JPS6090337A - 感光マスク用シ−ト材 - Google Patents
感光マスク用シ−ト材Info
- Publication number
- JPS6090337A JPS6090337A JP58198447A JP19844783A JPS6090337A JP S6090337 A JPS6090337 A JP S6090337A JP 58198447 A JP58198447 A JP 58198447A JP 19844783 A JP19844783 A JP 19844783A JP S6090337 A JPS6090337 A JP S6090337A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- soln
- paper base
- sheet material
- solution
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/90—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof prepared by montage processes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は印刷製版に用いるＰｓ版等を感光させる際に使
用する感光マスク用シート材に関するものである。
用する感光マスク用シート材に関するものである。
印刷製版に用いる２８版等を感光させる場合、感光させ
たくない場所をマスクする必要があるが、従来このマス
ク用のシート材としては合成樹脂のフィルム寺があった
が、静醒気を帯びやすいため、所謂２枚取りが行なわれ
たり、或いは埃が付着しやすいという１司題がある上に
、コスト的にも高いという欠点があった。
たくない場所をマスクする必要があるが、従来このマス
ク用のシート材としては合成樹脂のフィルム寺があった
が、静醒気を帯びやすいため、所謂２枚取りが行なわれ
たり、或いは埃が付着しやすいという１司題がある上に
、コスト的にも高いという欠点があった。
本発明は上述の問題点に鑑みて為されたもので、その目
的とするところは靜献気を帯びず、しかもコストが安い
上に、耐性に陰れ、また感光用の紫外線に対する遮光性
に摩れ、その上に可視光に対する透過性を有してライト
テーブルでの位置合せが容易に行なえる感光マスク用シ
ート材を提供するにある。
的とするところは靜献気を帯びず、しかもコストが安い
上に、耐性に陰れ、また感光用の紫外線に対する遮光性
に摩れ、その上に可視光に対する透過性を有してライト
テーブルでの位置合せが容易に行なえる感光マスク用シ
ート材を提供するにある。
Ｈの１０重被部とを混合した溶液を、長繊維系のパルプ
からなる紙厚が１８０μｍの紙基材に、紙基材に対する
容積比が７０：凸Ｏとなるように準備して含浸させる。
からなる紙厚が１８０μｍの紙基材に、紙基材に対する
容積比が７０：凸Ｏとなるように準備して含浸させる。
そしてこの含浸状態の紙基材に対して水溶性赤色染付（
辺」えば５世光化薬の５ｕｄａｎ １、■、■）によっ
て染色し、加熱（又は自然）乾燥すると、所望のシート
材７Ｊｉ得られた。第１図は実施例１に８５０〜１９Ｑ
ｎｒｎの蝕の光を照射した際の透過率を測定したデー
タであって横軸は透過率を、縦軸は波長を夫々示す。こ
のデータから判るように赤色に近いｉｊＪ視九朦は透過
し、紫外線の大部分及び可視線の一部を高率で遮断して
いることが分る。
辺」えば５世光化薬の５ｕｄａｎ １、■、■）によっ
て染色し、加熱（又は自然）乾燥すると、所望のシート
材７Ｊｉ得られた。第１図は実施例１に８５０〜１９Ｑ
ｎｒｎの蝕の光を照射した際の透過率を測定したデー
タであって横軸は透過率を、縦軸は波長を夫々示す。こ
のデータから判るように赤色に近いｉｊＪ視九朦は透過
し、紫外線の大部分及び可視線の一部を高率で遮断して
いることが分る。
つまり本実薙倒でｒ／′１３５０〜６００ ｎｒｎの範
囲の光を遮断することができ、このｍｌ域の光を感光し
て用いると、本実副側をマスク用シート材として使用す
ることができるものである。
囲の光を遮断することができ、このｍｌ域の光を感光し
て用いると、本実副側をマスク用シート材として使用す
ることができるものである。
実施例２
