JPS607350A - 感湿素子 - Google Patents
感湿素子Info
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- JPS607350A JPS607350A JP58116314A JP11631483A JPS607350A JP S607350 A JPS607350 A JP S607350A JP 58116314 A JP58116314 A JP 58116314A JP 11631483 A JP11631483 A JP 11631483A JP S607350 A JPS607350 A JP S607350A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- humidity
- humidity sensitive
- film
- sensitive element
- high molecular
- Prior art date
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/121—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid
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- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、電子レンジやビデオテープレコーダ（Ｖ Ｔ
Ｂ、）等の家電機器、空調機器、医療機器等に用いら
れる湿度センサ、露点センザ、結露センサとしての感湿
素子に関するものである。
Ｂ、）等の家電機器、空調機器、医療機器等に用いら
れる湿度センサ、露点センザ、結露センサとしての感湿
素子に関するものである。
従来例の構成とその問題点
上記利用分野で用いられる感湿素子の従来例としては、
甘ず第１にＬＬＣｌセンザセンげられる。
甘ず第１にＬＬＣｌセンザセンげられる。
このＬｉＣｌセンサは電解質系の湿度センサで、雰囲気
の相対湿度の変化に応じてＬｉＣｌが乾燥あるいは湿潤
し、イオン伝導によって電気抵抗か変化するものである
。このＬｉＣｌセンサは取扱いに多くの制限かあるのと
、１ｏ％ＲＨから９０ ％ ＲＨで１桁程度しか抵抗値
〃・変化しないのか欠点である０ つぎに第２にアルミニウム陽極酸化膜湿度センサかある
〃・、このアルミニウム陽極酸化膜湿度センサは、８０
％ＲＨ以上の高湿度ではヒステリシス力・大きく、経時
変化〃・大きいの〃１欠点である。
の相対湿度の変化に応じてＬｉＣｌが乾燥あるいは湿潤
し、イオン伝導によって電気抵抗か変化するものである
。このＬｉＣｌセンサは取扱いに多くの制限かあるのと
、１ｏ％ＲＨから９０ ％ ＲＨで１桁程度しか抵抗値
〃・変化しないのか欠点である０ つぎに第２にアルミニウム陽極酸化膜湿度センサかある
〃・、このアルミニウム陽極酸化膜湿度センサは、８０
％ＲＨ以上の高湿度ではヒステリシス力・大きく、経時
変化〃・大きいの〃１欠点である。
さらに、第３１１に金属酸化物粉末塗布膜湿度センサか
ある。これは金属酸化物の粉末〃・水分の何着に対して
速乾性７ノ・あることを利用したもので、絶縁基板上に
対電極あるいはくし型電極を形成し電極基板とし、その
上に、Ｃｒ ２０３ ？ Ｆ ｅ ２０３ ｔＮｉ２０
３．Ａｌ２Ｏ３，Ｚｎ○、ＴｉＯ２等の金属酸化物粉末
を水でスラリーにしたものを筆やスプレーで薄く塗布し
、自然乾燥後１００°Ｃ程度で固めて酸化物膜を作成し
たものである０これは、すなわち、高分子材料等のバイ
ンダを用いないで酸化物粉末だけで作成した膜である。
