JPS6072376A - 2値化装置 - Google Patents

2値化装置

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JPS6072376A
JPS6072376A JP58180017A JP18001783A JPS6072376A JP S6072376 A JPS6072376 A JP S6072376A JP 58180017 A JP58180017 A JP 58180017A JP 18001783 A JP18001783 A JP 18001783A JP S6072376 A JPS6072376 A JP S6072376A
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JP
Japan
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level
analog
signal
binarization
circuit
Prior art date
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Application number
JP58180017A
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English (en)
Inventor
Shimon Naitou
内藤 史門
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Fuji Electric Co Ltd
Original Assignee
Fuji Electric Co Ltd
Fuji Electric Manufacturing Co Ltd
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Publication date
Application filed by Fuji Electric Co Ltd, Fuji Electric Manufacturing Co Ltd filed Critical Fuji Electric Co Ltd
Priority to JP58180017A priority Critical patent/JPS6072376A/ja
Publication of JPS6072376A publication Critical patent/JPS6072376A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の属する技術分野〕 。
c ″)@q it所定0検1対象”をly V h 
h 7’ 9等の撮像手段によりラスク走査して1得ら
れる撮像信号(ビデオ信号)を所定数のブパ力こ分割し
、各 。
ブロック毎に所定の2値化レベル:を設定して撮像信号
を2値化する2値化装置に関する。
〔従来技術とその問題点〕
以下・各1凶の説明において同一の符号は同−又は相当
部分を示す。
一般に、この種の装置においては、テレビカメラのシェ
ーディング(両面上の感度むら)や不均一な照明の影響
を受ける場合、あるいはz値化レベルが複雑な形の境界
をもって変化するような対象物を検査する場合のように
、特にそのビデオ信号が場所的に変Ij))する場合に
おいては、画面を複数の領域に細分化し、その各領域毎
に適正な2値化レベルを自動的に設定しうろことが望ま
しい。
かかる2値化装置として、以下のようなものが知られて
いる。第1図は2値化装置の従来例を示す構成図である
同図において、1はポテンショメータ群、2はアナログ
スイッチ群、3はコンパレータ群、■lはビデオ信号、
Gvo−Gv、は垂直方向ゲート信号、Gh!〜Gbs
は水平方向ゲート信号、Obは2値化出力信号である。
すなわち、画面をrsxn(n=3〜4、第1図では4
)の領域に分割し、その各領域についてポテンショメー
タ1により2値化レベルを設定しておき、該設定レベル
でデビオ信号Viをブロック毎に2値化するものである
。しかしながら、この装置には次の卯き欠点がある。
イ)分割しつる領域数が少ない。つまり、領域を細分化
しようとすれば、その領域数に応じてポテンショメータ
が必要となるので、スペースまたは価格上の制約から、
実施例で示、される数が限度となる。
口)ポテンショメータによるジ値化レベルの設定は一手
動に限られるので、ビデオ:信号の変動に応じ、自動(
II 、c 2 イ直イIs L/ S /L/をつ定
1す、。とヵ5悔ない。
