JP3674203B2 - 微粒子測定装置 - Google Patents
微粒子測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3674203B2 JP3674203B2 JP34753496A JP34753496A JP3674203B2 JP 3674203 B2 JP3674203 B2 JP 3674203B2 JP 34753496 A JP34753496 A JP 34753496A JP 34753496 A JP34753496 A JP 34753496A JP 3674203 B2 JP3674203 B2 JP 3674203B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fine particle
- air
- horn
- peeling means
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 title claims description 51
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 14
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 6
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 6
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000003570 air Substances 0.000 description 30
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 3
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 229910000737 Duralumin Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000011859 microparticle Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 1
Images
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、測定試料の表面に付着している塵等の微粒子を測定（例えば計数）するための微粒子測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体等のウエハ、液晶製造用ガラス、それらを製造する際に使用する治具（例えばウェハキャリヤ、ガラス用型枠など）等はその表面を清浄に保つことが必要である。
【０００３】
これらの部品、部材、治具などの表面を清浄に保つために付着した微粒子を剥離する手段として空中超音波を利用する剥離手段が公知である。一方、例えばクリーンルームなどの空気中の微粒子を定量的に把握する手段として微粒子カウンターが公知である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
これらをもとにウエハ等に付着する微粒子数を計数し、清浄度合を定量化することが考えられる。しかし、空気中で超音波照射をおこなう微粒子剥離手段の場合、剥離した微粒子を単純に微粒子カウンターで計数するようにしても正確な計数は困難である。すなわち、微粒子剥離手段を構成する振動板や集束方向変換器等から発生した微粒子、あるいは手段外部から持ち込む空気中の微粒子が混入すると、計測誤差を生じる。また、導入したクリーンエアにより微粒子カウンターまで、試料から剥離した微粒子のみを効率良く導くことが困難である。
【０００５】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、試料表面に付着した微粒子を精度良く測定することができる微粒子測定装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の微粒子測定装置は、ケースカバー及び該ケースカバー内に配置された超音波発生装置を備えてなり、測定試料に空中で該超音波発生装置からの超音波を照射して、試料表面の微粒子を剥離する微粒子剥離手段と、該微粒子剥離手段内に設けられ、該超音波を反射して該試料表面上に集束させる集束方向変換器と、該微粒子剥離手段に設けられた空気導入手段と、剥離された微粒子を導入空気により微粒子カウンターに導く空気導出手段と、余剰空気を剥離手段外に排出する排気手段と、からなることを特徴とするものである。
【０００７】
かかる微粒子測定装置においては、微粒子剥離手段にエアー導入手段と微粒子カウンターへの導出手段を設け、加えて、排気手段を設けてある。
【０００８】
