JPS6062879A - Vibration wave motor - Google Patents

Vibration wave motor

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Publication number
JPS6062879A
JPS6062879A JP58168982A JP16898283A JPS6062879A JP S6062879 A JPS6062879 A JP S6062879A JP 58168982 A JP58168982 A JP 58168982A JP 16898283 A JP16898283 A JP 16898283A JP S6062879 A JPS6062879 A JP S6062879A
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JP
Japan
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rotor
vibration wave
magnet
vibrating body
vibration
Prior art date
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Pending
Application number
JP58168982A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takayuki Tsukimoto
貴之 月本
Kazuhiro Izukawa
和弘 伊豆川
Ichiro Okumura
一郎 奥村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Publication of JPS6062879A publication Critical patent/JPS6062879A/en
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/16Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
    • H02N2/163Motors with ring stator

Abstract

PURPOSE:To reduce the size and the cost of a vibration wave motor by disposing a magnet at least at one of a stator and a rotor arranged in a thrust direction, thereby adapting for a hollow motor. CONSTITUTION:A cylindrical vibrator 20 is formed of a soft magnetic material. An electrostrictive element 21 is polarized, and bonded to the outer periphery of the vibrator 20. A rotor 22 is made of a plastic magnet. Part 23 of a rotor is made of a soft magnetic material, and bonded to the upside of a magnet rotor 22. A recess 25 is formed at the upper edges of the rotors 22. The rotors 22, 23 are attracted to the vibrator 20. The magnet rotor 22 is attracted and contacted under pressure with the vibrator 20. When an AC voltage is applied to the element 21, the rotors 22, 23 are driven, and rotated.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は進行性振動波により駆動する振動波モータの構
造に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to the structure of a vibration wave motor driven by progressive vibration waves.

振動波モータは例えば特開昭52−29192号公報に
も開示されているように、電歪素子に交流、脈流等の周
波電圧を印加したときに生ずる振動運動を回転運動又は
−次元運動に変換するものである。
As disclosed in JP-A-52-29192, for example, a vibration wave motor converts the vibration motion generated when a frequency voltage such as alternating current or pulsating current is applied to an electrostrictive element into rotational motion or -dimensional motion. It is something that converts.

従来の電磁モータに比べて巻線を必要としないため、構
造が筒中で小型になり、低速回転時にも高トルクが得ら
れると共に慣性モーメントが少ないという利点がある。
Compared to conventional electromagnetic motors, this motor does not require windings, so it has a smaller structure inside the cylinder, and has the advantage of being able to obtain high torque even when rotating at low speeds, as well as having a small moment of inertia.

そのため、最近性[1されている。Therefore, the recency is [1].

上記公報等で知られている振動波モータは振動運動を回
転運動等に変換するにあたり、振動体に生じた定在振動
波で、振動体と接触するロータ等の移動体を一方向に摩
擦駆動するもので、振動の往運動時には振動体と移動体
が摩擦接触し、復運動時には離れるようになっている。
The vibration wave motor known from the above publications uses standing vibration waves generated in the vibrator to frictionally drive a moving body such as a rotor in one direction when it converts vibration motion into rotational motion. The vibrating body and the moving body come into frictional contact during the forward motion of vibration, and separate during the backward motion.

そのため振動体と移動体は微小範囲で接触する構造、即
ち点もしくは線接触に近い構造でなければならず、いき
おい摩擦駆動効率の悪いものとなってしまう。
Therefore, the vibrating body and the movable body must have a structure in which they contact each other in a minute range, that is, a structure close to point or line contact, which results in poor friction drive efficiency.

最近この点を改良した振動波モータで、振動体に生ずる
進行性振動波によって移動体をS4!!駆動するものが
ある。
A vibration wave motor has recently been improved in this respect, and the moving body can be moved to S4 by the progressive vibration waves generated in the vibrating body! ! There is something to drive it.

