JPS6081704A - 透明導電性膜形成用組成物 - Google Patents

透明導電性膜形成用組成物

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JPS6081704A
JPS6081704A JP18909983A JP18909983A JPS6081704A JP S6081704 A JPS6081704 A JP S6081704A JP 18909983 A JP18909983 A JP 18909983A JP 18909983 A JP18909983 A JP 18909983A JP S6081704 A JPS6081704 A JP S6081704A
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film
transparent conductive
conductive film
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forming
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吉保 延藤
幸信 星田
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の第1」用分野 本発明は、力゛ラスやセラミックその他の基材表面上に
透明導電性膜を形成するだめの透明導電性膜形成用組成
物に関するものである。
従来例の構成とその問題点 透明導電性膜は、液晶表示素子、エレクトロルミネッセ
ンスなどの透明電極、車両、航空機等の防曇窓ガラスに
用いる発熱硝子や電極、抵抗体素子としての用途に賞月
されて来ている。
従来、透明導電性膜を形成する材料は、酸化錫薄膜が大
半を占めるが、必要に応じてアンチモンをドーピングし
て、透明導電性膜の抵抗値の低ゴ・とコントロールが行
なわれている。さらには酸化インジウムに錫をドーピン
グする系も上記と同様の用途に供されている。これらの
透明導電性膜の中で酸化錫系は耐酸性、耐アルカリ性に
優れており、かつ拐料は安価であるという特長をイ」し
ている。
従来よシ透明導電性膜の形成方法としてにJl、蒸着法
、スパッタリング法、気相分)W法、室?L’tで基材
表面に薬液を塗布し乾燥後加熱分解する方θτ(以下コ
ールド塗布焼成法と称する)や、あらかじめ460 ’
C以上に加熱した暴利表面に薬液を噴霧し接触熱分解さ
せる方法(以下ホラl−基(4への噴霧法と称する。)
が良く知られている。これらの方法の中で、透明導電性
膜としての性能と価格的利点の大きいものは、気相分勉
法、コールド塗布焼成法及びホット基材への噴霧法であ
る。
これらの方法に適用される透明導電性膜形成用薬剤は、
塩化第一錫、有機第一錫のアルコキシドまたはアシルオ
キシ化合物やジメチル錫オキシドなどである。これら薬
剤の中で、塩化第一錫については、気相分解法、ホット
基材への噴霧法に利用され、有機錫系化合物は主にコー
ルド塗布焼成法に使用されていた。
塩化第一錫を薬剤として用いる透明導電性膜形成方法に
おいては、−回の膜形成処理工程で容易に5000人0
程度の膜厚まで比較的均一な膜が形成できるが、加熱雰
囲気内で多量の塩酸ガスの発生があり、このため設備関
係の腐食性が大きく排出ガスの公害処理は容易なもので
はない。有機錫系化合物を薬剤とする透明導電性膜形成
方法では、室温で基材の表面に塗布し、乾燥後基板と共
に焼成して長時間を要して熱分解させることにより形成
させるもので、有機成分の熱分解が不均一化し。
やすく、部分的に薬液を厚く塗布した箇所は白濁した不
連続の膜になシやすい。したがってこれらの欠点を避け
よつとすれば、−回の膜形成処理で形成させる透明導電
性膜の厚みは薄くせざるをえず、実用に供するに十分な
導電性が確保できず、2回以上の膜形成繰返しによる膜
厚増大化による導電性の向上を必要とするものであった
。さらに塩化第一錫を薬剤とする場合、良好な導電性を
確保する常套手段として、三塩化アンチモンや弗化水素
酸が使用されるが、有機第一錫系化合物を薬剤として使
用する場合は、三塩化アンチモンや弗化水素酸をドーピ
ング剤として選定すると、膜形成のだめの熱分解処理時
に極めて飛散しやすく、酸化錫膜中に固定化しにくく、
導電性の向」二に全く寄与しない。有機第一錫系化合物
に三塩化アンチモンや弗化水素酸を併用する」場合、ホ
ット暴利への噴霧法によれば、得られた酸化錫膜は導電
性は改善できるものの、基材表面での有機第一錫系化合
物の酸化錫への熱分解による移行が完全でなく、導電性
膜は着色し、透明性を大きくそこなうものと々る欠点が
