JPS62247239A - 感湿素子 - Google Patents
感湿素子Info
- Publication number
- JPS62247239A JPS62247239A JP61091143A JP9114386A JPS62247239A JP S62247239 A JPS62247239 A JP S62247239A JP 61091143 A JP61091143 A JP 61091143A JP 9114386 A JP9114386 A JP 9114386A JP S62247239 A JPS62247239 A JP S62247239A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group
- moisture
- moisture sensing
- organopolysiloxane
- alkoxysilane
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 claims abstract description 8
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 claims abstract description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000009833 condensation Methods 0.000 claims abstract description 4
- 230000005494 condensation Effects 0.000 claims abstract description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 4
- 125000001453 quaternary ammonium group Chemical group 0.000 claims abstract description 4
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 claims abstract description 3
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims abstract description 3
- 125000004076 pyridyl group Chemical group 0.000 claims abstract description 3
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims abstract 2
- 239000004593 Epoxy Chemical group 0.000 claims 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 10
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 abstract description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 abstract description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 abstract 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005703 Trimethylamine hydrochloride Substances 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O ammonium group Chemical group [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 2
- KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M lithium chloride Chemical compound [Li+].[Cl-] KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 2
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- -1 polysiloxane Polymers 0.000 description 2
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000005372 silanol group Chemical group 0.000 description 2
- SZYJELPVAFJOGJ-UHFFFAOYSA-N trimethylamine hydrochloride Chemical compound Cl.CN(C)C SZYJELPVAFJOGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 241000936186 Pignus Species 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001600 hydrophobic polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000002791 soaking Methods 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- HQYALQRYBUJWDH-UHFFFAOYSA-N trimethoxy(propyl)silane Chemical compound CCC[Si](OC)(OC)OC HQYALQRYBUJWDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Paints Or Removers (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、各種電?−機器においてン冨度センサーとし
て使用される感湿素子に関するものである。
て使用される感湿素子に関するものである。
〈従来技術〉
従来の感湿素子は、塩化リチウム或はそのt黒磯電解質
を含む育成高分子物質か又は親水性基を有する高分子と
疎水性高分子との共重合物等からなるものや、又はシラ
ノール基を有するポリシロキサンを感湿材としたちのが
ある。
を含む育成高分子物質か又は親水性基を有する高分子と
疎水性高分子との共重合物等からなるものや、又はシラ
ノール基を有するポリシロキサンを感湿材としたちのが
ある。
〈発「σ1が鍔イ決しようとする間に)、χ〉しかし、
上記従来例において、11?12名即ち有(成品分子物
質又は共電合物等は耐水性、耐熱性や有は)8削1こ対
する耐性が悪く、その結実用途に応じて選択しなければ
ならず、後者のシラノール基をITするポリシロキサン
では長期使用における安定が悪く、信頼性が低下する欠
点があった。
上記従来例において、11?12名即ち有(成品分子物
質又は共電合物等は耐水性、耐熱性や有は)8削1こ対
する耐性が悪く、その結実用途に応じて選択しなければ
ならず、後者のシラノール基をITするポリシロキサン
では長期使用における安定が悪く、信頼性が低下する欠
点があった。
そこで、本発明は上記従来品の欠、−χに対処し、長期
間高信頼性を保ち、耐水性、耐熱性及び有様;aへ11
1こ対する耐性等の高い製品の提供を図るものである。
間高信頼性を保ち、耐水性、耐熱性及び有様;aへ11
1こ対する耐性等の高い製品の提供を図るものである。
〈間211I点をnイ決する為の手段〉基盤」−に設け
た対向電極間に跨っ′C塗布形成した感湿膜が、アルコ
キシンランの架橋縮合によって得たオル〃/ポリンロキ
サンである感湿素子。
た対向電極間に跨っ′C塗布形成した感湿膜が、アルコ
キシンランの架橋縮合によって得たオル〃/ポリンロキ
サンである感湿素子。
<(?ミ用〉
アルコキシシランが架橋重合することにより耐水性、耐
熱性が付すされ長期安定性が高められる。
熱性が付すされ長期安定性が高められる。
〈実施例〉
以下、本発明につい−C実施例により詳細に説明する。
実施例1
アーグリシドブロピルトリメトキンンラン =C1l□
−Cll −C11,0C11,Cll2CII2
Si(OCIll)。
−Cll −C11,0C11,Cll2CII2
Si(OCIll)。
の水溶液を、アルミナ基盤上に焼付けて対設した金主極
間を覆って塗布し、該プロピルトリメトキシシランを、
該アルミナ基!Bと共に50℃乃至200℃の温度で加
熱することにより式■のように反応rる。
間を覆って塗布し、該プロピルトリメトキシシランを、
該アルミナ基!Bと共に50℃乃至200℃の温度で加
熱することにより式■のように反応rる。
そして、アルミナ基盤上1こは式■に示すように重合反
応が進行して架橋手(η逍をもったオルガノポリシロキ
サン膜へが形成される。
応が進行して架橋手(η逍をもったオルガノポリシロキ
サン膜へが形成される。
次::、註オル〃7ポリンロキサン膜へにトリメチルア
ミン塩酸塩Cを作用させることにより該オル〃ノボリン
ロキサン膜Δ中のエポキシ基と該トリメチルアミン塩酸
塩Cとが反応して四級アンモニウム基を有rるオルl’
/ポリシロキサンvDが式■のようにアルミナ基盤B]
二に生成される。
ミン塩酸塩Cを作用させることにより該オル〃ノボリン
ロキサン膜Δ中のエポキシ基と該トリメチルアミン塩酸
塩Cとが反応して四級アンモニウム基を有rるオルl’
/ポリシロキサンvDが式■のようにアルミナ基盤B]
二に生成される。
このようにして得られた感湿膜を右する感湿素子の相対
湿度対インピーダンス1J性について第1図(こ示す。
湿度対インピーダンス1J性について第1図(こ示す。
これより明らかなように湿度変化に対し大きい変化率を
以て良く対応しており、又第2図には同上感湿素子の浸
漬時間対インピーダンス特性即ち耐水特性を示すもので
、素子な60分間水中に浸漬した後これを取り出して風
乾したものを、相対湿度0.20.40,60.80.
