JPS609029A - ガス放電表示パネルの製造方法 - Google Patents
ガス放電表示パネルの製造方法Info
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- JPS609029A JPS609029A JP58116711A JP11671183A JPS609029A JP S609029 A JPS609029 A JP S609029A JP 58116711 A JP58116711 A JP 58116711A JP 11671183 A JP11671183 A JP 11671183A JP S609029 A JPS609029 A JP S609029A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- gas discharge
- spacers
- display panel
- spacer
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J11/00—Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（ａｌ 発明の技術分野
本発明はガス放電表示パネルの製造方法に係り、特に表
示パネルのガス放電空間に介在されている放電間隙規定
用のスペーサ側面での放電光の反射を遮蔽した表示品質
の良いガス放電表示パネルを得る方法に関するものであ
る。
示パネルのガス放電空間に介在されている放電間隙規定
用のスペーサ側面での放電光の反射を遮蔽した表示品質
の良いガス放電表示パネルを得る方法に関するものであ
る。
ｆｂｌ 技術の背景
一般に平板形のガス放電表示パネルは、それぞれ内表面
に誘電体層で被覆された複数の電極を支持してなる一対
のガラス基板が所定ガス放電空間を隔てて対向配置され
、その空間に放電用ガスを封入してなるものである。そ
してこのような表示パネルの放電特性は、その放電空間
領域の間隙寸法に大きく依存して変化することから、該
放電間隙を前面にわたって均一に維持するために前記基
板対向間隙にスペーサを介在させる構成が採られている
。
に誘電体層で被覆された複数の電極を支持してなる一対
のガラス基板が所定ガス放電空間を隔てて対向配置され
、その空間に放電用ガスを封入してなるものである。そ
してこのような表示パネルの放電特性は、その放電空間
領域の間隙寸法に大きく依存して変化することから、該
放電間隙を前面にわたって均一に維持するために前記基
板対向間隙にスペーサを介在させる構成が採られている
。
（Ｃ）従来技術と問題点
ところで上記したように、パネルの対向基板間隙に介在
されているスペーサとしては、（１）ガラスファイバ片
、（２）ガラス小片、（３）金属小片、（４）セラミッ
ク小片、或いは（５）印刷ガラス層（通常セラミを印刷
法により塗着し、焼成したもの）等が用いられている。
されているスペーサとしては、（１）ガラスファイバ片
、（２）ガラス小片、（３）金属小片、（４）セラミッ
ク小片、或いは（５）印刷ガラス層（通常セラミを印刷
法により塗着し、焼成したもの）等が用いられている。
そしてこれら各種スペーサはそれぞれ経済性、作業性、
設置位置精度、設置時の表示列セル数などが異なり、通
常、表示パネルの構造によって使い分けられている。
設置位置精度、設置時の表示列セル数などが異なり、通
常、表示パネルの構造によって使い分けられている。
ところがこれらスペーサは、表示パネルの対向基板間隙
、即ち多くの場合表示領域のガス放電空間に介在配置さ
れているため、ガス放電表示中の放電光が前記スペーサ
の側面で反射され、その不要な反射光の一部が表示観察
側に入射して表示パネルの表示品質を低下させる共通の
欠点があった。
、即ち多くの場合表示領域のガス放電空間に介在配置さ
れているため、ガス放電表示中の放電光が前記スペーサ
の側面で反射され、その不要な反射光の一部が表示観察
側に入射して表示パネルの表示品質を低下させる共通の
欠点があった。
そこでこのような欠点の対策として、例えばスペーサを
黒色化して該スペーサに入射する放電光を吸収するよう
にするか、或いはスペーサの側面を粗面化して放電光の
反射を微小に散乱させ、表示パネルの表示面方向への反
射光を小さくする等の方法が用いられている。
