JPS6054488A - レ−ザ発振器 - Google Patents
レ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS6054488A JPS6054488A JP16353383A JP16353383A JPS6054488A JP S6054488 A JPS6054488 A JP S6054488A JP 16353383 A JP16353383 A JP 16353383A JP 16353383 A JP16353383 A JP 16353383A JP S6054488 A JPS6054488 A JP S6054488A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- laser tube
- tubes
- pipe
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はレーザ発掘器に関するものである。
従来例の構成とその問題点
レーザ発振器としては封止切り型、ガス循環型等様々の
方式があるが、第１図にガス循環型レーザ発振器の従来
例を示す。
方式があるが、第１図にガス循環型レーザ発振器の従来
例を示す。
１は基板、２がミラー及びミラー調整機構支持体３がレ
ーザ管でレーザ管ホルダ４及び６により支持される。６
１は絶縁碍子である。６はガス循環ポンプで系内のガス
はこのガス循環ポンプ６により矢印７１の様に配管７，
８．９’ｙ通リレーザ管３ｆ経て再びポンプ６に戻って
来る。
ーザ管でレーザ管ホルダ４及び６により支持される。６
１は絶縁碍子である。６はガス循環ポンプで系内のガス
はこのガス循環ポンプ６により矢印７１の様に配管７，
８．９’ｙ通リレーザ管３ｆ経て再びポンプ６に戻って
来る。
ガス循環ポンプ６で１／−ザ管３内に媒質ガスを循環さ
せながら、レーザ管３内で放電を行させレーザ光線１ｏ
を得ている。図は２段折り返し型の場合を示しているが
、真空排気系、レーザガス導入系、それに支持体２の一
端に設けられている折返し鏡は省略しである。
せながら、レーザ管３内で放電を行させレーザ光線１ｏ
を得ている。図は２段折り返し型の場合を示しているが
、真空排気系、レーザガス導入系、それに支持体２の一
端に設けられている折返し鏡は省略しである。
第２図は中央のレーザ管ホルダ部の拡大断面図である。
レーザ管３内を通過したガスはレーザ管ホルダ６の内部
を経て配管９を通りガス循環ポンプ６に至る。レーザ管
ホルダ６は絶縁碍子６１をはさんで基板１に、ポンプ６
も基板１にそれぞれ固定される。レーザ管ホルダ５とポ
ンプ６の間は相互の熱膨腸や基鈑１の変形等を吸収する
だめに０リングシール５２，６１等により摺動が可能な
構造どなっており、レーザ管３位置を変動させることの
ない様工夫されている。
を経て配管９を通りガス循環ポンプ６に至る。レーザ管
ホルダ６は絶縁碍子６１をはさんで基板１に、ポンプ６
も基板１にそれぞれ固定される。レーザ管ホルダ５とポ
ンプ６の間は相互の熱膨腸や基鈑１の変形等を吸収する
だめに０リングシール５２，６１等により摺動が可能な
構造どなっており、レーザ管３位置を変動させることの
ない様工夫されている。
ところが今大気圧ｆＰｏ、系内の圧力をＰとすると、系
内のレーザガス圧ＰがＰｏと等しい場合はレーザ管ホル
ダ５には何らの力も発生しないが、一般のガスレーザで
は数十Ｔｏｒｒの低圧で運転されるため、 Ｆ ＝（π／４）ｘＤ ｘ （Ｐｏ−Ｐ ） Ｋ９の力
Ｆが図中矢印方向に働く。（ただしＤは配管９の外径で
ある。） たとえばＤ＝＝６Ｃｒｎ、Ｐｏ＝７６０ＴＯｒｒ、ｐ＝
２０ＴＯｒｒとすると、Ｆ ＝ ２７．５ Ｋｙとなり
絶縁碍子５１には大きな負担がかかるばかりでなくこの
曲げモーメントによるたわみによりレーザ管３位置が変
動しレーザ出力やモードに大きな影響を与える結果とな
っていた。
内のレーザガス圧ＰがＰｏと等しい場合はレーザ管ホル
ダ５には何らの力も発生しないが、一般のガスレーザで
は数十Ｔｏｒｒの低圧で運転されるため、 Ｆ ＝（π／４）ｘＤ ｘ （Ｐｏ−Ｐ ） Ｋ９の力
Ｆが図中矢印方向に働く。（ただしＤは配管９の外径で
ある。） たとえばＤ＝＝６Ｃｒｎ、Ｐｏ＝７６０ＴＯｒｒ、ｐ＝
２０ＴＯｒｒとすると、Ｆ ＝ ２７．５ Ｋｙとなり