第1図にはその′12部の概略図が示しである。FIG. 1 shows a schematic diagram of the '12 section.

同図で1は電歪素子で例えばPZT(チタン酸ジルコン
酸鉛)、2は振動体で弾性物質からなリ、電歪素子lを
接着しである。振動体2は電歪素子1と共に振動吸収体
4を介してノ、(台9に保持されている。3は回転体で
、軸受け12で、ブツシュ14を介して固定軸10に回
転可能に支持されている。固定軸10は下端が基台9に
取り付けられており、上部はねじになっている。固定軸
IOには、ブツシュ14の上端にばね16が嵌められ、
ナツト18がワッシャ17を介してねじ込まれる。これ
により回転体3は振動体2に押し付けられる。
In the figure, 1 is an electrostrictive element made of, for example, PZT (lead zirconate titanate), and 2 is a vibrating body made of an elastic material, to which the electrostrictive element 1 is adhered. The vibrating body 2 is mounted together with the electrostrictive element 1 via a vibration absorber 4 (held on a stand 9. 3 is a rotating body, which is rotatably supported by a bearing 12 on a fixed shaft 10 via a bushing 14. The lower end of the fixed shaft 10 is attached to the base 9, and the upper end is screwed.A spring 16 is fitted to the upper end of the bushing 14 on the fixed shaft IO.
Nut 18 is screwed in through washer 17. As a result, the rotating body 3 is pressed against the vibrating body 2.

第2図は電歪素子lと振動体2の関係を示す側面図であ
る。電歪素子lは複数個の素子1al ・la2 ・1
a3*e*及びlbl・1b2IIlb3・・・が接着
されておりそのうちの一群の電歪素子1al ・la2
 ・la3 ・・・に対し、他の群の電歪素子1b、・
1b2・1b3・Φ・は振動波の波長入のハ波長分だけ
ずれて配置される。
FIG. 2 is a side view showing the relationship between the electrostrictive element 1 and the vibrating body 2. FIG. The electrostrictive element l includes a plurality of elements 1al ・la2 ・1
a3*e* and lbl・1b2IIlb3... are glued together, and one group of electrostrictive elements 1al and la2
・la3 ..., the electrostrictive elements 1b of other groups, ・
1b2, 1b3, and Φ. are arranged shifted by the wavelength of the vibration wave.

一群内での各電歪素子1aI・1a2 ・1a3 ・・
・・は繕波長のピッチで、相隣り合うものの分極極性が
逆になるように配置されている。図中の+・−は極性を
示している。もう一方の群内での各電歪素子1b□ ・
lb、・lb3・・・も同じく坏波長のピッチで、相隣
り合うものは逆極性である。これら電歪素子が並へられ
た大きさだけの大きさがある一つの電歪素子にして、そ
れを前記のピッチに分極処理してもよい。電歪素子の分
極両面には電圧を印加するための電極が蒸着、書込等に
より形成される。
Each electrostrictive element 1aI, 1a2, 1a3 in one group...
. . is the pitch of the repair wavelength, and the polarization properties of adjacent ones are opposite to each other. + and - in the figure indicate polarity. Each electrostrictive element 1b□ in the other group
Similarly, lb, lb3, . . . have a pitch of the same wavelength, and adjacent ones have opposite polarities. A single electrostrictive element having a size equal to the size of these electrostrictive elements arranged side by side may be formed and then polarized to the pitch described above. Electrodes for applying voltage are formed on both polarized surfaces of the electrostrictive element by vapor deposition, writing, or the like.