ある。これは金属酸化物の粉末〃・水分の何着に対して
速乾性７ノ・あることを利用したもので、絶縁基板上に
対電極あるいはくし型電極を形成し電極基板とし、その
上に、Ｃｒ ２０３ ？ Ｆ ｅ ２０３ ｔＮｉ２０
３．Ａｌ２Ｏ３，Ｚｎ○、ＴｉＯ２等の金属酸化物粉末
を水でスラリーにしたものを筆やスプレーで薄く塗布し
、自然乾燥後１００°Ｃ程度で固めて酸化物膜を作成し
たものである０これは、すなわち、高分子材料等のバイ
ンダを用いないで酸化物粉末だけで作成した膜である。
そして、特性は、４０係ＲＨから９０％ＲＨの間で１０
１０Ωから１０６Ω程度まで４桁はど変化するか、絶対
値か高抵抗であり機械的にはかれ易いの〃・欠点である
。また第４に前記金属酸化物をエポキシ樹脂バインダで
固めた湿度センサかあるか、特性的にはほぼ前記第３の
ものと同様であり、高抵抗となるの〃・欠点である。
１０Ωから１０６Ω程度まで４桁はど変化するか、絶対
値か高抵抗であり機械的にはかれ易いの〃・欠点である
。また第４に前記金属酸化物をエポキシ樹脂バインダで
固めた湿度センサかあるか、特性的にはほぼ前記第３の
ものと同様であり、高抵抗となるの〃・欠点である。
一方、第５に高分子、材料の膨潤性を利用した結露セン
サη・ある。これは膨潤する樹脂に導電性粉末を混合し
て、結露を電気的に検出するものであるＯ すなわち、樹脂の体積か吸湿により膨張すると、導電体
の濃度は減少したことになり抵抗力・増加する。換言す
れば、体積膨張で導電粒子間隔が拡〃・り接触抵抗値か
増大することを利用する。すなわち、高湿度中で高抵抗
となる特性を持つ。また導電性粉末には、炭素粉等〃・
用いられるか、感湿特性は、導電粉の粒径、分散濃度、
分散状態か大きく影響するため、これらの要素を正確に
定めなければならない点かこの結露センサの欠点である
０さらに、第６に導電性高分子を用いた湿度センサかあ
る。この湿度センサの感湿膜である導電性高分子は、親
水性高分子モノマーと特殊高分子モノマーを共重合反応
させたものである。またこの湿度センサの感湿特性は、
３０％ＲＨから９０％有機溶剤雰囲気、５０°Ｃ以上の
高温、９０係ＲＨ以」二での長時間使用、結露の頻繁な
繰返しなどで、感湿特性〃・大きく変化するのか欠点で
ある。
サη・ある。これは膨潤する樹脂に導電性粉末を混合し
て、結露を電気的に検出するものであるＯ すなわち、樹脂の体積か吸湿により膨張すると、導電体
の濃度は減少したことになり抵抗力・増加する。換言す
れば、体積膨張で導電粒子間隔が拡〃・り接触抵抗値か
増大することを利用する。すなわち、高湿度中で高抵抗
となる特性を持つ。また導電性粉末には、炭素粉等〃・
用いられるか、感湿特性は、導電粉の粒径、分散濃度、
分散状態か大きく影響するため、これらの要素を正確に
定めなければならない点かこの結露センサの欠点である
０さらに、第６に導電性高分子を用いた湿度センサかあ
る。この湿度センサの感湿膜である導電性高分子は、親
水性高分子モノマーと特殊高分子モノマーを共重合反応
させたものである。またこの湿度センサの感湿特性は、
３０％ＲＨから９０％有機溶剤雰囲気、５０°Ｃ以上の
高温、９０係ＲＨ以」二での長時間使用、結露の頻繁な
繰返しなどで、感湿特性〃・大きく変化するのか欠点で
ある。
以上の通り、現状では、あらゆる点で満足な感湿素子か
存在していないといっても過言ではない０発明の目的 本発明は、前記従来例の個々の欠点に鑑かみ、湿度変化
に対する特性値変化量か大きく、耐熱性、耐湿性の高い
安定した感湿素子で、しかも再現性の高い、コストの安
い感湿素子を提供することを目的とする。
存在していないといっても過言ではない０発明の目的 本発明は、前記従来例の個々の欠点に鑑かみ、湿度変化
に対する特性値変化量か大きく、耐熱性、耐湿性の高い