〔発明の目的〕
この発明は上記に鑑みてなされ□たもので、分割しつる
領域を飛躍的に多(すると□、ともに、2値化レベルの
設定を容易かつ自動的に1行ひ、さらに2値化を安定に
高速化しうる2値化漬置を提供することを目的とする。
〔発明の要点〕
本発明の要点は、ビデオカメラなどの撮像手段により検
査対象物をラスク走査して得られる撮像信号を所定数の
ブロックに分割し、各ブロック毎に所定の2値化レベル
(2値化のためのしきい値)を設定して撮像信号を2値
化する2値化装置であって、各ブリックに対応するデジ
タル2値化を記憶するRAMなどの記憶手段と、該記憶
された2値化レベルを走査されるブロックと対応させて
読出すマイクロプロセッサなどの制御手段と、該読出さ
れた2値化レベルのデジタル値をアナログ値に変換する
D/Aコンバータなどのデジタル・アナログ変換手段と
、該アナログ2値化レベルと撮像信号とを比較するコン
パレータなどの比較手段とを備え、前記各ブロックに番
号を付すとともにデジタル・アナログ変換手段および比
較手段を各1対設け、上記ブロック番号の奇数、偶数に
応じて交互に切替えて2値化する2値化装置において、
前記1対の比較手段における前記撮像信号のレベルが共
に、比較すべき前記アナログ2値化レベルを下回る(上
回る)ときは該下回り(上回る)差電圧を増大して前記
比較手段が1比較動作点(比較トリガー点)に入るのを
妨げる1方向に、前記比較手段の一方における前記撮像
信1号のレベルが、比較すべき前記アナログ2値化し:
、ベベル上回り(下回り)、前記比較手段の他方にお1
ける前記撮像信号のレベルが、比較すべき前記アナログ
2値化レベルを下回る(上回る)ときはり1前記他方の
比較手段における該下回る(上回る)1差電圧を減少し
て前記他方の比較手段が比較動作□点に入るのを促進す
る方向に、前記一方の比較手:段から出力される2値化
41号を分圧し前記他方の:比較手段における前記差電
圧に加9−する一対の相:互帰還抵抗、分圧抵抗などの
手段を設けた点にあする。
〔発明の実施例〕 □。
する。第2図はこの発明による画面分割方法を説明する
説明図、第3図はこの発明1の実施例を示すブロック図
、第4図は第3図の全□般の動作を説明するための波形
図、第5図は第31図の比較演算部17の、細部の回路
構成を示す図、第6図は第5図を説明するための基本回
路を示す図、第7図は第5図の動作を示す波形図、第8
図は第6図の動作を示す波形図である。
第2図において、いま、撮像画面をラスク走査して得ら
れる撮像信号を張子化した場合の最小単位を“画素″と
呼ぶことにすると、撮像画面Pの縦。
横はそれぞれ256画素に分割される。この画素毎に2
値化レベルの設定を行なうとぼう大な数となるので、こ
こでは縦4画素、横4画素の方形領域を1ブロツクとし
、縦64(256/4)、横64の計4096(64×
64)のブロックに分割し、その各々に2値化レベルを
設定する。したがって、1水平走査線化着目すれば、4
画素毎に2値化レベルが変つることになるが、2値化レ
ベルを1回変えると最大300ナノ秒(D/A変換器の
特性等lこよって決まる時間)程度のレベル変動期間が
あるため、その間は2値化信号が不安定になる。そこで
、2値化回路を2系統設け、一方の2値化回路では奇数
番目のブロックの2値化を行ない、他方の2値化回路で
は偶数番目のブロックの2値化を行なう。そして、奇数
番目のブロックが走査されている間に偶数番目ブロック
の2値化レベルを変え、偶数番目のブロックが走査され
ている間にその次の奇数番目ブロックの2値化レベルを
変えるようにする。
特にこの場合、撮像信号が、きわめてなだらかに変化す
る部分においては、2系統のデジタル2値化レベルを等
しく設定した場合でも、これをデジタル・アナログ変換
したアナログ2値化レベルには若干の誤差があるため、
2値化値号が一方の系統では’High”(以後“H”
と記す)となり、他方の系統では’Low”(以後”L
”と記す)となると言った具合に不揃を生ずることがあ
り、これによりデジタル画像の縁の部分が”まだら状”
になって見苦しくなるので、一方の系統の出力である2
値化信号を他方の系統の入力であるアナログ2値化レベ
ルに帰還して前記の不揃を防止するようにする。
以上がこの発明の概要である。
次に第3〜8図を参照してもう少し詳しく説明する。第
3図において、11はアドレス発生回路、12はマイク
ロプロセッサ、13はセレクト回路、14はメモリ(R
AM;ランダムアクセスメモリ)、151.152はラ
ッチ回路、161,162はD/Aコンバータ、171
,172は比較偲算部17内のコンパレータ、INはイ
