JP3280386B2 - 流体中でサスペンドされた粒子の沈降および光学的検査のための方法と装置および該方法を達成するためのキュベット - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 発明の分野 本発明は、流体中でサスペンドされた粒子（suspende
d particle）の沈降および光学的検査のための方法と装
置および当該方法を達成するためのキュベットに関す
る。

発明の背景 研究所の業務において、流体（乳濁液または懸濁液）
中でサスペンドされた粒子を光学的にかつ顕微鏡を用い
て検査する必要性は、粒子をその形状によって分類し、
様々なフラクション（fraction）の濃度を決定するため
に生じる。医療上の業務では血球総数を決定したり、尿
沈殿物の分析などがこのような作業によってなされる。
同様に、このような検査が、たとえば食品加工または薬
品産業等のその他の産業分野において行われている。

従来、このような検査はサンプルを実験チューブに充
填し、それを所定時間遠心分離器にかけることによって
沈殿させ、浮遊物を除去し、必要に応じてその沈殿物を
均質化し、かつ染色し、その一滴を顕微鏡スライドに移
し、カバーグラスで覆い、顕微鏡を通してその観察され
た画像を人間の目によって評価し、必要な数の画像エリ
アについて評価を繰り返す、という手順によって行われ
てきた。

上述の伝統的な方法は、非常に不正確で、時間のかか
るものであり、その自動化はほとんど不可能である。こ
の従来の方法を簡素化するために数多くの方法が開発さ
れた。

流体中でサスペンドされた粒子を調査するために適し
ている公知の方法においては、かなりの量のサンプルを
フローセル内を通過させ、サンプル中でサスペンドされ
ている粒子が光学的に観察および分析される。このよう
な方法は、米国特許第4,393,466号明細書および第5,12
3,055号明細書において詳述されている。

これまでの公知の方法における欠点としては、移動す
る粒子を光学的に監察しうる時間はほんのわずかな時間
にすぎないという点であり、したがって各粒子を分析す
るのに利用できる時間は限られているため、実際には形
態上（morphological）の実験を行う方法はないという
ことになる。

発明の開示 本発明の目的は、それ自体が容易な自動化につなが
り、さらには迅速で比較的正確である改良された方法を
提供することにある。

本発明の他の目的は、流体中でサスペンドされている
粒子を光学的に検査するために調製するのに適している
装置を提供することにある。

本発明のさらなる目的は、流体中でサスペンドされて
いる粒子を光学的検査のために迅速に調製することを可
能にするキュベットを開発し、このような光学的調査を
そのキュベットを用いて実施することにある。

本発明の一つの態様において、流体中でサスペンドさ
れた粒子を沈降および光学的に検査する際に、テストさ
れるサンプルが沈殿され、沈殿物が光学的に検査される
方法が提供されている。この方法は以下の工程からな
る： 必要に応じて染色されたサンプルを平面ベースプレー
トが設けられたキュベットに入れ、その内部で沈降さ
せ、沈降後にキュベットを水平な位置に保持しながらサ
ンプルを下から光学的に検査する。

本発明による方法の好ましい実施例において、サンプ
ルの沈降は遠心分離することによって行われる。さら
に、ベースプレートに対して垂直な加速成分と、これに
対して平行な成分であってこのキュベットに対して作用
する率が10よりも高い値に維持されることが好ましい。

本発明の別の態様において、この方法を実行するため
の装置が提供されている。本発明による装置は、コンベ
ヤおよびこのコンベヤに沿って設けられるキュベット投
与手段、さらにはキュベットをコンベヤに沿って移動さ
せる移動機構およびサンプルフィーダを備え、キュベッ
トには平面ベースプレートが設けられている。コンベヤ
に沿って遠心分離器が配され、それに続いて顕微鏡対物
レンズと開口部を有する水平に位置された対象物プラッ
トフォームからなる光学ユニットがある。顕微鏡対物レ
ンズは、この対象物プラットフォームの下方に設けられ
る。

本装置の好ましい実施例において、遠心分離器にはア
ームに装備される自己調心式のキュベットホルダーが設
けられる。この遠心分離器は、キュベットホルダーが連
結される垂直シャフトに対して２自由度の回転を可能に
するピボタルなジョイント（pivotal joint）によって
固定されうる。

