JPS6057240A - 液中異物測定装置 - Google Patents
液中異物測定装置Info
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- JPS6057240A JPS6057240A JP16497483A JP16497483A JPS6057240A JP S6057240 A JPS6057240 A JP S6057240A JP 16497483 A JP16497483 A JP 16497483A JP 16497483 A JP16497483 A JP 16497483A JP S6057240 A JPS6057240 A JP S6057240A
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- Japan
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- light
- liquid
- foreign matter
- introduction tube
- polarizer
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/49—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid
- G01N21/53—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid within a flowing fluid, e.g. smoke
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- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は、液中異物測定技術に関するもので、特に、光
学的手段を用いることにより、ウェハー等を表面処理す
る液中の塵などの異物を定量的かつ正確に測定できる液
中異物測定装置に関する。
学的手段を用いることにより、ウェハー等を表面処理す
る液中の塵などの異物を定量的かつ正確に測定できる液
中異物測定装置に関する。
半導体装置の製造においては、一般にウェハー等の表面
処理を行なっている。その場合、ウェハー表面に異物が
付着していると歩留の低下をきたすので、いかにウェハ
ー表面への異物の付着を防ぐかが問題であった。そのた
め、本発明者等は、ウェハー等の表面処理液中の異物測
定技術について、第１図に図示した技術を開発した。上
記異物測定技術について第１図を用いて説明すれば、次
のとおりである。すなわち、レーザ元を発生する光発生
器１と、受光した光を電気信号に変える光電変換器２と
、光電変換器２の出力信号を処理し、測定結果を得るた
めの計数器７と、光発生器１と光電変換器２の間に置か
れた透光性の液体導入管３と、その液体導入管３に液を
流すためのポンプ４から構成されている。
処理を行なっている。その場合、ウェハー表面に異物が
付着していると歩留の低下をきたすので、いかにウェハ
ー表面への異物の付着を防ぐかが問題であった。そのた
め、本発明者等は、ウェハー等の表面処理液中の異物測
定技術について、第１図に図示した技術を開発した。上
記異物測定技術について第１図を用いて説明すれば、次
のとおりである。すなわち、レーザ元を発生する光発生
器１と、受光した光を電気信号に変える光電変換器２と
、光電変換器２の出力信号を処理し、測定結果を得るた
めの計数器７と、光発生器１と光電変換器２の間に置か
れた透光性の液体導入管３と、その液体導入管３に液を
流すためのポンプ４から構成されている。
次に、この構成をもつ液中異物測定装置について具体的
に説明する。光発生器１から照射されたレーザ元１００
は液体導入管３の壁面に到達し、その元の一部は液体導
入管３０表面で反射し、その他の光は液体導入管壁を通
過し℃管内の液中へ進む。その管内の液中の異物に光が
当たると異物表面において乱反射を起こす。その乱反射
光１０２と液体導入管３０表面で反射した元１（）１が
光電変換器２で受光されて電気信号に変換さ４１、その
電気信号を計数器７で処理して異物の定量を行なう。
に説明する。光発生器１から照射されたレーザ元１００
は液体導入管３の壁面に到達し、その元の一部は液体導
入管３０表面で反射し、その他の光は液体導入管壁を通
過し℃管内の液中へ進む。その管内の液中の異物に光が
当たると異物表面において乱反射を起こす。その乱反射
光１０２と液体導入管３０表面で反射した元１（）１が
光電変換器２で受光されて電気信号に変換さ４１、その
電気信号を計数器７で処理して異物の定量を行なう。
しかしながら、このような液中異物測定装置においては
、次のような問題があることを本発明者は見い出した。
、次のような問題があることを本発明者は見い出した。
