JP2586045B2 - Vibration motor - Google Patents

Vibration motor

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JP2586045B2
JP2586045B2 JP62127691A JP12769187A JP2586045B2 JP 2586045 B2 JP2586045 B2 JP 2586045B2 JP 62127691 A JP62127691 A JP 62127691A JP 12769187 A JP12769187 A JP 12769187A JP 2586045 B2 JP2586045 B2 JP 2586045B2
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    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/16Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
    • H02N2/163Motors with ring stator

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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、弾性体に生じる振動により駆動力を得る振
動モータに関する。このような振動モータとしては、超
音波モータが知られている。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a vibration motor that obtains a driving force by vibration generated in an elastic body. An ultrasonic motor is known as such a vibration motor.

(従来の技術) 従来、この種の超音波モータとしては、例えば特開昭
59−117473号等が知られている。
(Prior Art) Conventionally, as this type of ultrasonic motor, for example,
No. 59-117473 are known.

この超音波モータにあっては、弾性体と圧電体とから
成るステータと、ステータに加圧接触されたローターと
から成り、駆動回路にてステータに進行波を発生させ、
加圧接触されたローターを駆動するように構成されてい
る。
In this ultrasonic motor, a stator composed of an elastic body and a piezoelectric body, and a rotor that is in pressure contact with the stator, and a driving circuit generates a traveling wave in the stator,
It is configured to drive the rotor that is brought into pressure contact.

このためロータを回転自在に支持する保持部材との間
に生じる摩擦力を軽減させるため、ローターと保持部材
との間にベアリングを入れたスラスト軸受け構造として
いる。
Therefore, in order to reduce the frictional force generated between the holding member that rotatably supports the rotor, a thrust bearing structure in which a bearing is inserted between the rotor and the holding member is adopted.

(発明が解決しようとする問題点) しかしながら、このような従来の超音波モータにあっ
ては、ベアリングによってロータを保持部材に回転自在
に支持する構造としているため、ベアリングが転動する
転動面が精度良く加工されていないと、駆動ムラを起こ
す原因となり、またベアリングを使用してもある程度の
機械的な損失は避けられず、更にベアリングを使用した
分だけロータの軸受け構造が複雑化するという問題があ
った。
(Problems to be Solved by the Invention) However, in such a conventional ultrasonic motor, since the rotor is rotatably supported on the holding member by the bearing, the rolling surface on which the bearing rolls is provided. If it is not machined with high accuracy, it will cause drive unevenness, and even if a bearing is used, some mechanical loss is inevitable, and the bearing structure of the rotor will be complicated by the use of the bearing. There was a problem.

(問題点を解決するための手段) 本発明は、このような従来の問題点に鑑みてなされた
もので、ベアリングによるロータの軸受け構造を不要に
し、極めて簡単な構造で且つトルク損失の少ない振動モ
ータを提供することを目的とする。
(Means for Solving the Problems) The present invention has been made in view of such conventional problems, and eliminates the need for a bearing structure for a rotor using bearings. An object is to provide a motor.

この目的を達成するために、本発明にあっては、第1
面と、該第1面とは異なる第2面とを有する相対運動部
材と、表裏面を有する弾性体と弾性体の裏面に接着され
た電気機械変換素子とからなり、相対運動部材の第1面
と弾性体の表面とが圧接する第1振動子と、表裏面を有
する弾性体と弾性体の裏面に接着された電気機械変換素
子とからなり、相対運動部材の第2面と弾性体の表面と
が圧接する第2振動子とを有し、第1振動子の弾性体の
表面には進行波が発生し、第2振動子の弾性体の表面に
は定在波が発生するようにしたものである。
In order to achieve this object, in the present invention, the first
A relative movement member having a surface, a second surface different from the first surface, an elastic body having front and back surfaces, and an electromechanical transducer bonded to the back surface of the elastic body. A first vibrator in which the surface and the surface of the elastic body are in pressure contact with each other; an elastic body having front and back surfaces; and an electromechanical transducer bonded to the back surface of the elastic body. A second vibrator pressed against the surface, wherein a traveling wave is generated on the surface of the elastic body of the first vibrator, and a standing wave is generated on the surface of the elastic body of the second vibrator. It was done.