このような構成の振動波モータで一つの群内の電歪素子
1aI *la7 *1a3 ela4 @116には
V(、SinωLの交流電圧を印加する。もう 一方の
群の電歪素子1b、・lb2・lb3・1b4・・・に
はV。Cosωtの交流電圧を印加する。従って各電歪
素子は相隣り合うものどうし分極方向に対し180°位
相がずれ、二つの群どうし90°位相のずれた交流電圧
が印加されて伸縮振動をする。この振動が伝えられて振
動体2は電歪素子1の配置ピッチに従って曲げ振動をす
る。振動体2が一つおきの電歪素子の位置で出っ張ると
、他の一つおきの電歪素子の位置が引つ込む。一方、前
記の如く電歪素子の一群は他の一群に対し、局波長ずれ
た位置にあり曲げ振動の位相が90°ずれているため振
動波が合成され進行する。交流電圧が印加されている間
、次々と振動が励起されて、進行性曲げ振動波となって
振動体2を伝わってゆく。
In the vibration wave motor having such a configuration, an AC voltage of V(, SinωL is applied to the electrostrictive elements 1aI *la7 *1a3 ela4 @116 in one group.The electrostrictive elements 1b, lb2 in the other group・An alternating current voltage of V. Cosωt is applied to lb3, 1b4, etc. Therefore, each electrostrictive element has a phase shift of 180° with respect to the polarization direction between adjacent elements, and a phase shift of 90° between the two groups. An alternating current voltage is applied to cause stretching vibration.This vibration is transmitted and the vibrating body 2 bends and vibrates according to the arrangement pitch of the electrostrictive elements 1.When the vibrating body 2 protrudes at every other electrostrictive element position, , the positions of every other electrostrictive element are retracted.On the other hand, as mentioned above, one group of electrostrictive elements is at a position shifted from the local wavelength with respect to the other group, and the phase of the bending vibration is shifted by 90 degrees. While the AC voltage is applied, vibrations are excited one after another and travel through the vibrating body 2 as progressive bending vibration waves.

このときの波の進行状態が第3図(a) (b) (c
) (d)に示しである。いま進行性曲げ振動波が矢示
X方向に進むとする。0は静止状j!iに於ける振動体
の中心面で、振動状態では鎖線6の状態となり、この中
立面6は曲げによる応力が均衡している。中立面6と直
交する断面7についてみると、これら二面の交線5では
応力がかからず」二下振動しているだけである。同時に
断面7は交線5を中心として左右の振り子振動している
。同図(a)に示す状態では断面7と振動体2の移動体
側1の表面との交線上の点Pは左右振動の右死点となっ
ており上方向連動だけしている。振り子振動は交線5が
波の正側では(中心面0の−L側にあるとき)左方向(
波の進行と逆方向)の応力が加わり、波の負側(回じ〈
ド側にあるとき)右方向の応力が加わる。即ち同図 (
a)で交線5′と断面7′が前者のときの状態で点Vは
応力F′が加わり交線5″と断面7″が後者のときの状
態で点P′は応力F/が加わる。波が進行し、 (b)
に示すように波の正側に交線5がくると点Pは左方向の
運動をすると同時に上方向の連動をする。 (c)で点
Pは」ニF振動の上死点で左方向の運動だけする。(d
)では左方向の運動と下方向運動をする。さらに波が進
行し、右方向と下方向の運動、右方向とJ一方向の運動
を経て(a)の状態に戻る。この一連の連動を合成する
と点Pは回転楕円運動をしている。同図(C)に示すよ
うに点Pが回転体3と接する線では点Pの運動によって
回転体3がX′力方向摩擦駆動される。
The progress state of the wave at this time is shown in Figure 3 (a) (b) (c
) It is shown in (d). Assume that the progressive bending vibration wave now advances in the direction of arrow X. 0 is a stationary state j! The center plane of the vibrating body at point i is in the state shown by the chain line 6 in the vibrating state, and the stress due to bending is balanced on this neutral plane 6. Looking at the cross section 7 perpendicular to the neutral plane 6, no stress is applied at the intersection line 5 of these two planes, and the plane only vibrates. At the same time, the cross section 7 is pendulum vibrating left and right about the intersection line 5. In the state shown in FIG. 4A, a point P on the intersection line between the cross section 7 and the surface of the movable body side 1 of the vibrating body 2 is the right dead center of left-right vibration, and only the upward movement occurs. The pendulum vibration moves in the left direction (when the intersection line 5 is on the positive side of the wave (when it is on the -L side of the center plane 0)
Stress in the opposite direction to the wave's progress is applied, and the wave's negative side (rotation
(when it is on the left side) stress is applied in the right direction. That is, the same figure (
In a), when the intersection line 5' and cross section 7' are the former, stress F' is applied to point V; when the intersection line 5'' and cross section 7'' are the latter, stress F/ is applied to point P'. . The wave progresses, (b)
As shown in , when the intersection line 5 comes to the positive side of the wave, point P moves to the left and at the same time moves upward. In (c), point P only moves to the left at the top dead center of the F vibration. (d
) makes a leftward movement and a downward movement. The wave further advances, moving to the right and downward, moving to the right and in the J direction, and then returning to the state in (a). When this series of interlocking actions is combined, point P moves in a spheroidal motion. As shown in FIG. 2C, on the line where point P touches the rotating body 3, the rotating body 3 is frictionally driven in the X' force direction by the movement of the point P.