安定した感湿素子で、しかも再現性の高い、コストの安
い感湿素子を提供することを目的とする。
発明の構成
そのための構成として、本発明の感湿素子は、高分子材
料よりなるバインダ中に、絶縁性ないし半導電性ないし
導電性の物質の粉末材料と、酸性基と塩基性基の双方を
持つ両性電解質とを含有したものである。
料よりなるバインダ中に、絶縁性ないし半導電性ないし
導電性の物質の粉末材料と、酸性基と塩基性基の双方を
持つ両性電解質とを含有したものである。
実施例の説明
レン（ＰＥ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＦ２）、ポ
リ塩化ビニル、エポキシ、ポリスルホン、シリコンゴム
、セロファン等、あらゆる高分子材料を用いることかで
きる。また粉末材料としては、ＴｌＯ２、ＳｉＯ２、Ｓ
ｌ ｏ、 Ｍｇｏ、 Ｃａ ｏ、 Ｚ ｎ ｏ、 Ｆ
ｅ ２０３、Ａｌ２Ｏ３、Ｂ ａ Ｏ。
リ塩化ビニル、エポキシ、ポリスルホン、シリコンゴム
、セロファン等、あらゆる高分子材料を用いることかで
きる。また粉末材料としては、ＴｌＯ２、ＳｉＯ２、Ｓ
ｌ ｏ、 Ｍｇｏ、 Ｃａ ｏ、 Ｚ ｎ ｏ、 Ｆ
ｅ ２０３、Ａｌ２Ｏ３、Ｂ ａ Ｏ。
ＣａＯ、Ｃｕ ２ ｏ、 Ｍ ｎ ＯｌＭ ｎ Ｏ２、
Ｃ００、Ｍ ｏ Ｏｓ、Ｎ ｉ Ｏ。
Ｃ００、Ｍ ｏ Ｏｓ、Ｎ ｉ Ｏ。
ｐｂｏ、Ｓ ｎ Ｏ２、Ｓ ｒｏ、 Ｚ ｒｏ２、ＩＪ
ＣＩＪ、 Ａｌ （ＯＨ）３、Ｂ ａ ＣＯ３、Ｂ ａ
Ｓ Ｏ４、Ｂ ｅ Ｓ Ｏ４、Ｃａ ＣＯ３、Ｃａｂ
。
ＣＩＪ、 Ａｌ （ＯＨ）３、Ｂ ａ ＣＯ３、Ｂ ａ
Ｓ Ｏ４、Ｂ ｅ Ｓ Ｏ４、Ｃａ ＣＯ３、Ｃａｂ
。
Ｃａ５ＯＣａＳＯ３、Ｃｕ Ｓ Ｏ４、Ｆｅ５ＣＳＦｅ
Ｃｏ３、５ ＦｅＣｌ ＦｅＣｌ３、Ｆｅｄ、Ｆｅ５ｉＳＨｐＣ１，
ＫＢｒ。
Ｃｏ３、５ ＦｅＣｌ ＦｅＣｌ３、Ｆｅｄ、Ｆｅ５ｉＳＨｐＣ１，
ＫＢｒ。
２′％
ＫＣｌ、 Ｋ（ＪＯ３、Ｋ２ＣｒＯ□、ＫＩＳＬａ２Ｓ
３、Ｌ Ｉ Ｃｏ ３、ＭｇＣＯ３、Ｍｇ５ｏ４、Ｍ２
ＳＯ４”７Ｈ２０，ＭｎＣＯ３、Ｍｎ ＣＡ ２、Ｍｎ
ＳＯ４、ＭｏＣｌ３、ＮｂＦ３、旧Ｃ１２，１’Ｊ
Ｉ Ｓ、 Ｐ ＯＰ ｂＢ ｒ Ｐ ｂｃｌｌ ２、Ｐ
ｂ３ｏ４、ｐｂｓ。
３、Ｌ Ｉ Ｃｏ ３、ＭｇＣＯ３、Ｍｇ５ｏ４、Ｍ２
ＳＯ４”７Ｈ２０，ＭｎＣＯ３、Ｍｎ ＣＡ ２、Ｍｎ
ＳＯ４、ＭｏＣｌ３、ＮｂＦ３、旧Ｃ１２，１’Ｊ
Ｉ Ｓ、 Ｐ ＯＰ ｂＢ ｒ Ｐ ｂｃｌｌ ２、Ｐ
ｂ３ｏ４、ｐｂｓ。
２ ５１１ ２％
ＰｂＳＯ４、Ｓ １ＣＳＳ Ｉ Ｓ ２、Ｓ ｎ Ｃ１
２、Ｓ ｒ Ｃ７２、ＴｉＢｒ、。
２、Ｓ ｒ Ｃ７２、ＴｉＢｒ、。
ＷＣＳＹＣ２、Ｚ ｎ ＣＯ３、Ｚ ｎ Ｃ１２、Ｚ
ｎ Ｆ ２、Ｚ ｎ （ＯＨ） ２、Ｚ ｎ Ｓ 、
Ｚ ｎ Ｓ ＯＺ ｒ Ｃ１４、Ｚ ｒ Ｏ２、ＢａＴ
ｉＯ２、ｌｌ ５ｒＴｉＯＣａＴｉＯ３、Ｂｉ２Ｏ３、Ｐ ｂ Ｔ ｚ
Ｏ３、− ＰｂＺｒＯ３、Ｐｂ（Ｚｒ−Ｔｉ）０３等の絶縁性の無
機化合物や、Ｂ ｅＳＮ ａＳＭｇ、Ａ７． Ｋ、 Ｃ
ａ、 Ｓ ｒＳＢａＳＴ ｉ。
ｎ Ｆ ２、Ｚ ｎ （ＯＨ） ２、Ｚ ｎ Ｓ 、
Ｚ ｎ Ｓ ＯＺ ｒ Ｃ１４、Ｚ ｒ Ｏ２、ＢａＴ
ｉＯ２、ｌｌ ５ｒＴｉＯＣａＴｉＯ３、Ｂｉ２Ｏ３、Ｐ ｂ Ｔ ｚ
Ｏ３、− ＰｂＺｒＯ３、Ｐｂ（Ｚｒ−Ｔｉ）０３等の絶縁性の無
機化合物や、Ｂ ｅＳＮ ａＳＭｇ、Ａ７． Ｋ、 Ｃ
ａ、 Ｓ ｒＳＢａＳＴ ｉ。
等の半導電性および導電性の単体物質や、ポリカーボネ
ート、ポリスチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポ
リプロピレン、ポリエチレン、ポリフッ化ビニリデン、
ポリ塩化ビニル、エポキシ、ポリスルホン、シリコンゴ
