JPS6064721A - 熱延鋼帯の表面処理方法 - Google Patents
熱延鋼帯の表面処理方法Info
- Publication number
- JPS6064721A JPS6064721A JP17260583A JP17260583A JPS6064721A JP S6064721 A JPS6064721 A JP S6064721A JP 17260583 A JP17260583 A JP 17260583A JP 17260583 A JP17260583 A JP 17260583A JP S6064721 A JPS6064721 A JP S6064721A
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- JP
- Japan
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- steel strip
- hot
- strip
- rolled steel
- abrasive
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B21—MECHANICAL METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
- B21B—ROLLING OF METAL
- B21B45/00—Devices for surface or other treatment of work, specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, metal-rolling mills
- B21B45/04—Devices for surface or other treatment of work, specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, metal-rolling mills for de-scaling, e.g. by brushing
- B21B45/06—Devices for surface or other treatment of work, specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, metal-rolling mills for de-scaling, e.g. by brushing of strip material
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、熱間圧延によシ帯鋼板の狭面に発生するスケ
ールを除去する熱間圧延鋼板の表面処理法に関する。
ールを除去する熱間圧延鋼板の表面処理法に関する。
熱間圧延によシ帯鋼板の表面に発生するスケールを除去
するだめの従来のスケール除去手段としては、化学的処
理方法と機械的処理方法とがある。
するだめの従来のスケール除去手段としては、化学的処
理方法と機械的処理方法とがある。
化学的処理方法には、帯鋼板を塩酸液中に浸漬し、もし
くは酸液をスクール表面にスプレーして除去したシ、前
記塩酸に代えて溶融苛性ソーダを用いてスケールを除去
する方法がある。一方機械的処理方法にはショツトブラ
スト、液体ホーニング、砥石研削、ブラシ研丙ｕ方法等
が知られている。
くは酸液をスクール表面にスプレーして除去したシ、前
記塩酸に代えて溶融苛性ソーダを用いてスケールを除去
する方法がある。一方機械的処理方法にはショツトブラ
スト、液体ホーニング、砥石研削、ブラシ研丙ｕ方法等
が知られている。
しかしながら、化学的処理によシ帯鋼板表面のスケール
を除去する方法においては、廃液処理に大容量の設備が
必要であると共に、化学処理過程で有毒ガスが発生する
危険性もあるため、これら有毒ガスを除去する設備も必
要となシ、設備が犬がか）となる欠点がめった。−万、
ショツトブラスト、液体ホーニングの機械的スケール除