さらなる好ましいバージョンにおいて、遠心分離器は
水平軸に固定される。キュベットホルダーはこのシャフ
トに対して水平シャフトに平行な軸の回りを回動可能に
する固定式あるいはピボタルなジョイントを介して装備
される。このジョイントが固定式のものであるならば、
このジョイントによってキュベットホルダーはこの軸に
対して固定位置に固定される。この固定位置はシャフト
の軸に平行であり、遠心分離が完了した後シャフトの最
終位置にある場合には水平である。これが遠心分離器内
におけるキュベットの最低位置であり、沈殿物が接線方
向に変位するのを防止するため水平に配向されている。
遠心分離器は、キュベットを遠心分離する前に水平に保
持するため、同じ角度位置からスタートするのが好まし
い。

光学ユニットの対象物プラットフォームと顕微鏡対物
レンズとは軸方向への変位を可能にするシールによって
互いに連結されていることが好ましく、このシールは顕
微鏡対物レンズと対象物プラットフォームとの間に真空
チャンバを構成する。この真空チャンバには真空ポンプ
が真空連結管を介して連結されている。この真空ポンプ
によって与えられる吸引力によってキュベットはプラッ
トフォームに対して押圧され、それによりキュベットの
ベースプレートと顕微鏡対物レンズとの間の距離が一定
に保持されうる。

本発明のさらなる態様によれば、上述の方法を実施す
るため、および上述の装置と共に用いられるためのキュ
ベットが提供されている。このキュベットには平面ベー
スプレートが設けられ、カバープレートがこのベースプ
レートに均一な厚みのフレームを介して取り付けられて
いる。キュベットには、さらにこのキュベットの内部に
サンプルを充填するための開口部が設けられている。こ
のキュベットのベースプレートは、光学ユニットの対象
物プラットフォームに設けられる開口部の周辺にその弾
性変形によって密着しうる程度の弾性を有する。

このようなキュベットの好ましい実施例において、サ
ンプルを充填するための開口部はフレームを通って導
き、ベースプレートとカバープレートとによって構成さ
れる空間と流体的に連通している。この開口部には、開
口部を閉塞するためのプラグが設けられている。

図面の簡単な説明 本発明、その特徴および利点について、添付の図面を
参照しつつ説明する。これら図面において、 図１は本発明にしたがう方法を実行するための装置の
概要図、 図２は本発明による方法において用いられるキュベッ
トの正面図、 図３は図２において示されるキュベットを遠心分離す
るために適した、垂直軸を有する遠心分離器の変形例、 図４は図２において示されるキュベットを遠心分離す
るために適した、水平軸を有する遠心分離器の別の変形
例、 図５は本発明に沿った方法において用いられるサンプ
ルの加速および減速の対数時間図、 図６は顕微鏡を用いた光学的検査の概要横断面図、 図７は本発明の方法によって調製されたサンプルの光
学的検査におけるマイクロスキャナの使用を示す概要横
断面図である。

好ましい実施例の詳細な説明 本発明にしたがった方法において、−必要に応じて染
色された−サンプルは平らなキュベットに注入され、そ
のキュベットは遠心分離され、遠心分離の際には底部平
面に対して垂直な加速が同平面に対して平行なものより
も少なくとも10倍以上高くなるように選択される。必要
な期間、遠心分離を行ったのち、キュベット内のサンプ
ルはキュベットを水平位置に保ったまま下から光学的に
検査される。図１において、本発明による方法を実行す
るための装置は、ここでは概要的にのみ示されている
が、キュベットフィーダ16を有しており、これは後述す
るように平らな形状のキュベット10をコンベヤベルト17
の上に設けるためのものである。コンベヤベルト17によ
ってキュベット10は必要に応じてサンプルの染色をも行
うのに適している（略図化してのみ示されている）サン
プル投与手段20に移動される。ここから充填されたキュ
ベット10は必要に応じてキュベット10を閉塞するプラギ
ングユニット30内に入る。その後、キュベット10はベル
トコンベヤ17に沿って配されている遠心分離器４に移動
され、これにより以下にさらに詳述されるような方法に
おいて遠心分離が行われる。