ム、セロファン等の絶縁１ｑユの有機高分子月利を用い
ることかでき、必ずしも、前記の物質を単体で用いる心
安はなく複数積類任意な割合で混合して用いることがで
き、１だ粉末の表面を異なる物質（例えば５ｌｏ２．Ａ
１２ｏ３、Ｓｉ等）で覆ったり、被覆した粉末を用いて
もよい。粉末の量は０ 、 Ｉ Ｖ ｏ ＩＪ ％から
９５Ｖｏ７係まで効果η）ある力・、特に５Ｖｏ７％か
ら７０Ｖｏ１％の間で著しい効果か見られる。０．ＩＶ
ｏ１％未満では、感湿素子の抵抗値変化か３桁以下とな
り、高感度な感湿素子として適さず、また９５Ｖｏ７％
を超えると、素子のｔｊ・八やクラック等の機械的な問
題が起きて来るため適当でない。粒径は１硼以下の適当
な粒度分布を持ったものか使用できる０まだ、酸性基と
塩基性基の双方を含む両性電解質としては、以下のもの
かある０ （１） リン脂質 １）グリセロリン脂質 イ）ホスファチジルコリン（レシチン）口）ホスファチ
ジルエタノールアミン（ケファリン）ハ）ホスファチジ
ル−２−Ｎ−メチルエタノルアミン（メチルケファリン
） ホ）ホスファチジルセリン（Ｋ塩） へ）ホスファチジルスレオニン（Ｋ塩）ト） リポアミ
ノ酸 ２）スフィンゴリン脂質 ヌ）スフィンゴミエリン ）３ ＯＲ ル）セラミドホスホリルエタノールアミンｏＲ オ）セラミド２−アミンエチルホスホネート（ＩＩ）
Ｎ−アルキルトリグリシン （ＩＩＩ ） ジメチルアルギルベタイン（Ｖ） アル
キルベタイン （Ｖｌ） Ｎ−アルキルβ−アミノプロピオン酸塩ＲＮ
ＨＣＨＣＯＯＮａ Ｒ：Ｃ１゜〜１８４ （■） Ｎ−アルキルβ−イミノジプロピオン酸塩ＲＮ
（Ｃ２Ｈ４ＣＯＯＮａ）２ Ｒ：０１２〜１８（■）
アルキルジ（アミノエチル）グリシン塩酸塩ＲＮＨ（Ｃ
２Ｈ４ＮＨ）２ＣＨ２ＣＯＯＨ１１ＨＣｌＲ：Ｃ１２〜
１８ （ＩＸ） ジアルキルジエチレントリアミノ酢酸の塩酸
塩（ＲＮＨＣ２Ｈ４）２ＮＣＨ２ＣＯＯＨ＠ＨＣｌＲ：
Ｃ３ （ＸＩ） Ｎ−アルキルタウリン塩 ＲＮＨＣ２Ｈ４Ｓ○３Ｎａ Ｒ：Ｃ１２〜１８（Ｘｌｌ
） アミンエチルイミダシリン有機酸塩（ｘｎ＋） ア
ミノ酸 ＲＣＨ（ＮＨ２）ＣＯＯＨ （ＸＩＶ）各種タンパク質 これらの材料を用いた本発明の感湿素子は、湿度変化に
対して、抵抗値が８桁以上変化し、さらに容量（すなわ
ち誘電率）が３桁以上変化するため、きわめて高感度の
感湿特性が得られるものである。
ート、ポリスチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポ
リプロピレン、ポリエチレン、ポリフッ化ビニリデン、
ポリ塩化ビニル、エポキシ、ポリスルホン、シリコンゴ
ム、セロファン等の絶縁１ｑユの有機高分子月利を用い
ることかでき、必ずしも、前記の物質を単体で用いる心
安はなく複数積類任意な割合で混合して用いることがで
き、１だ粉末の表面を異なる物質（例えば５ｌｏ２．Ａ
１２ｏ３、Ｓｉ等）で覆ったり、被覆した粉末を用いて
もよい。粉末の量は０ 、 Ｉ Ｖ ｏ ＩＪ ％から
９５Ｖｏ７係まで効果η）ある力・、特に５Ｖｏ７％か
ら７０Ｖｏ１％の間で著しい効果か見られる。０．ＩＶ
ｏ１％未満では、感湿素子の抵抗値変化か３桁以下とな
り、高感度な感湿素子として適さず、また９５Ｖｏ７％
を超えると、素子のｔｊ・八やクラック等の機械的な問
題が起きて来るため適当でない。粒径は１硼以下の適当
な粒度分布を持ったものか使用できる０まだ、酸性基と
塩基性基の双方を含む両性電解質としては、以下のもの
かある０ （１） リン脂質 １）グリセロリン脂質 イ）ホスファチジルコリン（レシチン）口）ホスファチ
ジルエタノールアミン（ケファリン）ハ）ホスファチジ
ル−２−Ｎ−メチルエタノルアミン（メチルケファリン
