JP3103709B2 - 粒子計数装置及び粒子計数方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は粒子計数装置及び粒子計
数方法に関し、例えば金属粒子及びガラス粒子等の重力
沈降速度が大きな粒子を含む検査対象の液体（以下、こ
れを被検液と呼ぶ）中の粒子数を計数する粒子計数装置
及び粒子計数方法に適用して好適なものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、精密機械や光学製品等の製造作業
では、製品として組み立てる前の個々の部品を洗浄する
工程が組み込まれており、この工程において各部品に付
着している切削屑等の異物を除去するようになされてい
る。これは製品の性能を維持し、動作不良や故障などの
トラブルを回避することを目的とするものであり、この
ため精密機械や光学製品等の製造分野ではこれら部品の
洗浄後における清浄の度合い（以下これを清浄度と呼
ぶ）を確認することが製品の性能を維持する上で重要な
作業となつている。

【０００３】この場合例えば立体的な複雑な形状の部品
においては、その表面の清浄度を検査することが難し
い。このためこの種の部品の清浄度の検査は、通常、ろ
過した純水などの洗浄液で部品を複数回洗浄し、最後の
仕上げの洗浄液（以下、これを粒子移行液と呼ぶ）中に
残された粒子数を計数することにより行われている。こ
れは粒子移行液中の粒子数が少ないときには部品の清浄
度が高いであろうという考えに基づいている。このうち
例えば顕微鏡法と呼ばれる検査方法では、容器に入れた
粒子移行液に検査対象の部品を浸して超音波洗浄した後
当該粒子移行液をフイルタを通してろ過すると共に、こ
の後当該フイルタを顕微鏡ステージ上にセツトし、この
フイルタに捕集された粒子数を検査員が目視確認しなが
ら計数することにより行われている。

【０００４】ところがこの種の検査方法は、最終段階に
おいて人手を用いてフイルタに捕集された粒子数を計数
するために時間と労力がかかるなど検査効率の悪い問題
があつた。このためこの問題を解決する１つの方法とし
て、従来、例えば図４及び図５に示すような吸引方式の
粒子計数装置１又は圧送方式の粒子計数装置２を用い、
粒子移行液３をマグネテイツクスターラ４及び回転子５
でなる攪拌装置６によつて攪拌しながらポンプ７や加圧
空気源８及び加圧タンク９等でなる加圧装置１０などを
用いて微粒子計１１に送り込むことにより、当該微粒子
計１１によつて粒子移行液３に含まれるの粒子数を自動
的に計数させる方法（以下、これを自動計数法と呼ぶ）
が提案されている。

【０００５】この種の検査方法は、顕微鏡法に比べて時
間や労力がかからず、従つて部品の清浄度の検査効率を
格段的に向上させ得る利点がある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが精密機械や光
学製品等の製造分野では、粒径が数10〔μm 〕を越える
ような金属粒子やガラス粒子が多く発生する。このよう
な粒径及び比重の大きな粒子は重力沈降速度が大きく、
容器１２の底に沈み易い。このため上述のような粒子計
数装置１、２では、粒子移行液３を最大限に攪拌したと
しても粒径及び比重の大きな粒子を微粒子計１１の粒子
検出部（図示せず）まで導入させ難く、この結果検査対
象の粒子移行液に含まれる粒子を安定して精度良く計数
し得ない問題があつた。

【０００７】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、被検液に含まれる粒子をその粒径の大きさに関わら
ず精度良く計数し得る粒子計数装置及び粒子計数方法を
提案しようとするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、重力沈降速度が大きな粒子を含む
被検液中の粒子数を計数する粒子計数装置において、底
部に形成した排出孔３７Ａから被検液を排出する容器３
７と、容器３７の排出孔３７Ａから排出される被検液を
通過させる流路３０Ａを有する計数用光学セル３０と、
計数用光学セル３０の流路３０Ａに光ビームを照射し、
被検液に含まれる粒子によつて散乱された光ビームの散
乱光又は被検液を通過する光ビームの光量変化に基づい
て粒子を計数する粒子計数部２２とを設け、容器３７内
の被検液が、粒子の重力沈降速度にかかわりなく、当該
粒子を含んだ状態で容器３７の排出孔３７Ａから排出さ
れるように、容器３７の内面に排出孔３７Ａに向けて所
定の勾配を有する傾斜部を形成し、しかも容器３７の排
出孔３７Ａから排出される被検液が、粒子の重力沈降速
度にかかわりなく、当該粒子を含んだ状態で計数用光学
セル３０内の流路３０Ａを通過するように、計数用光学
セル３０内の流路３０Ａを含む容器３７の排出孔３７Ａ
以降の流路４２の傾きを設定するようにした。