アクリルエマ１しジョンを長繊維系のパルプからなる紙
厚が７０μ〃Ｌの紙基材に、紙基材とアクリルエマルジ
ョンとの容積比が９５：５となるように含浸させて加熱
（又は自然）乾燥させて所望のシート材を得た。この実
施例の場合赤色の染料を紙基材・を抄造する前のスラリ
ーに溶かし込み、紙基材を赤色に染めるのである。第２
図は本実薙倒における光の透過率を示しており、透過す
る。Ｔ視光線及び紫外線の蛍が実施例１に比べて多くな
っているが、実使用には何ら支障がなかった。筐た紙厚
が薄くなっていたが、耐性テストでは２０回程度の使用
に耐えた。
厚が７０μ〃Ｌの紙基材に、紙基材とアクリルエマルジ
ョンとの容積比が９５：５となるように含浸させて加熱
（又は自然）乾燥させて所望のシート材を得た。この実
施例の場合赤色の染料を紙基材・を抄造する前のスラリ
ーに溶かし込み、紙基材を赤色に染めるのである。第２
図は本実薙倒における光の透過率を示しており、透過す
る。Ｔ視光線及び紫外線の蛍が実施例１に比べて多くな
っているが、実使用には何ら支障がなかった。筐た紙厚
が薄くなっていたが、耐性テストでは２０回程度の使用
に耐えた。
実施例凸
アクリル酢酸ビニル共重合体の４０ｆｉ盪部、Ｓ Ｂ
Ｒの５重量部の混合溶液を、長ｉｓａ系のパルプを基に
しだ紙厚１６０μｍの紙基材に、紙基材と混合溶液との
容積比が８０：２０となるように準備してき浸させ、実
施例１と同様に赤色［染色し、加熱（又は自然）乾燥さ
せて所望のシート材を得た。、用凸図は本実薙倒の透過
率の測定データを示す。
Ｒの５重量部の混合溶液を、長ｉｓａ系のパルプを基に
しだ紙厚１６０μｍの紙基材に、紙基材と混合溶液との
容積比が８０：２０となるように準備してき浸させ、実
施例１と同様に赤色［染色し、加熱（又は自然）乾燥さ
せて所望のシート材を得た。、用凸図は本実薙倒の透過
率の測定データを示す。
向上記各実施例以外にアクリルエマルジョン、アクリル
酢酸ビニル共重合体、酢酸ビニルのような伸延防止材の
溶液単独又はＮＢ）Ｌ％ＳＢ凡のようなラッテクスと伸
延防止材゛との混合溶液を用いて紙厚が７０〜１８０μ
ｍの紙基材にその容積比か９５−７０：５〜凸Ｏとなる
ように含浸させた場合、透過率、耐性、吸水性等から実
用に耐え得る品質のものが得られた。尚各実梅列は紙基
材に伸延防止材の溶液単独又はう・ソテクスと伸延防止
材との混合溶漱を含浸させた場合であるが、紙基材を抄
造するスラリーにこれらの溶液を混合して紙基材を抄造
する方法によって得られたシート材も上述と同様な結果
が得られた。
酢酸ビニル共重合体、酢酸ビニルのような伸延防止材の
溶液単独又はＮＢ）Ｌ％ＳＢ凡のようなラッテクスと伸
延防止材゛との混合溶液を用いて紙厚が７０〜１８０μ
ｍの紙基材にその容積比か９５−７０：５〜凸Ｏとなる
ように含浸させた場合、透過率、耐性、吸水性等から実
用に耐え得る品質のものが得られた。尚各実梅列は紙基
材に伸延防止材の溶液単独又はう・ソテクスと伸延防止
材との混合溶漱を含浸させた場合であるが、紙基材を抄
造するスラリーにこれらの溶液を混合して紙基材を抄造
する方法によって得られたシート材も上述と同様な結果
が得られた。
本発明はエマＩＩ／ジョシ状態のアクリル系樹脂、酢酸
ビニル、アクリル酢酸ビニル共重合体等からなるＩＦｐ
延防延材止材液若しくは伸延防止材の溶液とＮＪ３Ｒ５
ＳＢ）Ｌ等のラッテクス溶液との混合溶液をパルプから
なる。紙厚が７０〜１８０μｍの紙基材にその容積比が
９５〜７０：５〜３０となるように配合添加したので、
紙基材に耐性を持たせることができて萌用可能回軟を増
やし、経済性に慶れたものであり、しかもパルづのよう
な紙基材を用いているだめ材質としては紙であって、従
来の合成樹脂のフィルムのように靜′嘱気を帯びるとこ
とが殆んどなく、従って埃が付着しにくくなる上に使用
時に所謂２孜収りが無くなり、使用勝手が良くなるとい
う効果があり、更に上述のような構成であるから紫外線
や、可視光線の一部を確実にａ断してマスク用としての
性能を発揮できるのは勿論のこと、可視光線の一部を透
過させることができて、ライトテーブルを使用しての位
置合せもでき、更に紙質であるから表面にメ′＋：４＃
：き等も用いることができ、更に上述のように耐水性に
優れ、かつ耐性に優れているから保存性にもｉみ、また
製造コストも合成樹脂製のフィルムの場合等に比べて安
価であるという効果を奏する。