黒色化して該スペーサに入射する放電光を吸収するよう
にするか、或いはスペーサの側面を粗面化して放電光の
反射を微小に散乱させ、表示パネルの表示面方向への反
射光を小さくする等の方法が用いられている。
しかしながら上記した従来の方法にあっては、ガス放電
光の反射をある程度弱める効果はあるが、該反射光を遮
蔽することはできないので、なお表示面が見づらい不都
合があった。
光の反射をある程度弱める効果はあるが、該反射光を遮
蔽することはできないので、なお表示面が見づらい不都
合があった。
（ｄ＋ 発明の目的
本発明は上記従来の実情に鑑み、表示パネルを構成する
表示面側基板のスペーサ対応位置に、工程数を増加させ
ることな（、複数の表示側電極の形成工程、又は該表示
側電極の端末形成工程を利用して、表示パネルのガス放
電空間に介在−Ｕる放電間隙規定用のスペーサ側面から
の放電光の反射を遮蔽する前記スペーサの配設面積より
大きい面積の遮光マスクを形成して、該反射光による表
示品質の低下を防止するようにした新規なガス放電表示
パネルの製造方法を提供することを目的とするものであ
る。
表示面側基板のスペーサ対応位置に、工程数を増加させ
ることな（、複数の表示側電極の形成工程、又は該表示
側電極の端末形成工程を利用して、表示パネルのガス放
電空間に介在−Ｕる放電間隙規定用のスペーサ側面から
の放電光の反射を遮蔽する前記スペーサの配設面積より
大きい面積の遮光マスクを形成して、該反射光による表
示品質の低下を防止するようにした新規なガス放電表示
パネルの製造方法を提供することを目的とするものであ
る。
（Ｑ） 発明の構成
そしてこの目的は本発明によれば、それぞれ複数の電極
を支持してなる一対のパネル構成基板を、所定ガス放電
間隙を規定するスペーサを介在させて対向配置した構成
を有する表示パネルの製造方法において、上記一対の基
板の内の表示面側となる基板上に複数の電極を被着形成
する際に、同一電極形成材料を用いて該基板上のスペー
サ対応位置に、スペーサ側面で反射するガス放電光をｍ
ｆｆ＋ｌｉする遮光マスクを、上記電極と同時に形成す
るようにしたごとを特徴とするガス放電表示パネルの製
造方法を提供することによって達成される。
を支持してなる一対のパネル構成基板を、所定ガス放電
間隙を規定するスペーサを介在させて対向配置した構成
を有する表示パネルの製造方法において、上記一対の基
板の内の表示面側となる基板上に複数の電極を被着形成
する際に、同一電極形成材料を用いて該基板上のスペー
サ対応位置に、スペーサ側面で反射するガス放電光をｍ
ｆｆ＋ｌｉする遮光マスクを、上記電極と同時に形成す
るようにしたごとを特徴とするガス放電表示パネルの製
造方法を提供することによって達成される。
（ｆｌ 発明の実施例
以下図面を用いて本発明の製造方法の実施例について詳
細に説明する。
細に説明する。
第１図乃至第２図は本発明に係る製造方法を対向電極マ
トリックス型のガス放電表示パネルの製造に適用した一
実施例を示す概略断面図である。
トリックス型のガス放電表示パネルの製造に適用した一
実施例を示す概略断面図である。
まず第１図に示すように、一対のガラス基板３゜４の各
表面上に、例えばスパッタリング法、或いは蒸着法等に
よってクロム（Ｃｒ） −銅（Ｃｕ） −クロム（Ｃｒ
）の３重層構成の電極材料膜を形成し、該電極材料膜を
所定パターンにフォ１−リソ法によりパターニングして
、それぞれ複数のＸ電極５及びＹ電極６を形成する。こ
の時、前記一対のガラス基板３，４の内、表示面側のガ
ラス基板３表面上のスペーサ設置位置に、前記電極材料
膜を用いて後述するスペーサ９の配設面積よりも大きい
面積の遮光マスク１０も同時にバターニングして形成す
る。しかる後、前記複数のＸ電極５及び遮光マスク１０
を形成した一方のガラス基板３と複数のＹ電極６を形成
した他方のガラス基板４の各表面上に、従来と同様の工
程によって誘電体層７及びパネル封止材料層８を順次形
成する。更に例えば前記一方のガラス基板３の遮光マス
ク１０と対応する他方のガラス基板４の誘電体Ｎ７上の
各位置にスペーサ９を配置する。次いでこのように構成
された一対のパネル構成基板１と２とを第２図に示すよ
うに対向配置して所定の封止工程によって側基板１．２
を封止した後、該スペーサ９によって規定されたガス放