絶縁碍子５１には大きな負担がかかるばかりでなくこの
曲げモーメントによるたわみによりレーザ管３位置が変
動しレーザ出力やモードに大きな影響を与える結果とな
っていた。
発明の目的
本発明は上記従来の欠点を解消するもので共振器や配管
系が、真空抽気やいかなる低圧のレーザガスに」：る運
転時にも大気圧の影響を受けることなく安定にレーザ発
掘を行なわせると共に装置を構成する主要な部品に負相
をかけず小型化全達成し、それら部品の耐久性全増大さ
せるものである。
系が、真空抽気やいかなる低圧のレーザガスに」：る運
転時にも大気圧の影響を受けることなく安定にレーザ発
掘を行なわせると共に装置を構成する主要な部品に負相
をかけず小型化全達成し、それら部品の耐久性全増大さ
せるものである。
発明の構成
本発明は上記目的を達成するもので、レーザ管と、前記
レーザ管全保持するレーザ管保持部と、前記レーザ管保
持部に接続された第１の配管と、前記第１の配管に対向
Ｌ％一端がレーザ管保持部に接続された第２の配管とを
備え、前記レーザ管はレーザ管保持部を介し、前記第２
の配管の他端は固定手段を介してそ力、ぞれ基板上に設
置されており、前記第１の配管及びレーザ管保持部を介
してレーザ管内に媒質ガス全循環させるとともに、前記
第１と第２の配管がほぼ同径をなし、かつ両配管内の圧
力が同圧となく如く構成さね、ていることを特徴とする
レーザ発振器′ｆｆ提供するものである。
レーザ管全保持するレーザ管保持部と、前記レーザ管保
持部に接続された第１の配管と、前記第１の配管に対向
Ｌ％一端がレーザ管保持部に接続された第２の配管とを
備え、前記レーザ管はレーザ管保持部を介し、前記第２
の配管の他端は固定手段を介してそ力、ぞれ基板上に設
置されており、前記第１の配管及びレーザ管保持部を介
してレーザ管内に媒質ガス全循環させるとともに、前記
第１と第２の配管がほぼ同径をなし、かつ両配管内の圧
力が同圧となく如く構成さね、ていることを特徴とする
レーザ発振器′ｆｆ提供するものである。
実施例の説明
第３図に本発明の一実施例であるレーザ発振器の斜視図
を示す。
を示す。
本実施例は大気圧を相殺するためにレーザ管ホルダ４及
び５に、配管４１及び５３、固定板４２及び６４全設け
たことが特徴であり、他の部位には第１図と同じ番号を
付してその説明を省略する。
び５に、配管４１及び５３、固定板４２及び６４全設け
たことが特徴であり、他の部位には第１図と同じ番号を
付してその説明を省略する。
本構成で配管９と５３．８と４１のシール部の径を同−
又はそれに近い値にしておけば大気圧による力Ｆは固定
板５４及び４２が受けることになり・レーザ管ホルダ５
及び４は外力の影響全さけることができる。
又はそれに近い値にしておけば大気圧による力Ｆは固定
板５４及び４２が受けることになり・レーザ管ホルダ５
及び４は外力の影響全さけることができる。
第４図に中央のレーザ管ホルダ部の拡大断面図を示す。
レーザ管ホルダ６の一方側は配管９を介してガス循環ポ
ンプ６に結合されており、反対側には圧力相殺用の配管
５３が設けられており、配管６３は固定板５４で支持さ
れている。配管９と配管５３との外径りは等しく設定し
であるので、レーザ管３を挾んで両■０の圧力は等しく
保たれ、大気圧とレーザガス圧との差により発生する力
Ｆは固定板５４で防禦されるため、絶縁碍子５１に不当
な負担がかかることイ、なく、レーザ管３は安定に保た
れ常に安定な出力が得られる。
ンプ６に結合されており、反対側には圧力相殺用の配管
５３が設けられており、配管６３は固定板５４で支持さ
れている。配管９と配管５３との外径りは等しく設定し
であるので、レーザ管３を挾んで両■０の圧力は等しく
保たれ、大気圧とレーザガス圧との差により発生する力
Ｆは固定板５４で防禦されるため、絶縁碍子５１に不当
な負担がかかることイ、なく、レーザ管３は安定に保た
れ常に安定な出力が得られる。
第５図に本発明の他の実施例全示す、
本実施例は圧力相殺用の配管５５に伸縮自在管（ベーロ
ーズ等）を用いており、さらに固定板５４を貫通して配
管５５と連通ずる給排気管６６を設け、給排気管６６に
よりレーザガスの補給や排気を行うようにしたもので、
固定板６４と伸縮自在の配管６６により、レーザ管は安
定に保たれる。
ーズ等）を用いており、さらに固定板５４を貫通して配
管５５と連通ずる給排気管６６を設け、給排気管６６に
よりレーザガスの補給や排気を行うようにしたもので、
固定板６４と伸縮自在の配管６６により、レーザ管は安
定に保たれる。
第６図に本発明の別の実施例を示す。
本実施例ではレーザ管ホルダ５の配管９の反対側は閉じ
られており、配管６３とは連通していない。
られており、配管６３とは連通していない。
しかしながら、配管６３と配管９とは破線で示した連結
管５７により、必要に応じて給排気管６６を介して連結
さね、でおり同一圧力に保たれているものである、 上記実施例は中央部のレーザ管ホルダ５全例にとって説
明したが、両端のレーザ管ホルダ４の場合についても同
様のことが云えることはもちろんである。
管５７により、必要に応じて給排気管６６を介して連結
さね、でおり同一圧力に保たれているものである、 上記実施例は中央部のレーザ管ホルダ５全例にとって説
明したが、両端のレーザ管ホルダ４の場合についても同
様のことが云えることはもちろんである。
発明の効果
以上要するに本発明は、レーザ管と、前記レーザ管を保
持するレーザ管保持部と、前記レーザ管保持部に接続さ
れた第１の配管と、前記第１の配管に対向し、一端がレ
ーザ管保持部に接続された第２の配管とを備え、前記レ
ーザ管はレーザ管保持部を介し、前記第２の配管の他端
は固定手段を介してそれぞね、基板上に設置されており
、前記第１の配管及びレーザ管保持部を介してレーザ管
内に媒質ガスを循環させるとともに、前記第１と第２の
配管がほぼ同径をなし、かつ両配管内の圧力が同圧とな
く如く構成されていることを特徴とするレーザ発振器を
提供するもので、レーザ発振器を停止して、大気圧を導
入した場合でも又いかなる圧力のレーザガス圧で運転時
も共振器や配管が大気圧の影響で変動することがないた
め出力やモードの安定性が高い。又大気圧の影響全さけ
るため共振器本体の主要ｍ’を従来の様に堅牢に作る必
要がないため小型化が可能でコストダウンがはかれる。
持するレーザ管保持部と、前記レーザ管保持部に接続さ
れた第１の配管と、前記第１の配管に対向し、一端がレ
ーザ管保持部に接続された第２の配管とを備え、前記レ
ーザ管はレーザ管保持部を介し、前記第２の配管の他端
は固定手段を介してそれぞね、基板上に設置されており
、前記第１の配管及びレーザ管保持部を介してレーザ管
内に媒質ガスを循環させるとともに、前記第１と第２の
配管がほぼ同径をなし、かつ両配管内の圧力が同圧とな
く如く構成されていることを特徴とするレーザ発振器を
提供するもので、レーザ発振器を停止して、大気圧を導
入した場合でも又いかなる圧力のレーザガス圧で運転時
も共振器や配管が大気圧の影響で変動することがないた
め出力やモードの安定性が高い。又大気圧の影響全さけ
るため共振器本体の主要ｍ’を従来の様に堅牢に作る必
要がないため小型化が可能でコストダウンがはかれる。
運転停止の繰返しや、圧力変動によるくり返し荷重によ
る月利の疲労を発生させることがないから耐久性と信頼
性が飛開的に向上する。などのさまざ１な効果を発揮す
ることができる。
る月利の疲労を発生させることがないから耐久性と信頼
性が飛開的に向上する。などのさまざ１な効果を発揮す
ることができる。
第１図は従来のガス循環型レーザ発振器の斜視図・第２
図はレーザ管ホルダ部の部分拡大断面図、第３図は本発
明の一実施例としてのレーザ発振器の斜視図、第４図〜
第６図ｄ、本発明の実施例であるレーザ管ホルダ部の部
分拡大断面図である。 １・・・・・・基鈑、２・・・・・・ミラ一部支持体、
３・・・・・・レーザ管、４，５・・・・・・レーザ管
ホルダ、５１・・・・・・絶縁碍子 ６３・・・・・・
配管、５４・・・・固定板、５６・・・・・・伸縮自在
管（ベローズ等）、５６・・・・・給排気管、５７・°
“・・・連結管、６・・・・°循環ポンプ、７．８．９
・・・・・・配管、１０・・・・・・レーザ光線。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第２
図 ＠４図 ６ 第６図
図はレーザ管ホルダ部の部分拡大断面図、第３図は本発
明の一実施例としてのレーザ発振器の斜視図、第４図〜
第６図ｄ、本発明の実施例であるレーザ管ホルダ部の部
分拡大断面図である。 １・・・・・・基鈑、２・・・・・・ミラ一部支持体、