(作用) このような構成を備えた本発明の振動モータにあって
は、相対運動部材を挟み込んだ一方の振動子に定在波を
発生させることにより、前記相対運動部材が、前記振動
子との間で発生する摩擦力を軽減された状態で回転自在
に支持される。そして、この状態で他方の振動子に進行
波を発生させることにより、前記相対運動部材を回転さ
せることができる。
(Operation) In the vibration motor of the present invention having such a configuration, by generating a standing wave on one of the vibrators sandwiching the relative motion member, the relative motion member is connected to the vibrator. It is rotatably supported in a state where the frictional force generated between them is reduced. By generating a traveling wave in the other vibrator in this state, the relative motion member can be rotated.

また、2つの振動子を備えていることから、一方の振
動子に定在波を発生させ、他方の振動子の進行波を発生
させると同時に、定在波と進行波を発生する振動子を切
り換えることで、相対運動部材を逆転させたり回転速度
を切り換えて駆動することが容易にできる。
In addition, since two oscillators are provided, one oscillator generates a standing wave and the other oscillator generates a traveling wave, and at the same time, generates an oscillator that generates a standing wave and a traveling wave. By switching, it is possible to easily reverse the relative motion member or switch the rotational speed to drive.

(実施例) 第1図は本発明による振動モータの構造の一実施例を
示した断面図である。
(Embodiment) FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of the structure of the vibration motor according to the present invention.

第1図において、1はケース、2はケース1をビス1
0,11により固定するベース板であり、ケース1内に圧縮
コイルばね、電気機械変換素子としての圧電体5を接着
した弾性体4、中心に出力軸3aを一体に設けた相対運動
部材としてのロータ3、圧電体7を接着した弾性体6、
弾性体6及び圧電体7の振動を緩衝する緩衝支持部材8
の順に組み込まれ、ロータ3の出力軸3aはケース1に設
けた軸受部1aに嵌め込まれている。また圧縮コイルばね
9はロータ3に対し圧電体5を接着した弾性体4及び圧
電体7を接着した弾性体6を圧接させるためのばね力を
発生している。
In FIG. 1, 1 is a case, 2 is a case 1 and a screw 1
A base plate fixed by 0 and 11, a compression coil spring, an elastic body 4 to which a piezoelectric body 5 as an electromechanical transducer is adhered in a case 1, and a relative motion member integrally provided with an output shaft 3a at the center. A rotor 3, an elastic body 6 to which a piezoelectric body 7 is bonded,
Buffer support member 8 that buffers vibration of elastic body 6 and piezoelectric body 7
And the output shaft 3a of the rotor 3 is fitted into a bearing 1a provided in the case 1. The compression coil spring 9 generates a spring force for pressing the elastic body 4 having the piezoelectric body 5 bonded thereto and the elastic body 6 having the piezoelectric body 7 bonded thereto against the rotor 3.

第2図は第1図に示した圧電体5,7、弾性体4,6及びロ
ータを展開した斜視図と共にその駆動回路を示す。
FIG. 2 shows a drive circuit for the piezoelectric bodies 5, 7, elastic bodies 4, 6 and the rotor shown in FIG.

圧電体5は圧電素子5a及び5bから成り、圧電素子5a及
び5bは弾性体4の振動波の波長λの2分の1ピッチに分
極形成されている。
The piezoelectric element 5 is composed of piezoelectric elements 5a and 5b, and the piezoelectric elements 5a and 5b are polarized at a half pitch of the wavelength λ of the vibration wave of the elastic body 4.

圧電体5aは交流電源12の一方に接続され、また圧電素
子5bはスイッチ15及び90゜位相器13を介して同じく交流
電源12の一方に接続されている。
The piezoelectric body 5a is connected to one side of the AC power supply 12, and the piezoelectric element 5b is also connected to one side of the AC power supply 12 via the switch 15 and the 90 ° phase shifter 13.