水平に設けられたキュベット10は、遠心分離器45から
顕微鏡光学ユニット50内に入り、このユニットは画像検
知ユニット（たとえば、ビデオカメラ等）を介して公知
の方法によって光学的検査を行う処理ユニットに対して
連結されうる。コンベヤベルト17に沿ってさらなる光学
的検査を行うのに適した、たとえばマイクロスキャナを
含むユニット等の光学ユニットを設けることが可能であ
り、必要に応じてこれを用いてさらなる光学的検査を行
いうる。場合によって顕微鏡ユニット50またはマイクロ
スキャナ60のいずれかを省略することが可能である。

本発明に沿った方法を実施する際に、実質的に平らな
形状のキュベット、すなわちその垂直高さが小さいもの
が必要となる。このようなキュベットは図２において示
されている。このキュベットは、ベースプレート12とカ
バープレート11を有し、この間にキュベットの高さｄを
決定するフレーム15が設置されている。カバープレート
11には開口部18が設けられており、これを介して検査さ
れるサンプルが充填される。必要に応じて開口部18はプ
ラグ14でもって閉塞されうる。

図２において示されるキュベットの比較的低い高さｄ
によって、沈降または遠心分離の時間をかなり短縮する
ことができる。従来、60から100mmの長さであった沈降
経路（sedimentation path）に対して、この限定された
高さによって沈降経路が0.2から2mmのみになることを意
味する。沈降の後、安定した層をいわゆる浮遊物（上部
分離層）から分離することは非常に困難であろうが、本
発明においてそのような分離は必要でない。その代わり
に層の相対的変位を防止するために、沈殿後にはキュベ
ット10を注意深く移動させる必要がある。このように注
意深い方法をとると底部の沈殿物を下から検査すること
ができる。このためキュベット10のベースプレート12は
良好な透明性と一定の厚みを有する光学的グレードのガ
ラスまたはプラスチックからなる。さらに、ベースプレ
ート12についてはわずかにレジリエントな（resilien
t）または柔軟性を有する材料を選択することが適当で
ある（その理由については以下に記す）。このため一般
的に顕微鏡検査において用いられる厚みが0.17mmのカバ
ープレート用の材料が適切である。もちろん、この厚み
は、たとえば0.05から0.3mm等の範囲にある他のいかな
る値であってもよい。

開口部18は、フレーム15に設けられる横向きの通路に
も連結されることができ、これにも自己閉塞式のカバー
が設けられうる。フレーム15上に形成された位置決めノ
ーズ13によって、キュベット10が正しく左右に設けら
れ、かつ当接される。しかしながら、このような付加的
要素を付与することは必ずしも必要ではない。

本発明に沿った方法を実施するに際し、沈降経路の長
さを短くし、従来の遠心分離器等によって理想的な加速
を加えることによって、遠心分離の所定時間は従来の方
法において必要であった時間の約100分の１となる。

これは従来の方法に比べて実験されるサンプル中に存
在する壊れやすい粒子（たとえば、尿中の尿円柱（cyli
nder）など）を傷つける危険性が低くなるという点にお
いても有利である。しかしながら、遠心分離の実施の際
には、特別な注意が必要である。サンプルを充填したの
ちには、取り扱いおよび評価の全期間の間、サンプルの
流体およびサスペンドされた、またはすでに沈殿した粒
子のそれぞれに対して作用する力および加速が確実にベ
ースプレート12に対して垂直または少なくともほぼ垂直
であるように注意しなければならない。このような条件
を満たす可能性は、特別な遠心分離器、顕微鏡およびキ
ュベット10を移動させるコンベヤベルト17を備える本発
明にしたがった装置によって提供される。

もちろん、遠心分離を行うのは、沈降経路の長さをよ
り短くすることによってより短い自発的な沈降時間が充
分でなかったり、またはいかなる理由にせよ、より短い
沈降経路およびより短い遠心分離に要する時間によって
えられる利点を享受することが有意義である場合にの
み、必要とされる。