90%の夫/lにおけるインピーダンスを測定したもの
である。
以て良く対応しており、又第2図には同上感湿素子の浸
漬時間対インピーダンス特性即ち耐水特性を示すもので
、素子な60分間水中に浸漬した後これを取り出して風
乾したものを、相対湿度0.20.40,60.80.
90%の夫/lにおけるインピーダンスを測定したもの
である。
そして、上記第2図の特性図からも分かるように感湿膜
が水分を充分に吸収した後においても、その水分が除去
された場合は機能が回復し、感湿特性が損なわれないこ
とを示している。
が水分を充分に吸収した後においても、その水分が除去
された場合は機能が回復し、感湿特性が損なわれないこ
とを示している。
実施例2
次に四級アンモニウム基を有するトリメトキシy 7
ン=Cb11iC+1.4J’1lzCPILNIIC
JIaSi(OCII*)z−C18−を水、メタ/−
ルの溶液にて溶解し、アルミナ基盤上1こ対設した金対
向電極を覆って塗布し、該基盤と共に120℃の温度で
10分間加熱することにより該)A盤上に感湿膜を形成
する。
ン=Cb11iC+1.4J’1lzCPILNIIC
JIaSi(OCII*)z−C18−を水、メタ/−
ルの溶液にて溶解し、アルミナ基盤上1こ対設した金対
向電極を覆って塗布し、該基盤と共に120℃の温度で
10分間加熱することにより該)A盤上に感湿膜を形成
する。
そして、誼感湿膜を有する感湿素子の相対湿度対インピ
ーダンス特性について調べた結果を第3図に示し、これ
を見ることによっても明らかなように感湿特性が極めて
良好であると共に、耐水試験の結果についても(図示し
ない)、30分間浸漬した感湿素子の感湿特性が全く低
下しない二とが試みられている。
ーダンス特性について調べた結果を第3図に示し、これ
を見ることによっても明らかなように感湿特性が極めて
良好であると共に、耐水試験の結果についても(図示し
ない)、30分間浸漬した感湿素子の感湿特性が全く低
下しない二とが試みられている。
」−述したようにエポキシ基を有するγ−グリシドブa
ピルトリメトキンシラン或l土Vqf&7ンモニウム基
を有する1リメトキシンランによって感湿膜を形成する
ことにより感湿性能の高い素子が得られる。
ピルトリメトキンシラン或l土Vqf&7ンモニウム基
を有する1リメトキシンランによって感湿膜を形成する
ことにより感湿性能の高い素子が得られる。
〈発明の効果〉
本発明は、l!q級アンモニウム基或はエポキシ基、ピ
リジル基、アミン基等を有するアルコキシシランを加熱
反応させて得た架橋オル/f/ボリシaキサンを感湿膜
とした為に、特にそのt!A橋構遺により耐水性が2し
く向上することと、耐熱性、耐溶剤性に優れでいると共
に、感湿特性が良好であり、汚染に灯しても充分に耐え
られることから、適用分野が7しく広く、利用価値の高
い感湿素子を提fJlくすることができる優れた発明で
ある。
リジル基、アミン基等を有するアルコキシシランを加熱
反応させて得た架橋オル/f/ボリシaキサンを感湿膜
とした為に、特にそのt!A橋構遺により耐水性が2し
く向上することと、耐熱性、耐溶剤性に優れでいると共
に、感湿特性が良好であり、汚染に灯しても充分に耐え
られることから、適用分野が7しく広く、利用価値の高
い感湿素子を提fJlくすることができる優れた発明で
ある。
:51図は、本発明感湿素子の相対湿度対インピーダン
ス特性図、 第2図は、同」二感湿素子の耐水1、?付図、第3図は
、同上池の天施例の相、1(湿度対イ/ピーグンス1、
テ付図である。
ス特性図、 第2図は、同」二感湿素子の耐水1、?付図、第3図は
、同上池の天施例の相、1(湿度対イ/ピーグンス1、
テ付図である。
Claims (1)
- 1、少量のOH基を有する絶縁基盤上に一対の対向電極
を設け、該対向電極間に跨って、塗布形成した感湿膜が
四級アンモニウム基等の親水性基又はそれらに変換し得
るエポキシ基、ピリジル基、アミン基等を有するアルコ
キシシランの水溶液を加熱することにより架橋縮合して
生成されたオルガノポリシロキサンであることを特徴と
する感湿素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61091143A JPH0718832B2 (ja) | 1986-04-19 | 1986-04-19 | 感湿素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61091143A JPH0718832B2 (ja) | 1986-04-19 | 1986-04-19 | 感湿素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62247239A true JPS62247239A (ja) | 1987-10-28 |
JPH0718832B2 JPH0718832B2 (ja) | 1995-03-06 |
Family
ID=14018301
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61091143A Expired - Lifetime JPH0718832B2 (ja) | 1986-04-19 | 1986-04-19 | 感湿素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0718832B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03277954A (ja) * | 1990-03-27 | 1991-12-09 | Shinei Kk | 感湿素子 |
EP1139092A2 (en) * | 2000-03-31 | 2001-10-04 | TDK Corporation | Humidity sensor and method for making |
WO2005014700A1 (en) * | 2003-08-12 | 2005-02-17 | Haeun Chemtec Co., Ltd. | The polyelectrolyte composition for humidity senser, polyelectrolyte ink and preparation method of polyelectrolyte membrane for sensor by inkjet printing |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5255579A (en) * | 1975-10-31 | 1977-05-07 | Asahi Glass Co Ltd | Moisture sensor |
