＋ｆ３するときの状態は第５図ｆａｔに示される。
なお、０リングの上刃と一ト方の接触部分をそれぞれ１
６ａ、Ｉ６ｂで表＞ｊくする。駆動軸１２の下降のとき
ピン１）（は長穴１９の左方に装置する。
６ａ、Ｉ６ｂで表＞ｊくする。駆動軸１２の下降のとき
ピン１）（は長穴１９の左方に装置する。
駆９ＵＪ輔１２が牛刀に図にＦで示す力で動くと、ゲ−
１−１７と０リングの１６部分１６ｂとの摩Ｉ察により
結合部材１３ａには時計回り方向の回転モーメント（図
に矢印Ｍで示す）がｌｌｊき、０リングの上り部分１６
ａのところが開いて真空もれが発生する。
１−１７と０リングの１６部分１６ｂとの摩Ｉ察により
結合部材１３ａには時計回り方向の回転モーメント（図
に矢印Ｍで示す）がｌｌｊき、０リングの上り部分１６
ａのところが開いて真空もれが発生する。
駆動軸Ｉ２に上方向にＰの力がＩｅ」いて駆動軸Ｊ２が
第５図（ｂ）に示される如く上昇しようとするとき、ピ
ンＩ８は長穴１９の右端に位置する。結合部材１３ａは
矢印Ｍで示ず方向に揺動（ｓｗｉｎｇ ） シようとし
て、０リングの上方部分１６ａは強い摩擦力を受け、駆
動軸１２の円滑な上昇を妨げる。
第５図（ｂ）に示される如く上昇しようとするとき、ピ
ンＩ８は長穴１９の右端に位置する。結合部材１３ａは
矢印Ｍで示ず方向に揺動（ｓｗｉｎｇ ） シようとし
て、０リングの上方部分１６ａは強い摩擦力を受け、駆
動軸１２の円滑な上昇を妨げる。
以上説明した如く、従来の駆動軸においては、ゲートバ
ルブの開閉のとき、すなわち駆動軸】２の下降、上昇の
とき、真空もれが発生し、バルブ動作が不安定になり、
０リングに不均衡な力が働くなどの問題が発生する。
ルブの開閉のとき、すなわち駆動軸】２の下降、上昇の
とき、真空もれが発生し、バルブ動作が不安定になり、
０リングに不均衡な力が働くなどの問題が発生する。
（４）発明の目的
本発明は上記従来の問題に漸め、雰囲気の異なる２以上
の室を分離、結合させるバルブにおいて、バルブ動作が
安定化され、かつバルブの長寿命化が実現されうるバル
ブ駆動軸を提供することを目的とする。
の室を分離、結合させるバルブにおいて、バルブ動作が
安定化され、かつバルブの長寿命化が実現されうるバル
ブ駆動軸を提供することを目的とする。
（４）発明のＩ−目的
そし゛（ごの目的は本発明によれば、弁体を０リングを
介し′（ゲーＩ−に接触せしめ、または０リングとの接
触を開放しζす“−１・を閉じまたは開いて複数の雰υ
Ｊ１気の２１号なる室を分別、結合するために弁体をＪ
二干動か−υる駆動軸にして、前記弁体の結合１４Ｈ材
に設４ｊたピンと結合する駆動軸の長穴は、水平方向に
り・１しある角度順斜した長大であることを特徴とする
バルブ駆動軸を提供することによって達成される。
介し′（ゲーＩ−に接触せしめ、または０リングとの接
触を開放しζす“−１・を閉じまたは開いて複数の雰υ
Ｊ１気の２１号なる室を分別、結合するために弁体をＪ
二干動か−υる駆動軸にして、前記弁体の結合１４Ｈ材
に設４ｊたピンと結合する駆動軸の長穴は、水平方向に
り・１しある角度順斜した長大であることを特徴とする
バルブ駆動軸を提供することによって達成される。
（６）発明の実施例
以下本発明実施（Ｊ！Ｉを図面によって詳説する。
本発明実施例においては、従来の駆動軸１２に設けた横
方向の長穴Ｉ９を、第６図に示される如く水平面に対し
角度αをっりた長穴２９とするものである。ＩｔＣＡ：
２９をが（の如く構成するときの駆動軸１２の動きを第
７図を参照し“（説明しよう。
方向の長穴Ｉ９を、第６図に示される如く水平面に対し
角度αをっりた長穴２９とするものである。ＩｔＣＡ：
２９をが（の如く構成するときの駆動軸１２の動きを第
７図を参照し“（説明しよう。
第 ７ 図（ａｌ ＃ｊｊ／４
子Ｗｌ ’ｔ９；にと処理室１とを分別させる場合、ず
なわらゲーＩ・バルブを閉じるとき、駆動軸１２に下方
向の図に矢印Ｆで示す刀が加えられると、図に矢印Ｎと
ｆで示ず抗力と合力は図示の如くに働き、０リングの上
方、下方部分１６ａ、 １６ｂは均等な刀で押圧されて
ゲートバルブを閉の状態に保つので、第５図（ａｌ参照
して説明した従来の問題は発η二することがない。
なわらゲーＩ・バルブを閉じるとき、駆動軸１２に下方