このように摩擦駆動されるものであるから、回転体3は
振動体2に対して押し付けられる必要がある。押し伺は
手段として、前例では、中心部にばね16を配置してい
る。そのため、モータの中空部に被駆動体を配置できる
中空モータにはしにくい。機構的にも複雑になり、小型
化の妨げになっている。振動体の各位置に対する加圧力
のバランスを調整するのに千′間がかかる。
Since the rotating body 3 is frictionally driven in this way, it is necessary to press the rotating body 3 against the vibrating body 2. In the previous example, a spring 16 is placed in the center of the pushing mechanism. Therefore, it is difficult to create a hollow motor in which a driven body can be placed in the hollow part of the motor. It also becomes mechanically complex, which hinders miniaturization. It takes thousands of minutes to adjust the balance of the pressure applied to each position of the vibrating body.

本発明は上記のような事実に鑑みなされたもので、中空
モータに適し、小型で安価な振動波モータを提供するこ
とを目的とするもめである。
The present invention was made in view of the above-mentioned facts, and it is an object of the present invention to provide a small and inexpensive vibration wave motor suitable for hollow motors.

この目的を達成するため本発明は、電歪素子と振動体と
を持ったステータの、該電歪素子に周波電圧を印加して
該振動体に生ずる進行性振動波によって、該ステータに
圧接するロータを摩擦駆動する振動波モータに於て、ス
ラスト方向に配列された該ステータと該ロータの、少な
くとも一方にマグネ・ントを配置して、他力を吸引し、
該ステータに該ロータを圧接させることを特徴とする振
動波モータである。
In order to achieve this object, the present invention provides a stator having an electrostrictive element and a vibrating body, which is brought into pressure contact with the stator by a progressive vibration wave generated in the vibrating body by applying a frequency voltage to the electrostrictive element. In a vibration wave motor that frictionally drives a rotor, a magnet is disposed on at least one of the stator and the rotor arranged in the thrust direction to attract external force,
The vibration wave motor is characterized in that the rotor is brought into pressure contact with the stator.

以下図面に示された実施例を詳細に説明し上記本発明の
構成を明らかにする。
The embodiments shown in the drawings will be described in detail below to clarify the structure of the present invention.

第4図は本発す1を適用した振動波モータの実施例を示
した斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view showing an embodiment of a vibration wave motor to which 1 of the present invention is applied.

