JPS6059618A - ピックアップ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は半導体素子ペレットのような微／Ｉ＼物品を捨
い上げるのに適したピックアップ装置器；関するもので
ある。

〔背景技術〕

半導体装置の製造工程の一つし；、半導体ウェーハに形
成された半導体素子ペレットを個々し；切断後、これを
リードフレームやセラミックベース等のパッケージ部材
にまで１個ずつ搬送し力１つこれを固着させる所謂ペレ
ットボンディング工程力１ある。この工程では、例えば
ダイシングによって切断された素子ペレットの載置箇所
と、ノ（ツケージ部材ｖ装置箇所との間で往復移動可能
なコレットを設け、このコレットにより素子ペレットを
吸着保持（ビックアツカしかつこれをパッケージ部材に
迄搬送してパッケージ部材に圧接固着する方法がとられ
る。

ところで、この種の装置では、前述のコレットに角錐形
コレットを使用することが多いため、コレットによるペ
レットのピックアップを好適に行なうにはコレットとペ
レットの位置合せを正確に行なう必要がある。このため
、ペレットは支持具上に正しく貼り付けなければならず
、貼り付けた後もＸ方向、Ｙ方向に微小に位置調整しな
ければならない。この位置にずれが生じているとペレッ
トの稜や角隅にコレラＩ−が当たり、ペレット欠けが発
生される。

したがって、ペレットの貼り付は及び位置調整の作業を
必要とするがそれらの作業は極めて複雑かつ面倒であり
作業効率が悪い上に、両者のθ方向の位置合せを良好に
行なう方法がなく、ペレット角隅部の欠けを確実に防止
することは困難である。なお、先端の平坦なコレットで
はペレットの表面に当接してこれを吸着するため多少の
位置ずれが生じてもペレット欠は等の不具合は生じない
が、微細パターンのペレットでは表面にコレットが接触
されることは好ましくなく、この種のコレットを使用す
ることはできない。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、コレラｌ−に対するペレットのＸ、Ｙ
、　θ方向の位置合せを高精度にしかつ自動的に行なう
ことができ、これにより微細パターンのペレットのピッ
クアップを何の不具合も生じることなく行なうことがで
きるピックアップ装置を提供することにある。

本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
本明＃書の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう。

〔発明の概要〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

すなわち、ペレットを認識してその平面位置を検出する
手段と、ペレットを支持しかつその平面位置を変化可能
な支持テーブルと、前記検出手段の出力にもとづいて支
持テーブル又はコレットの少なくとも一方の平面位置や
平面方向を変化制御する手段とを備えることにより、コ
レットとペレットとの位置合せを高精度にかつ全自動的
に行なうことができ、これによりペレットのピックアッ
プの高能率化を図ると共にペレットの欠は等を確実に防
止することができるものである。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例であるピックアップ装置の全
体構成図であり、１は被ピックアップ部材としての半導
体素子ペレット、つまりダイシングによって複数個の方
形ペレット２に切断された半導体ウェーハである。これ
ら複数個のペレット２は治具３に貼着されてダイシング
された状態のまま、平面ｘ、ｙ、　θ方向に移動可能な
支持チーてル４上に載置されており、支持テーブル４の
駆動機４！Ｉ５によって支持テーブル４と共にｘ、ｙ。

θ方向に変化移動される。また、支持テーブル４の一側
には先端にコレット６を固設したシリンダ機構７を配置
し、このコレット６を前記支持テーブル４と図外のパッ
ケージステーションとの間で往復移動ないし上下動でき
るようにしている。コレット６にはペレット２に見合っ
たサイズの角錐コレラ１−を使用し、ペレットを真空吸
引力によってピックアップできるようになっている。

一方、前記支持テーブル４の」一方にはＩＴＶカメラ８
を配置しており、各ペレッ１〜２を第２図のように拡大
撮像できるようにしている。そして、このカメラ８には
ペレット２の角隅や辺等をパターン認識法によって位置
認識し、かつこれからペレット２のＸ、Ｙ、　θ方向の
位置を検出する位置検出手段９を接続しており、更に、
この位置検出手段９には、前記検出結果に基づいて前記
駆動機構５を制御し、これから支持テーブル４をＸ、Ｙ
。