剥離手段は、内部のメンテナンスのために、ベース部にケースカバーがネジ止め等されており、着脱自在となっている。クリーンエアー導入に伴い外部からの空気が吸引され剥離手段内へ導かれ、この空気中の微粒子が測定されると誤差となるところから、この障害を防止することが重要となる。勿論、測定時には、予め振動板等のプレ洗浄をおこなうが、外部からの空気混入は防止困難である。なお、外部よりの空気混入を防ぐために、ベース部とケースカバーを密着させるとクリーンエアーと微粒子カウンターへの導入空気量とのバランスがとれにくくなる問題がある。
【０００９】
そこで、本発明では、排気手段を設けている。そして、例えば、クリーンエアーを５０Ｌ／ｍｉｎで導入し、排気手段から２０Ｌ／ｍｉｎを排気させ、剥離手段内部の圧力を常に高めておく。このようにすることにより、剥離手段内に周囲の空気が導入されることが防止される。カウンターへは３０Ｌ／ｍｉｎが導かれる。このクリーンエアーにより試料表面からの微粒子のみが効率良く微粒子カウンターに導かれる。なお、このクリーンエアー量は一例である。
【００１０】
また、超音波は集束方向変換器にて反射され、試料の表面上に集束する。その結果、集束点で強力な超音波音場が形成される。超音波が形成する疎密波効果によって表面上に残留する微粒子が剥離する。剥離した微粒子は装置上部より供給されているクリーンエアーの流れによって微粒子カウンターに導入される。
【００１１】
本発明では、剥離手段内に隔壁を設け、測定室とホーン設置室とに区画するのが好ましい。この隔壁を設けるのは、清浄に保つ空間の容積の縮小のためである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
図１は実施の形態に係る微粒子測定装置の構成図である。微粒子剥離手段１は、ベース部２とケースカバー３とからなり、両者は例えばネジ留めにて連結されている。このケースカバー３の上部の流入口４からクリーンエアー（例えば大気をフィルターで濾過したエアー）が例えば５０Ｌ／ｍｉｎの割合で導入される。
【００１３】
剥離手段１の測定室２１内には、湾曲したアクリル等のプレートよりなる超音波集束方向変換器１３が設置されている。この集束方向変換器１３は、試料当接口８の上方に該当接口８に対面するように配置され、且つ該試料当接口８に対峙する面が凹面となるように湾曲している。
【００１４】
この試料当接口８の中心の上方に振動板１４が設置されている。この振動板１４には共振棒１５及びホーン１６を介して振動子１７が接続されている。なお、振動板、共振棒、ホーンは例えばチタンやジュラルミン製とされる。ホーン１６及び振動子１７はホーン設置室２２内に設置されている。
【００１５】
ベース部２には開口５が設けられ、この開口５の周縁部から、下方に向って狭まる形状のホッパ６が設けられている。このホッパ６の下端に短い円筒部７が設けられ、この円筒部７の下端が試料当接口８となっている。この試料当接口８の下端面にはＯリング（図示略）が装着されており、剥離手段１を、固定された試料Ｓに押圧して該試料Ｓの表面に密着させると共に、試料Ｓの表面に傷を付けないように構成されている。
【００１６】
前記ホッパ６から配管１０を介してエアーが例えば３０Ｌ／ｍｉｎの割合で導入される微粒子カウンター１１が設置されている。この微粒子カウンター１１としては、例えば光散乱式のものなど各種のものを用いることができる。
【００１７】
剥離手段１には、余剰エアーの流出弁１２が設けられており、エアーが例えば２０Ｌ／ｍｉｎの割合で流出する。
【００１８】
次に、この試料Ｓの表面に超音波を照射するための機構について説明する。
【００１９】
信号発生器（ファンクションシンセサイザ）１９より発信された単一周波数（２０ｋＨｚ前後）の信号が高周波用アンプ１８で増幅されて超音波振動子１７（例えばボルト締めランジュバン型振動子）に入力される。３０はオシロスコープ、３１は電力計である。なお、オシロスコープ３０は、超音波の波形を見るためのものであり、必ずしも必要ではない。
【００２０】
振動子１７の振動はさらにホーン１６にて増幅され、共振棒１５を介して振動板１４に伝わり、振動板１４より超音波が発生する。この超音波は音圧レベルで１６０ｄＢ以上のものである。超音波は集束方向変換器１３にて反射され、試料Ｓの表面上の１点で集束する。その結果、集束点で強力な超音波音場が形成される。超音波が形成する疎密波効果によって表面上に残留する微粒子が剥離する。剥離した微粒子は装置上部より供給されているクリーンエアーの流れによって微粒子カウンター１１に導入される。微粒子カウンタ−１１では例えば粒子径０．３〜５μｍφの粒子が分級計測され、粒子数が粒子径毎（例えば、０．３μｍ以下、０．３〜０．５μｍ、０．５〜１μｍ、１〜２μｍ、２〜５μｍ、５μｍ以上）に計数される。
【００２１】
このように、この実施の形態の装置によると、剥離手段１内の圧力が常に高められるため、外部からの空気の導入が防止され試料Ｓ表面の付着微粒子を手軽に精度良く計測できる。なお、必要に応じ、剥離手段１と試料Ｓとを相互にあるいは、どちらか一方を移動させることにより、試料Ｓの表面の所要範囲の付着粒子数を計数することができる。このようにすることにより、試料Ｓが大きくても、これをカットする必要は無く、作業性、計測精度が優れたものとなる。