ンバータ、AN1、AN2はアンドゲート、ORはオア
ゲートである。
アドレス発生回路11は、雨声取込み開始時点で所定の
初助アドレスを発生し、以後1.5(MHz)のクロッ
ク(組込)により+1ながらアドレスを発生し、409
6回アドレスを発生したらアドレス発生を終了する。こ
の回数は、第2図に示される画面Pの全ブロック数と対
応する。なお、各ブロック(i、j)とそれに対応ずる
アトレスとの関係は次の通りである。
アドレス=64i+j+(初期アドレス)また、初期ア
ドレスは、例えば16進「F1000」である。マイク
ロプロセッサ12はアドレス発生回路を強制的に退避さ
せるとともに、所定のソフトウェアによって所望の装置
をコントロールすることができる。バスのセレクト回路
13は、マイクロプロセッサ12からの命令によりRA
M14以後の回路に対してアドレス発生回路11側のバ
スを有効とするか、マイクロプロセッサ12側のバスを
有効とするかを選択することができる。例えば、4Kバ
イトのRAM14における4096個の8ビツトデータ
は、アドレス発生回路11における4096個のアドレ
スに1対1に対応する。ラッチ回路151,152はR
AM14からの出力データをラッチし、デジタル・アナ
ログ変換器161、162は、該ラッチデータをアナロ
グ信号に変換する。コンパレータ171.172はビデ
オ信号Viを該アナログ2値化レベル信号と比較し、2
値化する。
以下、第3,4図を参照してその動作を説明する。
各フロック毎の2値化レベルは、8ビツトのデジタル値
としてRAN14に格納されており、第4図(イ)で示
されるアドレス更新タイミングにおいて、アドレス発生
回路11により指定されるアドレスから読出される。そ
の値が上述の如き偶数番目(0は偶数とする。)のブロ
ックに対応するものならばラッチ151により、第4図
(ロ)の如きラッチタイミングでラッチされ、デジタル
2値化レベルDLIとしてD/Aコンバータ161に入
力され、ここでアナログ2値化レベルAL1(第4図(
ホ)参照)に変換される。このアナログ2値化レベル信
号ALIは、比較演算部171こおけるコンパレータ1
71においてビデオ信号Vtと比較され、第4図(ト)
の如き2値化信号Ob1が得られる。一方、RAM14
から読出された値が奇数番目のブロックに対応するもの
ならば、ラッチ152により第4図(ハ)の如きラッチ
タイミングでラッチされた後、デジタル2値化レベルD
L2としてD/Aコンバータ162に入力され、ここで
アナログ値(第4図(へ)参照)に変換される。ビデオ
信号Viは、比較演算部17におけるコンパレータ17
2において該アナログ2値化レベルと比較され、第4図
(イ)の如き2値化信号Ob2が得られる。こうして得
られる2値化信号Obl、Ob2は、第4図に)に示さ
れる如き2値化出力切替信号aXによって交互に2値化
出力信号ob(第4図(す)参照)として出力される。
すなわち、偶数番目のブロックが走査されているときは
2値化信号Ob1が出力され、奇数番目のブロックが走
査されているときは2値化信号Ob2が出力される。
なお、かかる装置の起動時または運転時にRAMI 4
の値を初期設定ま“たは変更したい場合には、セレクト
回路13によってアドレス発生回路11を切り離してマ
イクロプロセッサ12を接続すれば、該マイクロプロセ
ッサ12によって新たなデータを書込むことができる。
次に本発明の主眼である比較演算部17の詳細を説明す
る。前記比較演算部17の詳細な基本回路は第6図に示
されるように、その中の各コンパレータ171,172
はそれぞれ演算増巾器(以後OPアンプと呼ぶ) OP
I、OF2を中心として構成され、各OPアンプOPI
、OP2のマイナス入力端子0P1a。
0P2aには各保護抵抗R11,R21を介して前記ビ
デオ信号viが入力され、各OPアンプOPI、OP2
のプラス入力端子0Ptb、0P2bには各分圧抵抗几
12゜R22を介して、前記の各アナログ2値化レベル
信号ALI、AL2が入力される。また前記の各プラス
入力端子0P1b、0P2bにはOPアンプOPI、O
F2の各出力端子0P1c、0P2cの出力電圧(2値
化信号ob1.ob2)が各自己帰還抵抗R13,R2
3を介して入力されている。
この回路の動作をコンパレータ171を例にとって説明
すると、ビデオ信号Viがアナログ2値化レベル信号A
Ltより充分低い値にあるときは、OPアンプOP1の
プラス入力端子OP 1. I)の電位AT□1aはO
PアンプOPIのマイナス入力端子0Plaの電位(こ
の値はビデオ信号Viのレベルにほぼ等しい)より高く
、opアンプOPIの出力端子0P1cの電位(2値化
信号0b1)はll”レベルにあり、この電位が分圧抵
抗R12と、自己帰還抵抗R13をを介して、前記プラ
ス入力端子0P1bに分圧正帰還されるので前記プラス
入力端子0P1bの電位ALlaは前記アナログ2値化
レベル信号ALIより、ヒステリシス電圧ΔEllだけ
幾分高目の・電圧となっている。次に前記ビデオ信号■
1が前記の電位AL1aより僅か高目となると、OPア
ンプUPIの出力端子0Plcの電位(2値化信号0b
1)は”L”レベルとなり、この電位が前記と同様に分
圧抵抗R12と自己帰還抵抗R13とを介して前記プラ
ス入力端子0P1bに分圧正帰還され該入力端子0Pl
bの電位AL1aは前記アナログ2値化レベル信号AL
Lより、ヒステリシス電圧ΔE12だけ幾分低目の電圧
となり、これによりOPアンプOPIの入力端子0P1
a、0Plbllll(7)電位の差が急速に増加して
、OPアンプOPIの出力端子0P1cの”H”レベル
→″L”レベルの切替動作がバタツキなどを招くことな
く急速かつ安定に行われる。このような急速かつ安定化
された切替動作は、前記と逆の動作すなわちビデオ信号
Viの値が前記低目となった入力端子’op1bの電位
AL1aを下回るとき(このとき前記出力端子0Plc
の電位はL”レベル→1″H″レベルに切替わる)にも
同様に行われる。
なお前記のヒステリシス電圧ΔE11.ΔB12の値は
、前記アナログ2値化レベルALIの値よりは充分小さ
い値に選ばれているので第3図、第4図では、これを省
略して説明を行っている。
次に1118図は、第6図のような比較演′M、部17
を用いた場合において、ビデオイト1号Viがゆるやか
に変化する部分に表われる前記2値化出力信号Ohのe
形の例を示す。第8図においてアナログ2値化レベル信
号Al、lとAI、2八に対応する前記電位ALI、a
とA、L2aとが交互につながる波形は仮憩のもので、
第3図における2値化出力切替価号aXの切替りの期間
に対応して、この期間に比較演算tS+s 17で交互
に比較されている前記電位AL1a及びAL2aのレベ
ルを拡大して示している。ずなわち該電位A、L1a及
びAL2aのθレベルの位置は第8図の図外の下方にあ
る。
さて第8図時J、tl以Ailの期間において、@記U
PアンプOP1.□P2のプラス入力端子0P1b、 
0P2bの1に位AL1aとAL2aは、)、LA、M
 14から読出されたデジタル2値化レベルDLIとD
L2が等しく、かつコンパレータ171と172の対応
する回路足t?′i(すなわち分圧抵抗几12と几22
、自己帰還抵抗R13と几23、保訓抵抗1t11と几
21.2値化信号OblとOb2の値(なおこの期間に
おいては後述のように該信号ob1とOb2は共に″′
H″レベルにある)など)を等しく選定しても、D/A
コンバータ161,162の特性のバラツキなどによっ
て、図のように若干のバラツキ電位差ΔALを持ってい
る。しかしながらこの期間では前記の電位ALI a 
、AL2aは何れもビデオ信号Viのレベルより高<、
OPアンプOP1゜OF2の各出力の2値化信号Obl
、Ob2は何れも′H”レベルにあり、結果としての2
値化出力信号ObもH”レベルのままである。
次に時点t1においてビデオ信号VtがOPアンプOP
1のプラス入力端子0Plbの前記電位AL1aを上回
ると、OPアンプOPIの出力の2値化信号OblはL
”レベルとなり(従って2値化出力信号Obも”L”レ
ベルとなる)、同時に自己帰還抵抗R13の前記の帰還
効果によって前記の電位AL1aも図のように下降する
次に時点t2から13においては、OPアンwOP2の
出力信号(2値化信号ob2)が2値化出力信号Obと
なって出力される番となるが、この期間ではOPアンプ
OP2のプラス入力端子0P2bの’ft位12aはビ
デオ信号Viよりは島いので、2値化信号Ob2は”I
I”レベル従って2値化出力信号obも”H”レベルと
なる。
次に時点t3〜t4に46いては前記の電位AL1aは
既に前記のように下降した値となったままでビデオ信号
Viのレベルよりは勿論低く、2値化信号Obl従って
2値化出力信号obは″′L″レベルとなる。
次に時点t4〜t5においては前記の電位AL2aは、
ビデオ信号Viのレベルを下回るようになり、2値化信
号ob2、従って2値化出力信号obはL”レベルとな
り、同時に前記・電位AL2aも図のように下降する。
以後はビデオ信号Viのレベルが、前記の下降した後の
電位AL1a又はAL2aを下回るまでは2値化出力信
号obはL”レベルを保つこととなる。
このようにビデオ信号Viがゆるやかに変化する場合に
は、第6図のような基本回路のままでは、との逆の変化
の場合も同様である)に切替わる際に、”H”→゛L”
→゛H″→゛L”と不揃となる(別の表現をすればバラ
ツキながら切替わる)ことがわかる。そこで本発明にお
いては第5図のように第6図の基本回路にさらに相互帰
還抵抗RO1、RO2を附加し、該抵抗ROI、RO2
と分圧抵抗R12,R22を介してOPアンプOP2の
出力の2値化信号Ob2をOPアンプOP1のプラス入
力端子optbに、同様にOPアンプOPIの出力の2
値化信号OblをOPアンプOP2のプラス入力端子o
p2bに分圧正帰還するようにしている。
次に第5図の動作を第7図を用いて説明する。
第7図の各波形は第8図の各波形と対応している。
第7図において時点t1以前の期間は第8図の嚇合とほ
ぼ同様である。但しこの期間では2値化信号Obl、O
b2は共に′H”(従って2値化出力信号obも”H”
)であり、OPアンプOPI、OF2のプラス入力端子
0Plb、0P2bの電位AL1a、AL2aは自己帰
還抵抗R13,R23の他に、さらに相互帰還抵抗RO
I、几02によって前記″′H″の2値化信号Obl 
、Ob2の電圧を帰還される。従って他の抵抗の値を第
6図のままに保つと、第6図の回路における電位AL1
a、AL2aより高目となるので、この電位が第5図の
場合の対応する′上位AL1a、AL2aとほぼ等しく
なるように、各抵抗の値が選定されている。
次に時点t1においてビデオ信号Viが電位AI、la
を上回り、第8図と同様に2値化信号Ob1、従って2
値化出力信号Obが′L”となる。この′L”の2値化
信号Oblは相互帰還抵抗几02を介して、JアンプO
P2のプラス入力端子0P2bの電位AL2aを、該O
PアンプOP2の出力の2値化信号Ob2か11”であ
っても、前記のバラツキ電位差ΔAL社に引下げるので
、時点t2においてはビデオ信号Viは前記電位AL2
aを下回ることなく2値化信号ob2従って2値化出力
信号obは′L″となる。以後は第8図の場合七同゛様
下降した前記電位AL1a。
AL2aをビデオ信号Viが下回るまでは2値化出力信
号Obは”L”に保たれる。
次にビデオ信号Viがふたたびゆるやかに下降し、時点
tllにおいて電位AL2aを下回ろうとすると2値化
信号Ob2従って2値化出力信号obは++、nとなり
、電位AL2aは自己帰還抵抗R23を介して、上昇せ
しめられると同時に、相互帰還抵抗Ft、o1を介して
OPアンプOPI側の電位AL1aを引上げる。この−
ため時点t12で憾前記電位ALlaはビデオ信号Vi
を充分上回るためOPアンプOPIの出力である2値化
信号Obl従って2値化出力信号obは”H″となり、
このように2値化出力信号がH″#″L”と切替る際の
不揃(バタッキ)は除かれることとなる。
なお第5図においてOPアンプOPI、OF2のマイナ
ス入力端子0P1a、0P2aとプラス入力端子0P1
b。
0P2bとを入れ替えた場合には、帰還される2値化信
号Obx、Ob2の2値化レベルを反転手段を介して反
転したのち、相互帰還抵抗ILOI、RO2に与えるか
、あるいは、該反転手段を用いないときは相互帰還抵抗
RO1、RO2における、前記プラス入力端子0P1b
、0F2bへの接続点を切離しマイナス入力端子0P1
a、0P2aに接続するようにしても、同様な帰還効果
を奏することができることはOFアンプの入力電圧と、
帰還電圧の極性の相互の関係から容易に推察できるであ
ろう。ただし後渚の場合は保護抵抗R11,R21が分
圧抵抗几12.R22の役割を兼ねることとなる。
〔発明の効果〕
以上のように、この発明によれば、簡単な回路構成でい
わばポテンショメータ4096個分の調整(設定)機能
を持たせることができるので、シェーディング補正、不
均一照明の補正をきめ細かに行なうことができ、また複
雑な境界をもつ対象物についてもその領域毎に適正な2
値化レベルを設定するこ吉が容易に可能となり、しかも
スペースおよびコストを節減することができるという利
点を有するものである。また、2値化レベルをRAMに
記4意させるようにしたので、マイクロプロセラ・すを
用いて各ブロックの2値化レベルの設定、変更を自動的
に行なうことができる。
またとくに、2系統のコンパレータ171,172にお
いて、一方の出力it圧が他方の比較基準値に分圧印加
されるように相互に帰還させる抵抗損1゜RO2を追加
ず−ることにより、ビデオ信号がゆるやかに変化してい
るパターンの境界領域においても、2系統の2値化信号
出力が不揃いとなることを解消し、パターンの輪郭の明