向の図に矢印Ｆで示す刀が加えられると、図に矢印Ｎと
ｆで示ず抗力と合力は図示の如くに働き、０リングの上
方、下方部分１６ａ、 １６ｂは均等な刀で押圧されて
ゲートバルブを閉の状態に保つので、第５図（ａｌ参照
して説明した従来の問題は発η二することがない。
第７図（ｂｌ参照
次に予備室６を処理室ｌに結合させる場合、すなわちゲ
ートバルブを開くとき、駆動軸１２に上方向の図に矢印
Ｆで示す刀が（ｌＪ＜と、ピン１８は長穴２９の下方端
部分で係合し、弁体１３の結合１１Ｈ祠１３ａのピン■
８の軸に対する図に矢印Ｎで示ず抗力が発生する。その
結果、カＦとカＮの図に矢印ｆで示す合力が、結合部材
とゲートの密封面を分離する力として作用し、しがもこ
の合力ｆは水平方向の力であるので、０リングの上方、
下方部分１６ａと１６ｂは均等に開放され、第５図（ｂ
ｌを参照して説明した従来技術の問題は発生しない。
ートバルブを開くとき、駆動軸１２に上方向の図に矢印
Ｆで示す刀が（ｌＪ＜と、ピン１８は長穴２９の下方端
部分で係合し、弁体１３の結合１１Ｈ祠１３ａのピン■
８の軸に対する図に矢印Ｎで示ず抗力が発生する。その
結果、カＦとカＮの図に矢印ｆで示す合力が、結合部材
とゲートの密封面を分離する力として作用し、しがもこ
の合力ｆは水平方向の力であるので、０リングの上方、
下方部分１６ａと１６ｂは均等に開放され、第５図（ｂ
ｌを参照して説明した従来技術の問題は発生しない。
（７）発明の効果
以上詳細に説明した如く、本発明によれば、ゲ＝トハル
ブの開閉において、Ｏリングは均等な力で押圧または開
放され、かつ、駆動軸は円滑に上−ド連ｄｏＪをなしう
るから、ゲーｉ・バルブ動作の安定化とバルブ駆動軸の
長ノｆ命化に効果大である。
ブの開閉において、Ｏリングは均等な力で押圧または開
放され、かつ、駆動軸は円滑に上−ド連ｄｏＪをなしう
るから、ゲーｉ・バルブ動作の安定化とバルブ駆動軸の
長ノｆ命化に効果大である。
ｆｆｓ １図はアルミニウムスパッタ装置の概略側断面
図、第２図と第３図はゲートバルブ駆動軸の正面図と側
面図、第４図は第３図の駆動軸の分解側面図、第５図（
・〕）と（ｌ））は駆動軸の下降、上昇のときの状態を
ン１くず側面図、第６図は本発明にかかる駆動軸の側面
図、第７図ｆａ＋と（ｂｌは第６図の駆動軸の４：隆、
」二昇のときの状態を示す第５図Ｆａｌ 、 ｆｂｌに
頬（以の図である。 ■＝処理室、２−１：Ｉ−ダ、３−ウェハ、４ａ、 ４
ｂ、 ４ｃ、 ４ｄ −ケートバルブ、５−アンローダ
、６，７−予備室、１１− コーアシリンダ、１２−駆動軸、１３−弁体、Ｌ：ｂｌ
−：弁体の結合部祠、１４− カム、１５−カムフロー
１１６−Ｏリング、１６ａ −０リングの上刃接触部分
、１６ｂ Ｏリングの下方接触部分、１７−ゲート、１８− ピン
、１９．２９−・長大 第１図 ３ 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 第７図 （ａ） （ｂ） ｌ′ｊ１８ Ｎ １８ 手続補正書（０鋤 昭和タフィ１ ／２１１ ？−］１ １、事ｒ！１″の表小 昭和ｐＬ「↑、１．ｉ’ｒｍｔ第バ２ｏｏ；？し；３
をｍ１を４る古 事ｆ“１との関部 ｆ、ｌ、；’＋出喧１人１１ｇ ＋
’ｌｉ 神１ゝ用県川崎山中１１ｉｉｌ＆ １小１１１
１１１１０１５番地（５２２）名（４，富１：通株式会
社 ４ 代 理 人 １１ｇ ＋’ｌｉ 神＜２川県川崎１
１川り＋：ｉｌ＜ Ｌ−１−１＋１１１１１０１５＄地
高−１：通株式会社内 昭和 ｑ＜ ｏ ＋＋ （１） 明細書第１頁第１８行乃至第２頁第１行を以下
の様に補正する。 「例えばシリコンウェハ上にアルミニウム等の金属膜を
被着する場合には、第１図に概略断面図で示される真空
蒸着装置が用いられ、同図においてｌは金属膜を蒸着す
るｊ （２）明細書第２頁第１７行を以下の様に補正する。 「返して金属膜の蒸着を断続する。Ｊ （３）明細書第７頁第６行を以下の様に補正する。
図、第２図と第３図はゲートバルブ駆動軸の正面図と側
面図、第４図は第３図の駆動軸の分解側面図、第５図（
・〕）と（ｌ））は駆動軸の下降、上昇のときの状態を
ン１くず側面図、第６図は本発明にかかる駆動軸の側面
図、第７図ｆａ＋と（ｂｌは第６図の駆動軸の４：隆、