【００２２】
なお、この実施の形態にあっては、剥離手段１内が隔壁２０によって測定室２１とホーン設置室２２とに区画されており、両室は通気口２３によって流通している。前記共振棒１５は隔壁２０に設けられた開口２４に挿通されている。また、ホーン１６は、ホーン設置室２２内に設けられたＬ字形の止め板２５で支持されている。
【００２３】
このように隔壁２０によって測定室２１の容積をケーシング１内の全体容積よりも小さくすることにより、剥離手段１内に流入させて測定室２１内の雰囲気を所要清浄度に維持するのに必要とされるクリーンエアー流入量を減らすことができる。
【００２４】
【発明の効果】
本発明の微粒子測定装置によると、超音波を照射するものであるから、非接触で微粒子のみを剥離できるので試料表面をきずつけることがなく、効率良く剥離できるとともに、試料表面に付着した微粒子を精度良く計測することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 実施の形態に係る微粒子測定装置の構成図である。
【符号の説明】
１ 微粒子剥離手段
２ ベース部
３ ケースカバー
６ ホッパ
７ 円筒部
８ 試料当接口
１１ 微粒子カウンター
１３ 集束方向変換器
１４ 振動板
１５ 共振棒
１６ ホーン
１７ 超音波振動子
【発明の属する技術分野】
本発明は、測定試料の表面に付着している塵等の微粒子を測定（例えば計数）するための微粒子測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体等のウエハ、液晶製造用ガラス、それらを製造する際に使用する治具（例えばウェハキャリヤ、ガラス用型枠など）等はその表面を清浄に保つことが必要である。
【０００３】
これらの部品、部材、治具などの表面を清浄に保つために付着した微粒子を剥離する手段として空中超音波を利用する剥離手段が公知である。一方、例えばクリーンルームなどの空気中の微粒子を定量的に把握する手段として微粒子カウンターが公知である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
これらをもとにウエハ等に付着する微粒子数を計数し、清浄度合を定量化することが考えられる。しかし、空気中で超音波照射をおこなう微粒子剥離手段の場合、剥離した微粒子を単純に微粒子カウンターで計数するようにしても正確な計数は困難である。すなわち、微粒子剥離手段を構成する振動板や集束方向変換器等から発生した微粒子、あるいは手段外部から持ち込む空気中の微粒子が混入すると、計測誤差を生じる。また、導入したクリーンエアにより微粒子カウンターまで、試料から剥離した微粒子のみを効率良く導くことが困難である。
【０００５】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、試料表面に付着した微粒子を精度良く測定することができる微粒子測定装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の微粒子測定装置は、ケースカバー及び該ケースカバー内に配置された超音波発生装置を備えてなり、測定試料に空中で該超音波発生装置からの超音波を照射して、試料表面の微粒子を剥離する微粒子剥離手段と、該微粒子剥離手段内に設けられ、該超音波を反射して該試料表面上に集束させる集束方向変換器と、該微粒子剥離手段に設けられた空気導入手段と、剥離された微粒子を導入空気により微粒子カウンターに導く空気導出手段と、余剰空気を剥離手段外に排出する排気手段と、からなることを特徴とするものである。
【０００７】
かかる微粒子測定装置においては、微粒子剥離手段にエアー導入手段と微粒子カウンターへの導出手段を設け、加えて、排気手段を設けてある。
【０００８】
剥離手段は、内部のメンテナンスのために、ベース部にケースカバーがネジ止め等されており、着脱自在となっている。クリーンエアー導入に伴い外部からの空気が吸引され剥離手段内へ導かれ、この空気中の微粒子が測定されると誤差となるところから、この障害を防止することが重要となる。勿論、測定時には、予め振動板等のプレ洗浄をおこなうが、外部からの空気混入は防止困難である。なお、外部よりの空気混入を防ぐために、ベース部とケースカバーを密着させるとクリーンエアーと微粒子カウンターへの導入空気量とのバランスがとれにくくなる問題がある。
【０００９】
そこで、本発明では、排気手段を設けている。そして、例えば、クリーンエアーを５０Ｌ／ｍｉｎで導入し、排気手段から２０Ｌ／ｍｉｎを排気させ、剥離手段内部の圧力を常に高めておく。このようにすることにより、剥離手段内に周囲の空気が導入されることが防止される。カウンターへは３０Ｌ／ｍｉｎが導かれる。このクリーンエアーにより試料表面からの微粒子のみが効率良く微粒子カウンターに導かれる。なお、このクリーンエアー量は一例である。
【００１０】
また、超音波は集束方向変換器にて反射され、試料の表面上に集束する。その結果、集束点で強力な超音波音場が形成される。超音波が形成する疎密波効果によって表面上に残留する微粒子が剥離する。剥離した微粒子は装置上部より供給されているクリーンエアーの流れによって微粒子カウンターに導入される。
