JP3155339B2 - Ultrasonic motor - Google Patents

Ultrasonic motor

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JP3155339B2 JP11548892A JP11548892A JP3155339B2 JP 3155339 B2 JP3155339 B2 JP 3155339B2 JP 11548892 A JP11548892 A JP 11548892A JP 11548892 A JP11548892 A JP 11548892A JP 3155339 B2 JP3155339 B2 JP 3155339B2
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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は超音波モータ、特にステ
ータのロータ接触部に発生する振動形態を改良した超音
波モータに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic motor, and more particularly, to an ultrasonic motor in which a vibration generated at a rotor contact portion of a stator is improved.

【0002】[0002]

【従来の技術】超音波モータは、圧電素子に交流などの
周波電圧を印加したときに生ずる振動運動を回転運動ま
たは一次元運動に変換するものである。従来の電磁モー
タに比べて巻線を必要としないため、構造が簡単で小型
になり、低速回転時にも高トルクが得られるという利点
がある。
2. Description of the Related Art An ultrasonic motor converts vibrational motion generated when a frequency voltage such as AC is applied to a piezoelectric element into rotational motion or one-dimensional motion. Compared with a conventional electromagnetic motor, no winding is required, so that the structure is simple and compact, and there is an advantage that high torque can be obtained even at low speed rotation.

【0003】一般的に、超音波モータは、移動体である
ロータと、振動体であるステータおよびこれらを支持す
る支持部材とから構成されている。
In general, an ultrasonic motor includes a rotor as a moving body, a stator as a vibrating body, and a supporting member for supporting these.

【0004】この中でステータは、銅合金などで作られ
た振動弾性体に、PZT(チタン酸ジルコン鉛)などの
圧電体を張り合わせて形成されている。通常、この圧電
体は、多数に分割して正負交互に分極処理され、これら
に対応して2組の電極群が設けられている。これら2組
の電極群に、時間的に90゜位相差のある共振周波数の
電圧を印加することにより、2つの定在波が合成されて
円周方向に時間とともに一定方向に移動する複数の山を
もった進行波がロータ接触面に励振される。従って、ロ
ータを、ステータのロータ接触面に接触させることによ
り、ロータは所定方向に回転駆動されることになる。
Among them, the stator is formed by laminating a piezoelectric body such as PZT (lead zirconate titanate) to a vibration elastic body made of a copper alloy or the like. Usually, this piezoelectric body is divided into a large number and polarized alternately in positive and negative directions, and two sets of electrode groups are provided correspondingly. By applying a voltage at a resonance frequency having a phase difference of 90 ° to these two sets of electrodes, two standing waves are synthesized and a plurality of peaks moving in a constant direction in the circumferential direction with time. A traveling wave having a wave is excited on the rotor contact surface. Therefore, by bringing the rotor into contact with the rotor contact surface of the stator, the rotor is driven to rotate in a predetermined direction.

【0005】従来この種の超音波モータとして、例えば
特開昭59−201685号公報に係る提案が知られて
いる。特に、この提案にかかる超音波モータでは、ステ
ータの一部を構成する振動弾性体の表面を多数に分割形
成することにより、ロータの移動速度を速め、駆動効率
の高い超音波モータの実現を可能としている。
[0005] As a conventional ultrasonic motor of this type, for example, a proposal according to Japanese Patent Application Laid-Open No. 59-201685 is known. In particular, in the ultrasonic motor according to this proposal, by dividing the surface of the vibrating elastic body constituting a part of the stator into a large number of parts, the moving speed of the rotor is increased, and an ultrasonic motor with high driving efficiency can be realized. And

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の超音
波モータは、いずれもステータのロータ接触面に進行波
によって縦長の楕円振動を発生させ、ロータを回転駆動
させる場合が多い。これは、縦長の楕円振動を発生させ
ることにより、ロータを低速高トルクで回転駆動させる
ためである。
Incidentally, in many cases, conventional ultrasonic motors generate longitudinally long elliptical vibrations by a traveling wave on a rotor contact surface of a stator and rotate the rotor in many cases. This is because the rotor is driven to rotate at a low speed and a high torque by generating a vertically long elliptical vibration.