20は中空円板型の振動体(ステータ)で、鉄などの軟
磁性体でつくられている。21は電歪素子で、前記の駆
動原理に基ずく分極処理がなされていて、振動体2oの
下側に接、6されている。22は回転体(ロータ)で、
プラスチンクマグネットからなる。23も回転体の一部
で、軟磁性体からなり、マグネッ)・回転体22の上側
に接着されている。電歪素子21のF側には、図示を省
略したiL極が取り伺けられる。さらに、その上側が振
動吸収体でYRわれて、士−夕全体がハウジングに収納
される。
20 is a hollow disc type vibrating body (stator) made of a soft magnetic material such as iron. Reference numeral 21 denotes an electrostrictive element, which is subjected to polarization treatment based on the driving principle described above, and is in contact with the lower side of the vibrating body 2o. 22 is a rotating body (rotor),
Consists of plastic magnets. 23 is also a part of the rotating body, is made of soft magnetic material, and is bonded to the upper side of the rotating body 22. On the F side of the electrostrictive element 21, an iL pole (not shown) can be seen. Furthermore, the upper side is YR-coated with a vibration absorber, and the entire structure is housed in a housing.

振動体20#電歪素子21と回転体22・23の縦断面
図が第5図に示しである。回転体であるマグネット22
の極性は、内周と外周にN極とS極が並べられる。回転
体22・23は振動体(磁性体)20に吸引される。軟
磁性体23はバックヨークの働きをする。なお、マグネ
・ント22の極性方向は第6図(L面図)に4<すよう
に、周方向に交互に並んでいてもよい。また、軟磁性体
23を除いてもよい。
A vertical cross-sectional view of the vibrating body 20# electrostrictive element 21 and the rotating bodies 22 and 23 is shown in FIG. Magnet 22 which is a rotating body
As for the polarity, N and S poles are arranged on the inner and outer peripheries. The rotating bodies 22 and 23 are attracted to the vibrating body (magnetic body) 20. The soft magnetic material 23 functions as a back yoke. The polar directions of the magnets 22 may be arranged alternately in the circumferential direction as shown in FIG. 6 (L view). Furthermore, the soft magnetic material 23 may be omitted.

このような振動波モータで、マグネット回転体22は磁
性体振動体20に吸引圧接していて、電歪素子21に前
記のような交流電比を印加すると、回転体22・23が
駆動され回転する。
In such a vibration wave motor, the magnet rotating body 22 is in suction pressure contact with the magnetic vibrating body 20, and when the above-mentioned AC voltage ratio is applied to the electrostrictive element 21, the rotating bodies 22 and 23 are driven and rotated. .

第7図は別な実施例の一部切り欠き側面図である。回転
体33を軟磁性体にし、振動体32は非磁性体で、電歪
索子21の下側にマグネット34を、その下側に軟磁性
体35を、夫々配置しである。従って、回転体33は、
脈動体32と電歪素子21を介してマグネット34に引
かれ、振動体32に圧接する。
FIG. 7 is a partially cutaway side view of another embodiment. The rotating body 33 is made of a soft magnetic material, the vibrating body 32 is made of a non-magnetic material, and a magnet 34 is arranged below the electrostrictive cable 21, and a soft magnetic material 35 is arranged below the magnet 34, respectively. Therefore, the rotating body 33 is
It is attracted by the magnet 34 via the pulsating body 32 and the electrostrictive element 21, and is pressed against the vibrating body 32.

tfJB図も別な実施例を示すものである。回転体37
の上側を軟磁性体37a、上側を非磁性体37bにし、
両者を接着しである。この実施例もマグネット34は電
歪素子21の下側にある。回転体37の軟磁性体37a
部分がマグネy ト34に引かれて、非磁性体37bが
非磁性振動体32に圧接する。なお、第7図、第8図に
21<す例で、振動体21とマグネット34の間に振動
吸収体を配置してもよい。
The tfJB diagram also shows another embodiment. Rotating body 37
The upper side is a soft magnetic material 37a, the upper side is a non-magnetic material 37b,
Glue the two together. In this embodiment as well, the magnet 34 is located below the electrostrictive element 21. Soft magnetic body 37a of rotating body 37
The portion is attracted by the magnet 34, and the non-magnetic body 37b is brought into pressure contact with the non-magnetic vibrating body 32. In addition, in the example shown in FIGS. 7 and 8, a vibration absorber may be arranged between the vibrating body 21 and the magnet 34.