【００１１】
本発明では、剥離手段内に隔壁を設け、測定室とホーン設置室とに区画するのが好ましい。この隔壁を設けるのは、清浄に保つ空間の容積の縮小のためである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
図１は実施の形態に係る微粒子測定装置の構成図である。微粒子剥離手段１は、ベース部２とケースカバー３とからなり、両者は例えばネジ留めにて連結されている。このケースカバー３の上部の流入口４からクリーンエアー（例えば大気をフィルターで濾過したエアー）が例えば５０Ｌ／ｍｉｎの割合で導入される。
【００１３】
剥離手段１の測定室２１内には、湾曲したアクリル等のプレートよりなる超音波集束方向変換器１３が設置されている。この集束方向変換器１３は、試料当接口８の上方に該当接口８に対面するように配置され、且つ該試料当接口８に対峙する面が凹面となるように湾曲している。
【００１４】
この試料当接口８の中心の上方に振動板１４が設置されている。この振動板１４には共振棒１５及びホーン１６を介して振動子１７が接続されている。なお、振動板、共振棒、ホーンは例えばチタンやジュラルミン製とされる。ホーン１６及び振動子１７はホーン設置室２２内に設置されている。
【００１５】
ベース部２には開口５が設けられ、この開口５の周縁部から、下方に向って狭まる形状のホッパ６が設けられている。このホッパ６の下端に短い円筒部７が設けられ、この円筒部７の下端が試料当接口８となっている。この試料当接口８の下端面にはＯリング（図示略）が装着されており、剥離手段１を、固定された試料Ｓに押圧して該試料Ｓの表面に密着させると共に、試料Ｓの表面に傷を付けないように構成されている。
【００１６】
前記ホッパ６から配管１０を介してエアーが例えば３０Ｌ／ｍｉｎの割合で導入される微粒子カウンター１１が設置されている。この微粒子カウンター１１としては、例えば光散乱式のものなど各種のものを用いることができる。
【００１７】
剥離手段１には、余剰エアーの流出弁１２が設けられており、エアーが例えば２０Ｌ／ｍｉｎの割合で流出する。
【００１８】
次に、この試料Ｓの表面に超音波を照射するための機構について説明する。
【００１９】
信号発生器（ファンクションシンセサイザ）１９より発信された単一周波数（２０ｋＨｚ前後）の信号が高周波用アンプ１８で増幅されて超音波振動子１７（例えばボルト締めランジュバン型振動子）に入力される。３０はオシロスコープ、３１は電力計である。なお、オシロスコープ３０は、超音波の波形を見るためのものであり、必ずしも必要ではない。
【００２０】
振動子１７の振動はさらにホーン１６にて増幅され、共振棒１５を介して振動板１４に伝わり、振動板１４より超音波が発生する。この超音波は音圧レベルで１６０ｄＢ以上のものである。超音波は集束方向変換器１３にて反射され、試料Ｓの表面上の１点で集束する。その結果、集束点で強力な超音波音場が形成される。超音波が形成する疎密波効果によって表面上に残留する微粒子が剥離する。剥離した微粒子は装置上部より供給されているクリーンエアーの流れによって微粒子カウンター１１に導入される。微粒子カウンタ−１１では例えば粒子径０．３〜５μｍφの粒子が分級計測され、粒子数が粒子径毎（例えば、０．３μｍ以下、０．３〜０．５μｍ、０．５〜１μｍ、１〜２μｍ、２〜５μｍ、５μｍ以上）に計数される。
【００２１】
このように、この実施の形態の装置によると、剥離手段１内の圧力が常に高められるため、外部からの空気の導入が防止され試料Ｓ表面の付着微粒子を手軽に精度良く計測できる。なお、必要に応じ、剥離手段１と試料Ｓとを相互にあるいは、どちらか一方を移動させることにより、試料Ｓの表面の所要範囲の付着粒子数を計数することができる。このようにすることにより、試料Ｓが大きくても、これをカットする必要は無く、作業性、計測精度が優れたものとなる。
【００２２】
なお、この実施の形態にあっては、剥離手段１内が隔壁２０によって測定室２１とホーン設置室２２とに区画されており、両室は通気口２３によって流通している。前記共振棒１５は隔壁２０に設けられた開口２４に挿通されている。また、ホーン１６は、ホーン設置室２２内に設けられたＬ字形の止め板２５で支持されている。
【００２３】
このように隔壁２０によって測定室２１の容積をケーシング１内の全体容積よりも小さくすることにより、剥離手段１内に流入させて測定室２１内の雰囲気を所要清浄度に維持するのに必要とされるクリーンエアー流入量を減らすことができる。
【００２４】
【発明の効果】
本発明の微粒子測定装置によると、超音波を照射するものであるから、非接触で微粒子のみを剥離できるので試料表面をきずつけることがなく、効率良く剥離できるとともに、試料表面に付着した微粒子を精度良く計測することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 実施の形態に係る微粒子測定装置の構成図である。
【符号の説明】
１ 微粒子剥離手段