第１に、前述したように液体導入管３０表面で反射した
光１０１とその管内の液中の異物で乱反射した元１０２
がともに元を変換器２に受光源れており、そのため液体
導入管３の表面で反射した光１０１は異物表面から乱反
射した光として計数されてしまい、正確な粒子数の測定
ができないという欠点があった。
光１０１とその管内の液中の異物で乱反射した元１０２
がともに元を変換器２に受光源れており、そのため液体
導入管３の表面で反射した光１０１は異物表面から乱反
射した光として計数されてしまい、正確な粒子数の測定
ができないという欠点があった。
また第２に、異物を測定すべき液内にその液の製造中、
液の移し変えの際、液の供給源から液体導入管３までの
間などで気泡が生じており、測定時にその気泡表面で乱
反射された光が異物から乱反射された元と一体になって
光電変換器２に受うｔされ、受光された光の全てが異物
の表面から乱反射した光として計数されていた。そのた
め正確な異物の定量ができないという欠点があった。
液の移し変えの際、液の供給源から液体導入管３までの
間などで気泡が生じており、測定時にその気泡表面で乱
反射された光が異物から乱反射された元と一体になって
光電変換器２に受うｔされ、受光された光の全てが異物
の表面から乱反射した光として計数されていた。そのた
め正確な異物の定量ができないという欠点があった。
それゆえ、本発明の目的は液に含まれている異物を正確
かつ定量的に測定できる液中異物測定技術を提供するも
のである。
かつ定量的に測定できる液中異物測定技術を提供するも
のである。
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
すなわち、光発生器と液体導入管の間及び液体導入管と
光電変換器２の間に偏光器を設置することにより、液体
導入管表面で反射した反射光を取り除き、液中の異物の
みから反射する乱反射うｔを検知して正確な異物の粒子
数を測定できるようにしたものである。
光電変換器２の間に偏光器を設置することにより、液体
導入管表面で反射した反射光を取り除き、液中の異物の
みから反射する乱反射うｔを検知して正確な異物の粒子
数を測定できるようにしたものである。
また、液体導入管の前段に気泡除去器を設置することに
より、液体導入管内の気泡を除去して気泡から生じる乱
反射をな（すことにより異物のみから反射する乱反射光
を検知して、正確な異物の粒子数を測定できるようにす
るものである。
より、液体導入管内の気泡を除去して気泡から生じる乱
反射をな（すことにより異物のみから反射する乱反射光
を検知して、正確な異物の粒子数を測定できるようにす
るものである。
以下、本発明を図を用いて具体的に説明する。
〔実施例１〕
第２図は本発明の一実施例である液中異物測定装置の斜
視図である。
視図である。
第２図において、１は光発生器たとえばレーザ光発生器
、２はホトトランジスタなどの光電変換器、７は光電変
換器からの出力信号に基づいて処理する計数器、３は光
発生器１と光電変換器３０間に置かれている液体導入管
、４は液体導入管に液を流すためのポンプ、１５はたと
えば液中の異物を除去する浄化器である。５は特定の−
っの撮動面を有する元のみを通過式せる第１の偏光器、
６は前記特定の振動面を有する元を通さない第２の偏光
器である。この第１及び第２の偏光器は偏光プリズム、
人造偏光板などが用いられる。
、２はホトトランジスタなどの光電変換器、７は光電変
換器からの出力信号に基づいて処理する計数器、３は光
発生器１と光電変換器３０間に置かれている液体導入管
、４は液体導入管に液を流すためのポンプ、１５はたと
えば液中の異物を除去する浄化器である。５は特定の−
っの撮動面を有する元のみを通過式せる第１の偏光器、
６は前記特定の振動面を有する元を通さない第２の偏光
器である。この第１及び第２の偏光器は偏光プリズム、
人造偏光板などが用いられる。
次に第２図及び第３図を用いて液中異物測定装置の動作
を説明すれば次のとおりである。
を説明すれば次のとおりである。
元発生器１から照射されたレーザ光１００は第１の偏光
器５に当たる。この偏光器５は、ある特定の振動面を有
する光を通す特性を有するものであって、その通過した
光は、特定の撮動面を有する光１０３のみとなる。さら
に前記光１０３の一部は液体導入管３０表面で反射し、
その反射光は、照射面である液体導入管３０表面に平行
な振動面を有する光、１０４となり、一方、前記光１０
３の大部分は液体導入管３内に入射する。その入射光１
０７は、液体導入管３表面に垂直な振動面を有する元と
なる。この入射光１０７は液体導入管３内の液中の異物
９に当たる。この異物９表面ば複射光１０７の入射角は
一定のものとはならず、入射光１０７が反射するとき乱
反射となり、自然光（レーザ発生器から発生した光と相
似している光）となる。つまり、液体導入管３０表面で
反射した光１０４は、照射した面に平行な振動面を有す