【０００９】また本発明においては、底部に形成した排
出孔３７Ａから被検液を排出する容器３７と、容器３７
の排出孔３７Ａから排出される被検液を通過させる流路
３０Ａが設けられた計数用光学セル３０と、計数用光学
セル３０の流路３０Ａに光ビームを照射し、被検液に含
まれる粒子によつて散乱された光ビームの散乱光又は被
検液を通過する光ビームの光量変化に基づいて粒子を計
数する粒子計数部２２とを有する粒子計数装置２０を用
いて重力沈降速度が大きな粒子を含む被検液中の粒子数
を計数する粒子計数方法において、容器３７内の被検液
が、粒子の重力沈降速度にかかわりなく、当該粒子を含
んだ状態で容器３７の排出孔３７Ａから排出されるよう
に、容器３７の内面に排出孔３７Ａに向けて所定の勾配
を有する傾斜部を形成し、しかも容器３７の排出孔３７
Ａから排出される被検液が、粒子の重力沈降速度にかか
わりなく、当該粒子を含んだ状態で計数用光学セル３０
内の流路３０Ａを通過するように、計数用光学セル３０
内の流路３０Ａを含む容器３７の排出孔３７Ａ以降の流
路４２の傾きを設定し、容器３７に被検液と同種の純粋
な液体でなる予備液を注ぎ込み、予備液を、容器３７の
排出孔３７Ａを介して計数用光学セル３０の流路３０に
存在する空気を被検液の流路４２から除去し、計数動作
が開始された後被検液を容器３７に注ぎ込み、この後計
数用光学セル３０の流路３０Ａよりも上流側に存在する
予備液と被検液との混合液の量が予め設定された所定量
になつたときに計数動作を停止するようにした。

【００１０】被検液を所定の流路４２内に排出すると共
に、当該流路４２内を流れる被検液に対して光ビームを
照射し、被検液に含まれる粒子によつて散乱された光ビ
ームの散乱光又は被検液を通過する光ビームの光量変化
に基づいて、重力沈降速度が大きな粒子を含む被検液中
の粒子数を計数する粒子計数方法において、被検液と同
種の純粋な液体でなる予備液を流路４２内に排出する第
１のステップと、粒子の計数動作を開始する第２のステ
ップと、被検液を流路４２内に排出する第３のステップ
とを設けるようにした。

【００１１】

【作用】粒子計数装置において、容器３７内の被検液
が、粒子の重力沈降速度にかかわりなく、当該粒子を含
んだ状態で容器３７の排出孔３７Ａから排出されるよう
に、容器３７の内面に排出孔３７Ａに向けて所定の勾配
を有する傾斜部を形成し、しかも容器３７の排出孔３７
Ａから排出される被検液が、粒子の重力沈降速度にかか
わりなく、当該粒子を含んだ状態で計数用光学セル３０
内の流路３０Ａを通過するように、計数用光学セル３０
内の流路３０Ａを含む容器３７の排出孔３７Ａ以降の流
路４２の傾きを設定するようにしたことにより、被検液
に含まれる重力沈降速度の大きい粒子をも精度良く計数
し得るようにすることができる。また粒子計数方法にお
いて、容器３７内の被検液が、粒子の重力沈降速度にか
かわりなく、当該粒子を含んだ状態で容器３７の排出孔
３７Ａから排出されるように、容器３７の内面に排出孔
３７Ａに向けて所定の勾配を有する傾斜部を形成し、し
かも容器３７の排出孔３７Ａから排出される被検液が、
粒子の重力沈降速度にかかわりなく、当該粒子を含んだ
状態で計数用光学セル３０内の流路３０Ａを通過するよ
うに、計数用光学セル３０内の流路３０Ａを含む容器３
７の排出孔３７Ａ以降の流路４２の傾きを設定し、容器
３７に被検液と同種の純粋な液体でなる予備液を注ぎ込
み、予備液を、容器３７の排出孔３７Ａを介して計数用
光学セル３０の流路３０Ａを含む被検液の流路４２に順
次排出させることにより、被検液の流路４２内に存在す
る空気を被検液の流路４２から除去し、計数動作が開始
された後被検液を容器３７に注ぎ込むようにしたことに
より、被検液に含まれる重力沈降速度の大きい粒子をも
精度良く計数し得るようにすることができる。さらに粒
子計数方法において、被検液と同種の純粋な液体でなる
予備液を流路４２内に排出し、粒子の計数動作を開始し
た後、被検液を流路４２内に排出するようにしたことに
より、流路４２内から空気を除去した状態で粒子の計数
動作を行い得、かくして流路４２内に空気が存在するこ
とに起因する偽計数を防止できる。