【0007】しかし、この種の超音波モータでは、ステ
ータのみならず、ロータもステータの振動に合わせて振
動することが確認されている。従って、従来のように、
ステータのロータ接触面が縦長の楕円振動軌跡をえがく
ようにさせると、ロータ側は楕円振動の頂部のみでな
く、振動速度の異なる点に対しても多点で接触し、各接
触点での移動スピードが異なり、進行波エネルギーの伝
達損失が発生する。
However, it has been confirmed that in this type of ultrasonic motor, not only the stator but also the rotor vibrates in accordance with the vibration of the stator. Therefore, as before,
If the rotor contact surface of the stator is made to elongate a vertically long elliptical vibration trajectory, the rotor side contacts not only the top of the elliptical vibration but also points with different vibration speeds at multiple points and moves at each contact point Different speeds cause transmission loss of traveling wave energy.

【0008】従って、従来の超音波モータでは、簡単な
構造で、高トルクが得られるという利点があるものの、
モータの出力効率が十分でないという問題があった。
Therefore, although the conventional ultrasonic motor has an advantage that a high torque can be obtained with a simple structure,
There is a problem that the output efficiency of the motor is not sufficient.

【0009】本発明は、このような従来の課題に鑑みな
されたものであり、その目的は、超音波モータ本来の長
所を損なうことなく、出力効率40〜50%程度、また
は、50%程度となる出力効率の高い超音波モータを提
供することにある。
The present invention has been made in view of such conventional problems, and has as its object to reduce the output efficiency to about 40 to 50% without impairing the advantages of the ultrasonic motor.
An object of the present invention is to provide an ultrasonic motor having a high output efficiency of about 50% .

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明は、表面側に複数の突起が環状に1列形成さ
れ、裏面側に圧電素子が設けられた振動弾性体を含み、
前記圧電素子に所定電圧を印加することにより前記振動
弾性体に進行波を発生させるステータと、前記振動弾性
体に発生した進行波により所定方向に移動する移動体
と、を含み、前記振動弾性体の板厚をtB、前記突起の
高さをtSとし、前記進行波の波長をλとすると、 K=
(2π/λ)(tS+tB/2)の値がほぼ1になるよ
うに形成され、進行波によって生ずるステータのロータ
接触部表面における質点の振動が真円または真円に近い
軌跡となるよう形成されて出力効率40〜50%程度と
されていることを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention includes a vibration elastic body having a plurality of projections formed in a ring on a front surface side and a piezoelectric element provided on a back surface side,
A vibrating elastic body including a stator that generates a traveling wave in the vibrating elastic body by applying a predetermined voltage to the piezoelectric element, and a moving body that moves in a predetermined direction by the traveling wave generated in the vibrating elastic body; TB, the thickness of the protrusion
Assuming that the height is tS and the wavelength of the traveling wave is λ, K =
(2π / λ) (tS + tB / 2) is almost 1.
The vibration of the mass on the surface of the rotor contact portion of the stator caused by the traveling wave is formed to have a perfect circle or a locus close to a perfect circle, and the output efficiency is about 40 to 50%.
It is characterized by having been done.

【0011】また、他の発明は、 表面側に複数の突起が
環状に1列形成され、裏面側に圧電素子が設けられた振
動弾性体を含み、前記圧電素子に所定電圧を印加するこ
とにより前記振動弾性体に進行波を発生させるステータ
と、 前記振動弾性体に発生した進行波により所定方向に
移動する移動体と、を含み、前記振動弾性体の板厚をt
B、前記突起の高さをtSとし、前記進行波の波長をλ
とすると、K=(2π/λ)(tS+tB/2)の値が
ほぼ1になるよう形成され、進行波によって生ずるステ
ータのロータ接触部表面における質点の振動が真円また
は真円に近い軌跡となるよう形成されて出力効率50%
程度とされていることを特徴とする。
In another invention , a plurality of projections are provided on the surface side.
A vibrator formed in a line in a ring and having a piezoelectric element on the back side
A predetermined voltage is applied to the piezoelectric element including a dynamic elastic body.
For generating a traveling wave in the vibrating elastic body by
In a predetermined direction by the traveling wave generated in the vibrating elastic body.
And a moving body that moves.
B, the height of the protrusion is tS, and the wavelength of the traveling wave is λ
Then, the value of K = (2π / λ) (tS + tB / 2) is formed to be approximately 1, and the state generated by the traveling wave is obtained.
The vibration of the mass on the rotor contact surface of the rotor
Is formed to have a locus close to a perfect circle, and the output efficiency is 50%
It is characterized by the degree .