更に、圧電素子5の他極部5cは交流電源12の他方に接
続される。
Further, the other pole 5c of the piezoelectric element 5 is connected to the other side of the AC power supply 12.

このような圧電体5の駆動回路においてスイッチ15を
閉じたときには圧電素子5aに交流電源12の周波数信号が
直接印加されると共に、90゜位相器13により+90゜又は
−90゜の位相差をもった周波数信号がスイッチ15を介し
て圧電素子5bに印加されるため、圧電体5により弾性体
4に進行波が発生し、ロータ3を回転駆動するようにな
る。
When the switch 15 is closed in such a driving circuit of the piezoelectric body 5, the frequency signal of the AC power supply 12 is directly applied to the piezoelectric element 5a, and the 90 ° phase shifter 13 has a phase difference of + 90 ° or −90 °. Since the applied frequency signal is applied to the piezoelectric element 5b via the switch 15, a traveling wave is generated in the elastic body 4 by the piezoelectric body 5, and the rotor 3 is driven to rotate.

一方、スイッチ15を開いたときには圧電素子5aだけに
交流電源12の周波数信号が印加されるため、弾性体4に
は定在波が発生し、この定在波の発生で弾性体4とロー
タ3との摩擦力を軽減させた状態でロータ3を保持する
ようになる。
On the other hand, when the switch 15 is opened, the frequency signal of the AC power supply 12 is applied only to the piezoelectric element 5a, so that a standing wave is generated in the elastic body 4, and the generation of the standing wave causes the elastic body 4 and the rotor 3 to rotate. The rotor 3 is held in a state where the frictional force with the rotor 3 is reduced.

圧電体7及び弾性体6は圧電体5及び弾性体4と同じ
構造をもっており、圧電体7の圧電素子7aは交流電源12
の一方に接続され、また圧電素子7bはスイッチ16と90゜
位相器13を介して同じく交流電源12の一方に接続され、
更に圧電体7の他極部7cは交流電源の他方に抵抗14を介
して接続されている。
The piezoelectric body 7 and the elastic body 6 have the same structure as the piezoelectric body 5 and the elastic body 4, and the piezoelectric element 7a of the piezoelectric body 7
The piezoelectric element 7b is also connected to one of the AC power supplies 12 via a switch 16 and a 90 ° phase shifter 13,
Further, the other pole portion 7c of the piezoelectric body 7 is connected to the other side of the AC power supply via a resistor 14.

このような圧電体7の駆動回路にあっては、スイッチ
16を閉じたときに圧電体7により弾性体6に進行波が発
生し、ロータ3を回転駆動するようになる。一方、スイ
ッチ16を開いたときには圧電素子7aだけに交流電源の周
波数信号が印加されるため弾性体6には定在波が発生
し、弾性体6とロータ3との摩擦力を軽減させた状態で
弾性体6はロータ3を保持することになる。
In such a drive circuit of the piezoelectric body 7, a switch
When the valve 16 is closed, a traveling wave is generated in the elastic body 6 by the piezoelectric body 7, and the rotor 3 is driven to rotate. On the other hand, when the switch 16 is opened, the frequency signal of the AC power supply is applied only to the piezoelectric element 7a, so that a standing wave is generated in the elastic body 6 and the frictional force between the elastic body 6 and the rotor 3 is reduced. Thus, the elastic body 6 holds the rotor 3.

ここで圧電体5及び圧電体7は同一の交流電源12に接
続されているが、圧電体7側には抵抗14が接続されてい
るため、圧電体5に印加される電圧と圧電体7に印加さ
れる電圧は異ったものとなり、抵抗14を備えた圧電体7
側の電圧が低くなる。
Here, the piezoelectric body 5 and the piezoelectric body 7 are connected to the same AC power supply 12, but since the resistor 14 is connected to the piezoelectric body 7 side, the voltage applied to the piezoelectric body 5 and the voltage applied to the piezoelectric body 7 The applied voltage is different and the piezoelectric body 7 having the resistor 14
Side voltage decreases.