０方向に移動させる制御手段１０を接続している。

以上の構成によれば、支持テーブル４上のペレット２を
ＩＴＶカメラ８にて撮偉し、この撮像情報に基づいて位
置検出手段９においてペレット２のｘ、ｙ、θ方向を検
出する。更にこの位置検出結果から制御手段１０は駆動
機構５を制御して支持テーブル４を移動させ、先ず支持
テーブル４をθ方向に移動して第２図のようにペレット
２を所定のθ方向に設定する。次いで、シーケンス的に
Ｘ、Ｙ方向に移動させることにより、各ペレット２は順
序的にコレラｌ−６に正対する位置に移動される。した
がって、シリンダ機構７を作動してコレット６をペレッ
１−２上に移動すれば第３図のように角錐コレット６の
内斜面にペレット２の稜が正しく当接し、下方からの突
き出し杆１１の作用と真空吸引力によってペレット２は
ピックアップされることになる。これにより、ペレット
２の稜や角隅の欠けが防止されかつ自動的にピックアッ
プされる。

なお、ペレット２をＯ方向に移動させる代りにコレット
６のθ方向を変化させるようにしてもよい。例えば、第
４図に示すようにシリンダ機構７の先端アーム７ａにコ
レット６を軸受け１２によって軸転可能に支持し、また
別の箇所にモータ１３を固設する。その上で、コレット
６とモータ１３とをベルト手段１４にて連結し、モータ
１３によってコレット６を軸転できるようにする。モー
タ１３には位置検出手段９や制御手段１ｏが接続され、
検出されたペレットの０方向に応じてコレット６のＯ方
向が変化制御され、コレラ１〜６とペレットとは常時正
対されて好適なピックアップを行なうことになる。Ｘ方
向、Ｙ方向は前例と同じである。この構成では、軽量な
コレット６をＯ動作させるので迅速な動作を得ることが
できる。

〔効果Ｊ （１）被ピックアップ部材の０方向に応じて被ピックア
ップ部材とピックアップ部材との０方向位置を変化制御
できるように構成しているので、被ピックアップ部材と
ピックアップ部材とを常に正対位置に設定でき、良好な
ピックアップを行なうことができる。

（２）被ピックアップ部材としてのベレンｌ〜と、ピッ
クアップ部材としてのコレットの０方向を常に正対でき
、かっＸ、Ｙ方向にも正対できるので、ペレットの角隅
はもとより稜の欠けを確実に防止できかつ良好なピック
アップを可能とする。

（３）ペレットのｘ、ｙ、　θ方向位置を検出し。

この検出値に基づいてペレッ１−とコレットの相対位置
を自動的に変化制御しているので、作業者による位置合
せは不要になり、位置合せ作業を迅速にかつ高精度に行
ないピックアップ動作の高速化を達成できる。

（４）ペレットの欠けを防止できるので、ペレットない
し半導体装置の歩留りを向上できる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例にもとづき
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。たとえば、支持テーブ
ルの駆動機構、コレットの軸転機構等には種々の機構が
利用できる。

〔利用分野〕

以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である半導体素子ペレット
のピックアップ装置として適用した場合について説明し
たが、それに限定されるものではなく、小部品のピック
アップ技術の全てに適用できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の斜視構成図、第２図はペレ
ットの位置検出状態を示す拡大図、第３図はピックアッ
プ状態の断面図、 第４図は変形例の断面図である。 ２・・・ペレット（被ピックアップ部材）、４・・・支
持テーブル、６・−・コレラｌ−（ピックアップ部材）
、７・・・シリンダ手段、８・・・ＩＴＶカメラ、９・
・・位置検出手段、１０・・・制御手段、１３・・千−
夕、１４・・ベルト手段。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ペレット等の被ピックアップ部材をコレット等のピ
   ックアップ部材にてピックアップする装置であって、前
   記被ピックアップ部材を認識してその平面位置を検出す
   る位置検出手段と、この位置検出手段の出力にもとづい
   て前記被ピックアップ部材とピックアップ部材の少なく
   とも一方の平面方向位置を変化制御して他方に正対させ
   る制御手段とを備えることを特徴とするピックアップ装
   置。 ２、被ピックアップ部材を平面移動可能な支持テーブル
   上に載置し、制御手段により少なくとも平面θ方向に被
   ピックアップ部材を位置変化できるように構成してなる
   特許請求の範囲第１項記載のピックアップ装置。 ３、ピックアップ部材を軸転可能とし、軸転によりその
   平面θ方向を変化できるようにしてなる特許請求の範囲
   第１項記載のピックアップ装置。 ４、ピックアップ部材を被ピックアップ部材の角隅又は
   稜線で接触するよう構成してなる特許請求の範囲第１項
   から第３項の１１ずれかシ；記載したピックアップ装置
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