JPS60500871A - 回転電極円板装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は固形素材から粉末を製造するための回転円板型の電極装置に関するもの であり、更に詳しく言えばほとんどが球形に近い高純度の金属粉末の生産を商業 規模で可能にするような上述の装置に関するもので金属ならびにその他の粉末は 金属加工物工業分野において、形状を形成するプロセスや、幾種類かの粉末の混 合物を焼結することによって複合材料を形成する−　ために、広く用いられるも のである。このような用途ではしばしば、できれば球形のしかも小粒でかつ粒の 揃った例えば５０〜５００ミクロンの粉末か要求される。従来は、金属塩類の化 学的還元、固形素材の粉砕、液体金属流のガスジェットによる分裂粉砕（ガス噴 砕法）、液体金属流の水ジェン）［よる分裂粉砕（水噴砕法）、その他の機械的 手段によって、粉末が製造されていた。ある種の厳密な用途に対しては、これら の技法では純度、サイズ、形状ならびに均一度の点で良い結果が得られなかった 。もつと満足すべき技法としてはアメリカ合衆国特許第３．０９９．０４１号な らびに第３，８０２，８１６号に示されている回転電極法がある。

このプロセスにおいては通例、雰囲気を調整された一つの室が設けられ、その中 に一つの静止した電極と、第２の電極として機能するようになされている一本の 細長い回転可能な素材の棒とが含まれているものである。モータがこの葦を回転 させる一方、棒は第１の電極に向って棒の長手方間に前進ぎぜられる。両雷極の 間に作り出された電弧が棒の材料を消尽してゆく一方、棒の回転が溶融した材料 を遠心力によって振り飛ばして、粉末を生成する。この棒が、もうそれ以上使え なくなった短片だけが残る所まで消尽された所で、新しい棒が装てんされろ。

上述の装置につきものの一つの問題点は、この棒ないしは消尽される電極の自由 端部が、それ自身の回転によって生ずる遠心力のために、心振れを起こす傾向が あることである。更に、棒の長さは６０インチ（１５２４ｍｍ）で、かつ１０イ ンチ（２５４ｍＩ＋）の短片が残るのが通例で、これでは有効率が８ろ１／３％ に過ぎないこととなる。更に高い転換率が望まれるのは当然である。

これらの棒は、通常直径２インチ（５０，８ｍｍ）から６インチ（７６，２ｍｍ ｍ　）で目的に合った純度のものが入手できる。しかし、最近では要求される粉 末の純度が高くなる一方である。あいにく、純度の更に高い棒材は、２インチ（ ’５０．８　ａｍ　）あるいは５インチ（７６，２朋）の直径のものは入手する ことが難しく、もっと大きいサイズ例えば８インチ（２０３，２ｍｍ　）がら２ ５インチ（６３５１ｍ）のものはたやすく入手できるが、それらのものは取扱い やこのプロセスにかけることが難しい。

発明の概要 そこで、本発明の一つの目的は、粉末製造用の回転電極法のために一つの改良さ れた装置を提供することにある。

更に、本発明のもう一つの目的は、市場で普ａｉＣ入手し得る素材からより一層 高い純度の粉末を製造し得るような該装置を提供することにある。

更に、本発明のもう一つの目的は、従来の棒状の素材の自由端部にか＼る遠心力 につきもの■厄介な問題をなくすよ−うな該装置を提供することにある。

更に、本発明のもう一つの目的は、固形素材からより一層効率的に粉末を製造し 得るような該装置を提供することにある。

更に、本発明のもう一つの目的は、従来の回転電極法の機器に最小限の改造を加 えることによって使用し得るような該装置を提供することにある。

更に、本発明のもう一つの目的は、市場で普通に入手し得る高純度の素材から、 より一層高い純度の、かつほとんどが球形に近い粉末を生産するような該装置を 提供することにある。

更に、本発明のもう一つの目的は、このプロセスにかけるに先立って固形素材に 加えられるべき種々の準備作業や取扱いの必要性を減らすような該装置を提供す ることにある。

本発明は、一枚の回転可能な円板状の素材からなる清純電極を使用し、かつこの 円板が消尽されるにつれて電極間に作り出される電弧を円板の内側に向けて移動 させる一方、消失してゆく円板の縁の圃速を一定に保つために回転速度を比例的 に増してゆくことによって、より一層大きい直径の、より高純度の、かつ市場で 普通に入手し得る素材を粉末に加工する回転電極法のための改良された高効率の 装置ができ上るという形で実現される。