る光であるのに対し、異物９表面で乱反射した光１０５
は、穐々雑多な振動面を有している光である。このため
、光電変換器２と液体導入管３０間に、液体導入管３０
表面で反射した光１０４を遮断する第２の偏光器６を設
置したことにより、液体導入管３０表面で反射した光１
０４は遮断さ八、異物９表面で乱反射した光１０５は通
過して光電変換器２によっ℃受光式れる。したがって、
異物９表面から乱反射した光のみを測定できる。
器５に当たる。この偏光器５は、ある特定の振動面を有
する光を通す特性を有するものであって、その通過した
光は、特定の撮動面を有する光１０３のみとなる。さら
に前記光１０３の一部は液体導入管３０表面で反射し、
その反射光は、照射面である液体導入管３０表面に平行
な振動面を有する光、１０４となり、一方、前記光１０
３の大部分は液体導入管３内に入射する。その入射光１
０７は、液体導入管３表面に垂直な振動面を有する元と
なる。この入射光１０７は液体導入管３内の液中の異物
９に当たる。この異物９表面ば複射光１０７の入射角は
一定のものとはならず、入射光１０７が反射するとき乱
反射となり、自然光（レーザ発生器から発生した光と相
似している光）となる。つまり、液体導入管３０表面で
反射した光１０４は、照射した面に平行な振動面を有す
る光であるのに対し、異物９表面で乱反射した光１０５
は、穐々雑多な振動面を有している光である。このため
、光電変換器２と液体導入管３０間に、液体導入管３０
表面で反射した光１０４を遮断する第２の偏光器６を設
置したことにより、液体導入管３０表面で反射した光１
０４は遮断さ八、異物９表面で乱反射した光１０５は通
過して光電変換器２によっ℃受光式れる。したがって、
異物９表面から乱反射した光のみを測定できる。
また、本発明において異物９表面より乱反射した元が四
方六方に散乱すること、偏光器５及び６を入れたことな
どにより、光電変換器２に入る光が弱い時は、第４図に
示すように液体導入管３と第２の偏光器６間にシリンド
リカルレンズ等の集光器１０を設けることにより、光量
の減少を防止することができる。
方六方に散乱すること、偏光器５及び６を入れたことな
どにより、光電変換器２に入る光が弱い時は、第４図に
示すように液体導入管３と第２の偏光器６間にシリンド
リカルレンズ等の集光器１０を設けることにより、光量
の減少を防止することができる。
〔実施例２〕
第５図は本発明の他の実施例で、液中異物測定装置を備
えたウェハー処理装置の概略図を示す。
えたウェハー処理装置の概略図を示す。
第５図にかいて、１はレーザ光を発生するレーザ発生器
、２はホトトランジスタなどの元！変換器、３は元発生
器１と光を変換器２０間に置かれた液体導入管、４は液
体導入管に液を流すだめのポンプ、１２は液体導入管前
段に設けた気泡除去器、１３及び１４は気泡除去器１２
に設けだ液注入口および原注出口、１５は液中の異物を
除去する浄化器、１６は気泡除去槽内の気体を抜くだめ
の真空ポンプ等の減圧器、１１は液供給源、８はウェハ
ー等の処理装置、１７は液が汚れている時に処理装置８
への液の供給を止めて浄化器１５へ送り、液が清浄にな
った時に液を処理装［８へ切り換えることができるバル
ブ等の切換器である。
、２はホトトランジスタなどの元！変換器、３は元発生
器１と光を変換器２０間に置かれた液体導入管、４は液
体導入管に液を流すだめのポンプ、１２は液体導入管前
段に設けた気泡除去器、１３及び１４は気泡除去器１２
に設けだ液注入口および原注出口、１５は液中の異物を
除去する浄化器、１６は気泡除去槽内の気体を抜くだめ
の真空ポンプ等の減圧器、１１は液供給源、８はウェハ
ー等の処理装置、１７は液が汚れている時に処理装置８
への液の供給を止めて浄化器１５へ送り、液が清浄にな
った時に液を処理装［８へ切り換えることができるバル
ブ等の切換器である。
次にこの動作及び作用を説明する。液供給源１１からの
液はフィルター等の浄化器１５を通り、浄化器１５を通
った液の一部が液注入口１３を介して気泡除去槽１２に
入る。前記除去槽１２内は減圧器１６により減圧状態に
し又おぎ、除去槽内の液中の気泡を除去する。その気泡
が除去をれた液は原注出口１４を介して液体導入管３内
へ達１７、そこで液中の異物を測定する。測定された液
はたとえば浄化器１５にもどすようになっ−（いる。こ
の測定結果に基づいて、液が汚れている場合は切換器１
７を浄化器側にし、また清浄のときは切換器１９を処理
装置８側に切換えるよう１・てなっても・る。
液はフィルター等の浄化器１５を通り、浄化器１５を通
った液の一部が液注入口１３を介して気泡除去槽１２に
入る。前記除去槽１２内は減圧器１６により減圧状態に
し又おぎ、除去槽内の液中の気泡を除去する。その気泡
が除去をれた液は原注出口１４を介して液体導入管３内
へ達１７、そこで液中の異物を測定する。測定された液
はたとえば浄化器１５にもどすようになっ−（いる。こ
の測定結果に基づいて、液が汚れている場合は切換器１