去方法に於いては、鉄粉前の粒子を帯鋼板表面に高速で
衝突させる為、帯鋼板地金へのスケール、鉄粉の食い込
み等によシ脱スクール後の帯鋼板の表面を害する欠点が
ある。また、ショツトブラストでは前記帯鋼板表面に衝
突させる鉄粉などの粒子と除去されたスケール粉塵とが
周囲に浮遊あるいは飛散して、作業環境を悪化させる欠
点があった。更に、曲加工によるスケール除去方法にお
いては、曲加工後に酸洗或いはブラシ研摩等の補助処理
を併用する必要がある。このため、酸洗については廃液
処理に大容量の設備が必要となる欠点があシ、ブラシ研
摩に於いてはブラシの摩耗によシブラシの定期的交換を
する際に、設備を停止する必要がちシ稼動率が低化する
という欠点があった。
を除去する方法においては、廃液処理に大容量の設備が
必要であると共に、化学処理過程で有毒ガスが発生する
危険性もあるため、これら有毒ガスを除去する設備も必
要となシ、設備が犬がか）となる欠点がめった。−万、
ショツトブラスト、液体ホーニングの機械的スケール除
去方法に於いては、鉄粉前の粒子を帯鋼板表面に高速で
衝突させる為、帯鋼板地金へのスケール、鉄粉の食い込
み等によシ脱スクール後の帯鋼板の表面を害する欠点が
ある。また、ショツトブラストでは前記帯鋼板表面に衝
突させる鉄粉などの粒子と除去されたスケール粉塵とが
周囲に浮遊あるいは飛散して、作業環境を悪化させる欠
点があった。更に、曲加工によるスケール除去方法にお
いては、曲加工後に酸洗或いはブラシ研摩等の補助処理
を併用する必要がある。このため、酸洗については廃液
処理に大容量の設備が必要となる欠点があシ、ブラシ研
摩に於いてはブラシの摩耗によシブラシの定期的交換を
する際に、設備を停止する必要がちシ稼動率が低化する
という欠点があった。
一般的に機械的処理方法では極大な動力を必要とし、ま
た、砥石研削においては、処理面が不均一となシ、ブラ
シ研削においては、ブラシの摩耗によシプラシと被処理
面との切シ込みｔｅそのつど設定する等の欠点があった
。
た、砥石研削においては、処理面が不均一となシ、ブラ
シ研削においては、ブラシの摩耗によシプラシと被処理
面との切シ込みｔｅそのつど設定する等の欠点があった
。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点を解消し、簡
便な方法で熱延帯鋼表面に形成されるスケールを鋼板を
傷つけることなく効率的に除去できる熱延鋼帯の表面処
理方法を提供することにある。
便な方法で熱延帯鋼表面に形成されるスケールを鋼板を
傷つけることなく効率的に除去できる熱延鋼帯の表面処
理方法を提供することにある。
本発明は移動する熱延鋼帯の表面に摺接した状態で移動
する研削用部材を設けるとともに熱延鋼帯と研削用部材
との摺接面に粒状の研削材を挿入し、該研削材によって
熱延鋼帯の表面を研削するようにしだものである。
する研削用部材を設けるとともに熱延鋼帯と研削用部材
との摺接面に粒状の研削材を挿入し、該研削材によって
熱延鋼帯の表面を研削するようにしだものである。
以下、添付図面に基づいて本発明の詳細な説明する。
第１図において、帯鋼板１がロール２に巻き付けられて
ロール２の回転と共に移動するようになっている。帯鋼
板１の面接部外表面にはロール３゜４．５によシ懸架さ
れて無限軌道を移動するベルト６が押し付けられている
。また、ロール２の上部には研削材８の供給装置７が配
置されておシ、更にロール２の下部には前記供給装置７
から供給進行する帯鋼板１はロール２とベルト６との間
に進入すると同時に供給」置７からその表面に研削材８
が散布される。ここでベルト６は帯鋼板１よシ速い速匿
で移動し、摺接するようになっている。このため、帯鋼
板１の表面とベルト６の間に入った研削材８は、帯鋼板
表面のスケールを帯鋼板１がロール２とベルト６の間を
通過するときに除去する。この際、ベルト６はロール３
にて支持され、ロール４にて駆動される。またロール５
を移動させることによジベルトロに適当な張力を与えて