本発明の特色はその中の雰囲気が調整されながら保持さねている一つの室を有す る金属粉末製造用の回転電極装置に代表されろ。この室内には第１の電極を取付 けるための第１の装置と、この室内で第１の電極に対面している第２の消尽され るべき円板電極を取付けるための第２の装置とがある。更に円板電極の周縁部を 溶かすために第１電極と円板電極の周縁部との間に電弧を作り出すための装置が ある。また円板電極を、円板の周縁部を溶かしながらかつ溶けた周縁部をそこか ら振り飛ばすことができるのに充分な速さで回転させるための装置が設けられて いる。

こ−に提示されている一つの実施例では、保持するための第１の装置が、円板電 極の同縁が次々と消尽されてゆくのにつれて電価を円板電極の内側に向けて移動 させるための装置を含んでいる。この移動させるための装置は、消尽される円板 電極に対応して第１電極の角度を変える装置を含んでいてもよい。回転させろた めの装置は、円板電極の回転速度をその直径に反比例１して変えるための装置を 含んでいてもよい。取付けるための第２の装置は、一本の回転可能な心響と、こ の心揮に一枚の消尽されるべき円板電極を取付けるための装置とを含んでいても よ℃・。回転させるための一装置は１台のモータを含むものでもよく、かつその ような実施例では回転速度を変えるための装置はできればモータの速度を調節す る装置を含んでいることが望まその他の目的、特色ならびに利点は、こ＼に提示 する一実施例に関する以下の記述と附属の図面とから明らかになるであろう。

第１図は本発明の回転電極装置を収納する室と、これによって製造される球状金 属粉末を受けろための容器との正面図である。

第２図は本発明による回転電極装置の側面から見た断面図である。

第ろ図は回転可能な心棒に取付けられた本発明の円板電極の切断面図である。

第４図は第１電極を取付けるためと電価を円板電極の内側に向って移動させるた めの装置の一つの構造の６軸方向分解図である。

第５図は第１電極を取付けろための装置のもう一つの構造のろ軸方向分解図であ る。

第６図は該円板電極の回転速度を変えろための装置と、電価を円板電極の内側に 回って移動させるだめの装置の系統図である。

第７図は円板の回転速度を変えろための装置に利用されている円板直径監視装置 の一提案例の側面から見た模式図である。

第８図は本発明に用いられている電価を作り出すための一つの装置の一部分が断 面図になった側面図である。

第９図は回転可能の心棒に別の一つの構造によって取付けられた本発明の円板電 極の、一部が断面図になった図である。

第１０図は第１電極を取付けるためと電価を円板に対応して移動させろための、 別の一つの構造の一部が断面図になった図である。

本発明はその中だ回転円板電極が取付けられている一つの室を有する回転電極装 置によって成立するものである。この室の中には、電価による焼灼プロセスを励 起し、かつ持紗させろためＶＣＲ整された雰囲気が維持されている。通常は室の 内部は一旦排気して真空にしてから、ヘリウムのような不活性ガスで所望の圧力 まで再充てんされる。通常ステンレス鋼でかつ二重壁構造になっている室の内表 面は、室を水冷し得るように配慮されている。またプロセスを見ることができる ようにパイレックスまたは石英の窓が設けられている。

室内には第１の電極（陰極）が円板電極（＠極）の周縁に対面するように取付げ られている。この第１電極はタングステンまたはトリウム被覆タングステンある いはその他の電子放射性金属でできている。そしてこの第１を極は通常、それの 末端部のすぐ近くに設けられ、かつ電価がそこを通って射出される一つの孔をも った銅製のノズルの内部に収納されている。更に第１電極と円板電極の周縁部と の間ｖｃ電電価作り出すための装置が設けられている。後者の方はＴｉ６ＡＬ４ Ｖ　、ステンレス鋼、ニッケルベースの高級合金あるいはその他の合金というよ うな固体金属素材から成っている。

ニッケルベースの高級合金の高純度の再溶解インゴットは通常８インチ（２ＯＬ ２ｍｍ　’）から２５インチ（６３５ｍｍ）の直径に造られる。電極の円板はこ のような高品質のインゴットから容易に生産されろ。このような高級合金のイン ゴットを在来方式の回転電極装置で用いられていた小径（通常２１／２インチ＝ ６６．５ｍｍ）の棒にまで細めるために要する労力に比べればはるかに少い労力 で済む。電価は金属材料の焼灼あるいは溶融をひき起こす。