-
1986
- 1986-04-19 JP JP61091143A patent/JPH0718832B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5255579A (en) * | 1975-10-31 | 1977-05-07 | Asahi Glass Co Ltd | Moisture sensor |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03277954A (ja) * | 1990-03-27 | 1991-12-09 | Shinei Kk | 感湿素子 |
EP1139092A2 (en) * | 2000-03-31 | 2001-10-04 | TDK Corporation | Humidity sensor and method for making |
EP1139092A3 (en) * | 2000-03-31 | 2004-03-10 | TDK Corporation | Humidity sensor and method for making |
WO2005014700A1 (en) * | 2003-08-12 | 2005-02-17 | Haeun Chemtec Co., Ltd. | The polyelectrolyte composition for humidity senser, polyelectrolyte ink and preparation method of polyelectrolyte membrane for sensor by inkjet printing |
US7771620B2 (en) | 2003-08-12 | 2010-08-10 | Haeun Chemtec Co., Ltd | Polyelectrolyte composition for humidity senser, polyelectrolyte ink and preparation method of poly electrolyte membrane for sensor by inkjet printing |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0718832B2 (ja) | 1995-03-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Li et al. | Humidity sensitive properties of crosslinked and quaternized poly (4-vinylpyridine-co-butyl methacrylate) | |
Lee et al. | Humidity sensor using epoxy resin containing quaternary ammonium salts | |
Lee et al. | Polymeric humidity sensor using organic/inorganic hybrid polyelectrolytes | |
US3703696A (en) | Humidity sensor | |
Lee et al. | Resistive humidity sensor using polyelectrolytes based on new-type mutually cross-linkable copolymers | |
Lee et al. | Humidity sensitivity of hybrid polyelectrolytes prepared by the sol-gel process | |
JPS59200951A (ja) | 感湿素子 | |
JPS62247239A (ja) | 感湿素子 | |
JPS58176538A (ja) | 感湿抵抗素子 | |
Su et al. | Flexibility and electrical and humidity-sensing properties of N-substituted pyrrole derivatives and composite films of Au nanoparticles/N-substituted pyrrole derivatives | |
US20070039385A1 (en) | Resistive thin film humidity sensitive device based on silicone-containing copolymer and its preparation method | |
Lee et al. | Humidity-sensitive properties of polyelectrolytes containing alkoxysilane crosslinkers | |
US4634756A (en) | Electrical resistor | |
JP2000235012A (ja) | 炭酸ガスセンサ | |
JPS59171844A (ja) | 感湿素子 | |
TW510965B (en) | Humidity sensing material and method of preparing the humidity sensing material | |
JPS6347646A (ja) | 感湿素子 | |
JP2969547B2 (ja) | 湿度センサおよびその製造方法 | |
JPS62245149A (ja) | 感湿素子 | |
JPH0212048A (ja) | 容量変化型感湿素子の製造方法 | |
JPS61145808A (ja) | 感温材料 | |
JPS5822948A (ja) | 感湿素子 | |
JPS5990038A (ja) | 感湿材料 | |
JPS61185509A (ja) | 感湿素子の製造方法 | |
JPH04258750A (ja) | 抵抗変化型感湿素子の製造方法 |