【0012】[0012]

【作用】本発明の超音波モータでは、振動弾性体の表面
側の質点が、真円または真円に近い軌跡となるよう形成
されているため、移動体が振動によりステータと楕円振
動の頂部のみでなく、多点接触する場合でも、各接触点
での質点の移動スピードがほぼ等しくなる。従って、ス
テータ側で発生させた進行波を用いて、移動体を所定方
向へ効率よく移動することが可能となる。
In the ultrasonic motor according to the present invention, since the mass point on the surface side of the vibrating elastic body is formed so as to have a perfect circle or a locus close to a perfect circle, the moving body vibrates only at the top of the stator and the elliptical vibration. Instead, even in the case of multipoint contact, the moving speed of the mass point at each contact point becomes substantially equal. Therefore, the moving body can be efficiently moved in a predetermined direction using the traveling wave generated on the stator side.

【0013】[0013]

【実施例】次に本発明の好適な実施例を図面に基づき詳
細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

【0014】図2には、本発明の一実施例に係る円環形
超音波モータの概略が示されている。実施例の超音波モ
ータは、ステータ100と、このステータ100に発生
する進行波により回転駆動される移動体としてのロータ
200とを含む。
FIG. 2 schematically shows an annular ultrasonic motor according to an embodiment of the present invention. The ultrasonic motor according to the embodiment includes a stator 100 and a rotor 200 as a moving body that is rotationally driven by a traveling wave generated in the stator 100.

【0015】前記ステータ100は、リング形状に形成
された圧電素子としての圧電体セラミックス12と、こ
の圧電体セラミックス12が裏面側に接着固定された振
動弾性体10とを有する。図3に示すよう前記圧電体セ
ラミックス12は、円周方向に多数に分割して、正負交
互に分極処理され、これらに対応して2組の電極群が設
けられている。そしてこれらの2組の電極群に、発振器
30から出力される正弦波をアンプ32を介して印加す
ると共に、移相器で90゜移相変調された余弦波をアン
プ36を介して印加する。これにより正弦波と余弦波に
よる二つの定在波が合成され、円周方向に時間と共に一
定方向に移動する複数の山をもった進行波が励振され
る。このときの周波数は、圧重体セラミックス12上に
設けられたフィードバック(FB)端子の信号を周波数
追尾回路38により検出し発振器30にフィードバック
することにより、その発生電圧すなわち振幅値が一定と
なるように制御される。
The stator 100 includes a piezoelectric ceramic 12 as a piezoelectric element formed in a ring shape, and a vibration elastic body 10 to which the piezoelectric ceramic 12 is adhered and fixed on the back side. As shown in FIG. 3, the piezoelectric ceramics 12 is divided into a large number in the circumferential direction and polarized positively and negatively alternately, and two sets of electrodes are provided correspondingly. Then, a sine wave output from the oscillator 30 is applied to these two sets of electrodes via the amplifier 32, and a cosine wave whose phase has been shifted by 90 ° by the phase shifter is applied via the amplifier 36. As a result, two standing waves composed of a sine wave and a cosine wave are synthesized, and a traveling wave having a plurality of peaks moving in a constant direction with time in the circumferential direction is excited. The frequency at this time is determined by detecting the signal of the feedback (FB) terminal provided on the pressed-body ceramics 12 by the frequency tracking circuit 38 and feeding it back to the oscillator 30 so that the generated voltage, that is, the amplitude value becomes constant. Controlled.