第9図は別な実施例を示したものである。振動体45と
回転体46とは傾ぶ1面で接触している。
FIG. 9 shows another embodiment. The vibrating body 45 and the rotating body 46 are in contact with each other on one inclined surface.

振動体45の上側には電歪上r−21が接着してあり、
その北側に、マグネット48に軟磁性体49を接着した
回転体46か配置される。
An electrostrictive layer R-21 is bonded to the upper side of the vibrating body 45.
On the north side thereof, a rotating body 46 in which a soft magnetic material 49 is bonded to a magnet 48 is arranged.

以J−説明したように、本発明の振動波モータでは、ロ
ータとステータの吸引によって圧接されるものであるか
ら、中心部に音間をつくりやすく中空モータにめすもの
である。極めて小へl!につくることかでき、特別に圧
接バランスの調整が必要ないため、安価にできる。
As explained below, in the vibration wave motor of the present invention, since the rotor and stator are brought into pressure contact by suction, it is easy to create a sound gap in the center, and the vibration wave motor is fitted into a hollow motor. Very small! It can be manufactured at low cost since no special adjustment of the pressure welding balance is required.

また、ロータとステータの相対位置は常に最大吸引力の
ところに位置するから、ロータの回転中心はステータの
中心に止確に自動調・しすることになる。
In addition, since the relative position of the rotor and stator is always located at the maximum suction force, the rotation center of the rotor is precisely automatically adjusted to the center of the stator.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は従来の振動波モータの一部切り欠き側面図、?
r52図・第3図は振動波モータの駆動原理を説明する
図、第41Δは本発明を適用した振動波モータの斜視図
、第5図はその部分拡大断面図、第6図は別な実施例の
部分拡大断面図、第7番8・9図は別な実施例の一部シ
ノリ欠き側面図である。 20は振動体、21は電歪木r・、22はマグネット、
23は軟磁性体である。 特許出願人 キャノン株式会社 第1図 8 第2図
Figure 1 is a partially cutaway side view of a conventional vibration wave motor.
Figure r52 and Figure 3 are diagrams explaining the driving principle of a vibration wave motor, Figure 41Δ is a perspective view of a vibration wave motor to which the present invention is applied, Figure 5 is a partially enlarged sectional view thereof, and Figure 6 is a different implementation. FIGS. 7, 8 and 9, which are partially enlarged cross-sectional views of the example, are side views with a partially cut away side view of another embodiment. 20 is a vibrating body, 21 is an electrostrictive wood r., 22 is a magnet,
23 is a soft magnetic material. Patent applicant: Canon Co., Ltd. Figure 1 Figure 8 Figure 2

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)電歪素子と振動体とを持ったステータの、該電歪
素子に周波電圧を印加して該振動体に生ずる進行性振動
波によって、該ステータに圧接するロータを摩擦駆動す
る振動波モータに於て、スラスト方向に配列された該ス
テータと該ロータの、少なくとも一方にマグネットを配
置して、他方を吸引し、 該ステータに該ロータを圧接させることを特徴とする振
動波モータ。
(1) A vibration wave of a stator having an electrostrictive element and a vibrating body, which frictionally drives a rotor that is in pressure contact with the stator by a progressive vibration wave generated in the vibrating body by applying a frequency voltage to the electrostrictive element. A vibration wave motor, characterized in that a magnet is disposed on at least one of the stator and the rotor arranged in the thrust direction to attract the other and press the rotor against the stator.
JP58168982A 1983-09-13 1983-09-13 Vibration wave motor Pending JPS6062879A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62207181A (en) * 1986-03-06 1987-09-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ultrasonic motor
JPH01131293U (en) * 1988-02-26 1989-09-06

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62207181A (en) * 1986-03-06 1987-09-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ultrasonic motor
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