７を浄化器側にし、また清浄のときは切換器１９を処理
装置８側に切換えるよう１・てなっても・る。
σらに気泡除去器１２について詳細に説明イーる。
液注入口１３を介して気泡除去器１２に導入はれた液中
の気泡は、液が原注出口１４に移動する途中で、それ自
身の浮力により液外へ抜は出る。しかし、より微細な気
泡は液外へ抜げにくいので深川いると効果的である。ま
た、液中の気泡を短時間で追い出す方法とし℃気泡除去
器１２Ｖｃ減圧器１６を設けて前記除去器内を減圧し、
液中の気泡の体積を膨張させて浮力を高め、短時間に気
泡を液外に追い出す事も効果的である。また、気泡の浮
力を高める方法として気泡除去器１２をヒータ等の加熱
器で加熱することにより、減圧器１６を設けたものと同
様の効果が得られる。また、気泡除去器１２に超音波振
動を加えても効果はある。
の気泡は、液が原注出口１４に移動する途中で、それ自
身の浮力により液外へ抜は出る。しかし、より微細な気
泡は液外へ抜げにくいので深川いると効果的である。ま
た、液中の気泡を短時間で追い出す方法とし℃気泡除去
器１２Ｖｃ減圧器１６を設けて前記除去器内を減圧し、
液中の気泡の体積を膨張させて浮力を高め、短時間に気
泡を液外に追い出す事も効果的である。また、気泡の浮
力を高める方法として気泡除去器１２をヒータ等の加熱
器で加熱することにより、減圧器１６を設けたものと同
様の効果が得られる。また、気泡除去器１２に超音波振
動を加えても効果はある。
本発明は、測定に使用する光の光路上に複数の偏光器を
設けることにより、測定する液中の異物の表面から乱反
射した光取外の光を除くことにより、異物の測定感度が
大となり、より正確な粒子数や微細な粒子のものまで測
定できる。
設けることにより、測定する液中の異物の表面から乱反
射した光取外の光を除くことにより、異物の測定感度が
大となり、より正確な粒子数や微細な粒子のものまで測
定できる。
また、本発明は気泡除去器を設は壬、測定する液中の気
泡を除去して、気泡表面から乱反射した光を除いた異物
表面からのみ乱反射した元を測定することにより、異物
の測定感度が大となり、より正確な粒子数や微細な粒子
数のものまで測定できる。
泡を除去して、気泡表面から乱反射した光を除いた異物
表面からのみ乱反射した元を測定することにより、異物
の測定感度が大となり、より正確な粒子数や微細な粒子
数のものまで測定できる。
以上の説明では主とし℃液中異物測定装置をウェハーの
処理液の異物測定に適用したが、そすしに限定されるこ
となく、たとえばホトマスク等のエツチング液、拡散用
治具やホトエツチング用治具の洗浄液、また置換液など
の異物測定に使用でき、少なくとも各種処理液中の異物
を測定す４・時に適用できる。
処理液の異物測定に適用したが、そすしに限定されるこ
となく、たとえばホトマスク等のエツチング液、拡散用
治具やホトエツチング用治具の洗浄液、また置換液など
の異物測定に使用でき、少なくとも各種処理液中の異物
を測定す４・時に適用できる。
【図面の簡単な説明】
第１図は、液中異物測定装置を示す斜視図、第２図は、
本発明の一実施例を示す斜視図、第３図は、第２図にお
ける要部拡大上面図、第４図は、集光器を設けた液中異
物測定装置の斜視図、 第５図は、本発明の他の実施例を示す概略図、第６図囚
、（Ｂ）は、気泡除去器を示す斜視図である。 １・・・光発生器、２・・・光電変換器、３・・・液体
導入管、４・・・ポンプ、５，６・・・偏光器、７・・
・計数器、８・・・ウェハー処理装置、９・・・異物、
１０・・・シリンドリカルレンズ、１１・・・液供給源
、１２・・・気泡除去器、１３・・・液注入口、１４・
・・液注出１コ、１５・・・浄化器、１６・・・減圧器
、１７・・・切換器、１８．１９・・・気温除去器、１
００・・・レーザ光、１０１，１０４・・・液体導入管
壁面より反射した元、１０２，１０５・・・異物表面か
ら乱反射した元、１０３・・・特定の振動面を有する光
、１０６・・・第２の偏光器を通過した光、１０７・・
・液体導入管内への入射光。 第 ３ 図 第 ４ 図 第 ５ 図 第６ 図（Ａ） 第６ 図（Ｂ）
本発明の一実施例を示す斜視図、第３図は、第２図にお
ける要部拡大上面図、第４図は、集光器を設けた液中異
物測定装置の斜視図、 第５図は、本発明の他の実施例を示す概略図、第６図囚
、（Ｂ）は、気泡除去器を示す斜視図である。 １・・・光発生器、２・・・光電変換器、３・・・液体
導入管、４・・・ポンプ、５，６・・・偏光器、７・・
・計数器、８・・・ウェハー処理装置、９・・・異物、
１０・・・シリンドリカルレンズ、１１・・・液供給源
、１２・・・気泡除去器、１３・・・液注入口、１４・
・・液注出１コ、１５・・・浄化器、１６・・・減圧器
、１７・・・切換器、１８．１９・・・気温除去器、１
００・・・レーザ光、１０１，１０４・・・液体導入管
壁面より反射した元、１０２，１０５・・・異物表面か
ら乱反射した元、１０３・・・特定の振動面を有する光
、１０６・・・第２の偏光器を通過した光、１０７・・
・液体導入管内への入射光。 第 ３ 図 第 ４ 図 第 ５ 図 第６ 図（Ａ） 第６ 図（Ｂ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、液体を導入できる液体導入管と、前記液体導入管に
光を照射するための光発生器と、前記液体導入管内の液
体中の異物から乱反射してきた元を受光し、かつ受光し
た光を電気信号に変換するための光電変換器をそなえた
測定装置Ｖｃおいて、前記光発生器から照射された光の
うち特定の光を選択的に通過させる第１の偏光器と、前
記液体導入管内の液中の異物表面から乱反射してぎたＭ
Ｓ′Ｊ′）みを通過させ、前記液体導入管表面で反射し
た光を遮断する第２の偏光器を設けたことを特徴とする
液中異物測定装置。 ２、前記第１の偏光器と前記第２の偏光器は、互いに特
性が異なることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の液中異物測定装置。 ３、前記光発生器から発生する光は、し〜ザ光であるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の液中異物測
定装置。 ４、前記液体導入管と前記第２の偏光器の間に集光器を
設けたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の液
中異物測定装置。 ５、液体を導入できる液体導入管と、前記液体導入管に
光を照射するための光発生器と、前記液体導入管内の液
中の異物表面から反射してきた光を受光し、かつ受光し
た光を電気信号に変換するための光電変換器をそなえた
測定装置において、前記液体導入管前段に気泡除去器を
設けたことを特徴とする液中異物測定装置。 ６、前記気泡除去器は、液注入口及び液性出口をそなえ
た内部中空密閉槽でかつその槽内を減圧するための減圧
器を殺げていることを特徴とする特許請求の範囲第５項
記載の液中異物測定装置。 ７、 前記光発生器から照射されたうｅのうち特定σ）
光を選択的に通過させる第１の偏光器と、前記液体導入
管内の液中の異物表面から乱反射し℃ぎた光のみを通過
させ、前記液体導入管表面で反射１〜だ光を遮断する第
２の偏光器を有する特許請求の範囲第５項または第６項
のいずれかに記載する液中異物測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16497483A JPS6057240A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | 液中異物測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16497483A JPS6057240A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | 液中異物測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6057240A true JPS6057240A (ja) | 1985-04-03 |
Family
ID=15803421
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16497483A Pending JPS6057240A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | 液中異物測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6057240A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006080871A (ja) * | 2004-09-09 | 2006-03-23 | Nippon Antenna Co Ltd | 過大入力保護回路 |
| JP2020125974A (ja) * | 2019-02-05 | 2020-08-20 | アヲハタ株式会社 | 食品検査装置 |
-
1983
- 1983-09-09 JP JP16497483A patent/JPS6057240A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006080871A (ja) * | 2004-09-09 | 2006-03-23 | Nippon Antenna Co Ltd | 過大入力保護回路 |
| JP2020125974A (ja) * | 2019-02-05 | 2020-08-20 | アヲハタ株式会社 | 食品検査装置 |
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