瞭な21(1化信号を得ることができ、このようにL7
てビデオ信号の変化に正しく対応した2値化信号を鉗る
ことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は2値化装置の従来例を示す構成図、第2図はこ
の発明による画面分割方法を説明するための説明図、第
3図はこの発明の実施例を示すブロック図、輌4図はそ
の全般の動作を説明するための波形図、第5図は第3図
比較演算部の細部構成を示す回路図、第6図は第5図を
説明するため 、44作 の壜本回路を示す図、267図は第5図の動iを示す波
形図、第81閾は第6図の動作を示す波形図である。 符号説明 1・・ポテンショメータ、2 アナログスイッチ、17
・・・比較演算部、3,171,172 ・コンパレー
タ、11・・アドレス発生回路、12 マイクロコンピ
ュータ、13・セレクト回路、14・・メモ′す(RA
M)、151,152・・・ラッチ回路、161 、1
620.・デジタル・アナログ(D/A)変換器、IN
・・・インバータ、ANt、AN2・・・アンドゲート
、OR・・・オアゲート、vt−?デオ信号、Sx・・
・2値化出力切替信号、DLI、DL2・・・デジタル
2値化レベル、A1.+1゜AL2・・アナログ2:値
化レベル信号、’ Obl 、Ob2・・・2値化信号
、0PII、OF2・・演算増「1】器(OPアンプ)
、11.12 、 )も22 分圧肇抗、RO1、IL
O2・・・相互帰還抵抗・R13・R23°自6帰還抵
抗・ 区第2 図 マ 0 之 +l 歓 (−〒 − + リ +j −u u u ν リ /213

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)撮像手段により検査対象物をラスク走査して得られ
    る撮像信号を所定数のブロック番ご分割し、各ブロック
    毎に所定の2値化レベ、ルを設定して撮像信号を2値化
    する2値化装置であって、各ブロックに対応するデジタ
    ル2値化レベルを記憶する記憶手段−と、該記憶された
    2値化レベルを走査されるブロックと対応させて読出ず
    制御手段と、該読出された2値化レベルのデジタル値を
    アナログ値に変換するデジタル・アナログ変換手段と、
    該アナログ2値化レベルと撮像信号とを比較する比較手
    段とを備え、前記各ブロックに番号を付すとともにデジ
    タル・アナログ変換手段および比較手段を各1対設け、
    上記ブロック番号の奇数、偶数に応じて交互に切替えて
    2値化する2値化装置において、 前記1対の比較手段における前記撮像信号のレベルが共
    に、比較すべき前記アナログ2値化レベルを下回る(上
    回る)ときは該下回り(上回る)□ るのを妨げる方向に、前記比較一段の一方における前記
    撮像信号のレベルが、ルーすべき前記アナログ2値化レ
    ベルを上回り(下ムリ)、前記比較手段の他方における
    前記撮像偏極のレベルが、比較すべき前記アナログ2値
    化し4ルを下回る(上回る)ときは、前記他方の比較手
    1段における該下。、6(thIFI!IE−□、調、
    工手段が比較動作点に入るのを促進1.する方向化、前
    □ 記一方の比較手段から出力されニー値化信号を分圧し前
    記他方の比較手段におけ 前記差電圧に加□ 算する一対0手段を設けた0とを1特徴とする2値化装
    置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10720327B2 (en) 2016-03-18 2020-07-21 Hong Wu Yes Engineering Technogology Research Institute Co., Ltd. Method and device for manufacturing semiconductor substrate

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US10720327B2 (en) 2016-03-18 2020-07-21 Hong Wu Yes Engineering Technogology Research Institute Co., Ltd. Method and device for manufacturing semiconductor substrate

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