次に第1,2図の実施例の動作を説明する。 Next, the operation of the embodiment shown in FIGS. 1 and 2 will be described.

今、圧電体5側のスイッチ15を閉じると共に圧電体7
側のスイッチ16を開いたとすると、圧電体5の圧電素子
5aに交流電源12により直接周波数信号が印加されると共
に圧電素子5bには90゜位相器13で+90゜または−9゜の
位相差をもった周波数信号が印加されるため、弾性体4
には進行波が発生する。このように弾性体4に進行波を
発生させた場合、弾性体4のロータ3に接する1つの質
点は楕円運動をおこし、これによってロータ3が回転す
るようになる。
Now, the switch 15 on the piezoelectric body 5 side is closed and the piezoelectric body 7 is closed.
If the switch 16 on the side is opened, the piezoelectric element of the piezoelectric body 5
The frequency signal having a phase difference of + 90 ° or -9 ° is applied to the piezoelectric element 5b by the 90 ° phase shifter 13 and the frequency signal is directly applied to the piezoelectric element 5b by the AC power supply 12 to the elastic body 4a.
Generates a traveling wave. When a traveling wave is generated in the elastic body 4 in this manner, one mass point of the elastic body 4 in contact with the rotor 3 performs an elliptic motion, whereby the rotor 3 rotates.

このとき弾性体6にはスイッチ16が開かれていること
から圧電体7の圧電素子7aのみに対する交流電源12から
の周波数信号の印加で定在波が発生しており、この定在
波の発生で弾性体6とロータ3との摩擦力を軽減させた
支持状態が作り出され、弾性体4に発生した進行波によ
ってロータ3は低摩擦で回転駆動されるようになる。
At this time, since the switch 16 is opened in the elastic body 6, a standing wave is generated by application of a frequency signal from the AC power supply 12 to only the piezoelectric element 7a of the piezoelectric body 7, and this standing wave is generated. Thus, a supporting state in which the frictional force between the elastic body 6 and the rotor 3 is reduced is created, and the rotor 3 is driven to rotate with low friction by the traveling wave generated in the elastic body 4.

一方、圧電体に交流電源12から電圧を印加して弾性体
に進行波を発生したときの弾性体における1つの質点の
楕円運動の大きさは、印加される電圧に比例して変化
し、その結果、楕円運動の大きさに比例してロータの回
転速度が変化するようになる。
On the other hand, the magnitude of the elliptical motion of one mass point in the elastic body when a traveling wave is generated in the elastic body by applying a voltage from the AC power supply 12 to the piezoelectric body changes in proportion to the applied voltage. As a result, the rotation speed of the rotor changes in proportion to the magnitude of the elliptical motion.

従って第2図に示す駆動回路において、スイッチ15を
閉じて圧電体5により弾性体4に進行波を発生させ、ス
イッチ16を開くことで圧電体7により弾性体6に定在波
を発生したときのロータ3の回転速度に対し、逆にスイ
ッチ16を閉じると共にスイッ15を開いて弾性体4に定在
波を弾性体6に進行波を発生させたときのロータ3の回
転速度は、弾性体6に進行波を発生させるときの電圧が
抵抗14によって低くなるため、ロータ3の回転速度を低
速に切換えることができる。
Therefore, in the driving circuit shown in FIG. 2, when the switch 15 is closed, a traveling wave is generated in the elastic body 4 by the piezoelectric body 5, and when the switch 16 is opened, a standing wave is generated in the elastic body 6 by the piezoelectric body 7. Conversely, when the switch 16 is closed and the switch 15 is opened to generate a standing wave in the elastic body 4 and a traveling wave in the elastic body 6, the rotational speed of the rotor 3 is Since the voltage at which the traveling wave is generated at 6 is reduced by the resistor 14, the rotation speed of the rotor 3 can be switched to a low speed.