【００１２】

【実施例】以下図面について、本発明の一実施例を詳述
する。

【００１３】（１）粒子計数装置の全体構成 図１において、２０は全体として粒子計数装置を示し、
粒子検出部２１及び微粒子計本体部２２からなる光遮断
方式の微粒子計２３を用いて構成されている。粒子検出
部２１においては、ガラス等の透明な材料を用いて形成
されたフローセル３０を筒形状のセル保持部材３１で固
定保持することにより形成され、当該セル保持部材３１
の内周中段には発光素子３２及び受光素子３３がフロー
セル３０を介して対向するように配設されている。

【００１４】この粒子検出部２１は、ベース板３４に植
立された棒状のスタンド３５の上端部に当該フローセル
３０の上面から下面を貫くように設けられた貫通孔３０
Ａが鉛直方向を向くように取り付けられている。この場
合当該フローセル３０の上側面にはセル保持部材３１に
保持された継手部材３６を介してロート形状の容器３７
が取り付けられており、フローセル３０の貫通孔３０Ａ
がこの継手部材３６の上面から下面までを貫くように設
けられた貫通孔３６Ａを介して容器３７の底面中央部に
形成された排出孔３７Ａと同軸に連結されている。

【００１５】またフローセル３０の下側面にはセル保持
部材３１と継手支持部材３８とに固定支持された継手部
材３９を介してフイルタ部４０の継手部材４１が取り付
けられており、フローセル３０の貫通孔３０Ａがこの継
手部材３９の上面から下面までを貫くように設けられた
貫通孔３９Ａを介してフイルタ部４０の継手部材４１の
貫通孔４１Ａと同軸に連結されている。これにより当該
粒子計数装置２０では、容器３７の排出孔３７Ａから鉛
直下向きに延長するように継手部材３６、フローセル３
０、継手部材３９の各貫通孔３６Ａ、３０Ａ、３９Ａで
なる直線状の貫通孔が形成され、かくして容器３７に注
入された被検液を当該直線状の貫通孔及びフイルタ部４
０の継手部材４１の貫通孔４１Ａを介してフイルタホル
ダ５０、５１で構成される筐体内部に送出し得るように
なされている。

【００１６】このとき粒子検出部２１の発光素子３２に
おいては、微粒子計本体部２２から供給される所定電圧
の駆動信号Ｓ１に基づいて光ビームを発射するようにな
されている。この光ビームはフローセル３０の貫通孔３
０Ａを通して受光素子３３の受光面に入射する。受光素
子３３においては、光電変換素子を用いて形成され、受
光面に入射する光ビームの光量に応じたレベルで発生す
る信号電圧を受光信号Ｓ２として増幅回路６０を介して
微粒子計本体部２２に送出する。

【００１７】このとき、例えばフローセル３０の貫通孔
３０Ａ内のうち発光素子３２から放射された光ビームに
よつて照らされる直線領域（以下、この領域を粒子検出
領域と呼ぶ）内を被検液に含まれる粒子が通過する場
合、当該粒子が光を吸収し、及び又は散乱させることに
より受光素子３３に入射する光ビームの光量が瞬間的に
減少し、この結果受光信号Ｓ２にパルスが発生する。従
つて受光素子３３から出力される受光信号Ｓ２にはこの
粒子検出領域内を通過した粒子数とほぼ同数のパルスが
含まれる。

【００１８】このため微粒子計本体部２２においては、
受光信号Ｓ２に基づいて、当該受光信号Ｓ２に生じてい
るパルス数を順次計数することにより、フローセル３０
の貫通孔３０Ａ内の粒子検出領域を通過する粒子数を検
出するようになされ、これにより被検液に含まれる粒子
数を計数し得るようになされている。フイルタ部４０に
おいては、フイルタホルダ５１が留め具５２を介してス
タンド３５に固定されることにより当該スタンド３５に
固定支持されている。この場合当該フイルタ部４０にお
いては、フイルタホルダ５０、５１でなる筐体内部にガ
スケツト５３を介してフイルタ５４及びフイルタ支持基
板５５が継手部材４１の貫通孔４１Ａと垂直に装填され
ている。

【００１９】これにより当該粒子計数装置２０において
は、容器３７から供給された被検液をフイルタ部４０の
フイルタ５４でろ過し得るようになされ、かくして当該
フイルタ５４を用いて顕微鏡法によつて被検液に含まれ
ている全粒子数を測定し得るようになされている。また
フイルタ部４０においては、フイルタホルダ５１の底面
部に流路４２と同軸に貫通孔５１Ａが設けられ、これに
よりろ過した被検液を当該フイルタホルダ５１の貫通孔
５１Ａと当該貫通孔５１Ａの下端に接続されたチユーブ
５６及び流量調整部５７を介して装置２０の外部に放出
するようになされている。