あった。
発明の目的 本発明は、前記の事情K !みてなされたもので、−回
の膜形成処理にょシ着色がなく、透明であシ、良好な導
電性が確保できる酸化錫を主成分とする透明導電性j膜
形成用組成物を提供することを目的とする。
発明の構成 本発明の透明導電性膜形成用組成物は、゛一般式5n(
OR,)2で表わされるアルコキシド化合物及び一般式
S n (OOCR)2で表わされるアシルオキシ化合
物(ただし、前記のRは炭素数4〜8のアルキル基を表
わす。)よI)なる町から選んだ少なくとも一種と、塩
化パラジウム及び塩化白金酸よりなるJ11′から選ん
だ少々くとも一種とを混合してなるものである。
本発明で使用する塩化パラジウムあるいは塩化白金酸が
、有機第一錫系化合物による導電性膜の形成にあたり、
膜の着色や白濁などの欠陥を除去する極めて顕著な効果
を示す。この結果として、室温で基材表面に薬液を塗布
し、乾燥後加熱分解するコールド塗布焼成法や、あらが
じめ450″C以上に加熱した基材表面に薬液を噴霧し
接触熱分解させるホット基材への噴霧法によって形成さ
れる透明導電性膜の膜厚みが増大でき、これに」=つて
膜の導電性を犬きく向上することができる。
塩化パラジウムまたは塩化白金酸の作用は、有機第一錫
系化合物に混在させ、アルコールを生成分とした溶剤に
よシ適度に稀釈した状態の溶液となし、これをコールド
塗布焼成法やホット基材への噴霧法によって460℃以
上で熱分解した場合、示 塩化パラジウムまたは塩化白金酸が有機第一錫化△ 金物成分と分離あるいは蒸発飛散や偏析するようなこと
がなく、形成された酸化錫膜中に均一に分布存在して、
有機第一錫化合物が熱分解して酸化錫膜成分と有機飛散
成分になる熱分5QF+反応を、酸化促進触媒的効果を
発揮することにより、短時間に完全分解に導くものと考
えられる。ざらに、塩化パラジウムまだは塩化白金酸の
他の効果id、イ:Iられる透明導電性膜の抵抗値が、
これらを使用しないで得た膜に比較して低下でき゛るも
のとなる3、したがって、本発明の透明導電性膜形成用
組成物による導電性膜は、薬剤として熱分解時の飛散成
分が多い有機鎖 錫系化合物を使用するものであるが、
塩化パラジウムまたは塩化白金酸の使用により、薬剤と
して塩化第一錫を使用する場合と遜色のない透明性、膜
厚、導電性を確保でき、導電性のM+、1整は薬液の濃
度により容易に所望の膜が形成できる。
透明導電性膜形成用薬剤として、前記のように−Nの膜
形成処理により着色がなく、透明であり、良好な導電性
をもたらすためには一般式Sn (OR)2まだは5n
(00(R)2であられされる有機第一錫系化合物にお
いて、Rで示されるアルギル基の炭素数が多くなれば、
膜形成片の熱分解飛散量が多くなると共に、分解しにく
くなるために、形成される膜中に未分解物を包含するよ
うになり着色し、不透明化する。
縦軸に0.4μ〜2.6μの可視光線平均透過率(%)
斧 横軸に有機第−硯ヒ合物のアルキル基の炭素数をあられ
した添付の図に赴いて、板厚3肩肩のソーダ硝子をs 
o o ’cに加熱してその片面に薬液をI11!霧し
、膜厚1500A’±100となるように導電性膜を形
成した場合、有機第一錫系化合物の一般式5n(OR)
2または5n(00(R)2のみの場合の曲線3に示す
透過率に比較して、本発明の塩化ノくラジウムを添加し
た一般式R(OR)2を用いた場合の曲線1、塩化パラ
ジウムを添加したFt(OOCR)2を用いた場合の曲
線2は、大幅に可視光線透過率が向上する。しかし、実
用上W「容できる可視光線透過率は少なくとも50%以
上必要であると考えられることから、これを満足する有
機第一錫系化合物のアルキル基の炭素数は、8以下刃J
満足できるものとなる。ただし、3以下のものは可溶性
の溶剤がほとんどなく、本発明の目的に合致しない。
塩化パラジウムは、−画、二価、三価のものが知られて
いるが、この中で最も安定である2価、Cラジウム(p
dcl□)を使用する。塩化白金酸は、塩化第一白金酸
(H2(PtCβ4〕)あるいは環化第二白金酸(H2
〔PtCβ4〕))のいずれでも本発明の1−1的に合
致するものであり、結晶水を有していても特に支障はな
い。本発明で使用する有機第一錫系化合物に対する塩化
パラジウムまたは塩化白金酸の使用すべき量の範囲は、
特に限定するものではないが、有機第一錫系化合物の熱
分解に寄与するに必要にして最適量を、得られる透明導
電性膜の価格面を考慮して決めれば良い。
透明導電性膜を形成するにあたって、導電性、ずなわぢ
膜の抵抗値を所望の値に調整する方法は、有機第一錫系
化合物と塩化パラジウムまたは塩化白金酸のいずれかの