」二昇のときの状態を示す第５図Ｆａｌ 、 ｆｂｌに
頬（以の図である。 ■＝処理室、２−１：Ｉ−ダ、３−ウェハ、４ａ、 ４
ｂ、 ４ｃ、 ４ｄ −ケートバルブ、５−アンローダ
、６，７−予備室、１１− コーアシリンダ、１２−駆動軸、１３−弁体、Ｌ：ｂｌ
−：弁体の結合部祠、１４− カム、１５−カムフロー
１１６−Ｏリング、１６ａ −０リングの上刃接触部分
、１６ｂ Ｏリングの下方接触部分、１７−ゲート、１８− ピン
、１９．２９−・長大 第１図 ３ 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 第７図 （ａ） （ｂ） ｌ′ｊ１８ Ｎ １８ 手続補正書（０鋤 昭和タフィ１ ／２１１ ？−］１ １、事ｒ！１″の表小 昭和ｐＬ「↑、１．ｉ’ｒｍｔ第バ２ｏｏ；？し；３
をｍ１を４る古 事ｆ“１との関部 ｆ、ｌ、；’＋出喧１人１１ｇ ＋
’ｌｉ 神１ゝ用県川崎山中１１ｉｉｌ＆ １小１１１
１１１１０１５番地（５２２）名（４，富１：通株式会
社 ４ 代 理 人 １１ｇ ＋’ｌｉ 神＜２川県川崎１
１川り＋：ｉｌ＜ Ｌ−１−１＋１１１１１０１５＄地
高−１：通株式会社内 昭和 ｑ＜ ｏ ＋＋ （１） 明細書第１頁第１８行乃至第２頁第１行を以下
の様に補正する。 「例えばシリコンウェハ上にアルミニウム等の金属膜を
被着する場合には、第１図に概略断面図で示される真空
蒸着装置が用いられ、同図においてｌは金属膜を蒸着す
るｊ （２）明細書第２頁第１７行を以下の様に補正する。 「返して金属膜の蒸着を断続する。Ｊ （３）明細書第７頁第６行を以下の様に補正する。
Claims (1)
- 弁体をＯリングを介してゲートに接触せしめ、またはＯ
リングとの接触を開放してゲートを閉じまたは開いて複
数の雰囲気の異なる室を分離、結合するためにＪｒ体を
上下動かせる駆動軸にして、１ｉｉｉ記弁体の結合部Ｈ
に設けたピンと結合する駆動軸の長穴は、水平力１ｉｉ
Ｊ ４こ対しある角度傾斜した長穴であるごとを４．＋
１徴とするバルブ駆動軸。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18200283A JPS6091068A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | バルブ駆動軸 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18200283A JPS6091068A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | バルブ駆動軸 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6091068A true JPS6091068A (ja) | 1985-05-22 |
Family
ID=16110600
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18200283A Pending JPS6091068A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | バルブ駆動軸 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6091068A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103982668A (zh) * | 2013-02-07 | 2014-08-13 | Zp因特莱茨有限责任公司 | 闸阀 |
-
1983
- 1983-09-30 JP JP18200283A patent/JPS6091068A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103982668A (zh) * | 2013-02-07 | 2014-08-13 | Zp因特莱茨有限责任公司 | 闸阀 |
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