） ホ）ホスファチジルセリン（Ｋ塩） へ）ホスファチジルスレオニン（Ｋ塩）ト） リポアミ
ノ酸 ２）スフィンゴリン脂質 ヌ）スフィンゴミエリン ）３ ＯＲ ル）セラミドホスホリルエタノールアミンｏＲ オ）セラミド２−アミンエチルホスホネート（ＩＩ）
Ｎ−アルキルトリグリシン （ＩＩＩ ） ジメチルアルギルベタイン（Ｖ） アル
キルベタイン （Ｖｌ） Ｎ−アルキルβ−アミノプロピオン酸塩ＲＮ
ＨＣＨＣＯＯＮａ Ｒ：Ｃ１゜〜１８４ （■） Ｎ−アルキルβ−イミノジプロピオン酸塩ＲＮ
（Ｃ２Ｈ４ＣＯＯＮａ）２ Ｒ：０１２〜１８（■）
アルキルジ（アミノエチル）グリシン塩酸塩ＲＮＨ（Ｃ
２Ｈ４ＮＨ）２ＣＨ２ＣＯＯＨ１１ＨＣｌＲ：Ｃ１２〜
１８ （ＩＸ） ジアルキルジエチレントリアミノ酢酸の塩酸
塩（ＲＮＨＣ２Ｈ４）２ＮＣＨ２ＣＯＯＨ＠ＨＣｌＲ：
Ｃ３ （ＸＩ） Ｎ−アルキルタウリン塩 ＲＮＨＣ２Ｈ４Ｓ○３Ｎａ Ｒ：Ｃ１２〜１８（Ｘｌｌ
） アミンエチルイミダシリン有機酸塩（ｘｎ＋） ア
ミノ酸 ＲＣＨ（ＮＨ２）ＣＯＯＨ （ＸＩＶ）各種タンパク質 これらの材料を用いた本発明の感湿素子は、湿度変化に
対して、抵抗値が８桁以上変化し、さらに容量（すなわ
ち誘電率）が３桁以上変化するため、きわめて高感度の
感湿特性が得られるものである。
以下本発明の具体的実施例につき、図面の第１図〜第３
図に沿って説明する。
図に沿って説明する。
実施例１
ジクロロメタン１４００Ｇとジクロロエタン７０ＣＧと
を混合したものにレシチンを２．８ｇ添加したのちＴｉ
○２粉末’１５３Ｊ７入れ十分攪拌した後、粒状のポリ
カーボネー）ｉ３０．９入れ、さらに十分攪拌してポリ
カーボネートヲ完全に溶かした。第１図に示すように、
Ａ７を真空蒸着したスライドガラス基板１」二に、前記
溶液を塗布して、厚さ１０μｍの塗布膜２を得た。十分
乾燥した後、２０＋ｎｍＸ２５＋ｎｍの上部電極３ａを
、Ａｌを真空蒸着することにより得た。この上部電極３
ａ、下部電極３ｂによるサンドイッチ構造の感湿素子は
、２０°Ｃ５５ｏ ％ ＲＨで、抵抗が１ｏ１１Ω、容
量が３ｎＦであった。
を混合したものにレシチンを２．８ｇ添加したのちＴｉ
○２粉末’１５３Ｊ７入れ十分攪拌した後、粒状のポリ
カーボネー）ｉ３０．９入れ、さらに十分攪拌してポリ
カーボネートヲ完全に溶かした。第１図に示すように、
Ａ７を真空蒸着したスライドガラス基板１」二に、前記
溶液を塗布して、厚さ１０μｍの塗布膜２を得た。十分
乾燥した後、２０＋ｎｍＸ２５＋ｎｍの上部電極３ａを
、Ａｌを真空蒸着することにより得た。この上部電極３
ａ、下部電極３ｂによるサンドイッチ構造の感湿素子は
、２０°Ｃ５５ｏ ％ ＲＨで、抵抗が１ｏ１１Ω、容
量が３ｎＦであった。
この感湿素子の抵抗特性Ａおよび容量特性Ｂｉ第２図に
示す。１Ｑ％ＲＨから１００％ＲＨの変化で、抵抗値が
１１桁、容量が３桁変化し、高感度の感湿素子が得られ
た。しかも抵抗値の絶対値が最低２０Ωときわめて低か
った。前記実施例１ではサンドイッチ型電極構造である
が、第３図に示すように、同一平面に（例えば、スライ
ドガラス基板１上に）対電極ｓｃ、ｓｄや、クシ形電極
を設けた電極系上に塗布膜２を得た場合においても、抵
抗値が８桁以上変化することが確められた。
示す。１Ｑ％ＲＨから１００％ＲＨの変化で、抵抗値が
１１桁、容量が３桁変化し、高感度の感湿素子が得られ
た。しかも抵抗値の絶対値が最低２０Ωときわめて低か
った。前記実施例１ではサンドイッチ型電極構造である
が、第３図に示すように、同一平面に（例えば、スライ
ドガラス基板１上に）対電極ｓｃ、ｓｄや、クシ形電極
を設けた電極系上に塗布膜２を得た場合においても、抵
抗値が８桁以上変化することが確められた。
さらに面ｊ熱性、耐湿性、再現性等の安定性がきわめて