ベルト６を帯鋼板１側に押し付け、研削材８を帯鋼板１
の表面に押し付けている。更に、帯鋼板１の形状がたと
え入側で波状となっていてもロール２に巻き付けられた
際に平らとなシ、研削材８がベルト６によシ均一に帯鋼
板１の表面に押し付けられるようになっている。なお、
帯鋼板１の表面スケールを除去した研削材８は、回収装
置９によシ回収され、再び供給装置７から供給されて再
循環使用される。
ロール２の回転と共に移動するようになっている。帯鋼
板１の面接部外表面にはロール３゜４．５によシ懸架さ
れて無限軌道を移動するベルト６が押し付けられている
。また、ロール２の上部には研削材８の供給装置７が配
置されておシ、更にロール２の下部には前記供給装置７
から供給進行する帯鋼板１はロール２とベルト６との間
に進入すると同時に供給」置７からその表面に研削材８
が散布される。ここでベルト６は帯鋼板１よシ速い速匿
で移動し、摺接するようになっている。このため、帯鋼
板１の表面とベルト６の間に入った研削材８は、帯鋼板
表面のスケールを帯鋼板１がロール２とベルト６の間を
通過するときに除去する。この際、ベルト６はロール３
にて支持され、ロール４にて駆動される。またロール５
を移動させることによジベルトロに適当な張力を与えて
ベルト６を帯鋼板１側に押し付け、研削材８を帯鋼板１
の表面に押し付けている。更に、帯鋼板１の形状がたと
え入側で波状となっていてもロール２に巻き付けられた
際に平らとなシ、研削材８がベルト６によシ均一に帯鋼
板１の表面に押し付けられるようになっている。なお、
帯鋼板１の表面スケールを除去した研削材８は、回収装
置９によシ回収され、再び供給装置７から供給されて再
循環使用される。
上記実施例において、ベルト６は帯鋼板１と同方向で帯
鋼板１よシも速い速匿で移動しているが、帯鋼板１よシ
も遅い速度でもよい。またベルト６は帯鋼板１と逆方向
に移動してもよい。更にベルト６の代シにロールを帯鋼
板１に接触させ、帯鋼板１とロールとを摺接するように
ロールの回転方向および周速度を選択してもよい。
鋼板１よシも速い速匿で移動しているが、帯鋼板１よシ
も遅い速度でもよい。またベルト６は帯鋼板１と逆方向
に移動してもよい。更にベルト６の代シにロールを帯鋼
板１に接触させ、帯鋼板１とロールとを摺接するように
ロールの回転方向および周速度を選択してもよい。
このようなベルトあるいはロールの表面は研削材が供給
されたときに、ベルトあるいはロールの表面に研削材が
部分的に埋め込まれて保持される程度の硬さを有するも
のであればよい。この状態で研削材が帯鋼板表面を慴動
し、スケールを効率第１図装置を２ヶ以上組合せて、帯
鋼板の表。
されたときに、ベルトあるいはロールの表面に研削材が
部分的に埋め込まれて保持される程度の硬さを有するも
のであればよい。この状態で研削材が帯鋼板表面を慴動
し、スケールを効率第１図装置を２ヶ以上組合せて、帯
鋼板の表。
裏の両側を研削することもできる。
研削材の硬度はビッカース硬さで帯鋼板の表面に形成さ
れた酸化スケールのビッカース硬さと同等ないしそれ以
上が望ましい。酸化スケールのビッカース硬さは、スケ
ールの組成によシ若干変動するが、通常６００程度であ
るので、研削材のビッカース硬さは５００以上であれば
よい。すなわち、帯鋼板は研削前に引張シ、またはロー
ル２によシ曲折されるため、これらの機械的加工により
帯鋼板の表面に形成されたスケールにはクラックが生じ
るので、スケールの硬さよシもｘｏｏ５ｉ低いビッカー
ス硬さの研削材でもスケールの除去に支障はない。
れた酸化スケールのビッカース硬さと同等ないしそれ以
上が望ましい。酸化スケールのビッカース硬さは、スケ
ールの組成によシ若干変動するが、通常６００程度であ
るので、研削材のビッカース硬さは５００以上であれば
よい。すなわち、帯鋼板は研削前に引張シ、またはロー
ル２によシ曲折されるため、これらの機械的加工により
帯鋼板の表面に形成されたスケールにはクラックが生じ
るので、スケールの硬さよシもｘｏｏ５ｉ低いビッカー