【0016】前記振動弾性体10は、圧電体セラミック
ス12に生じた振動を効率よく伝えて振動するためのも
のであり、その表面は、振幅を大きくするために複数の
溝部16が放射状に設けられている。従って、振動弾性
体10の凸部14の表面には所定方向の楕円振動が効率
よく発生することになる。
The vibrating elastic body 10 is used for efficiently transmitting vibration generated in the piezoelectric ceramics 12 and vibrating. The surface of the vibrating elastic body 10 is provided with a plurality of grooves 16 in a radial manner to increase the amplitude. ing. Therefore, the elliptical vibration in a predetermined direction is efficiently generated on the surface of the convex portion 14 of the vibration elastic body 10.

【0017】前記ロータ200は、リング22と、この
リング22のステータ接触面に接着固定された摩擦材2
0とを有し、摩擦材20が、振動弾性体10の表面と所
定の圧力をもって接するよう形成されている。
The rotor 200 comprises a ring 22 and a friction material 2 bonded and fixed to a stator contact surface of the ring 22.
0, and the friction material 20 is formed so as to contact the surface of the vibration elastic body 10 with a predetermined pressure.

【0018】これにより、振動弾性体10に発生する進
行波による駆動は、摩擦材20を介し効率よくロータ2
00へ伝達され、ロータ200は所定方向に回転駆動さ
れることになる。
As a result, the driving by the traveling wave generated in the vibration elastic body 10 is efficiently performed via the friction material 20 by the rotor 2.
00, the rotor 200 is rotationally driven in a predetermined direction.

【0019】このとき、従来の超音波モータでは、図4
に示すよう、ステータ表面の質点が縦長の軌跡をえがく
ようにさせてきた。
At this time, in the conventional ultrasonic motor, FIG.
As shown in (1), the mass point on the stator surface is drawn in a vertically long locus.

【0020】このような楕円振動は、ロータ200側に
振動が発生しない場合には振動の頂部のみと接触し何ら
問題も生じない。
Such an elliptical vibration does not cause any problem since it contacts only the top of the vibration when the vibration does not occur on the rotor 200 side.

【0021】しかし、実際には、ロータ200側にも振
動が発生しているため、ロータ200は楕円振動の頂部
だけではなく、振動速度の異なる頂部以外の点において
も多点接触してしまい、各接触点における移動速度の違
いが、前記したようにモータの出力低下を引き起こす原
因となっていた。
However, in practice, since vibration also occurs on the rotor 200 side, the rotor 200 comes into multipoint contact not only at the top of the elliptical vibration but also at points other than the top where the vibration speed differs. The difference in the moving speed at each contact point has caused the motor output to decrease as described above.

【0022】これに対し、本発明の振動はモータでは、
図5に示すよう、真円または真円に近い振動をステータ
100の表面に発生させている。これにより、ロータ2
00側にも振動が発生し、ステータ100とロータ20
0とが振動の頂部以外で多点接触したような場合でも、
各点の移動スピードがほぼ同じであるため、ステータ1
00側に発生する進行波によりロータ200を効率よく
回転駆動することができる。
On the other hand, the vibration of the present invention
As shown in FIG. 5, a perfect circle or a vibration close to a perfect circle is generated on the surface of the stator 100. Thereby, the rotor 2
Vibration also occurs on the side of the stator 100 and the rotor 20.
Even when 0 and multipoint contact other than the top of the vibration,
Since the moving speed of each point is almost the same, the stator 1
The traveling wave generated on the 00 side can efficiently rotate and drive the rotor 200.

【0023】ここで、図4に示すように、楕円の縦径を
1 、横径をl2 とすると、楕円振動の形状Kは、K=
2 /l1 で表わされる。
Here, as shown in FIG. 4, if the vertical diameter of the ellipse is l 1 and the horizontal diameter is l 2 , the shape K of the elliptical vibration is K =
It is represented by l 2 / l 1 .