遠心分離の作業を含む、本発明に沿った方法を実施す
る際に、遠心分離器40を始動および停止させる時に生じ
る過渡的プロセスによって沈降経路の長さが短いことに
起因すると思われる作動時間がきわめて短い場合に沈降
の動きに影響を与えることがないようにすることに注意
を払う必要がある。単一軸回りを放射状に揺動するサン
プルホルダーを用いることは、サンプル内で生じるかな
りの接線方向の力の影響下における加速および減速の間
にサンプルホルダーが偏移しないため、これら要件を満
たすためには不適切である。その代わり図３に示される
ように、キュベット10を支持するキュベットホルダー43
が２自由度のヒンジ42を介して直立な、すなわち垂直な
シャフト41に取り付けられているアーム44に連結されて
いるような構造を用いることができる。ヒンジ42の構成
については、ボールおよびソック・ジョイント（ball−
and−socked joint）であっても、センタークロス（cen
ter cross）を有するいわゆるユニバーサルジョイント
であってもよい。この場合、遠心分離器45を始動させる
際にキュベットホルダー43はヒンジ42の回りを振り子の
ように放射状および接線方向の両方に揺動可能であるた
め、キュベット10に作用する加速がキュベット10のベー
スプレート12に対して垂直であることが達成されうる。
キュベットホルダー43の揺動が緩衝要素等によって減衰
されてはならないのは、これらにより接線方向の、すな
わちベースプレートに対して平行な方向の加速を生じさ
せ、そのため沈降プロセスにかなりの影響を与えたり、
すでに沈殿した層をかき乱したり、変位させたりする可
能性があるためである。キュベットホルダー43に対して
妨げとなる振動は、遠心分離器を駆動するモータの加速
および減速を制御することによって避けなければならな
いことは明らかである。

図４は遠心分離器40の別の変形例を示しており、これ
は水平シャフト45に装備されるアーム44と、この単一シ
ャフトに対してジョイト46を介して連結されるキュベッ
トホルダー47とを有している。この場合、キュベットホ
ルダー47は回動平面において回動可能であることが容易
に理解されうるため、１自由度のヒンジまたはジョイン
ト46を用いることで充分である。この場合、キュベット
10をキュベットホルダー47に挿入することがより簡単で
あり、駆動モータの加速および減速の制御もより簡単と
なる。このような回転式ではなく固定されたジョイント
を用いた場合には振動部分が含まれないため、モータお
よびそれに連結されるその他の回動要素の過渡状態のみ
を考慮するだけでよい。この場合、固定されたサンプル
ホルダーが遠心分離器40のシャフト45の上に装備され
る。このサンプルホルダーは沈殿物の変位を避けるため
にキュベットを垂直に、その最低位置に保持するべく配
向されており、キュベット10を遠心分離完了後に水平に
保持するためにはシャフト45が同じ角度位置において停
止しなければならない。遠心分離器40は同じ角度位置か
ら始動されうるので、遠心分離前の自発的沈降はそのキ
ュベットの主平面に対して垂直に向けられる。

遠心分離器40の加速の制御は、たとえば図５の図式に
よって達成されうる。広範囲の表示を行うため、加速、
時間および周速はすべて対数目盛において示されてい
る。減速についても同様の図式にて表されうる。図示さ
れているケースにおいて、遠心分離器の半径は50mmであ
り、接線加速度a_tは3m/s²であり、また対応する求心加
速度a_rおよび周速ｖの値もまたそれぞれ図式において単
位m/sおよびm/s²で与えられている。このような値の均
一な加速のケースにおいては求心加速度の大きさを超え
る接線加速度が作用し、したがってサンプルに対して約
0.05sの間しか作用せず、この時間の長さは全遠心分離
の所要時間に対しては無視されうるものとなる。これは
とくに、典型的には生物学的サンプルが属するような、
ティキソトロピック（tixotropic）な特性の媒体におい
ては低い加速度ではまったく沈降が起こらない場合にあ
てはまる。加速の際に、周速は時間との関数において直
線状に増加する一方、加速度は時間の自乗に対して比例
する、すなわち求心加速度に対して接線加速度は0.2sを
過ぎるや否やますます無視されうるものとなる。

沈降プロセスを妨げる接線加速度の効果をさらに減少
させるためには、水平あるいは横向きのシャフト45を備
えた遠心分離器を用い、キュベット10をその最も低い位
置ではなく、遠心分離40のアーム44に設けられたキュベ
ットホルダー47に対して横の位置に固定し、この位置か
らキュベットを下方に始動させることがよい。典型的な
ケースにおける遠心分離の所要時間は3sであり、その間
において遠心分離器は停止状態から、たとえば1800r.p.
m.に加速し、次に一定の速度において駆動することなく
すぐに減速し始め、停止状態に至る。この全時間におい
て全部で42回転を行う。遠心分離の非常に短い初期時間
においては接線加速度を求心加速度の10分の１未満に保
持するという条件は満たされていないことは容易に理解
されうる。しかしながら、この短時間は沈降プロセスに
対して重大な影響を及ぼすには充分でない。重心加速度
をも考慮する場合には、この条件は容易に満たされるこ
とになる。