ビニル、アクリル酢酸ビニル共重合体等からなるＩＦｐ
延防延材止材液若しくは伸延防止材の溶液とＮＪ３Ｒ５
ＳＢ）Ｌ等のラッテクス溶液との混合溶液をパルプから
なる。紙厚が７０〜１８０μｍの紙基材にその容積比が
９５〜７０：５〜３０となるように配合添加したので、
紙基材に耐性を持たせることができて萌用可能回軟を増
やし、経済性に慶れたものであり、しかもパルづのよう
な紙基材を用いているだめ材質としては紙であって、従
来の合成樹脂のフィルムのように靜′嘱気を帯びるとこ
とが殆んどなく、従って埃が付着しにくくなる上に使用
時に所謂２孜収りが無くなり、使用勝手が良くなるとい
う効果があり、更に上述のような構成であるから紫外線
や、可視光線の一部を確実にａ断してマスク用としての
性能を発揮できるのは勿論のこと、可視光線の一部を透
過させることができて、ライトテーブルを使用しての位
置合せもでき、更に紙質であるから表面にメ′＋：４＃
：き等も用いることができ、更に上述のように耐水性に
優れ、かつ耐性に優れているから保存性にもｉみ、また
製造コストも合成樹脂製のフィルムの場合等に比べて安
価であるという効果を奏する。
第１図〜ボ凸図は夫々本発明の各実施例の透過率の特性
説明図である。 代理人 弁理士 石 １）長 七
説明図である。 代理人 弁理士 石 １）長 七
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ＋１１エマルジヨシ状態のアクリル系樹脂、酢酸ビニル
、アクリル酢酸ビニル共重合体等からなる伸延防止材の
溶液若しくは伸延防止材の溶液とＮＢａ ％ ＳＢ ｉ
＋ ４のう゛υテクス浴液との混合溶液をパルづからな
る紙厚か７ｏ〜１８０μｍの紙基材にその容積比が９５
〜７ｏ：５〜３ｏとなるように配合添加した感光マスク
用シート材。 ！２１１！延防止材の溶液若しくは伸延防止材の溶液と
う・ソテクス溶液との混合液を含浸硬化させた紙基材か
ら成ることｒ特徴とする特許請求の範囲第１項記載の感
光マスク用シート材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58198447A JPS6090337A (ja) | 1983-10-24 | 1983-10-24 | 感光マスク用シ−ト材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58198447A JPS6090337A (ja) | 1983-10-24 | 1983-10-24 | 感光マスク用シ−ト材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6090337A true JPS6090337A (ja) | 1985-05-21 |
| JPS6249617B2 JPS6249617B2 (ja) | 1987-10-20 |
Family
ID=16391241
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58198447A Granted JPS6090337A (ja) | 1983-10-24 | 1983-10-24 | 感光マスク用シ−ト材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6090337A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0580488A (ja) * | 1991-09-19 | 1993-04-02 | Somar Corp | Ｐｓ版用遮光フイルム |
-
1983
- 1983-10-24 JP JP58198447A patent/JPS6090337A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0580488A (ja) * | 1991-09-19 | 1993-04-02 | Somar Corp | Ｐｓ版用遮光フイルム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6249617B2 (ja) | 1987-10-20 |
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