【0024】図6には、弾性振動体10の概略断面が示
されている。この弾性振動体10のベース板厚をtB
凸部14間に挟まれた溝部16の深さ(スリット深さと
いう)をtS とし、発生する進行波の波長をλとする。
このようにすると、振動弾性体10の振動の中立軸から
ステータ表面(ロータ接触面)までの距離Tは、概略次
式で表わされる。
FIG. 6 shows a schematic cross section of the elastic vibrating body 10. The base plate thickness of the elastic vibrating body 10 is t B ,
The depth (referred to as a slit depth) of the groove 16 sandwiched between the protrusions 14 is represented by t S, and the wavelength of the generated traveling wave is represented by λ.
In this case, the distance T from the neutral axis of the vibration of the vibration elastic body 10 to the stator surface (the rotor contact surface) is approximately represented by the following equation.

【0025】T=tS +tB /2 そして、ロータ接触面に発生する楕円振動軌跡の形状
は、正弦波定在波と、余弦波定在との合成波として与え
られるため、その楕円振動軌跡の形状Kは次式で与えら
れることになる。
T = t S + t B / 2 The shape of the elliptical vibration locus generated on the rotor contact surface is given as a composite wave of the sine wave standing wave and the cosine wave standing wave. Is given by the following equation.

【0026】K=(2π/λ)×(tS +tB /2) 図1には、2種類の振動波モータを測定対象とし、前記
Kの値を変化させたモータの出力効率を実測した値が示
されている。この実測データでは、いずれも、K=1の
位置が、真円振動となっており、Kが1より小さい領域
では縦長の楕円振動、1より大きい領域では横長の楕円
振動となる。
K = (2π / λ) × (t S + t B / 2) In FIG. 1, two types of vibration wave motors were measured, and the output efficiency of the motor with the value of K varied was measured. Values are shown. In the actual measurement data, the position where K = 1 is a true circular vibration, and a region where K is smaller than 1 is a vertically long elliptical vibration and a region where K is larger than 1 is a horizontally long elliptical vibration.

【0027】同図に示す実験データからも明らかなよう
に、ロータ100のステータ接触面の質点が真円もしく
は真円に振動軌跡をえがくようにさせることにより、ロ
ータ200を効率よく回転駆動可能であることが理解さ
れよう。
As is clear from the experimental data shown in FIG. 3, the rotor 200 can be driven to rotate efficiently by making the mass of the contact surface of the stator of the rotor 100 scribe the vibration locus in a perfect circle or a perfect circle. It will be understood that there is.

【0028】なお、本発明は前記実施例に限定させるも
のではなく、本発明の要旨の範囲内で各種の変形実施が
可能である。
The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made within the scope of the present invention.

【0029】また、前記実施例では、移動体をロータと
して形成した場合を例にとり説明したが、本発明はこれ
に限らず、移動体を円運動以外、例えば直線等の一次元
運動させるリニアタイプの超音波モータにも適用できる
ものである。
Further, in the above embodiment, the case where the moving body is formed as a rotor has been described as an example. However, the present invention is not limited to this. It can also be applied to the ultrasonic motor.

【0030】[0030]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ステータのロータ接触面に、その質点が、ほぼ真円振動
軌跡をえがくように発生させることにより、移動体を効
率よく所定方向に移動することができる、40〜50%
程度または50%程度の効率の高い超音波モータを提供
することができるという効果がある。
As described above, according to the present invention,
The rotor contact surface of the stator, the mass point, by generating so as to draw a substantially true circle vibration trajectory can be moved mobile efficiently in a predetermined direction, 40-50%
There is an effect that an ultrasonic motor with high efficiency of about 50% or about 50% can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】超音波モータにおいて、ステータのロータ接触
面に発生させる楕円振動軌跡の形状を変化させて測定し
たモータ出力効率の変化を表わす説明図である。
FIG. 1 is an explanatory diagram showing a change in motor output efficiency measured by changing a shape of an elliptical vibration locus generated on a rotor contact surface of a stator in an ultrasonic motor.

【図2】本実施例の超音波モータの一部切欠いた概略斜
視説明図である。
FIG. 2 is a schematic perspective explanatory view of the ultrasonic motor of the present embodiment with a part cut away.