組み合わせによる薬剤混合体を、適度の製度に柿釈し薬
液とするに好ましい溶剤として、アルコール系化合物が
有効である。アルコールの種類は特に限定するものでは
なく、−価アルコール、二価アルコール、 多価yルコ
−/l/、きらには第一アルコールのみならず第二、第
三アルコールも有効で適宜選定する。さらには混合した
状態で使用し7ても本発明の目的に支障を与えるもので
はない。
透明の導電性膜を形成する方法としては、本発明の組成
物は、コールド塗布焼成法あるいはホット基バへの噴霧
法の適用が最適であり、塗布形式は従来知られているス
ピナ法、浸漬法、刷氾塗りなど任意のものを採用するこ
とができ、噴霧法はスプレー法が好オしい。
基材としては、膜の透明性を生かすr]的からすれば、
透明硝子が多用されるが、抵抗体性を[1的とするなら
ばセラミック、磁器、ホーローなど無機質のものであれ
ば膜の形成はijj能である。
実施例の説明 実施例1 bn (Oh )2 99.5重耽部 塩化パラジウム(pacβ2) 0.6 i)、置部ヘ
キシルアルコール 60垂J、::部ブチルアルコール
 50 ’17. 、”a一部上記の材料を均一に混合
して透明導電性膜形成用組成物を作成した。ただし、有
機第一錫系化合物5n(OR)2として、ジn−ブトキ
シ錫(Sn(OC4H8)z) 、ジn−ヘキシルオキ
シ3易〔5n(0(16H+:+)31 、モロ−オク
タオキシ錫(S n (OCl1H17)2)ジn−/
:fivオキシ錫(Sn(OC9H+9)2)の各4を
用いた。
基材として板厚:ll++x、大きさ10100X10
0の硝子板を使用し、あらかじめ550 ’(:に加熱
されたものの表面に空気圧2 kt)/cyjで薬液を
噴霧し、熱分’A=r iせて得た各膜形成用組成物に
対応する試片の性能は表7fi、 1〜4に示す結果を
得た。なお膜厚は、RANK PRECISION I
N’DUSTRIESLTD製TALYS’rRP−1
により硝子板上に形成した透明導電性膜の一部を、亜鉛
粉末と塩酸とで、発生期の水素ガスにより還元剥離させ
、その段差部分を測定しめた。可視光線透過率(%)は
、(掬島津製作所製分光々度計UV’−120装置によ
り波長域0.4〜2.6μの平均透過率としてめた。ま
た導電性は面抵抗としてめた。
この結果から、イj機第−錫系化合物5n(OR)2の
Hの炭素数は4〜8が本発明の1]的を満足するもので
ある。
比較試料として、ジブトキシ錫のみをヘキシルアルコー
ルとブチルアルコールとの1:1の混合物により濃度5
Q%とした薬液を前記と同様に処理して導電性膜を形成
した結果は同表j612に示す。本発明の組成物による
導電性膜は、可視光線透過率5着色性がなく、抵抗値が
低い結果である。
実施例2 実施例1に示す透明導電性膜形成用組成物において、塩
化パラジウムを塩化第二白金酸に置換したのみで他は同
一とした組成物により、ホット基朽への[す5″霧法に
よシ表中、筋5〜8の結果をイ;)た。
この結果は実施例1による結果(〃61〜4)とほぼ同
等である。
実施例3 Sn(OOCR)、、 99・5 重量部13塩化パラ
ジウェ 0.6 重量部 ヘキシルアルコール 50 M、Q9.l(ブチルアル
コール 60 重j’13:、fτ(S上記の材料を均
一に混合して透明導電+4″膜形成用組成物を作成した
。ただし、有機第一錫系化合物5n(OOGR)2とし
て、ジn−吉草酸錫(Sn(OOCC4H7)2) 、
錫ジn−エナントレート〔Sn(00(C6H+3)2
〕、ジベラルゴン酸錫〔Sn(00C08)Q17)2
 ”Jの各々を用いた。この膜形成用組成物を用いて実
施例1と同様にして試片を作成し、表中、169〜11
の結果を得た。この結果がら、5n(OOCR)2のR
の炭素数は8までが本発明の目的を満足する。ただし、
Rが3以下は溶剤に溶解しにくいので本発明の目的には
適しない。
比較試料として、ジ吉草酸錫のみをヘキシルアルコール
とブチルアルコールとの1=1の混合物によりg度50
%とした薬液を前記と同様に処理して導′JL性膜を形
成した結果を同表j613に示す。
本発明の組成物による導電性j1々は、可視光線透過率
1着色性がなく、抵抗値が低い結果である。
実施例4 ジn−ブトギ’/’J!A I:’5n(OC4H9)
2 )9.6重量部 Jフ1化パラジウム(pdcl□) 0.05重重量部
ヘキシルアルコール 50 ii 部ブチルアルコール
 60ffi量部 上記の材料を均一に混合して透明導電性膜形成用組成物
を作成した。この膜形成用組成物を用いて導電性膜形成
後の膜厚を80OA’、1500A0゜250OA’、
4000A’ 、5200請0の5段階になるよう実施