遠心分離器40に振動するキュベットホルダーが設けら
れない場合、遠心分離器を始動する前にこれを４分の１
回転分、後続の回転方向とは反対の方向に動かすことに
よってモータの“ランナップ（run−up）”始動をえる
ようにする。こうして始動時にはキュベットが垂直位置
を呈するが、垂直方向における沈降経路のほうがかなり
長い。よって、キュベットを短時間垂直位置に保つこと
によって沈殿が、この時間における重心加速度の方向も
また接線方向であるにもかかわらず、実質的に影響され
ない。にもかかわらず、この垂直位置の所用時間は可能
な限り短くすべきである。水平または垂直シャフト45を
備えた遠心分離器が用いられる場合、起動後付加される
周速の大きさは重心加速度に達するかまたは少なくとも
そのレベルに接近する求心加速度をえることができるも
のであるのがよい。始動が最低点から行われる場合、周
辺加速度の値は約3.1m/s²となる。遠心分離器が反対方
向に角度変位された位置から始動された場合にはより低
い加速度が必要となる。以下において、周辺加速度は速
度の自乗に比例する形で増加されることができ、容認さ
れる加速度は装置の機械上のパラメータによってのみ限
定されるものである。すでに安定した層をかき乱したり
変位することを避けるために、減速については加速以上
に注意深く行われなければならない。減速期間の終わり
において、キュベット40がちょうどその低い水平位置に
なろうとする時に遠心分離40のアーム44を停止状態にす
るようにすべきである。

遠心分離器40において沈降を実施した後、キュベット
10は光学ユニット50上のコンベヤベルト17に沿って滑動
される。この位置は図６において示されている。光学顕
微鏡ユニット50は対象物プラットフォーム59、この下方
に位置される顕微鏡の対物レンズ57、さらにはその上方
にそのコンデンサ58が図６（および７）に示されている
照明手段を備えている。対象物プラットフォーム59に
は、対物レンズ59とコンデンサ58の中心線を通るような
開口部51が設けられている。開口部51の周りにおける対
象物プラットフォーム59は薄くなっており、この部分は
真空密閉シーリング55によって覆われている。シーリン
グ55は、対物レンズ57が軸方向に変位されることを可能
にする弾性材料からなる。シーリング55と対象物プラッ
トフォーム59間の真空チャンバ54を形成する空間は、図
示されな真空ポンプに真空間56を介して連結されてい
る。対象物プラットフォーム59の上部表面は、光沢を有
するように磨かれており、キュベット10がその上をスク
ラッチすることなく容易にスライドしうるようになって
いる。摩擦を低減するために、対象物プラットフォーム
59に摩擦低減層を設けてもよい。

キュベット10が開口部51の上に押圧されると真空チャ
ンバ54はキュベットによって閉塞され、こうして発生す
る真空の吸引効果によってキュベット10のベースプレー
ト42が対象物プラットフォーム59の表面に対して密着す
る。付加される真空力は、キュベット10をわずかにその
位置に保持し、キュベット10と対象物プラットフォーム
59間の空気層を除去するためにのみ用いられるため、高
いものでなくてもよい。このような弱い真空力によっ
て、開口部51上のキュベット10の位置を調節することも
可能となる。このキュベットの矯正的変位を可能にする
ため、付加される真空力を低減することはできるもの
の、一般的にそのようなことは必要でない。したがっ
て、その上にある流体53によって光学的検査が妨げられ
ないためにキュベット10内の沈降物が残留したまま光学
的検査を実施することができる。本発明に沿った構成の
好ましい特徴として、キュベット10のベースプレート12
は従来の顕微鏡を用いた検査において用いられるカバー
プレートと同じ材料を用いて製造されることができ、ベ
ースプレートの厚みは、たとえば0.17mmでありうる。こ
のようなカバープレートの境界平面は平行であり、その
厚みは正確に密着されうる。このことにより、対物レン
ズの拡大能が通常範囲の10から40にあり、通常0.65であ
る口径が0.5から0.8の範囲にあり、焦点深度が１から３
μｍの間であると仮定すると、顕微鏡における対物レン
ズ57の位置を変形することなく光学的検査を行うことが
可能である。具体的には、このケースにおける検査の対
象はベースプレート12のみが対象物と光学装置との間に
介在した形でキュベット10のベースプレート12に堆積し
ている沈殿物であるため、光学的条件は沈殿物52上に浮
遊している流体53とキュベット10のカバープレート11に
よって影響されない。キュベット10に作用する真空の押
圧力によって充分な正確さでもってキュベット10と顕微
鏡対物レンズ57との間の隙間は確保されている。この間
隔をできる限り正確にするために、ベースプレート12に
はレジリエントな材料を選択し、それ自身が正確に対象
物ホルダー59の表面に対して適応することを確実にしな
ければならないことが特別に重要となる。このことによ
って数ミクロン単位の正確さでもって位置づけをするこ
とが可能となり、よって一般的には厄介であり、時間を
要するさらなる修正を必要とするようなサンプル毎の焦
点の再調整が必要でなくなる。