【図3】図2に示す超音波モータの駆動回路の説明図で
ある。
FIG. 3 is an explanatory diagram of a drive circuit of the ultrasonic motor shown in FIG.

【図4】従来の超音波モータ動作原理を示す説明図であ
る。
FIG. 4 is an explanatory view showing the principle of operation of a conventional ultrasonic motor.

【図5】本実施例の超音波モータの動作原理を示す説明
図である。
FIG. 5 is an explanatory diagram illustrating the operation principle of the ultrasonic motor according to the present embodiment.

【図6】図2に示す超音波モータの振動弾性体の断面概
略説明図である。
FIG. 6 is a schematic cross-sectional explanatory view of a vibration elastic body of the ultrasonic motor shown in FIG. 2;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 振動弾性体 12 圧電体セラミックス 14 凸部 16 溝部 20 摩擦材 22 リング 100 ステータ 200 ロータ DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Vibration elastic body 12 Piezoelectric ceramic 14 Convex part 16 Groove part 20 Friction material 22 Ring 100 Stator 200 Rotor

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 表面側に複数の突起が環状に1列形成さ
れ、裏面側に圧電素子が設けられた振動弾性体を含み、
前記圧電素子に所定電圧を印加することにより前記振動
弾性体に進行波を発生させるステータと、 前記振動弾性体に発生した進行波により所定方向に移動
する移動体と、 を含み、前記振動弾性体の板厚をtB、前記突起の高さをtSと
し、前記進行波の波長をλとすると、 K=(2π/λ)(tS+tB/2)の値がほぼ1にな
るように形成され、 進行波によって生ずるステータのロ
ータ接触部表面における質点の振動が真円または真円に
近い軌跡となるよう形成されて出力効率40〜50%程
度とされていることを特徴とする超音波モータ。
1. A vibration elastic body in which a plurality of protrusions are formed in a row in a ring on a front surface side and a piezoelectric element is provided on a back surface side,
A stator that generates a traveling wave in the vibrating elastic body by applying a predetermined voltage to the piezoelectric element; and a moving body that moves in a predetermined direction by the traveling wave generated in the vibrating elastic body. Is tB, and the height of the protrusion is tS.
When the wavelength of the traveling wave is λ, the value of K = (2π / λ) (tS + tB / 2) becomes substantially 1.
The vibration of the mass on the surface of the rotor contact portion of the stator caused by the traveling wave is formed to have a perfect circle or a locus close to a perfect circle, and the output efficiency is about 40 to 50%.
An ultrasonic motor characterized in that it has a degree .
【請求項2】 請求項1において、表面側に複数の突起が環状に1列形成され、裏面側に圧
電素子が設けられた振動弾性体を含み、前記圧電素子に
所定電圧を印加することにより前記振動弾性体に進行波
を発生させるステータと、 前記振動弾性体に発生した進行波により所定方向に移動
する移動体と、 を含み、 前記振動弾性体の板厚をtB、前記突起の高さをtSと
し、前記進行波の波長をλとすると、 K=(2π/λ)(tS+tB/2)の値がほぼ1にな
るよう形成され、進行波によって生ずるステータのロー
タ接触部表面における質点の振動が真円または真円に近
い軌跡となるよう形成されて出力効率50%程度とされ
ていることを特徴とする超音波モータ。
2. A method according to claim 1, wherein a plurality of projections are formed in a row on the front surface side in a ring shape, and a pressure is formed on the rear surface side.
A vibration elastic body provided with an electric element, wherein the piezoelectric element
A traveling wave is applied to the vibrating elastic body by applying a predetermined voltage.
A stator for generating a movement in a predetermined direction by the traveling wave generated on the vibration elastic member
Comprising: a movable body that, the, tB the plate thickness of the vibrating elastic member, wherein the height of the projection and tS, and the wavelength of the traveling wave and lambda, K = the (2π / λ) (tS + tB / 2) The value of the stator row generated by the traveling wave
Vibration of the mass on the contact surface
And the output efficiency is about 50%.
An ultrasonic motor characterized in that:
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