ス硬さの研削材でもスケールの除去に支障はない。
研削材の粒径は、帯鋼板の表面に形成されたスケールの
厚さよシも大きく、２０００μｍ以下が望ましい。スケ
ールの厚さは通常７〜８μｍ程度であるから、研削材の
粒径はほぼ１０μｍｊ：ｐも大きいことが望ましい。研
削材の粒径が１０μｍよシも小さいと、研削材力Ｅ’Ａ
！鋼板とベルト等の研削用部材との間で回転し、良好な
研削効果が碍られない。一方、研削材の粒径が２０００
μｍよりも大きいと、研削材が帯鋼板の鉄地への喰い込
み、粗大仕上面となる。
厚さよシも大きく、２０００μｍ以下が望ましい。スケ
ールの厚さは通常７〜８μｍ程度であるから、研削材の
粒径はほぼ１０μｍｊ：ｐも大きいことが望ましい。研
削材の粒径が１０μｍよシも小さいと、研削材力Ｅ’Ａ
！鋼板とベルト等の研削用部材との間で回転し、良好な
研削効果が碍られない。一方、研削材の粒径が２０００
μｍよりも大きいと、研削材が帯鋼板の鉄地への喰い込
み、粗大仕上面となる。
本発明において、研削材としては、Ａ−／４０３（ＨＶ
２０００）、５１０２（ＨＶｌｏｏＯ）、Ｃｒ２０１１
（ＨＶ１９００）、ＺｒＯ２，（ＨＶｌｏｏＯ）等の酸
化物、５ｉｃ（ＨＶ３２５０）、Ｃｒ３Ｏ２（ＨＶ１３
００）、Ｍｌｌ）’２Ｃ（ＨＶ１５００）、Ｖ２Ｏ３（
ＨＶ２８００）、ＷＣ（ＨＶ２４００）。
２０００）、５１０２（ＨＶｌｏｏＯ）、Ｃｒ２０１１
（ＨＶ１９００）、ＺｒＯ２，（ＨＶｌｏｏＯ）等の酸
化物、５ｉｃ（ＨＶ３２５０）、Ｃｒ３Ｏ２（ＨＶ１３
００）、Ｍｌｌ）’２Ｃ（ＨＶ１５００）、Ｖ２Ｏ３（
ＨＶ２８００）、ＷＣ（ＨＶ２４００）。
Ｔｉｃ（ＨＶ３０００）、ＴａＣ（ＨＶ１８００）、Ｖ
Ｃ（ＨＶ２８００）、ＺｒＣ（ＨＶ２６００）、ＨｆＣ
（Ｈ’Ｖ２８５０）。
Ｃ（ＨＶ２８００）、ＺｒＣ（ＨＶ２６００）、ＨｆＣ
（Ｈ’Ｖ２８５０）。
ＮｂＣ（ＨＶ２４００）、Ｂ４Ｃ（ＨＶ３５００）等の
炭化物、５ｆａＮ４（ＨＶ２９７０）、ＴｉＮ（ＨＶ１
９５０）、ＺｒＮ（ＨＶ１５００）、ＮｂＮ（ＨＶ１４
００）、ＴａＮ（ＨＶ１０６０）ＨｆＮ（ＨＶ１６００
）、ＡｔＮ（ＨＶ１２００）等の窒化物、Ｔｉ＆ （Ｈ
Ｖ３４００）、Ｃｒ＆（ＨＶ１８００）、ＭＯＢ２（Ｈ
Ｖ１３８０）、ＺｒＢ２ （ＨＶ２２００）等の硼化物
、Ｔａ５ｊ２（ＨＶ１５６０）、Ｍｏ５ｉ２（ＨＶ１２
９０）。
炭化物、５ｆａＮ４（ＨＶ２９７０）、ＴｉＮ（ＨＶ１
９５０）、ＺｒＮ（ＨＶ１５００）、ＮｂＮ（ＨＶ１４
００）、ＴａＮ（ＨＶ１０６０）ＨｆＮ（ＨＶ１６００
）、ＡｔＮ（ＨＶ１２００）等の窒化物、Ｔｉ＆ （Ｈ
Ｖ３４００）、Ｃｒ＆（ＨＶ１８００）、ＭＯＢ２（Ｈ
Ｖ１３８０）、ＺｒＢ２ （ＨＶ２２００）等の硼化物
、Ｔａ５ｊ２（ＨＶ１５６０）、Ｍｏ５ｉ２（ＨＶ１２
９０）。
Ｃｒ５ｉｚ （、ＨＶ１１５０）等ノ珪化物、またさら
にＦｅａｓｔ 、 Ｆｅ２Ｏ３等の鉄酸化物、燐化物が
挙げられる。
にＦｅａｓｔ 、 Ｆｅ２Ｏ３等の鉄酸化物、燐化物が
挙げられる。
特に鉄酸化物を研削材として用いる場合、除去されたス
ケールとともに回収装置に回収された研削材を溶鉱炉に
供給し、溶解材料とすることができる。したがって、鉄
酸化物以外の研削材のように除去されたスケールと研削
材とを選別する工程を省略することができる。鉄酸化物
として磁鉄鋼、褐鉄鉱、砂鉄等の粉末を用いることがで
きる。
ケールとともに回収装置に回収された研削材を溶鉱炉に
供給し、溶解材料とすることができる。したがって、鉄
酸化物以外の研削材のように除去されたスケールと研削
材とを選別する工程を省略することができる。鉄酸化物
として磁鉄鋼、褐鉄鉱、砂鉄等の粉末を用いることがで
きる。
尚、本発明の他の実施例として、ベルトによシ研削材の
押付力を増加させるために、外部よシ多数のローラでベ
ルトを押し付ける構成を採ることも出来る。また、ベル
トの外側に巻き付きこれに大きな張力を与える別のベル
トを設ける二重ベルト方式等によシベルトの押付力をア
ップさせる構成をとることも出来る。
押付力を増加させるために、外部よシ多数のローラでベ
