JPS6086731A - マグネトロン用部品の製造方法 - Google Patents
マグネトロン用部品の製造方法Info
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- JPS6086731A JPS6086731A JP19333983A JP19333983A JPS6086731A JP S6086731 A JPS6086731 A JP S6086731A JP 19333983 A JP19333983 A JP 19333983A JP 19333983 A JP19333983 A JP 19333983A JP S6086731 A JPS6086731 A JP S6086731A
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- Japan
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- molybdenum
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- sintering
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J23/00—Details of transit-time tubes of the types covered by group H01J25/00
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/24—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Microwave Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子レンジ等に用いられるマグネトロン用部品
（以下、エンドシールドと呼ぶ）の製造方法に関する。
（以下、エンドシールドと呼ぶ）の製造方法に関する。
一般に、この種のエンドシールドはマグネトロンの電極
を形成するコイル状フィラメントを上下から挾持するの
に用いられている。具体的に言えば、エンドシールドは
断面凸又は凹形形状を有するモリブデンの支持部材と、
支持部材の平坦面にろう着されたろう材とを有し、この
ろう材により。
を形成するコイル状フィラメントを上下から挾持するの
に用いられている。具体的に言えば、エンドシールドは
断面凸又は凹形形状を有するモリブデンの支持部材と、
支持部材の平坦面にろう着されたろう材とを有し、この
ろう材により。
フィラメントと支持部材とを接合させている。
とのようなエンドシールドでは、支持部材にろう材が均
一に付着されていることが望ましい。従来、支持部材に
ろう材を刺着させる方法として。
一に付着されていることが望ましい。従来、支持部材に
ろう材を刺着させる方法として。
モリブデン系のろう材を塗布あるいは吹き伺ける方法が
採用されている。しかし、この方法では。
採用されている。しかし、この方法では。
ろう材の付着量が一定とならないだめ、最終製品の特性
のバラツキが大きいという欠点がある。
のバラツキが大きいという欠点がある。
一方、ろう材７例えば、ルテニウムを４０重量・ぐ−セ
ント含有するルテニウム−モリブデン合金のろう材の薄
状板を圧延加工によシ支持部材に圧着する方法がある。
ント含有するルテニウム−モリブデン合金のろう材の薄
状板を圧延加工によシ支持部材に圧着する方法がある。
この場合、加工の際における加工硬化量が著しく多いた
め、加工、高温焼鈍を繰シ返し行なわなければならず、
コスト高となるという欠点がある。
め、加工、高温焼鈍を繰シ返し行なわなければならず、
コスト高となるという欠点がある。
更に、リング状のろう材板を支持部材に溶接等によシ付
着させることも検討されている。しかし。
着させることも検討されている。しかし。
この方法では、溶接工程が入るだめ、エンドシールドの
コストが大幅に上昇するという欠点がある。
コストが大幅に上昇するという欠点がある。
リング状のろう材を有機接着剤を用いて支持部材に接着
することも提案されているが、この方法においても、高
真空における組み立て工程中に有機接着材がガス化する
ことが多いため、マグネトロンとしての特性が著しく劣
化するという欠点がある。
することも提案されているが、この方法においても、高
真空における組み立て工程中に有機接着材がガス化する
ことが多いため、マグネトロンとしての特性が著しく劣
化するという欠点がある。
本発明の目的はエンドシールド組み立て時におけるろう
着作業を能率的に行なえるマグネトロン用部品の製造方