【００２０】この場合当該流量調整部５７においては、
バルブ６０、流量計６１及びポンプ６２から構成されて
おり、ポンプ６２を駆動することにより装置２０外部に
放出する被検液の単位時間当たりの放出量を調整し、か
つバルブ６０を開閉することにより被検液の装置２０外
部への放出を開始又は停止させることができるようにな
されている。

【００２１】この実施例の場合、容器３７はクランプ７
０を用いて継手部材３６に取り付けられており、これに
より洗浄時などに容易に継手部材３６から取り外すこと
ができるようになされている。また継手部材３６はガラ
ス等の透明な材料を用いて断面Ｉ字状に形成されると共
に、セル保持部材３１の上面には液面検出部７１を構成
する発光素子７２及び受光素子７３が当該継手部材３６
を介して対向するように取り付けられている。発光素子
７２においては、微粒子計本体部２２から供給される所
定電圧の駆動信号Ｓ３に基づいて光ビームを発射し、こ
れにより当該光ビームを継手部材３６の貫通孔３６Ａを
通して受光素子７３の受光面に照射するようになされて
いる。

【００２２】受光素子７３においては、光電変換素子を
用いて形成され、受光面に入射する光ビームの光量に応
じたレベルの信号電圧を受光信号Ｓ４としてコンパレー
タ部７４に送出する。この際、例えば発光素子７２から
放射された光ビームによつて照らされている継手部材３
６の貫通孔３６Ａ内の直線領域（以下、これを液面検出
領域と呼ぶ）を表面張力により盛り上がつた被検液の液
面の端部（以下、これをメニスカスと呼ぶ）が通過する
ときには、当該被検液内を透過する光ビームの光量が変
化することにより受光素子７３に入射する光ビームの光
量が変化する。この結果受光素子７３から出力される受
光信号Ｓ４に矩形波状の電圧変化が発生する。

【００２３】このためコンパレータ部７４においては、
受光信号Ｓ４の信号レベルを、予め設定された被検液の
メニスカスが液面検出領域を通過するまでの受光信号Ｓ
４の信号レベル（電圧レベル）と被検液のメニスカスが
液面検出領域に達した状態での受光信号Ｓ４の信号レベ
ル（電圧レベル）との間の所定の基準電圧（以下、これ
を第１の基準電圧と呼ぶ）と順次比較するようになさ
れ、比較結果を液面検出信号Ｓ５として微粒子計本体部
２２に順次送出するようになされている。微粒子計本体
部２２においては、液面検出信号Ｓ５に基づいて被検液
のメニスカスが液面検出領域を通過したか否かを順次判
断し、肯定結果を得た場合には流量調整部５７に制御信
号Ｓ６を送出することにより被検液が装置２０の外部に
排出されるのを停止させ、かくして当該被検液が継手部
材３６、３９、４１の各貫通孔３６Ａ、３９Ａ、４１Ａ
及びフローセル３０の貫通孔３０Ａ等でなる被検液の流
路４２内を流れるのを停止させるようになされている。
これにより当該粒子計数装置２０では、被検液の液面付
近に混入している気泡がフローセル３０の貫通孔３０Ａ
を通過するのを防止することができ、かくして微粒子計
２３が当該気泡を粒子として偽計数するのを防止するこ
とができるようになされている。

【００２４】またこの実施例の場合、容器３７及び継手
部材３６間と継手部材３６及びフローセル３０間とフロ
ーセル３０及び継手部材３９間とにはそれぞれＯリング
６３Ａ、６３Ｂ、６３Ｃがそれぞれ配設されており、こ
れにより流路４２の気密性が高められている。

【００２５】（２）微粒子計本体部の構成 ここで微粒子計本体部２２においては、図２に示すよう
な構成を有し、粒子検出部２１の受光素子３３から供給
される受光信号Ｓ２をコンパレータ回路８０において受
信するようになされている。コンパレータ回路８０にお
いては、受光信号Ｓ２に発生しているパルスのうち所定
の閾値以上の信号レベルでなるパルスを順次検出し、検
出結果をアナログデイジタル変換回路８１においてアナ
ログデイジタル変換した後、これをデイジタル検出信号
Ｓ１０としてＣＰＵ（中央処理ユニツト）８２に送出す
る。