ルトを押し付ける構成を採ることも出来る。また、ベル
トの外側に巻き付きこれに大きな張力を与える別のベル
トを設ける二重ベルト方式等によシベルトの押付力をア
ップさせる構成をとることも出来る。
また本発明による方法ではショツトブラスト等に比べて
粉塵等の発生が極めて少なく作業環境がよく、脱スケー
ル部をハウジングで囲めば作業環境を一層改善できる。
粉塵等の発生が極めて少なく作業環境がよく、脱スケー
ル部をハウジングで囲めば作業環境を一層改善できる。
次に第１図に示す表面処理装置において、一定の研削条
件で研削材を変化させたとき帯鋼板の表面形状を調べた
。
件で研削材を変化させたとき帯鋼板の表面形状を調べた
。
第２図に示すベルト６と帯鋼板１の接触長ｔと帯鋼板移
動速度Ｖおよびベルト移動速度ＶＢとの関係を とし、ベルト材として皮革を用いた。
動速度Ｖおよびベルト移動速度ＶＢとの関係を とし、ベルト材として皮革を用いた。
第３図は、表面処理用研削材に材質Ａｔ２０ｇと、８１
０２を複合し、平均粒径８００μｍを使用した帯鋼板処
理面粗度を示す。
０２を複合し、平均粒径８００μｍを使用した帯鋼板処
理面粗度を示す。
第４図は、表面処理用研削材に材質５ｉＣ１平均粒径６
００μｍ１を使用した帯鋼板処理面粗度を示す。
００μｍ１を使用した帯鋼板処理面粗度を示す。
第５図は、表面処理用研削材に材質Ａ４０ａ＋Ｆｅ２ｒ
ｇ、８１０２を改合し、平均粒径５００μｍを使用した
帯鋼板処理面粗度を示す。
ｇ、８１０２を改合し、平均粒径５００μｍを使用した
帯鋼板処理面粗度を示す。
第６図は、従来の酸洗（ＨＣｔ２０ｗｔ％の水溶液にヘ
キサメチレンナト２ミンを１ｗｔ％添加し、８０Ｃで２
５秒間帯鋼板を浸漬した）によシ得られた帯鋼板処理面
粗度を示す。
キサメチレンナト２ミンを１ｗｔ％添加し、８０Ｃで２
５秒間帯鋼板を浸漬した）によシ得られた帯鋼板処理面
粗度を示す。
第３図〜第６図から、本発明による方法では酸洗に比べ
て極めて平滑な処理面が得られることが判る。また表面
処理用研削材の粒径が小さい程、平滑な処理面が得られ
ることが判る。
て極めて平滑な処理面が得られることが判る。また表面
処理用研削材の粒径が小さい程、平滑な処理面が得られ
ることが判る。
以上のように本発明によれば、化学反応を用いないため
、省設備化を図ることができ、ショツトブラスト等の機
械的方法と比べて作業環境がよく、更に鋼板表面を損傷
することなく効率的に脱スケールを図ることができる。
、省設備化を図ることができ、ショツトブラスト等の機
械的方法と比べて作業環境がよく、更に鋼板表面を損傷
することなく効率的に脱スケールを図ることができる。
第１図は本発明の方法を実施するための装置の一例を示
す概略構成図、第２図は実施例の条件を示すための説明
図、第３図（５）、第４図（イ）、第５図（４）および
第６図（４）はそれぞれ帯鋼板の板厚方向における帯鋼
板処理粗度を示す図、第３図（ロ）、第４図（２）、第
５図（２）および第６図（２）はそれぞれ帯鋼板のバス
方向における帯鋼板処理粗度を示す図である。 １・・・？ｉ［板、２，３，４．’５・・・ロール、６
・・・ベルト、７・・・供給装置、８・・・研削材、９
・・・回収装置。 代理人 弁理士 鵜沼辰之 躬１図 第２０ Ｂ 第３０ （Ａ） （ｆ３） 吊４．図 （ハ） ＣＢ） キシ仏領 斗ｐ夾雀 第５の （△）（Ｂ）
す概略構成図、第２図は実施例の条件を示すための説明
図、第３図（５）、第４図（イ）、第５図（４）および
第６図（４）はそれぞれ帯鋼板の板厚方向における帯鋼
板処理粗度を示す図、第３図（ロ）、第４図（２）、第
５図（２）および第６図（２）はそれぞれ帯鋼板のバス
方向における帯鋼板処理粗度を示す図である。 １・・・？ｉ［板、２，３，４．’５・・・ロール、６
・・・ベルト、７・・・供給装置、８・・・研削材、９
・・・回収装置。 代理人 弁理士 鵜沼辰之 躬１図 第２０ Ｂ 第３０ （Ａ） （ｆ３） 吊４．図 （ハ） ＣＢ） キシ仏領 斗ｐ夾雀 第５の （△）（Ｂ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、移動する鋼帯の表面に摺接する状態で移動する研削