電間隙ｌｌ内を一旦、真空に排気し、所定の放電ガスを
封入して所望の表示パネルを完成する。
表面上に、例えばスパッタリング法、或いは蒸着法等に
よってクロム（Ｃｒ） −銅（Ｃｕ） −クロム（Ｃｒ
）の３重層構成の電極材料膜を形成し、該電極材料膜を
所定パターンにフォ１−リソ法によりパターニングして
、それぞれ複数のＸ電極５及びＹ電極６を形成する。こ
の時、前記一対のガラス基板３，４の内、表示面側のガ
ラス基板３表面上のスペーサ設置位置に、前記電極材料
膜を用いて後述するスペーサ９の配設面積よりも大きい
面積の遮光マスク１０も同時にバターニングして形成す
る。しかる後、前記複数のＸ電極５及び遮光マスク１０
を形成した一方のガラス基板３と複数のＹ電極６を形成
した他方のガラス基板４の各表面上に、従来と同様の工
程によって誘電体層７及びパネル封止材料層８を順次形
成する。更に例えば前記一方のガラス基板３の遮光マス
ク１０と対応する他方のガラス基板４の誘電体Ｎ７上の
各位置にスペーサ９を配置する。次いでこのように構成
された一対のパネル構成基板１と２とを第２図に示すよ
うに対向配置して所定の封止工程によって側基板１．２
を封止した後、該スペーサ９によって規定されたガス放
電間隙ｌｌ内を一旦、真空に排気し、所定の放電ガスを
封入して所望の表示パネルを完成する。
尚、上記遮光マスク１０の面積としては、ガス放電光の
反射が前記スペーサ９側面で発生し、該反射光の光度が
そのきわで最も強いことから、該スペーサ９の外周縁部
よりも少なくとも５０μ川程度大きくすれば一応の効果
は得られるが、１００μ口１以上の大きい面積で設ける
ことにより、殆どの場合、前記反射光を遮蔽することが
できる。
反射が前記スペーサ９側面で発生し、該反射光の光度が
そのきわで最も強いことから、該スペーサ９の外周縁部
よりも少なくとも５０μ川程度大きくすれば一応の効果
は得られるが、１００μ口１以上の大きい面積で設ける
ことにより、殆どの場合、前記反射光を遮蔽することが
できる。
このように遮光マスク１０をスペーサ９より表示観察側
のガラス基板３のＸ電極５配設面に設けた構成とするこ
とにより、ガス放電表示中にスペーサ９側面で反射する
不要な放電光をＷＩＲに遮蔽することが可能になる。従
って当該ガス放電表示パネルの表示面が観察し易くなり
、表示品質が向上する。
のガラス基板３のＸ電極５配設面に設けた構成とするこ
とにより、ガス放電表示中にスペーサ９側面で反射する
不要な放電光をＷＩＲに遮蔽することが可能になる。従
って当該ガス放電表示パネルの表示面が観察し易くなり
、表示品質が向上する。
第３図及び第４図は本発明の製造方法の他の実施例を工
程順に示す概略断面図であり、前記第１図及び第２図と
同等部分には同一符号を付した。
程順に示す概略断面図であり、前記第１図及び第２図と
同等部分には同一符号を付した。
本実施例においては、まず第３図に示すように従来の製
造工程に準して一対のガラス基板３，４の各内表面上に
、例えはスパッタリング法、或いは蒸着法等によってク
ロム（Ｃｒ）−銅（Ｃｕ）−クロムＣＣｒ）の３重層構
成の電極材料膜を形成し、該電極材料１１？ｆを所定パ
ターンにフォトリソ法によりバターニングして、それぞ
れ複数のＸ電極５及びＹ電極６を形成する。次いで前記
複数のＸ電極５を形成した一方のガラス基板３と複数の
ＹＮ極６を形成した他方のガラス基板４の各表面上に誘
電体層７を形成する。この後、かかる一対のガラス基板
３．４上の露出した電極端末部の対応領域に、例えばＣ
ｕｔ Ｃｒ＋八ｕへ Ｘ１＋ Ｎｉ、 Ｔ＋などの複合
、又は合金等から成る電極材料膜をスパッタリング法、
或いは蒸着法等によって被着し、該電極制料股を所定ノ
恒ターンにフォトリソ法によりバターニングして、それ
ぞれ複数のＸ電極５及びＹ電極６の外部接続用電極端子
５ａ （図示せず）、６ａを形成する。
造工程に準して一対のガラス基板３，４の各内表面上に
、例えはスパッタリング法、或いは蒸着法等によってク
ロム（Ｃｒ）−銅（Ｃｕ）−クロムＣＣｒ）の３重層構
成の電極材料膜を形成し、該電極材料１１？ｆを所定パ
ターンにフォトリソ法によりバターニングして、それぞ
れ複数のＸ電極５及びＹ電極６を形成する。次いで前記
複数のＸ電極５を形成した一方のガラス基板３と複数の
ＹＮ極６を形成した他方のガラス基板４の各表面上に誘