【００２６】ＣＰＵ８２においては、デイジタル検出信
号Ｓ１０に基づきプログラムメモリ８３に格納されてい
るプログラムに従つて、上述の閾値以上の信号レベルで
なるパルス数を順次計数すると共に、計数結果を計数信
号Ｓ１１として表示部８４に送出することによりこれを
表示させる。一方液面検出部７１の受光素子７３におい
ては、受光信号Ｓ４をコンパレータ部７４の増幅器９０
を介してコンパレータ回路９１に送出するようになされ
ている。

【００２７】コンパレータ回路９１は、受光信号Ｓ４の
信号レベル（電圧レベル）を上述の第１の基準電圧と比
較し、比較結果を比較信号Ｓ２０としてアナログデジタ
ル変換回路９２に送出する。アナログデイジタル変換回
路９２は比較信号Ｓ２０をアナログデイジタル変換した
後、これを液面検出信号Ｓ５として微粒子計本体部２２
のＣＰＵ８２に送出する。この場合ＣＰＵ８２において
は、液面検出信号Ｓ５に基づいて被検液のメニスカスが
液面検出領域を通過したか否かを判断し、肯定結果を得
た場合には流量調整部５７のバルブ６０及びポンプ６２
にそれぞれ制御信号Ｓ６を送出することによりバルブ６
０を閉じると共にポンプ６２の駆動を停止させ、かくし
て被検液が流路４２内を流れるのを停止させるようにな
されている。

【００２８】（３）オートモード時におけるＣＰＵの処
理手順 実際上ＣＰＵ８２においては、微粒子計本体部２２のコ
ントロールパネル９３が操作されてオートモードが指定
された後当該コントロールパネル９３に配設されたスタ
ートボタン（図示せず）がオン操作されると、プログラ
ムメモリ８３に格納されているプログラムに従つて図３
に示す自動測定処理手順ＲＴ０を実行することにより被
検液を検査するようになされている。すなわちＣＰＵ８
２においては、ステツプＳＰ１において当該自動計数処
理手順を開始すると、ステツプＳＰ２に進んで流量調整
部５７（図２）のバルブ６０及びポンプ６２に制御信号
Ｓ６を送出することにより、当該バルブ６０を開くと共
にポンプ６２を駆動させる。これにより当該ＣＰＵ８２
は容器３７に注入された被検液を容器３７の排出孔３７
Ａから単位時間当たり一定量ずつ流路４２（図１）に排
出させる。

【００２９】続いてＣＰＵ８２はステツプＳＰ３に進み
予め設定された所定時間が経過するのを待ち受ける。こ
れは容器３７に注入された被検液を容器３７の排出孔３
７Ａを介して流路４２に排出し始めた初期段階では、当
該流路４２内に入つていた空気が測定対象の被検液内に
気泡となつて混入することにより、すぐに測定を開始す
ると当該気泡を当該被検液内の粒子として偽計数するお
それがあるからである。このため当該ＣＰＵ８２は、こ
のステツプＳＰ３においてバルブ６０を開く共にポンプ
６２を駆動させた後所定時間は測定を開始せずに容器３
７に注入された被検液を流すようになされ、これにより
被検液の流路４２内に入つている空気を除去するように
なされている。

【００３０】この後ＣＰＵ８２はこのステツプＳＰ３に
おいて肯定結果を得るとステツプＳＰ４に進んで容器３
７に注入された被検液に含まれる粒子の計数作業を開始
する。すなわちＣＰＵ８２は、このステツプＳＰ４にお
いてアナログデイジタル変換回路８１（図２）から供給
されるデイジタル検出信号Ｓ１０に基づく計数を実行す
ると共に、表示部８４に計数信号Ｓ１１を送出すること
により計数結果を表示させる。さらにＣＰＵ８２はステ
ツプＳＰ５に進んで、コンパレータ部７４から供給され
る液面検出信号Ｓ５に基づいて被検液の液面が液面検出
領域に達したか否かを順次判断すると共に、この状態で
肯定結果を得るのを待ち受ける。

【００３１】この後ＣＰＵ８２は、このステツプＳＰ５
において肯定結果を得るとステツプＳＰ６に進んで被検
液内の粒子数の測定を停止すると共に、流量調整部５７
のバルブ６０及びポンプ６２に制御信号Ｓ６を送出す
る。これにより当該ＣＰＵ８２は当該バルブ６０を閉じ
ると共にポンプ６２の駆動を停止させ、かくして容器３
７に注入された被検液の検査作業を停止する。さらにＣ
ＰＵ８２はこの後ステツプＳＰ７に進み、このステツプ
ＳＰ７において当該自動計数処理手順ＲＴ０を終了す
る。