用部材を設けるとともに前記熱延銅帯と前記研削用部材
との摺接面に粒状の研削材を挿入し、該研削材によって
前記熱延鋼帯の表面を研削することを特徴とする熱延鋼
帯の表面処理方法。 ２、特許請求の範囲第１項において、前記研削材のビッ
カース硬さが前記熱延銅帯の表面に形成された酸化スケ
ールのビッカース硬さと同等ないしそれ以上であること
を特徴とする熱延鋼帯の表面処理方法。 ３、特許請求の範囲第１項において、前記研削材の粒径
は、前記熱延鋼帯の狭面に形成された酸化スケールの厚
さよ）も太きく ２０００μｍ以下であることを特徴と
する熱延鋼帯の表面処理方法。 ４、特許請求の範囲第１項において、前記熱延銅帯はロ
ールに巻き例いて移動し、該ロールに巻いた熱延鋼帯面
にエンドレスベルトを圧接することを特徴とする熱延鋼
帯の表面処理方法。 ５、特許請求の範囲第１項又は第２項において、前記研
削材は鉄酸化物等であることを特徴とする熱延鋼帯の表
面処理方法。 ６、特許請求の範囲第４項において、前記エンドレスベ
ルトは前記熱延銅帯と同方向に移動するとともにその熱
延鋼帯の移動速度と異なる速度で、多動することを特徴
とする熱延鋼帯の表面処理方法。 ７、特許請求の範囲第６項において、前記エンドレスベ
ルトは圧接時前記研削材が部分的に埋め込まれる程度の
硬さを有することを特徴とする熱延鋼帯の表面処理方法
。 ８、特許請求の範囲第７項において、前記エンドレスベ
ルトは、ゴム、プラスチック又は皮等からなることを特
徴とする熱延鋼帯の表面処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17260583A JPS6064721A (ja) | 1983-09-19 | 1983-09-19 | 熱延鋼帯の表面処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17260583A JPS6064721A (ja) | 1983-09-19 | 1983-09-19 | 熱延鋼帯の表面処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6064721A true JPS6064721A (ja) | 1985-04-13 |
| JPH0534094B2 JPH0534094B2 (ja) | 1993-05-21 |
Family
ID=15944959
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17260583A Granted JPS6064721A (ja) | 1983-09-19 | 1983-09-19 | 熱延鋼帯の表面処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6064721A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59202114A (ja) * | 1983-05-02 | 1984-11-15 | Hitachi Ltd | 表面処理方法およびその装置 |
-
1983
- 1983-09-19 JP JP17260583A patent/JPS6064721A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59202114A (ja) * | 1983-05-02 | 1984-11-15 | Hitachi Ltd | 表面処理方法およびその装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0534094B2 (ja) | 1993-05-21 |
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