２ ベース部
３ ケースカバー
６ ホッパ
７ 円筒部
８ 試料当接口
１１ 微粒子カウンター
１３ 集束方向変換器
１４ 振動板
１５ 共振棒
１６ ホーン
１７ 超音波振動子
Claims (2)
- ケースカバー及び該ケースカバー内に配置された超音波発生装置を備えてなり、測定試料に空中で該超音波発生装置からの超音波を照射して、試料表面の微粒子を剥離する微粒子剥離手段と、
該微粒子剥離手段内に設けられ、該超音波を反射して該試料表面上に集束させる集束方向変換器と、
該微粒子剥離手段に設けられた空気導入手段と、
剥離された微粒子を導入空気により微粒子カウンターに導く空気導出手段と、
余剰空気を剥離手段外に排出する排気手段と、
からなることを特徴とする微粒子測定装置。 - 請求項１において、前記微粒子剥離手段内が隔壁によって測定室とホーン設置室とに区画され、
該ホーン設置室内に超音波振動子とホーンとが設置され、該測定室内に振動板及び前記集束方向変換器が設置され、該ホーンと該振動板とが共振棒で接続されていることを特徴とする微粒子測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34753496A JP3674203B2 (ja) | 1996-12-26 | 1996-12-26 | 微粒子測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34753496A JP3674203B2 (ja) | 1996-12-26 | 1996-12-26 | 微粒子測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10185795A JPH10185795A (ja) | 1998-07-14 |
| JP3674203B2 true JP3674203B2 (ja) | 2005-07-20 |
Family
ID=18390881
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34753496A Expired - Fee Related JP3674203B2 (ja) | 1996-12-26 | 1996-12-26 | 微粒子測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3674203B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102698985A (zh) * | 2012-06-27 | 2012-10-03 | 湖南三德科技发展有限公司 | 用于制样的自动除尘方法及其除尘系统 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6778912B2 (en) * | 2000-05-23 | 2004-08-17 | Wyatt Technology Corporation | Device and method to locate, detect, and remove precipitated aerosol particles |
| JP4924899B2 (ja) * | 2007-10-18 | 2012-04-25 | 学校法人日本大学 | 微粒子状物体の拡散装置及び拡散方法 |
| JP6700150B2 (ja) * | 2016-10-03 | 2020-05-27 | 東京エレクトロン株式会社 | パーティクル捕集装置、パーティクル捕集方法、およびパーティクル捕集システム |
| US10725061B2 (en) | 2017-02-03 | 2020-07-28 | Pentagon Technologies Group, Inc. | Modulated air surface particle detector |
-
1996
- 1996-12-26 JP JP34753496A patent/JP3674203B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102698985A (zh) * | 2012-06-27 | 2012-10-03 | 湖南三德科技发展有限公司 | 用于制样的自动除尘方法及其除尘系统 |
| CN102698985B (zh) * | 2012-06-27 | 2014-10-01 | 湖南三德科技股份有限公司 | 用于制样的自动除尘方法及其除尘系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10185795A (ja) | 1998-07-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4893320A (en) | Apparatus for counting particles attached to surfaces of a solid | |