電体層７を形成する。この後、かかる一対のガラス基板
３．４上の露出した電極端末部の対応領域に、例えばＣ
ｕｔ Ｃｒ＋八ｕへ Ｘ１＋ Ｎｉ、 Ｔ＋などの複合
、又は合金等から成る電極材料膜をスパッタリング法、
或いは蒸着法等によって被着し、該電極制料股を所定ノ
恒ターンにフォトリソ法によりバターニングして、それ
ぞれ複数のＸ電極５及びＹ電極６の外部接続用電極端子
５ａ （図示せず）、６ａを形成する。
このとき当該一対のガラス基板３，４の内、表示面側ガ
ラス基板３の誘電体層７表面上のスペーサ９対応位置に
、上記電極端子の４Ｊ料膜を用いて該スペーサ９の配設
面積よりも大きい面積の遮光マスク１０も同時にバター
ニングして形成する。しかる後、前記複数のＸ電極５及
び遮光マスク１０を形成した一方のガラス基板３と複数
のＹ電４ＩｉＡ６を形成した他方のガラス基板４の各表
面上に従来と同様の工程によってパネル封止材料層８を
形成する。
ラス基板３の誘電体層７表面上のスペーサ９対応位置に
、上記電極端子の４Ｊ料膜を用いて該スペーサ９の配設
面積よりも大きい面積の遮光マスク１０も同時にバター
ニングして形成する。しかる後、前記複数のＸ電極５及
び遮光マスク１０を形成した一方のガラス基板３と複数
のＹ電４ＩｉＡ６を形成した他方のガラス基板４の各表
面上に従来と同様の工程によってパネル封止材料層８を
形成する。
更に例えば前記一方のガラス基板３の遮光マスク１０と
対応する他方のガラス基板４表面上の各位置にスペーサ
９を配置する。ここで、前記外部接続用端子５ａ、 ６
ａはパネル構成上、電極の一部とする。
対応する他方のガラス基板４表面上の各位置にスペーサ
９を配置する。ここで、前記外部接続用端子５ａ、 ６
ａはパネル構成上、電極の一部とする。
次いてこのように構成された一対のパネル構成基板１と
２とを第４図に示すように対向配置して所定のＮＪ止工
程によって封止した後、該スペーサ９によって規定され
たガス放電間隙１１内を一旦、真空に排気し、所定の放
電ガスを封入して表示パネルを完成さ・Ｕるようにすれ
ば、前記第１図及び第２図による第一の実施例と同様の
目的を達成することができる。
２とを第４図に示すように対向配置して所定のＮＪ止工
程によって封止した後、該スペーサ９によって規定され
たガス放電間隙１１内を一旦、真空に排気し、所定の放
電ガスを封入して表示パネルを完成さ・Ｕるようにすれ
ば、前記第１図及び第２図による第一の実施例と同様の
目的を達成することができる。
尚、以」二の実施例では遮光マスク１０を、不透光性の
電極材料を用いて複数のＸ電極５、或いは該複数のＸ電
極５の端子をスパッタリング法、又は蒸；７Ｊ′法とフ
ォトリソ技法により形成する際に、同時に形成した場合
の例について説明したが、本発明はこれに１；■定され
るものではなく、１列えばり。
電極材料を用いて複数のＸ電極５、或いは該複数のＸ電
極５の端子をスパッタリング法、又は蒸；７Ｊ′法とフ
ォトリソ技法により形成する際に、同時に形成した場合
の例について説明したが、本発明はこれに１；■定され
るものではなく、１列えばり。
Ａｕ、 Ｎｉ、 Ｃｕ等を主成分とする電極形成用金属
ベーストを用いて複数のＸ電極５、或いは該複数のＸ電
極５の端子をスクリーン印刷法により形成する際に同時
に形成することもできる等、不透光性の又上記実施例に
おいては、誘電体層保護のために設ける耐熱性保護層（
通富ＭｇＯ層を適用）について特に述べていないが、Ａ
Ｃ駆動形ガス放電表示パネルにおいては不可欠であり、
本発明においても実施されることは云うまでもない。
ベーストを用いて複数のＸ電極５、或いは該複数のＸ電
極５の端子をスクリーン印刷法により形成する際に同時
に形成することもできる等、不透光性の又上記実施例に
おいては、誘電体層保護のために設ける耐熱性保護層（
通富ＭｇＯ層を適用）について特に述べていないが、Ａ
Ｃ駆動形ガス放電表示パネルにおいては不可欠であり、
本発明においても実施されることは云うまでもない。
（ｇｌ 発明の効果
以上の説明から明らかなように、本発明に係るガス放電
表示パネルの製造方法によれば、表示パネルのガス放電
空間に介在する放電間隙規定用のスペーサ側面からの放
電光の反射を遮蔽する遮光マスクを工程数を増加させる
ことなく容易に形成することができる利点を有し、当該