【００３２】（４）粒子測定装置を用いた測定方法 ここでこの粒子測定装置２０を用いてオートモードで容
器３７に注ぎ込まれた被検液を検査する場合、当該粒子
測定装置２０がオートモード時においてバルブ６０を開
けると共にポンプ６２を駆動させた後所定時間は計数を
開始せずに容器３７に注入された被検液を流すようにな
されているために、当該被検液に含まれている重力沈降
速度の大きな粒子が測定前にフローセル３０の貫通孔３
０Ａ内に設定された粒子検出領域を通過し、この結果重
力沈降速度の小さな粒子しか測定し得ない問題がある。

【００３３】このため当該粒子測定装置２０のオートモ
ードでの測定では、まず測定対象の被検液と同種の純粋
な（すなわち粒子が含まれていない）液体（以下、これ
を予備液と呼ぶ）を容器３７に注入した後オートモード
を開始させ、この後ＣＰＵ８２が粒子数の計数を開始し
た段階で被検液を容器３７内の予備液に継ぎ足すように
する。この方法によれば、オートモード開始前に流路４
２内に存在していた空気による偽計数を防止でき、かつ
重力沈降速度の大きな粒子ももれなく計数することがで
きる。

【００３４】（５）実施例の動作 以上の構成において、この粒子測定装置２０では容器３
７に注ぎ込まれた被検液を当該容器３７の排出孔３７Ａ
及び継手部材３６の貫通孔３６Ａを介して粒子検出部２
１を構成するフローセル３０の貫通孔３０Ａに導入し、
当該導入された被検液に発光素子３２から放射された光
ビームを照射すると共に被検液を通過した後受光素子３
３の受光面に入射する当該光ビームの光量に基づいて被
検液に含まれる粒子数を測定する。

【００３５】この場合容器３７に注入された被検液に含
まれている粒径の大きな粒子は、容器３７がロート状に
形成されていると共に当該容器３７の鉛直下側に粒子検
出部２１のフローセル３０が配置されていることによ
り、当該容器３７の底面部の傾斜に沿つて当該容器３７
の排出孔３７Ａに達し、この後継手部材３６の貫通孔３
６Ａに止まることなくフローセル３０の貫通孔３０Ａ内
に送られる。従つてこの粒子測定装置２０では、測定対
象の被検液に含まれる粒子を、その粒径に関わらず、流
路４２内に滞留させることなくフローセル３０の貫通孔
３０Ａ内に設定された粒子検出領域内まで導入すること
ができ、かくして当該被検液に含まれている粒子数を安
定して正確に測定することができる。

【００３６】（６）実施例の効果 以上の構成によれば、微粒子計２３の粒子検出部２１を
構成するフローセル３０をその貫通孔３０が鉛直方向を
向くように配置すると共に、当該フローセル３０の鉛直
上側に被検液を注入するロート形状の容器３７を配置
し、当該フローセル３０の貫通孔３０Ａと容器３７の排
出孔３７Ａとを鉛直な流路３６Ａで連結するようにした
ことにより、容器３７に注入された被検液に含まれてい
る粒子をその粒径に依らずに流路内に滞留させることな
く確実にフローセル３０の貫通孔３０Ａ内に設定された
粒子検出領域まで導入することができ、かくして被検液
に含まれる粒子をその粒径の大きさに関わらず精度良く
計数し得る粒子計数装置を実現できる。

【００３７】また当該粒子計数装置２０を用いた被検液
に含まれる粒子の計数方法において、測定対象の被検液
と同種の予備液を容器３７に注入した後粒子計数装置２
０にオートモードを開始させ、この後当該粒子計数装置
２０が被検液に含まれる粒子数を計数し始めた段階で測
定対象の被検液を容器３７内の予備液に継ぎ足すと共
に、さらにこの後被検液及び予備液の混合液の液面が流
路４２内に設定された液面検出領域を達したときに計数
動作を停止するようにしたことにより、オートモード開
始前に流路４２内に存在していた空気や、被検液及び予
備液の混合液の液面付近に混入している気泡により生じ
る偽計数を防止でき、かくして被検液に含まれる粒子を
その粒径の大きさに関わらず精度良く計数し得る粒子計
数装置を実現できる。

【００３８】（７）他の実施例 なお上述の実施例においては、粒子計数装置２０を光遮
断方式の微粒子計２３を用いて構成するようにした場合
について述べたが、本発明はこれに限らず、粒子計数装
置２０を構成する微粒子計２３としては光散乱式の微粒
子計等この他種々の微粒子計を適用できる。

【００３９】また上述の実施例においては、粒子検出部
２１の継手部材３６、フローセル３０及び継手部材３９
の各貫通孔３６Ａ、３０Ａ、３９Ａ等でなる流路４２を
鉛直に形成するようにした場合について述べたが、本発
明はこれに限らず、要は流路４２内に被検液に含まれる
粒子が滞留しないのであれば流路４２の向きとしては鉛
直方向から僅かに傾いていても良い。