| US6108096A (en) | Light absorption measurement apparatus and methods | |
| US7643142B2 (en) | Apparatus for analyzing and sorting biological particles | |
| JP3674203B2 (ja) | 微粒子測定装置 | |
| KR102009934B1 (ko) | 먼지 측정 장치 | |
| US8872117B2 (en) | Device for FTIR absorption spectroscopy | |
| CA2148807A1 (en) | System and method for testing the integrity of porous elements | |
| US3535531A (en) | High-volume airborne-particle light scattering detector system having rectangularly shaped elongated scanning zone | |
| TW201905465A (zh) | 高解析度表面粒子檢測器 | |
| CN112504923B (zh) | 基于多频率saw阵列的大气颗粒物浓度与粒径分布测量方法 | |
| JP3225780B2 (ja) | 試料表面の付着物量の測定装置 | |
| JPS58169057A (ja) | 少なくとも一つの超音波プロ−ブを備えたプロ−ブ保持装置 | |
| EP0924508A2 (en) | Light absorption measurement apparatus and method | |
| JP2000002648A (ja) | 微粒子のブレイクダウン閾値測定方法とその測定装置、およびこれを用いた液中微粒子測定装置 | |
| KR100707066B1 (ko) | 레이저에 의한 수중 입자성 물질 검출 장치 | |
| JP3103709B2 (ja) | 粒子計数装置及び粒子計数方法 | |
| JP2000186977A (ja) | 光学測定装置及び光学測定方法 | |
| JPH02193042A (ja) | 粒子寸法検出装置に使用するための粒子検出装置 | |
| JP2604726B2 (ja) | 液中異物の計測システム | |
| JPH07134090A (ja) | ガス充填容器評価方法及びガス充填容器内の処理方法 | |
| JP4924899B2 (ja) | 微粒子状物体の拡散装置及び拡散方法 | |
| JPS6057240A (ja) | 液中異物測定装置 | |
| JPH04249761A (ja) | 異物検査装置 | |
| RU2350957C1 (ru) | Устройство для иммунологических исследований биологических жидкостей | |
| JP2000074783A (ja) | 光学測定方法及び光学測定装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041111 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041124 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050124 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050405 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050418 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090513 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090513 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100513 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110513 Year of fee payment: 6 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110513 Year of fee payment: 6 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120513 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130513 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130513 Year of fee payment: 8 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |