JPS606947A - エツチング組成物 - Google Patents
エツチング組成物Info
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- JPS606947A JPS606947A JP11436883A JP11436883A JPS606947A JP S606947 A JPS606947 A JP S606947A JP 11436883 A JP11436883 A JP 11436883A JP 11436883 A JP11436883 A JP 11436883A JP S606947 A JPS606947 A JP S606947A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- water
- etching
- polyester
- resin
- photosensitive resin
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/30—Imagewise removal using liquid means
- G03F7/32—Liquid compositions therefor, e.g. developers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ポリエステル系化学構造を骨格にもった液状
感光性樹脂、特に凸版印刷用に設計された樹脂の未硬化
部分を必要に応じてエツチングする際に使用され得る効
果的なエツチング組成物に関する。
感光性樹脂、特に凸版印刷用に設計された樹脂の未硬化
部分を必要に応じてエツチングする際に使用され得る効
果的なエツチング組成物に関する。
ポリエステル系感光性樹脂は、その秀れた機械的物性、
耐印刷劣化性、耐インキ性などと共に、比較的安価に入
手し易い経済性の観点から、実用化されている。
耐印刷劣化性、耐インキ性などと共に、比較的安価に入
手し易い経済性の観点から、実用化されている。
実際に感光性樹脂層として使用される工程として、一般
的に写真原稿としての所謂ネガフィルムを通して活性光
線時に紫外線領域の光を該感光性樹脂層に照射し、原稿
パターンに応じて光硬化させる。その後、未露光部の液
状部分を棟々の方法によ抄除去して（以下エツチングと
称する）刷版を得ている。エツチングの方法としてはホ
ットエ解乃至分散させる適当なエツチング組成物（以下
エッチャント表称する）中で行う所硝エッチャント法に
大別できる。本発明は、所謂エッチャント法に係る秀れ
た水系エッチャントに関する。
的に写真原稿としての所謂ネガフィルムを通して活性光
線時に紫外線領域の光を該感光性樹脂層に照射し、原稿
パターンに応じて光硬化させる。その後、未露光部の液
状部分を棟々の方法によ抄除去して（以下エツチングと
称する）刷版を得ている。エツチングの方法としてはホ
ットエ解乃至分散させる適当なエツチング組成物（以下
エッチャント表称する）中で行う所硝エッチャント法に
大別できる。本発明は、所謂エッチャント法に係る秀れ
た水系エッチャントに関する。
ポリエステル結合をブレポリマー中に持つ化合物は、前
述のように１機械的物性面では秀れている反面該化合物
に適用できる適当なエッチャント特に水系で使用可能な
エッチャントが得にくいという点が菅大の難点であった
。このため、先行技術では、水系エッチャントを可能に
するために、主にプレポリマー中にカルボキシル基、水
酸基の如き極性基を導入し、主としてアルカリ水溶液中
で、効果を発現させていた。しかし、この方法では機械
的皮１（ｑ物性の低下は避けられなかった、また、別の
先行技術では１．Ｉｆ ＩＪエステル骨格中に水系ニッ
チヤントの得鳩−ポリエーテル結合ヲ併せ持つポリエス
テルポリエーテル化合物により、或いは、ポリエステル
とポリエーテルとのブレンドにより、上記の難点を克服
しようとする試みもあるが、やはり物性面の低下が犠牲
となっている。
述のように１機械的物性面では秀れている反面該化合物
に適用できる適当なエッチャント特に水系で使用可能な
エッチャントが得にくいという点が菅大の難点であった
。このため、先行技術では、水系エッチャントを可能に
するために、主にプレポリマー中にカルボキシル基、水
酸基の如き極性基を導入し、主としてアルカリ水溶液中
で、効果を発現させていた。しかし、この方法では機械
的皮１（ｑ物性の低下は避けられなかった、また、別の
先行技術では１．Ｉｆ ＩＪエステル骨格中に水系ニッ
チヤントの得鳩−ポリエーテル結合ヲ併せ持つポリエス
テルポリエーテル化合物により、或いは、ポリエステル
とポリエーテルとのブレンドにより、上記の難点を克服
しようとする試みもあるが、やはり物性面の低下が犠牲
となっている。
本発明では、プレポリマー中単独ポリエステル構１・す
より成る、従来技術ではエツチングの観点から実用化さ
れ得なかったプレ、ｄ ＩＪママ一対しても、良好なエ
ツチングが可能である。つ１す、本発明によれば、秀れ
念物絶面を併せ持ったエツチング可能な液状ポリエステ
ル系感光性樹脂の盛ｊ版材料としての展開が可能になる
。
より成る、従来技術ではエツチングの観点から実用化さ
れ得なかったプレ、ｄ ＩＪママ一対しても、良好なエ
ツチングが可能である。つ１す、本発明によれば、秀れ
念物絶面を併せ持ったエツチング可能な液状ポリエステ
ル系感光性樹脂の盛ｊ版材料としての展開が可能になる
。
一般に、液状樹脂を水系に分散乃至溶解させるのに、界
面活性剤の単独又はアルカリ化合物との併用で行うこと
は知られている。しかし、液状ポリエステル系感光性樹
脂に対しては、エッチャントとして効果的に作用しない
ことが・加られてｈた。
面活性剤の単独又はアルカリ化合物との併用で行うこと
は知られている。しかし、液状ポリエステル系感光性樹
脂に対しては、エッチャントとして効果的に作用しない
ことが・加られてｈた。
また、該液状ポリエステル系感光付樹脂を溶解させる溶
剤のエッチャント組成中への添加は、高撲蜜でその効果
を発現し、その時「水系」というよりは［溶剤系１と（
八う部類のエッチャントとなってし１う。直に、エツチ
ング時の硬化部の１影潤とｈう現象も良く知られている
。
剤のエッチャント組成中への添加は、高撲蜜でその効果
を発現し、その時「水系」というよりは［溶剤系１と（
八う部類のエッチャントとなってし１う。直に、エツチ
ング時の硬化部の１影潤とｈう現象も良く知られている
。
本発明者は、鋭意研究を重ねた結果、ノニオン系界面活
性剤、水混和性溶剤及び水溶性樹脂を必須成分としたエ
ッチャントが、良好な性能を有していることを、即ち、
上記三者の併用により予想し得ないエツチング効果が得
られることを、見込だした。
性剤、水混和性溶剤及び水溶性樹脂を必須成分としたエ
ッチャントが、良好な性能を有していることを、即ち、
上記三者の併用により予想し得ないエツチング効果が得
られることを、見込だした。
ここに用いられるノニオン系界面活性剤としては、ポリ
オキシエチレンノニールフェノールエーテル系、ポリオ
キシエチレンオクチルフェノールエーテル系、ホリオキ
シエチレンドデシルフェニルエーテル系、ポリオキシエ
チレンアルキルアリルエーテルｐ、ｚリオキシェチレン
オレイルエーテル系、ポリオキシエチレンラウリルエー
テル系、ポリオキシエチレンオレイン酸エステル系、ｄ
”Ｊプロピレングリコールポリエチレングリコールエ−
ｆル系、ソルビタン系モノラウレート、モノスｆ ７
Ｖ −ト、及ヒポリエチレングリコールソルビタン系モ
ノラウレート、モノオレエート、モノステアレート等が
有用である。これ等は単独で使用することはもちろん、
２者以上を併用することも可能である。
オキシエチレンノニールフェノールエーテル系、ポリオ
キシエチレンオクチルフェノールエーテル系、ホリオキ
シエチレンドデシルフェニルエーテル系、ポリオキシエ
チレンアルキルアリルエーテルｐ、ｚリオキシェチレン
オレイルエーテル系、ポリオキシエチレンラウリルエー
テル系、ポリオキシエチレンオレイン酸エステル系、ｄ
”Ｊプロピレングリコールポリエチレングリコールエ−
ｆル系、ソルビタン系モノラウレート、モノスｆ ７
Ｖ −ト、及ヒポリエチレングリコールソルビタン系モ
ノラウレート、モノオレエート、モノステアレート等が
有用である。これ等は単独で使用することはもちろん、
２者以上を併用することも可能である。
水混和性溶剤は、該ポリエステル系液状感光性樹脂を溶
解するか或いはこれと親和性の強いものであって、望ま
しくは水溶性の溶剤である。それらの例としては、メタ
ノール、エタノール、プロ／ンノール、イノデロノｆノ
ール、ｎ −〕４ ／ −ル、ｔｅｒｔ〜ブタノール、
等のアルコール系溶剤、アセトン、メチルエチルケトン
、メチルイソブチルケトン類のケトン系溶剤、酢酸エチ
ル等のエステル系溶剤、エチルセロンルブゝ、ブチルセ
ロソルブ等のセロソルブ系溶剤、その他ソオキサン、ツ
メチルフォルムアミドなど、更１ｃＬ／ｉ、 Ｎ−ビニ