【００４０】さらに上述の実施例においては、ロート形
状の容器３７を用いるようにした場合について述べた
が、本発明はこれに限らず、要は、底部の内面が全体と
して当該底部を貫通するように形成された排出孔に向け
て傾斜しているのであれば、容器３７の形状としてはロ
ート形状でなくても良い。

【００４１】さらに上述の実施例においては、光学式の
液面検出部７１を用いて被検液の液面位置を検出するよ
うにした場合について述べたが、本発明はこれに限ら
ず、超音波式等の他の液面検出装置を用いて当該被検液
の液面位置を検出するようにしても良い。この場合例え
ば超音波式の液面検出装置は、容器の上部に超音波の発
信器と受信器とを配置すると共に、発信器から超音波を
発信してから当該超音波が被検液の液面で反射した後受
信器で受信されるまでの時間を測定し、当該時間に基づ
いて被検液の液面位置を検出することにより実現でき
る。

【００４２】

【発明の効果】上述のように本発明によれば、重力沈降
速度が大きな粒子を含む被検液中の粒子数を計数する粒
子計数装置において、底部に形成した排出孔から被検液
を排出する容器と、容器の排出孔から排出される被検液
を通過させる流路を有する計数用光学セルと、計数用光
学セルの流路に光ビームを照射し、被検液に含まれる粒
子によつて散乱された光ビームの散乱光又は被検液を通
過する光ビームの光量変化に基づいて粒子を計数する粒
子計数部とを設け、容器内の被検液が、粒子の重力沈降
速度にかかわりなく、当該粒子を含んだ状態で容器の排
出孔から排出されるように、容器の内面に排出孔に向け
て所定の勾配を有する傾斜部を形成し、しかも容器の排
出孔から排出される被検液が、粒子の重力沈降速度にか
かわりなく、当該粒子を含んだ状態で計数用光学セル内
の流路を通過するように、計数用光学セル内の流路を含
む容器の排出孔以降の流路の傾きを設定するようにした
ことにより、被検液に含まれる重力沈降速度の大きい粒
子をも精度良く計数し得るようにすることができ、かく
して被検液に含まれる粒子数を安定して正確に計数し得
る粒子計数装置を実現できる。また重力沈降速度が大き
な粒子を含む被検液中の粒子数を計数する粒子計数方法
において、容器内の被検液が、粒子の重力沈降速度にか
かわりなく、当該粒子を含んだ状態で容器の排出孔から
排出されるように、容器の内面に排出孔に向けて所定の
勾配を有する傾斜部を形成し、しかも容器の排出孔から
排出される被検液が、粒子の重力沈降速度にかかわりな
く、当該粒子を含んだ状態で計数用光学セル内の流路を
通過するように、計数用光学セル内の流路を含む容器の
排出孔以降の流路の傾きを設定し、容器に被検液と同種
の純粋な液体でなる予備液を注ぎ込み、予備液を、容器
の排出孔を介して計数用光学セルの流路に存在する空気
を被検液の流路から除去し、計数動作が開始された後被
検液を容器に注ぎ込み、この後計数用光学セルの流路よ
りも上流側に存在する予備液と被検液との混合液の量が
予め設定された所定量になつたときに計数動作を停止す
るようにしたことにより、被検液に含まれる重力沈降速
度の大きい粒子をも精度良く計数し得るようにすること
ができ、かくして被検液に含まれる粒子数を安定して正
確に計数し得る粒子計数方法を実現できる。さらに被検
液を所定の流路内に排出すると共に、当該流路内を流れ
る被検液に対して光ビームを照射し、被検液に含まれる
粒子によつて散乱された光ビームの散乱光又は被検液を
通過する光ビームの光量変化に基づいて、重力沈降速度
が大きな粒子を含む被検液中の粒子数を計数する粒子計
数方法において、被検液と同種の純粋な液体でなる予備
液を流路内に排出する第１のステップと、粒子の計数動
作を開始する第２のステップと、被検液を流路内に排出
する第３のステップとを設けるようにしたことにより、
流路内の空気による偽計数を防止でき、かくして被検液
に含まれる粒子数を安定して正確に計数し得る粒子計数
方法を実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例による粒子計数装置の全体構成を示す断
面図である。