法を提供することである。
着作業を能率的に行なえるマグネトロン用部品の製造方
法を提供することである。
本発明の他の目的はろう材の付着量が一定で。
品質の安定した部品を得ることができるマグネトロン用
部品の製造方法を提供することである。
部品の製造方法を提供することである。
本発明によれば、ルテニクムーモリブデンろう材とモリ
ブデン支持部材とを中間焼結体の形で準備し、ろう材及
び支持部材とを嵌合させた後、同時に焼結して５両者を
焼き嵌めされた複合体にし。
ブデン支持部材とを中間焼結体の形で準備し、ろう材及
び支持部材とを嵌合させた後、同時に焼結して５両者を
焼き嵌めされた複合体にし。
この複合体によシマグネトロン用部品、即ち、エンドシ
ールドを形成する製造方法が得られる。
ールドを形成する製造方法が得られる。
異種金属材料又は同種金属材料を焼き嵌める方法は金属
の熱による膨張又は収縮を利用したものであシ９通常、
焼き嵌めされる２つの部材の一方のみを加熱することに
よって行なわれ、２つの部材を同時に加熱することは行
なわれていない。
の熱による膨張又は収縮を利用したものであシ９通常、
焼き嵌めされる２つの部材の一方のみを加熱することに
よって行なわれ、２つの部材を同時に加熱することは行
なわれていない。
具体的に言えば９本発明では、金属粉末を圧粉体とする
時点の圧粉圧力の程度によって、この金属圧粉体が金属
体に焼成される際の収縮率が異なることを利用し、而も
金属体となる以前の中間焼結体で予め焼き嵌めされるよ
うに配置準備し、焼き嵌めされる双方の中間焼結体を同
時に加熱焼成して両者の焼き嵌めを行なうと共に、マグ
ネ）ｕン用部品を製作するマグネトロン用部品の製造方
法が得られる。
時点の圧粉圧力の程度によって、この金属圧粉体が金属
体に焼成される際の収縮率が異なることを利用し、而も
金属体となる以前の中間焼結体で予め焼き嵌めされるよ
うに配置準備し、焼き嵌めされる双方の中間焼結体を同
時に加熱焼成して両者の焼き嵌めを行なうと共に、マグ
ネ）ｕン用部品を製作するマグネトロン用部品の製造方
法が得られる。
まず凸形又は凹形の断面形状を備えたモリブデン製の圧
粉体を形成し、さらに、このモリブデン製の圧粉体の凸
部又は凹部に嵌合するルテニウム−モリブデン合金よシ
なる圧粉体を形成する。次に、これらの圧粉体を不活性
ガスあるいは還元ガス雰囲気中において、１０００〜１
３００℃の温度で。
粉体を形成し、さらに、このモリブデン製の圧粉体の凸
部又は凹部に嵌合するルテニウム−モリブデン合金よシ
なる圧粉体を形成する。次に、これらの圧粉体を不活性
ガスあるいは還元ガス雰囲気中において、１０００〜１
３００℃の温度で。
中間焼結を行う。さらに、断面状形が凸形又は凹形のモ
リブデン製中間焼結体の凸部又は凹部にルテニウム−モ
リブデン合金よシなる中間焼結体を嵌合させる。そして
、不活性ガスあるいは還元ガス雰囲気中において、１５
００〜１８００℃の温度で焼結を行い、ルテニウム−モ
リブデン合金の焼結体をモリブデン製焼結体の凸部又は
凹部に焼き嵌めしたエンドシールドを製造することがで
きる。
リブデン製中間焼結体の凸部又は凹部にルテニウム−モ
リブデン合金よシなる中間焼結体を嵌合させる。そして
、不活性ガスあるいは還元ガス雰囲気中において、１５
００〜１８００℃の温度で焼結を行い、ルテニウム−モ
リブデン合金の焼結体をモリブデン製焼結体の凸部又は
凹部に焼き嵌めしたエンドシールドを製造することがで
きる。
以下７本発明を実施例によって説明する。
モリブデンよりなる圧粉体を４．０〜５．Ｏｔｏｎ／ｃ
ｒｎ２の圧力で、その断面形状が凹形で、かつその底面
中央部に後述するモリブデン棒が挿入できるような貫通
孔を設けて、形成する（第１図）。この圧粉体を還元ガ
ス雰囲気において、１２００℃の温度で中間焼結を行っ
た。その結果中間焼結を行う前の寸法と比べてその寸法
が、４〜５％収縮した。
ｒｎ２の圧力で、その断面形状が凹形で、かつその底面
中央部に後述するモリブデン棒が挿入できるような貫通
孔を設けて、形成する（第１図）。この圧粉体を還元ガ
ス雰囲気において、１２００℃の温度で中間焼結を行っ
た。その結果中間焼結を行う前の寸法と比べてその寸法
が、４〜５％収縮した。
同様にして、ルテニウム−モリブデン合金よシなる圧粉
体を４．０〜５． Ｑ ｔｏｎ／Ｃｍ２の圧力で、上記
の断面形状が凹形の圧粉体の凹部に嵌合するように。
体を４．０〜５． Ｑ ｔｏｎ／Ｃｍ２の圧力で、上記
の断面形状が凹形の圧粉体の凹部に嵌合するように。
かつそのとき７上記の断面形状が凹形の圧粉体に設けた
貫通孔と一致するように孔を設けて、板状に形成する（
第２図）。この板状の圧粉体を還元ガス雰囲気において
、１３’ＯＯ℃の温度で中間焼結を行った。その結果、
中間焼結を行う前の寸法と比べてその寸法が８〜１０％
収縮した。
貫通孔と一致するように孔を設けて、板状に形成する（
第２図）。この板状の圧粉体を還元ガス雰囲気において
、１３’ＯＯ℃の温度で中間焼結を行った。その結果、
中間焼結を行う前の寸法と比べてその寸法が８〜１０％
収縮した。
次に、このモリブデン中間焼結体の凹部に、板状のルテ
ニウム−モリブデン合金中間焼結体を配置する（第３図
）。このとき、モリブデン中間焼結体とルテニウム−モ
リブデン合金中間焼結体とのスキ間は約０．３閣であっ
た。これを還元雰囲気中で１８００℃の温度で焼結を行
った。その結果、板状のルテニウム−モリブデン合金の
焼結体がモリブデン焼結体の凹部に焼き嵌められたエン
ドノールドが得られた（第４図）。なお、上記のモリブ
デン中間焼結体、ルテニウム−モリブデン合金中間焼結
体を、各々単体で、還元雰囲気中において。
ニウム−モリブデン合金中間焼結体を配置する（第３図
）。このとき、モリブデン中間焼結体とルテニウム−モ
リブデン合金中間焼結体とのスキ間は約０．３閣であっ
た。これを還元雰囲気中で１８００℃の温度で焼結を行
った。その結果、板状のルテニウム−モリブデン合金の
焼結体がモリブデン焼結体の凹部に焼き嵌められたエン
ドノールドが得られた（第４図）。なお、上記のモリブ
デン中間焼結体、ルテニウム−モリブデン合金中間焼結
体を、各々単体で、還元雰囲気中において。
１８００℃の温度で、焼結を行った場合、モリブデン焼
結体は、圧粉体のときの寸法に比べて、その寸法が１５
％収縮し、またルテニウム−モリブデン焼結体は、同様
にその寸法が、１４．９％収縮することがわかった。
結体は、圧粉体のときの寸法に比べて、その寸法が１５
％収縮し、またルテニウム−モリブデン焼結体は、同様
にその寸法が、１４．９％収縮することがわかった。
捷た。モリブデン焼結体とルテニウム−モリブデン合金
焼結体との接触面を詳しく調べたところ。
焼結体との接触面を詳しく調べたところ。
両焼結体が一部分合金化していることもわかった。
続いて、モリブデンよシなる圧粉体を４０〜５、 Ｏｔ
ｏｎＡＴ＋＋２の圧力で、その断面形状が凸形で、かつ
、凸部の中央部には、後述するモリブデン棒が挿入でき
るような貫通孔を設けて、形成する（第５図）。この圧
粉体を還元ガス雰囲気において。
ｏｎＡＴ＋＋２の圧力で、その断面形状が凸形で、かつ
、凸部の中央部には、後述するモリブデン棒が挿入でき
るような貫通孔を設けて、形成する（第５図）。この圧
粉体を還元ガス雰囲気において。
１５００℃の温度で中間焼結を行った。その結果中間焼
結を行う前の寸法と比べて、その寸法が８〜１０チ収縮
した。
結を行う前の寸法と比べて、その寸法が８〜１０チ収縮
した。
同様にして、ルテニウム−モリブデン合金よりなる圧粉
体を３５〜４．４ ｔｏｎ％ｉ２の圧力で、上記の断面
形状が凸形の圧粉体の凸部に嵌合するように。
体を３５〜４．４ ｔｏｎ％ｉ２の圧力で、上記の断面
形状が凸形の圧粉体の凸部に嵌合するように。
板状に形成する（第６図）。どの板状の圧粉体を還元ガ
ス雰囲気において、１０００℃の温度で中間焼結を行っ
た。その結果、中間焼結を行う前の寸法と比べて、その
寸法が、１〜２襲収縮した。
ス雰囲気において、１０００℃の温度で中間焼結を行っ
た。その結果、中間焼結を行う前の寸法と比べて、その
寸法が、１〜２襲収縮した。
次に、このモリブデン中間焼結体の凸部に、板状のルテ
ニウム−モリブデン合金中間焼結体を配置する（第７図
）。このとき、モリブデン中間焼結体とルテニウム−モ
リブデン合金中間焼結体とのスキ間は約０．３ ｍｍで
あった。これを還元雰囲気中で、１８００℃の温度で焼
結を行った。その結果。
ニウム−モリブデン合金中間焼結体を配置する（第７図
）。このとき、モリブデン中間焼結体とルテニウム−モ
リブデン合金中間焼結体とのスキ間は約０．３ ｍｍで
あった。これを還元雰囲気中で、１８００℃の温度で焼
結を行った。その結果。
板状のルテニウム下モリブデン合金の焼結体がモリブデ
ン焼結体の凸部に焼き嵌められたエンドシールドが得ら
れた（第８図）。なお、上記のモリブデン中間焼結体、
ルテニウム−モリブデン合金中間焼結体を、各々単体で
、還元雰囲気中において、１８００℃の温度で、焼結を
行った場合、モリブデン焼結体は、圧粉体のときの寸法
に比べて。
ン焼結体の凸部に焼き嵌められたエンドシールドが得ら
れた（第８図）。なお、上記のモリブデン中間焼結体、
ルテニウム−モリブデン合金中間焼結体を、各々単体で
、還元雰囲気中において、１８００℃の温度で、焼結を
行った場合、モリブデン焼結体は、圧粉体のときの寸法
に比べて。
その寸法が１５チ収縮し、ルテニウムーモリフテン焼結
体は、同様にその寸法が、１５．１％収縮することがわ
かった。
体は、同様にその寸法が、１５．１％収縮することがわ
かった。
寸だ、モリブデン焼結体とルテニウム−モリブデン合金
焼結体との接触面を詳しく調べたところ。
焼結体との接触面を詳しく調べたところ。
両焼結体が一部分合金化していることもわかった。
次に上述した断面形状が凹形及び凸形のエンドシールド
を用いだマグネトロン用電極構造について第９図を参照
して説明する。
を用いだマグネトロン用電極構造について第９図を参照
して説明する。
断面形状凸形のエンドシールド１と断面形状凹形のエン
ドシールド２を対向させて、コイル状のトリウム−タン
グステンフィラメント３をルテニウム−モリブデンより
なるろう材４にろう着する。
ドシールド２を対向させて、コイル状のトリウム−タン
グステンフィラメント３をルテニウム−モリブデンより
なるろう材４にろう着する。
さらに、モリブデン棒５を断面形状凹形のエンド７−ル
ド２の貫通孔を通して、断面形状凸形のエンドシールド
１の貫通孔で溶接等により固着して７断面形状凸形のエ
ンドシールド１を支持する。寿お断面形状凹形のエンド
シールド２の貫通孔の壁面には、モリブデン棒５は接触
していない。断面形状凹形のエンドシールド２は、別の
モリブデン棒６を、その底面に溶接等によって固着し、
このモリブデン棒６によって支持されている。
ド２の貫通孔を通して、断面形状凸形のエンドシールド
１の貫通孔で溶接等により固着して７断面形状凸形のエ
ンドシールド１を支持する。寿お断面形状凹形のエンド
シールド２の貫通孔の壁面には、モリブデン棒５は接触
していない。断面形状凹形のエンドシールド２は、別の
モリブデン棒６を、その底面に溶接等によって固着し、
このモリブデン棒６によって支持されている。
以上、実施例で説明したように５本発明は、平坦面及び
この平坦面と交叉すえ直立面とを有し。
この平坦面と交叉すえ直立面とを有し。
かつ、凹形及び凸形のいずれか一方の断面形状を備えた
モリブデン材料の第１の中間焼結体を準備する工程と、
この第１の中間焼結体と異なる収縮率を有し、上記の平
坦面に、上記の直立面と接触することなく覆うことがで
きる第２の中間焼結体を準備する工程と、第２の中間焼
結体で第１の中間焼結体を覆った状態で、予め定められ
た温度で焼結することによって、第１及び第２の中間焼
結体をそれぞれ第１及び第２の焼結体として、第２の焼
結体を第１の焼結体の直立面に接触させる工程によりマ
グネトロン用部品すなわちエンドシールドを製造する方
法である。
モリブデン材料の第１の中間焼結体を準備する工程と、
この第１の中間焼結体と異なる収縮率を有し、上記の平
坦面に、上記の直立面と接触することなく覆うことがで
きる第２の中間焼結体を準備する工程と、第２の中間焼
結体で第１の中間焼結体を覆った状態で、予め定められ
た温度で焼結することによって、第１及び第２の中間焼
結体をそれぞれ第１及び第２の焼結体として、第２の焼
結体を第１の焼結体の直立面に接触させる工程によりマ
グネトロン用部品すなわちエンドシールドを製造する方
法である。
上記の製造方法によって得られたエンドシールドは、一
定量のろう材があらかじめ焼き嵌めされているだめ、フ
ィラメントのろう着が容易であり。
定量のろう材があらかじめ焼き嵌めされているだめ、フ
ィラメントのろう着が容易であり。
最終製品のバラツキがひじょうに少なくなる。またこの
製造方法は、あらかじめ第１の中間規結体を第２の中間
焼結体で覆ったのち、焼結するノζめ。
製造方法は、あらかじめ第１の中間規結体を第２の中間
焼結体で覆ったのち、焼結するノζめ。
エンド７−ルドの製作が能率的にでき、かつ圧縮率の差
によって焼き嵌めしているので、ろう材部の脱落などが
なく２品質の向上がはかれる。
によって焼き嵌めしているので、ろう材部の脱落などが
なく２品質の向上がはかれる。
第１図は、凹部を有するモリブデン圧粉体の断面５第２
図及び第６図は、ルテニウム−モリブデン合金圧粉体の
断面図、第３図は、モリブデン中間焼結体の凹部にルテ
ニウム−モリブデン合金中間焼結体を配置した断面図、
第４図及び第８図は。 モリブデン焼結体にルテニウム−モリブデン合金が焼き
嵌めされた断面図、第５図は凸部を有するモリブデン圧
粉体の断面図、第７図は、モリブデン中間焼結体の凸部
にルテニウム−モリブデン合金中間焼結体を配置した断
面図、第９図は２本発明によるエンドシールドを使用し
だマグネトロン用電極構造の断面図である。 １．２・・・エンドシールド、３・・・） ＩＪ ’７
Ａ −タフゲステンフィラメント、４・・・ろう材、
５，６・・・モリブデン俸。 第１図 第２ 第３図 第４ 第５図 第（ 第７図 第〔
図及び第６図は、ルテニウム−モリブデン合金圧粉体の
断面図、第３図は、モリブデン中間焼結体の凹部にルテ
ニウム−モリブデン合金中間焼結体を配置した断面図、
第４図及び第８図は。 モリブデン焼結体にルテニウム−モリブデン合金が焼き
嵌めされた断面図、第５図は凸部を有するモリブデン圧
粉体の断面図、第７図は、モリブデン中間焼結体の凸部
にルテニウム−モリブデン合金中間焼結体を配置した断
面図、第９図は２本発明によるエンドシールドを使用し
だマグネトロン用電極構造の断面図である。 １．２・・・エンドシールド、３・・・） ＩＪ ’７
Ａ −タフゲステンフィラメント、４・・・ろう材、
５，６・・・モリブデン俸。 第１図 第２ 第３図 第４ 第５図 第（ 第７図 第〔
Claims (1)
- １、平坦面及び該平坦面と交叉する直立面とを有し、且
つ、凸形及び凹形のいずれか一方の断面形状を備えたモ
リブデン材料の第１の中間焼結体を準備する工程と、前
記第１の中間焼結体と異なる収縮率を有し、前記平坦面
を前記直立面と接触することなく覆うことができる第２
の中間焼結体を準備する工程と、前記第２の中間焼結体
によシ第１の中間焼結体の平坦面を覆った状態で、予め
定められた温度で焼結し、第１及び第２の中間焼結体を
それぞれ第１及び第２の焼結体とし、該第２の焼結体を
前記第１の焼結体の直立面に接触させる工程とを有する
ことを特徴とするマグネトロン部品の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19333983A JPS6086731A (ja) | 1983-10-18 | 1983-10-18 | マグネトロン用部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19333983A JPS6086731A (ja) | 1983-10-18 | 1983-10-18 | マグネトロン用部品の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6086731A true JPS6086731A (ja) | 1985-05-16 |
| JPH0351048B2 JPH0351048B2 (ja) | 1991-08-05 |
Family
ID=16306245
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19333983A Granted JPS6086731A (ja) | 1983-10-18 | 1983-10-18 | マグネトロン用部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6086731A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010212193A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-24 | Toshiba Hokuto Electronics Corp | 電子管用部品およびマグネトロン管用エンドハットの製造方法 |
| CN103003909A (zh) * | 2010-07-16 | 2013-03-27 | 株式会社东芝 | 用于磁控管的端帽、其制造方法以及磁控管 |
-
1983
- 1983-10-18 JP JP19333983A patent/JPS6086731A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010212193A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-24 | Toshiba Hokuto Electronics Corp | 電子管用部品およびマグネトロン管用エンドハットの製造方法 |
| CN103003909A (zh) * | 2010-07-16 | 2013-03-27 | 株式会社东芝 | 用于磁控管的端帽、其制造方法以及磁控管 |
| CN103003909B (zh) * | 2010-07-16 | 2015-08-19 | 株式会社东芝 | 用于磁控管的端帽、其制造方法以及磁控管 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0351048B2 (ja) | 1991-08-05 |
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