ルピロリドン、ヒドロキシエチルメタアクリレート等の
水溶性モノマー類が挙げられる。これらもまた。
解するか或いはこれと親和性の強いものであって、望ま
しくは水溶性の溶剤である。それらの例としては、メタ
ノール、エタノール、プロ／ンノール、イノデロノｆノ
ール、ｎ −〕４ ／ −ル、ｔｅｒｔ〜ブタノール、
等のアルコール系溶剤、アセトン、メチルエチルケトン
、メチルイソブチルケトン類のケトン系溶剤、酢酸エチ
ル等のエステル系溶剤、エチルセロンルブゝ、ブチルセ
ロソルブ等のセロソルブ系溶剤、その他ソオキサン、ツ
メチルフォルムアミドなど、更１ｃＬ／ｉ、 Ｎ−ビニ
ルピロリドン、ヒドロキシエチルメタアクリレート等の
水溶性モノマー類が挙げられる。これらもまた。
単独使用又は２者以上の併用が可能である。
水溶性樹Ｆ４Ｙ１は、本発明の効果をもたらす重Ｖ！な
物質である。詳しくは、前述の２種の配合物では発現し
得ない効果、つまり未硬化層状感光性樹脂を容易に水系
エッチャント中に分散させるという効果が、これによっ
て発現きれる。勿論、該水溶ング性能が劣る。水溶性樹
脂としては、ポリビニルアルコール光全：時化物１部分
１鹸化・吻、水溶性化変性ポリ酢酸ビニル、カルボキシ
メチルセルロース、各種スターチ、カゼイン、ポリビニ
ルぎロリドン、ビニルピロリドン−酢酸ビニルコｙ１２
１Ｊマー、アルカリ水溶液可溶性樹脂例えばスチレン−
マレイン酸コポリマー、（無水）マレイン酸−アルキル
エーテルコポリマー等が、有効な性能を有している。
物質である。詳しくは、前述の２種の配合物では発現し
得ない効果、つまり未硬化層状感光性樹脂を容易に水系
エッチャント中に分散させるという効果が、これによっ
て発現きれる。勿論、該水溶ング性能が劣る。水溶性樹
脂としては、ポリビニルアルコール光全：時化物１部分
１鹸化・吻、水溶性化変性ポリ酢酸ビニル、カルボキシ
メチルセルロース、各種スターチ、カゼイン、ポリビニ
ルぎロリドン、ビニルピロリドン−酢酸ビニルコｙ１２
１Ｊマー、アルカリ水溶液可溶性樹脂例えばスチレン−
マレイン酸コポリマー、（無水）マレイン酸−アルキル
エーテルコポリマー等が、有効な性能を有している。
ノニオン系界面活性剤は、１ｆｆｉ前記３物質の緬重員
に基いて、５〜７０％望ましくは１０〜５５％である。
に基いて、５〜７０％望ましくは１０〜５５％である。
水混和性溶剤は、「水系」として設計する場合、出来る
だけ少量の使用がコスト、安全性の面から好ましいが、
少なすぎるとエツチング性能に影響するので、このよう
な観点から、１０〜７０％望ましくは３０〜６０％の１
更用が良い。水溶性樹脂の回合＋１．５〜３０％望まし
くは１０〜３０％の１更用が良い。
だけ少量の使用がコスト、安全性の面から好ましいが、
少なすぎるとエツチング性能に影響するので、このよう
な観点から、１０〜７０％望ましくは３０〜６０％の１
更用が良い。水溶性樹脂の回合＋１．５〜３０％望まし
くは１０〜３０％の１更用が良い。
上記３嘲質の配合エッチャントは、２倍乃至は２０倍程
度の水により希釈した形で使用され得る。
度の水により希釈した形で使用され得る。
この希釈程度は、分散きせる必要のある未硬化液状ポリ
エステル樹脂の竜及び液の疲労度により、液状ポリエス
テル系感光性樹脂とは、その骨格が、飽和又は不飽和多
価カルボン酸と多価アルコールエり合成される飽和又は
不飽和Ｈ２ＩＪエステル持、１詣、更に、これより誘導
される末端重合性エチレン性塾付ｎＯポリエステル樹脂
、（にば、多価イソシアネート基及び重合性エチレン性
基を持つ化合物を反応きせることにより得られる重合性
ポリエステルウレタン樹脂等から成るもので、必要に応
じて種々の架（喬件モノマー・頃、増感剤、各種安定剤
を含んでる所謂ポリエステル系感光性樹１１旨である。
エステル樹脂の竜及び液の疲労度により、液状ポリエス
テル系感光性樹脂とは、その骨格が、飽和又は不飽和多
価カルボン酸と多価アルコールエり合成される飽和又は
不飽和Ｈ２ＩＪエステル持、１詣、更に、これより誘導
される末端重合性エチレン性塾付ｎＯポリエステル樹脂
、（にば、多価イソシアネート基及び重合性エチレン性
基を持つ化合物を反応きせることにより得られる重合性
ポリエステルウレタン樹脂等から成るもので、必要に応
じて種々の架（喬件モノマー・頃、増感剤、各種安定剤
を含んでる所謂ポリエステル系感光性樹１１旨である。
次に、本発明を参考例、実施例及び比較例に従って具体
的に説明する。
的に説明する。
参考例 １〜５
〔骨格樹脂〕
プロピレンアジ４−トとトルイレンジイソシアネート及
びヒドロキシエチルメタアクリレートを反応させて得ら
れる重合性ポリエステルウレタン忙Ｈ旨（Ａ−１１ エチレンーソエチレンアヅペートトトルイレンヅイソシ
アネート及びヒドロキシエチルアクリレートを反応させ
ることにより得られる重合性ポリエステルウレタン樹脂
（，４−２１アソビン酸、無水フタル酸及び１．４−ブ
タ 。
びヒドロキシエチルメタアクリレートを反応させて得ら
れる重合性ポリエステルウレタン忙Ｈ旨（Ａ−１１ エチレンーソエチレンアヅペートトトルイレンヅイソシ
アネート及びヒドロキシエチルアクリレートを反応させ
ることにより得られる重合性ポリエステルウレタン樹脂
（，４−２１アソビン酸、無水フタル酸及び１．４−ブ
タ 。
ンジオールより得られる至和ポリエステル位（脂（Ａ−
３） 〔架塙性単歌体〕 ラウリルメタアクリレート（Ｂ−１） １．６−ヘキサンダアクリレート（Ｂ−２１〔光増感暉
［」 ペンゾインイソフロビルエーテル（Ｃ−，１１〔安定剤
〕 ハイドロキノンモノメチルエーテルＣＤ−１１以上の原
材料の組み合せにより、筆１女に示す、ｌ １７エステ
ル系感光性樹脂をつくった。
３） 〔架塙性単歌体〕 ラウリルメタアクリレート（Ｂ−１） １．６−ヘキサンダアクリレート（Ｂ−２１〔光増感暉
［」 ペンゾインイソフロビルエーテル（Ｃ−，１１〔安定剤
〕 ハイドロキノンモノメチルエーテルＣＤ−１１以上の原
材料の組み合せにより、筆１女に示す、ｌ １７エステ
ル系感光性樹脂をつくった。
上記参考例１〜５の各ポリエステル系感光性樹ＩＩ￥￥
は、いずれも従来の水系エッチャント即ちアルカリ水容
液や界面活性剤水溶液によっては良好なエツチングが全
く不可能であったタイプのものである２′ｌ：、本発明
のエツチング組成物は下記実施例に示すように、これら
に対して極めてすぐれたエツチング効果を発現する。勿
論、本発明の組成物の適用対象はこれら参考例の樹脂の
みに限定されるものではない。
は、いずれも従来の水系エッチャント即ちアルカリ水容
液や界面活性剤水溶液によっては良好なエツチングが全
く不可能であったタイプのものである２′ｌ：、本発明
のエツチング組成物は下記実施例に示すように、これら
に対して極めてすぐれたエツチング効果を発現する。勿
論、本発明の組成物の適用対象はこれら参考例の樹脂の
みに限定されるものではない。
三必須成分の種々の割合から成る本発明の組成物及び三
必須成分のうちの−又は二成分を欠く比較のための組成
物を用いて、参考例１〜５のポリエステル系感光１生樹
脂のエツチングを行なった。
必須成分のうちの−又は二成分を欠く比較のための組成
物を用いて、参考例１〜５のポリエステル系感光１生樹
脂のエツチングを行なった。
結果を第２表に示す。
尚、第２表におりては′、各成分化合物は次の通り略号
で示した。
で示した。
ＰＯＥＮＰＥ ｆリオキシエチレンノニルフェノールエ
ーテル ＰＯＥＯＥＳ ポリオキシエチレンオレイ／酸ニスう一
ル Ｐ Ｐ Ｇ Ｐ ＥＧ Ａ’ ポリプロピレングリコー
ルポリエチレングリコールエーテ 〜 Ｐ ｆｉ； Ｇ Ｓ Ａｆ Ｌ 、ｌ”リエテレングリ
コールソルビクンモノラウレート ＩＰＡ イソプロノぐノール ＥＣエチルセロソルブ ＨＥＭＡ ヒドロキシエチルメタクリレート Ａ、Ｃアセトン ＰＶＡ ポリビニルアルコール ＰＶＡＣ水溶性化変性酢酸ビニル ＰＶＰ ポリビニルビロリドン ｐｖｐ−ｐｖＡｃ ポリビニル♂ロリドンーホリ酢酸ビ
ニル共重合体 上記のポリエステル系感光性樹脂は、厚さ３ｆｌになる
ようにガラス板に［夾む構造の装置を用いて、ネガフィ
ルムを通して紫外線を照射した。
ーテル ＰＯＥＯＥＳ ポリオキシエチレンオレイ／酸ニスう一
ル Ｐ Ｐ Ｇ Ｐ ＥＧ Ａ’ ポリプロピレングリコー
ルポリエチレングリコールエーテ 〜 Ｐ ｆｉ； Ｇ Ｓ Ａｆ Ｌ 、ｌ”リエテレングリ
コールソルビクンモノラウレート ＩＰＡ イソプロノぐノール ＥＣエチルセロソルブ ＨＥＭＡ ヒドロキシエチルメタクリレート Ａ、Ｃアセトン ＰＶＡ ポリビニルアルコール ＰＶＡＣ水溶性化変性酢酸ビニル ＰＶＰ ポリビニルビロリドン ｐｖｐ−ｐｖＡｃ ポリビニル♂ロリドンーホリ酢酸ビ
ニル共重合体 上記のポリエステル系感光性樹脂は、厚さ３ｆｌになる
ようにガラス板に［夾む構造の装置を用いて、ネガフィ
ルムを通して紫外線を照射した。
エツチング効果は、露光後の上記樹脂板を約４０℃の温
度において、各希釈エッチャント組成物でブラシ掛けし
てエツチングすることによって判定した。