【図２】微粒子計本体部の構成を示すブロツク図であ
る。

【図３】自動計数処理手順を示すフローチヤートであ
る。

【図４】従来の粒子計数装置を示す略線的な側面図であ
る。

【図５】従来の粒子計数装置を示す略線的な側面図であ
る。

【符号の説明】

１、２、２０……粒子計数装置、３０……計数用光学セ
ル（フローセル）、３０Ａ……貫通孔、３１……支持手
段（セル保持部材）、３４……支持手段（ベース板）、
３５……支持手段（スタンド）、３７……容器、３７Ａ
……排出孔、４２……流路、７１……センサ手段（液面
検出部）、７４……センサ手段（コンパレータ部）。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 黒川 尚明 東京都国分寺市東元町３丁目20番41号リ オン株式会社内 (56)参考文献 特開 昭58−92840（ＪＰ，Ａ)

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】底部に形成した排出孔から被検液を排出す
   る容器と、 上記容器の上記排出孔から排出される上記被検液を通過
   させる流路を有する計数用光学セルと、 上記計数用光学セルの上記流路に光ビームを照射し、上
   記被検液に含まれる粒子によつて散乱された上記光ビー
   ムの散乱光又は上記被検液を通過する上記光ビームの光
   量変化に基づいて上記粒子を計数する粒子計数部とを具
   え、 上記容器内の上記被検液が、上記粒子の重力沈降速度に
   かかわりなく、当該粒子を含んだ状態で上記容器の上記
   排出孔から排出されるように、上記容器の内面に上記排
   出孔に向けて所定の勾配を有する傾斜部を形成し、しか
   も上記容器の上記排出孔から排出される上記被検液が、
   上記粒子の上記重力沈降速度にかかわりなく、当該粒子
   を含んだ状態で上記計数用光学セル内の上記流路を通過
   するように、上記計数用光学セル内の上記流路を含む上
   記容器の上記排出孔以降の流路の傾きを設定したことを
   特徴とする重力沈降速度が大きな粒子を含む被検液中の
   粒子数を計数する粒子計数装置。
2. 【請求項２】上記容器内の上記被検液の液面位置を検出
   し、検出結果を出力するセンサ手段を具え、 上記センサ手段の出力に基づいて上記液面位置が予め設
   定された基準位置に達したときに上記被検液に含まれる
   上記粒子の計数動作を停止することを特徴とする請求項
   １に記載の粒子計数装置。
3. 【請求項３】底部に形成した排出孔から被検液を排出す
   る容器と、上記容器の上記排出孔から排出される上記被
   検液を通過させる流路が設けられた計数用光学セルと、
   上記計数用光学セルの上記流路に光ビームを照射し、上
   記被検液に含まれる粒子によつて散乱された上記光ビー
   ムの散乱光又は上記被検液を通過する上記光ビームの光
   量変化に基づいて上記粒子を計数する粒子計数部とを有
   する粒子計数装置を用いて上記被検液に含まれる上記粒
   子の数を計数する粒子計数方法において、 上記容器内の上記被検液が、上記粒子の従量沈降速度に
   かかわりなく、当該粒子を含んだ状態で上記容器の上記
   排出孔から排出されるように、上記容器の内面に上記排
   出孔に向けて所定の勾配を有する傾斜部を形成し、しか
   も上記容器の上記排出孔から排出される上記被検液が、
   上記粒子の上記重力沈降速度にかかわりなく、当該粒子
   を含んだ状態で上記計数用光学セル内の上記流路を通過
   するように、上記計数用光学セル内の上記流路を含む上
   記容器の上記排出孔以降の流路の傾きを設定し、 上記容器に上記被検液と同種の純粋な液体でなる予備液
   を注ぎ込み、 上記予備液を、上記容器の上記排出孔を介して上記計数
   用光学セルの上記流路に存在する空気を上記被検液の上
   記流路から除去し、 上記計数動作が開始された後上記被検液を上記容器に注
   ぎ込み、 この後上記計数用光学セルの上記流路よりも上流側に存
   在する上記予備液と上記被検液との混合液の量が予め設
   定された所定量になつたときに上記計数動作を停止する
   ことを特徴とする重力沈降速度が大きな粒子を含む被検
   液中の粒子数を計数する粒子計数方法。
4. 【請求項４】被検液を所定の流路内に排出すると共に、
   当該流路内を流れる上記被検液に対して光ビームを照射
   し、上記被検液に含まれる粒子によつて散乱された上記
   光ビームの散乱光又は上記被検液を通過する上記光ビー
   ムの光量変化に基づいて上記粒子を計数する粒子計数方
   法において、 上記被検液と同種の純粋な液体でなる予備液を上記流路
   内に排出する第１のステップと、 上記粒子の計数動作を開始する第２のステップと、 上記被検液を上記流路内に排出する第３のステップとを
   具えることを特徴とする重力沈降速度が大きな粒子を含
   む被検液中の粒子数を計数する粒子計数方法。