ガス放電表示パネルの表示面が観察し易くなる等、表示
品質が向上する。また上記スペーサ側面からの反射光に
よる表示欠陥不良が改善されるので歩留りが向上する。
表示パネルの製造方法によれば、表示パネルのガス放電
空間に介在する放電間隙規定用のスペーサ側面からの放
電光の反射を遮蔽する遮光マスクを工程数を増加させる
ことなく容易に形成することができる利点を有し、当該
ガス放電表示パネルの表示面が観察し易くなる等、表示
品質が向上する。また上記スペーサ側面からの反射光に
よる表示欠陥不良が改善されるので歩留りが向上する。
更に遮光マスクを配置することにより、スペーサの設置
位置が明確になり、パネル製造工程の自動化におけるス
ペーサ位置検出が容易となる等、実用上価れた効果を有
する。従ってＡＣ駆動、あるいはＤＣ駆動の各種ガス放
電表示パネル、特に高密度、高解像度の７トワツクス型
ガス放電表示パネルの製造に適用して極めて有利である
。
位置が明確になり、パネル製造工程の自動化におけるス
ペーサ位置検出が容易となる等、実用上価れた効果を有
する。従ってＡＣ駆動、あるいはＤＣ駆動の各種ガス放
電表示パネル、特に高密度、高解像度の７トワツクス型
ガス放電表示パネルの製造に適用して極めて有利である
。
第１図及び第２図は本発明に係るガス放電表示パネルの
製造方法の一実施例を工程順に示す概略断面図、第３図
および第４図は本発明に係るガス放電表示パネルの他の
実施例を工程順に示す概略断面図である。 図面において、１及び２はパネル構成基板、３及び４ば
ガラス基板、５は複数のＸ電極、６ば複数のＹ電極、６
ａ （５ａ）は電極端末部、７は誘電体層、８ばパネル
封止材料層、９はスペーサ、１０ば遮光マスク、ＩＩは
ガス放電間隙を示す。
製造方法の一実施例を工程順に示す概略断面図、第３図
および第４図は本発明に係るガス放電表示パネルの他の
実施例を工程順に示す概略断面図である。 図面において、１及び２はパネル構成基板、３及び４ば
ガラス基板、５は複数のＸ電極、６ば複数のＹ電極、６
ａ （５ａ）は電極端末部、７は誘電体層、８ばパネル
封止材料層、９はスペーサ、１０ば遮光マスク、ＩＩは
ガス放電間隙を示す。
Claims (1)
- それぞれ複数の電極を支持してなる一対のパネル構成基
板を、所定ガス放電間隙を規定するスペーサを介在させ
て対向配置した構成を有する表示パネルの製造方法にお
いて、上記一対の基板の内の表示面側となる基板上に複
数の電極を被着形成する際に、同一電極形成材料を用い
て該基板上のスペーサ対応位置に、スペーサ側面で反射
するガス放電光を遮蔽する遮光マスクを、上記電極と同
時に形成するよ・うにしたことを特徴とするガス放電表
示パネルの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58116711A JPS609029A (ja) | 1983-06-27 | 1983-06-27 | ガス放電表示パネルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58116711A JPS609029A (ja) | 1983-06-27 | 1983-06-27 | ガス放電表示パネルの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS609029A true JPS609029A (ja) | 1985-01-18 |
Family
ID=14693918
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58116711A Pending JPS609029A (ja) | 1983-06-27 | 1983-06-27 | ガス放電表示パネルの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS609029A (ja) |
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-
1983
- 1983-06-27 JP JP58116711A patent/JPS609029A/ja active Pending
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