度において、各希釈エッチャント組成物でブラシ掛けし
てエツチングすることによって判定した。
第２表に示すように、本発明に係る実施例のエッチャン
トは比較例のエッチャントに鴨べて良好なエツチング効
果を発現した。
トは比較例のエッチャントに鴨べて良好なエツチング効
果を発現した。
Claims (1)
- ノニオン系界面活性剤５乃至７０重量・ぐ−セント、水
混和性溶剤１０乃至７０重量パーセント及び水溶性樹脂
５乃至３０重量Ａ−セントを必須成分として成るこ×を
特徴とするポリエステル系感光性樹脂成用エツチング練
成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11436883A JPS606947A (ja) | 1983-06-27 | 1983-06-27 | エツチング組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11436883A JPS606947A (ja) | 1983-06-27 | 1983-06-27 | エツチング組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS606947A true JPS606947A (ja) | 1985-01-14 |
Family
ID=14635959
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11436883A Pending JPS606947A (ja) | 1983-06-27 | 1983-06-27 | エツチング組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS606947A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2017169981A1 (ja) * | 2016-03-30 | 2019-02-07 | 日産化学株式会社 | レジストパターン被覆用水溶液及びそれを用いたパターン形成方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5182617A (ja) * | 1975-01-17 | 1976-07-20 | Canon Kk | Saisenpataanyohotorejisutogenzohoho |
| JPS5344202A (en) * | 1976-10-01 | 1978-04-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | Developer composition and developing method |
| JPS54117207A (en) * | 1978-03-01 | 1979-09-12 | Dainippon Printing Co Ltd | Method of wet copy printing |
-
1983
- 1983-06-27 JP JP11436883A patent/JPS606947A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5182617A (ja) * | 1975-01-17 | 1976-07-20 | Canon Kk | Saisenpataanyohotorejisutogenzohoho |
| JPS5344202A (en) * | 1976-10-01 | 1978-04-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | Developer composition and developing method |
| JPS54117207A (en) * | 1978-03-01 | 1979-09-12 | Dainippon Printing Co Ltd | Method of wet copy printing |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2017169981A1 (ja) * | 2016-03-30 | 2019-02-07 | 日産化学株式会社 | レジストパターン被覆用水溶液及びそれを用いたパターン形成方法 |
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