キュベット10に含有されるサンプルの自動的評価のた
めには、顕微鏡の視野に現れる画像が連続的にディジタ
ル化されなければならない。不均一な沈降に起因するエ
ラーを避けるためにキュベット10は開口部分上のいくつ
かの異なる位置において繰り返し光学的検査を行うべく
位置づけされうる。図７においてマイクロスキャナが備
えられている光学的ユニット60が示されており、ここに
おける顕微鏡対物レンズ57には、センサ列62が連結され
ていることによって線状画像が電気信号に変換される。
評価の際にキュベット10は図においてフィード61の方向
に変位され、線状に変換された画像の必要な情報がセン
サ列の出力として連続的に入手可能となる。よって画像
は各線に沿って走査され、数回繰り返される走査によっ
て所望のサイズの明晰な画像の光学的評価が可能とな
る。この構成はビデオカメラを代用するものとして適し
ており、走査された画像フレームからえられた光学情報
のよりよいディジタル化のための手段を提供する。

キュベット10を移動させる際に、沈殿物52をかき乱さ
ないように絶えず注意すべきである。例えば対象物プラ
ットフォーム59に摩擦低減コーティング63を付与するこ
とによって付着摩擦によって生じうる些細な振動をも避
けるべきである。このコーティングの好ましい材料とし
てはPTF（ポリテトラフルオロエチレン）などがある。

本発明の方法および装置は、廃水処理の制御、環境制
御、産業生産における種々のサスペンション（suspensi
on）の検査、人間および動物の両方の医療上の検査にお
ける体液の細胞学上の検査、その他食品および薬品産業
における生物学的実験等において有益に用いられうる。

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】キュベット10内のサンプル液中でサスペン
   ドされた粒子の沈降および光学的検査のための装置であ
   ってコンベヤと、 該コンベヤに沿って配列されたキュベット投与手段20
   と、 該キュベットを遠心分離器40まで移動する移動機構と、 最低位置において該キュベットを水平に保持するキュベ
   ットホルダーが連結された水平軸45を備えた遠心分離器
   と、 該キュベット内で粒子を検査するための光学ユニット50 とからなる装置。
2. 【請求項２】キュベットホルダーがジョイント46によっ
   て前記軸に連結されてなる請求の範囲第１項記載の装
   置。
3. 【請求項３】前記ジョイントが固定されたジョイントで
   ある請求の範囲第２項記載の装置。
4. 【請求項４】前記ジョイントが１自由度を有してなる請
   求の範囲第２項記載の装置。
5. 【請求項５】前記ジョイントが前記水平軸に平行な軸の
   回りの回転を許す請求の範囲第４項記載の装置。
6. 【請求項６】前記光学ユニットが、水平方向に向けられ
   たベースプレートによって前記キュベットを支持するた
   めの水平に設けられた対象物プラットフォーム59と、該
   対象物プラットフォームの下に設けられた顕微鏡対物レ
   ンズ57とからなる請求の範囲第１項記載の装置。
7. 【請求項７】前記光学ユニット50,60の対象物プラット
   フォーム59および顕微鏡対物レンズ57が、軸方向の変位
   を許すシール55によって互いに連結され、該シールが、
   顕微鏡対物レンズと対象物プラットフォームとのあいだ
   真空チャンバ54を閉じ込め、真空ポンプが真空接続パイ
   プ56を介して前記真空チャンバに接続されてなる請求の
   範囲第６項記載の装置。