優れていた。
優れていた。
捷だ特性曲線の形状は、用いる材料の種類や含有率に大
きく依存し、種々の形状の特性曲線を持った感湿素子を
得ることができる。
きく依存し、種々の形状の特性曲線を持った感湿素子を
得ることができる。
実施例２
実施例１と同じサンドイッチ型の電極構造で、種々の材
料を用いて実験を実施した。その結果を次の表に示す。
料を用いて実験を実施した。その結果を次の表に示す。
以下余白
０内Ｖｏ１％
ＲｌｏおよびＣ１ｏはこれらの素子の１０係ＲＨ１１〜
１３は両性電解質を添加しない場合の特性で、抵抗値お
よび容量値の変化がきわめて小さい。
１３は両性電解質を添加しない場合の特性で、抵抗値お
よび容量値の変化がきわめて小さい。
また、爲１４のように粉末を用いない場合も同様に変化
が非常に小さい。さらに両性電解質でないＲ：Ｃｌ、Ｂ
ｒ アルキルイソキノリニウム塩 Ｘ：Ｃ７，Ｂｒ ジアルキルスルホコハク酸塩 を添加しても十分な特性は得ら扛なかった〇これらの結
果は本発明の感湿素子においては、両性電解質の両性イ
オン的性質、すなわち電気双極子的性質が大きく関与し
ていることを示している。
が非常に小さい。さらに両性電解質でないＲ：Ｃｌ、Ｂ
ｒ アルキルイソキノリニウム塩 Ｘ：Ｃ７，Ｂｒ ジアルキルスルホコハク酸塩 を添加しても十分な特性は得ら扛なかった〇これらの結
果は本発明の感湿素子においては、両性電解質の両性イ
オン的性質、すなわち電気双極子的性質が大きく関与し
ていることを示している。
発明の効果
本発明によ扛ば、軽量、小型２機械的強度、特性、再現
性、安定性、それにコストの面で特に優れた感湿素子が
得られ、特に物理量として抵抗値と容量値の両方が利用
できる点から、種々の産業分野の感湿素子（露点センサ
、結露センサ、湿度センサ）に応用でき、産業性は極め
て犬なるものがある。
性、安定性、それにコストの面で特に優れた感湿素子が
得られ、特に物理量として抵抗値と容量値の両方が利用
できる点から、種々の産業分野の感湿素子（露点センサ
、結露センサ、湿度センサ）に応用でき、産業性は極め
て犬なるものがある。
第１図は本発明の実施例における感湿素子の断面図、第
２図は同特性図、第３図は他の実施例を示すル１面図で
ある。 １・・・・・・スライドガラス基板、２・・・・・・塗
布膜、３ａ・・・・・・上部電極、３ｂ・・・・・・下
部電極、３Ｃ２３ｄ・・・・・・対電極。
２図は同特性図、第３図は他の実施例を示すル１面図で
ある。 １・・・・・・スライドガラス基板、２・・・・・・塗
布膜、３ａ・・・・・・上部電極、３ｂ・・・・・・下
部電極、３Ｃ２３ｄ・・・・・・対電極。
Claims (1)
- 高分子材料よりなるバインダ゛中に、絶縁性ないた感湿
素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58116314A JPS607350A (ja) | 1983-06-27 | 1983-06-27 | 感湿素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58116314A JPS607350A (ja) | 1983-06-27 | 1983-06-27 | 感湿素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS607350A true JPS607350A (ja) | 1985-01-16 |
| JPH051418B2 JPH051418B2 (ja) | 1993-01-08 |
Family