３・・・・・・レーザ管、４，５・・・・・・レーザ管
ホルダ、５１・・・・・・絶縁碍子 ６３・・・・・・
配管、５４・・・・固定板、５６・・・・・・伸縮自在
管（ベローズ等）、５６・・・・・給排気管、５７・°
“・・・連結管、６・・・・°循環ポンプ、７．８．９
・・・・・・配管、１０・・・・・・レーザ光線。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第２
図 ＠４図 ６ 第６図
Claims (1)
- レーザ管と、前記レーザ管全保持するレーザ管保持部と
、前記レーザ管保持部に接続された第１の配管と、前記
第１の配管に対向し、一端がレーザ管保持部に接続され
た第２の配管とを備え、前記レーザ管はレーザ管保持部
を介し、前記第２の配管の他端は固定手段を介；〜てそ
れぞれ基板上に設置されており、前記第１の配管及びレ
ーザ管保持部を介してレーザ管内に媒質ガスを循環させ
るとともに、前記第１と第２の配管がはＷ、同径をなし
かつ両配管内の圧力が同圧となく如く構成されているこ
とを特徴とするレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16353383A JPS6054488A (ja) | 1983-09-05 | 1983-09-05 | レ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16353383A JPS6054488A (ja) | 1983-09-05 | 1983-09-05 | レ−ザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6054488A true JPS6054488A (ja) | 1985-03-28 |
| JPH0125237B2 JPH0125237B2 (ja) | 1989-05-16 |
Family
ID=15775682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16353383A Granted JPS6054488A (ja) | 1983-09-05 | 1983-09-05 | レ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6054488A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4757511A (en) * | 1984-11-24 | 1988-07-12 | Trumpf Gmbh & Company | High frequency folded gross-flow gas laser with approved gas flow characteristics and method for producing laser beam using same |
| JP2001211448A (ja) * | 2000-01-27 | 2001-08-03 | Olympus Optical Co Ltd | 内視鏡装置 |
-
1983
- 1983-09-05 JP JP16353383A patent/JPS6054488A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4757511A (en) * | 1984-11-24 | 1988-07-12 | Trumpf Gmbh & Company | High frequency folded gross-flow gas laser with approved gas flow characteristics and method for producing laser beam using same |
| JP2001211448A (ja) * | 2000-01-27 | 2001-08-03 | Olympus Optical Co Ltd | 内視鏡装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0125237B2 (ja) | 1989-05-16 |
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