例1と同様の操作により試片を作成し、表刑14〜18
の結果を得だ。この結果から膜厚みが4000A0まで
は着色性か斤く、かつ実用に供せられるに十分な可視光
線透過率を示しだ。また抵抗値の調整は形成する導電性
膜の膜厚の変化により可能である。
実施例5 ジn 〜ブトキシ錫〔Sn(0C4H9)2 ’) A
重量部塩化白金酸〔H2(PtCβ6)〕B重敗部ブチ
ルアルコール 50.01触部 上記の利イ1を均一に混合して透明導電+j+ 114
:j形成用組成物を作成した。ただし、A:B =99,1:0.1.99.7:0.3,99.6:0
.5 。
99.0:1.0.97.0:3.○と変化し61Φ力
′1を負放した。基材として板厚3mm、太き−J10
0X100*Iの硝子板を使用し、これら5種類の薬液
中に浸漬し引き」二げて100℃で30分間乾燥後、片
面のみをアセトンを付けた布で拭きとり660℃で20
分間焼成して5種類の透明導電性膜を形成した。この試
片d2、実施例1に示したと同様の方法によシ表に示し
たj619〜23の結果を得た。
(以下余白) ム。
コ) 発明の効果 本発明の透明導電性膜形成用組成物は、従来の塩化第一
錫を薬剤として使用する組成物に比較して導電性膜形成
時の多量の塩酸ガスの発生がなく、設備の腐食性はほと
んどなく、排気の公害処理も」[12度である。また、
本発明の組成物として有機第一錫系化合物を使用するに
もかかわらず、熱分)押促進的効果を示す塩化パラジウ
ム1だは塩化白金酸を併用する薬液組成とすることによ
り、導電(?1膜中に残留する有機性分を完全に分解に
導くことによりρ1視光線透過性9着色11を軽減でき
ることから、−回の膜形成処理で比較的膜厚を厚く形成
することがijJ能となり、低抵抗値を・示す透明導電
性膜が提供できるものとなり、膜の抵抗値調整にj:形
成する導電性膜の膜厚管理で用北である。丑だ、導電性
膜の形成方法としては、従来より太耽生産が可能であり
比較的容易であることから賞月されて来ているホット基
材への噴霧法寸プc―:コールト塗布焼成法の双方に適
用できる組成物であることも実用上火きな利点である。
実施例においては、透明度1着色性の評価のため判定の
しやすさから基材として硝子板を選定しているが、特に
これに限定されるものではなく、セラミック、ホーロー
など無機質のものであり、460 ’C以上の膜形成処
理のだめの加熱に耐えるものであれば使用できるもので
あることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
系 図は本発明で使用する有機第一錫化合物のアル△ キル基の炭素数とこれを薬剤としたときの透明導電性膜
の可視光線透過率の関停を示しだ特性図である。 代理士の氏名 弁理士 中 尾 敏 y3 ほか1名ア
ルNル基の友系款

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 一般式5n(OR)2で表わされるアルコキシド化合物
    及び一般式5n(00(IR)zで表わされるアシルオ
    キシ化合物(ただし、前記のRは炭素数4〜8のアルキ
    ル基を表わす。)より彦る群から選んだ少なくとも一種
    と、−塩化パラジウム及び塩化白金酸よりなる群から選
    んだ少なくとも一種との混合物よりなることを偶゛徴と
    する透明導電性膜形成用組成物。
JP18909983A 1983-10-07 1983-10-07 透明導電性膜形成用組成物 Granted JPS6081704A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7119218B2 (en) 2003-03-31 2006-10-10 Nof Corporation Low melting point tin salt of carboxylic acid and method for producing the same
CN102596973A (zh) * 2009-09-02 2012-07-18 Lg化学株式会社 有机锡化合物、其制备方法及使用该有机锡化合物制备聚交酯的方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US7119218B2 (en) 2003-03-31 2006-10-10 Nof Corporation Low melting point tin salt of carboxylic acid and method for producing the same
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