ID=14683924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58116314A Granted JPS607350A (ja) | 1983-06-27 | 1983-06-27 | 感湿素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS607350A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016128803A (ja) * | 2014-12-30 | 2016-07-14 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | ガス状物質を検出するための材料及びセンサ |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54149691A (en) * | 1978-05-16 | 1979-11-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Moisture detecting element |
| JPS5529774A (en) * | 1978-08-24 | 1980-03-03 | Shinei Kk | Relative humidity detector |
| JPS5796246A (en) * | 1980-12-08 | 1982-06-15 | Hitachi Ltd | Humidity-sensitive substance, preparation thereof and humidity-sensitive element |
| JPS5897651A (ja) * | 1981-12-08 | 1983-06-10 | Nippon Soda Co Ltd | 湿度センサ− |
| JPS5897650A (ja) * | 1981-12-08 | 1983-06-10 | Nippon Soda Co Ltd | 湿度センサ− |
-
1983
- 1983-06-27 JP JP58116314A patent/JPS607350A/ja active Granted
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54149691A (en) * | 1978-05-16 | 1979-11-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Moisture detecting element |
| JPS5529774A (en) * | 1978-08-24 | 1980-03-03 | Shinei Kk | Relative humidity detector |
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| JPS5897651A (ja) * | 1981-12-08 | 1983-06-10 | Nippon Soda Co Ltd | 湿度センサ− |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016128803A (ja) * | 2014-12-30 | 2016-07-14 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | ガス状物質を検出するための材料及びセンサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH051418B2 (ja) | 1993-01-08 |
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