即ち、スイッチ15と16のオン・オフ状態を切換えるだ
けで1つのロータ3を2種類の速度で駆動することがで
きる。
That is, one rotor 3 can be driven at two different speeds only by switching the ON / OFF states of the switches 15 and 16.

また弾性体4と6に発生する進行波の方向が相対的に
逆方向となるように駆動回路に接続すれば、ロータ3を
正逆回転することもできる。この正逆回転の場合には抵
抗14は使用目的により廃止するようにしてもよい。
Also, if the rotor 3 is connected to a drive circuit such that the traveling waves generated in the elastic bodies 4 and 6 are relatively opposite in direction, the rotor 3 can also be rotated forward and backward. In the case of the forward / reverse rotation, the resistor 14 may be eliminated depending on the purpose of use.

第3図は本発明の他の駆動回路を弾性体4,6、圧電体
5,7及びロータ3を展開した斜視図と共に示す。
FIG. 3 shows another driving circuit according to the present invention, which comprises elastic bodies 4, 6 and piezoelectric bodies.
5 and 7 and the rotor 3 are shown together with a developed perspective view.

この第3図の実施例にあっては、圧電体5と7のそれ
ぞれについて独立に駆動回路を設けており、圧電体5に
は交流電源17、90゜位相器18、及びスイッチ19で成る駆
動回路が接続され、一方、圧電体7には交流電源20、90
゜位相器21及びスイッチ22で成る駆動回路が接続されて
いる。また交流電源17と20の周波数は異なった周波数と
している。
In the embodiment shown in FIG. 3, a driving circuit is provided independently for each of the piezoelectric bodies 5 and 7, and the piezoelectric body 5 includes a driving circuit comprising an AC power source 17, a 90 ° phase shifter 18, and a switch 19. The circuit is connected, while the piezoelectric body 7 has an AC power supply 20, 90
駆 動 A drive circuit including the phase shifter 21 and the switch 22 is connected. The frequencies of the AC power supplies 17 and 20 are different from each other.

ここで、圧電体に電圧を印加し、弾性体に進行波を発
生したときに、弾性体の1つの質点は楕円運動をおこ
し、ある一定時間内に於けるこの楕円運動の回数は印加
電圧の周波数に依存することとなり、楕円運動の回数に
比例してロータの回転速度も変化する。
Here, when a voltage is applied to the piezoelectric body and a traveling wave is generated in the elastic body, one mass point of the elastic body performs an elliptical motion, and the number of times of the elliptical motion within a certain time is determined by the applied voltage. It depends on the frequency, and the rotation speed of the rotor also changes in proportion to the number of elliptical movements.

従って第3図の実施例においては、スイッチ19と22の
切換えにより一方の弾性体に定在波を発生させ、他方の
弾性体に進行波を発生させることにより、1つのロータ
3を交流電源17と21の周波数で定まる2種類の速度で回
転駆動することができる。
Therefore, in the embodiment shown in FIG. 3, by switching the switches 19 and 22, a standing wave is generated in one elastic body and a traveling wave is generated in the other elastic body, so that one rotor 3 is connected to the AC power supply 17. And 21 can be driven to rotate at two different speeds.

更に弾性体4と6に発生する進行波の進行方向を相対
的に逆方向となるように駆動回路を接続すればロータ3
を正逆転することもできる。
Further, if a driving circuit is connected so that the traveling directions of traveling waves generated in the elastic bodies 4 and 6 are relatively opposite, the rotor 3
Can be reversed.

尚、上記の実施例にあっては圧電体5,7として、圧電
素子5a,5b及び他極部5c、同様に圧電素子7a,7b及び他極
部7cを環状に一条に形成した場合を例にとるものであっ
たが、圧電素子及び他極部を2条若しくは3条に分極形
成して高い駆動トルクを発生するようにしてもよい。
In the above-described embodiment, the piezoelectric elements 5 and 7 are formed by forming the piezoelectric elements 5a and 5b and the other pole part 5c, and similarly, the piezoelectric elements 7a and 7b and the other pole part 7c in a ring. However, a high driving torque may be generated by forming the piezoelectric element and the other pole in two or three rows.

(発明の効果) 以上説明してきたように本発明によれば、1つの相対
運動部材を2つの振動子で挟み込んだ構造とし、一方の
振動子に定在波を発生すると共に他方の振動子に進行波
を発生するようにしたため、ベアリングによる軸受け構
造を必要とすることなく相対運動部材を低摩擦で回転自
在に支持することができ、構造の簡単な振動モータを得
ることができる。
(Effects of the Invention) As described above, according to the present invention, a structure in which one relative moving member is sandwiched between two vibrators, a standing wave is generated in one vibrator, and the other vibrator is generated in the other vibrator. Since the traveling wave is generated, the relative motion member can be rotatably supported with low friction without requiring a bearing structure using a bearing, and a vibration motor having a simple structure can be obtained.

また振動子が2つ設けられていることから、極めて簡
単な駆動回路により相対運動部材の駆動速度を変化させ
たり回転方向を正逆転させることが容易にできる振動モ
ータを得ることができる。
In addition, since two vibrators are provided, it is possible to obtain a vibration motor that can easily change the driving speed of the relative motion member and rotate the rotation direction in the forward and reverse directions with a very simple driving circuit.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明による振動モータ構造の一実施例を示し
た断面図、第2図は振動モータの振動子と相対運動部材
の展開図と共に本発明による駆動回路の一実施例を示し
た説明図、第3図は本発明の駆動回路の他の実施例を示
した説明図である。 1:ケース 2:ベース板 3:ロータ 3a:出力軸 4,6:弾性体 5,7:圧電体 5a,5b,7a,7b:圧電素子 5c,7c:他極部 8:緩衝部材 9:圧縮コイルばね 10,11:ビス 12,17,21:交流電源 13,18,21:90゜位相器 14:抵抗 15,16,19,22:スイッチ
FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of a vibration motor structure according to the present invention, and FIG. 2 is an explanatory view showing an embodiment of a drive circuit according to the present invention together with a development view of a vibrator and a relative motion member of the vibration motor. FIG. 3 is an explanatory diagram showing another embodiment of the drive circuit of the present invention. 1: Case 2: Base plate 3: Rotor 3a: Output shaft 4, 6: Elastic body 5, 7: Piezoelectric body 5a, 5b, 7a, 7b: Piezoelectric element 5c, 7c: Other pole part 8: Buffer member 9: Compression Coil spring 10, 11: Screw 12, 17, 21: AC power supply 13, 18, 21: 90 ° Phase shifter 14: Resistance 15, 16, 19, 22: Switch

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】第1面と、該第1面とは異なる第2面とを
有する相対運動部材と、 表裏面を有する弾性体と該弾性体の裏面に接着された電
気機械変換素子とからなり、前記相対運動部材の第1面
と前記弾性体の表面とが圧接する第1振動子と、 表裏面を有する弾性体と該弾性体の裏面に接着された電
気機械変換素子とからなり、前記相対運動部材の第2面
と前記弾性体の表面とが圧接する第2振動子とを有し、
前記第1振動子の弾性体の表面には進行波が発生し、前
記第2振動子の弾性体の表面には定在波が発生すること
を特徴とする振動モータ。
1. A relative movement member having a first surface, a second surface different from the first surface, an elastic body having front and back surfaces, and an electromechanical transducer bonded to the back surface of the elastic body. A first vibrator in which the first surface of the relative motion member and the surface of the elastic body are pressed against each other, an elastic body having front and back surfaces, and an electromechanical transducer bonded to the back surface of the elastic body; A second vibrator in which a second surface of the relative motion member and a surface of the elastic body are pressed against each other;
A vibration motor, wherein a traveling wave is generated on a surface of the elastic body of the first vibrator, and a standing wave is generated on a surface of the elastic body of the second vibrator.
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