円板電極はできれば室の外におかれたモータによつて回される心棒に取付けられ ることが望ましく・。この心棒自身もモータによって駆動される軸の端に締結さ れたむく材でできている。通常は、平ベルトを駆動する大径のベルト車をつけた 可変速直流モータが用℃・られる。次いでこのベルトが回転軸の小径のベルト車 を駆動する。ベルト車の直径比は約７：１で従って円板電極を回すために高い回 転速度（例えば最高約１８．［：１００回転／毎分）が得られる。

円板電極が回転するにつれて、その同縁部が次々に連絣して溶かされてゆく。モ ータは円板電極を充分速い速度で回すので、溶融した周縁部は電極から糸をひく ように引き離されてゆく。この円板から糸をひくように引き離されてゆく溶融部 にか＼る遠心力を一定に保つためには、円板の直径が次第：（小さくなるときに 同速度が一定であることが要求される。この方法によって均一な大きさと品質の 球が生産される。そこで、円板の回転速度をその直径に反比例させて変えるため の装置が提供されることとなる。円板の直径な測るための、単波長の光電管装置 といったような円板直径監視装置を含むフィードバック調節システムが用意され して、通常は円板の直径が小さくなってゆくのにつれてモータの速度を増すこと によって、円板の回転速度を増すべく応答する。

（４９，８７ｍ／ｓｅｃ　）であるが、これは在来法による直径２１／２インチ （６５，５ｍｍ）、長さ６０インチ（１５２４酎）の固形素材の棒を１５，００ ０回転／毎分の一定の速さで回すことによって通例得られていた速度である。本 発明においてはこのような見掛は速度を維持するために、次表に示されているよ うに、この速度調節装置が、円板の直径の減小につれて円板の回転数を増してゆ くのである。

走行直径　回転数 インチ　（朋）　回転／毎分 １２　（３０４，８）　３，１２５ １１　（２７９，４）　３．４０９ １０　（２５４，０）　３，７５０ ９　（２２８，６）　４１６７ ８　（２０３，２）　４．６８８ ７　（１７７，８）　５，３５７ ６　（１５２，４）　６，２５０ ５　（１２７，０）　７．５００ ４　（１０１，６）　９．３７５ ３　（７６，２）　１２．５００ 回転する円板電極の周縁部が次々と消尽されてゆくのにつれて、電価を円板電極 の内側に向けて移動させるための装置も代表的なものが用意されている。この目 的のためにもフィードバック調節システムを利用することができる。できれば円 板直径監視装置の測定値を、円板電極が消尽されるのにつれて電価を円板電極の 内側に向って移動させるという方法の中で、第１電極の位置を直径の測定値に応 答しながら調節するようにあらかじめプログラムされている平行移動用および／ あるいは角度変更用せ一ボ機構のような装置を制御するために、提供するのが望 ましい。また別：Ｋｌ：、円板電極の消耗に応じて第１電極の位置を平行移動も しくは角度変更させるための手動制御装置も用意されている。

本発明の回転円板電極を利用することによって転換効率が著しく高められろ。在 来の方向で通常用いられていた直径２　’／２インチ（６６，５ｍｍＬ長さ６０ インチ（１，５２４朋）の棒を焼灼すると１０インチ（２５４酊）の短片が消尽 されないで残り、その結果転換率は５”／６０あるいは８３．３３％となる。本 発明にか＼る円板（半径γ１）が小片（半径γ２）まで焼灼されたとすると、消 尽された比率は γ１２ の比で与えられる。直径１２インチ（３０４，８ｍｍ　）の円板を直径６インチ ＜７６．２ｍｍ＞の小片まで焼灼したとすると、転換効率は９３．７５％となり 、これは在来法をはるかに超える実質的改善である。更に直径の大きい円板を用 いれば、一層高い効率を達成することさえできる。

第１図には本発明にか＼る回転電極装置１０が示されている。マニホルド１２は 室１４の内部につながっており、その中の雰囲気を調整し得るようになっている 。扉１６は室の正面側にヒンジ１８で開くことができるように取付＋４られてい る。扉１６は装置１０の運転中は閉じられており、運転を止めているときには、 室の内部の清掃、点検ならびｉＣ素材の補給のために關いて室内に近づくことが できる。室１４の底部についた漏斗２０は容器２２ｖｃつながっており、室１４ の内部で造られた粉末はこ＼に集められ、所望の貯蔵庫あるいは使用個所に転送 される。

第２図に示すように、室１４の内部はマニホルド１２を通じて調整された雰囲気 になっている。先ず最初、室は図示されて〜・ない外部の真空ポンプによって、 矢印２４で示すように、真空に排気される。次にヘリウムのような不活性ガスが 、矢印２６で示すように、わずかに正圧になるところまで送り込まれる。パルプ ２８が、室内の圧力が所望の範囲内、例えば０．５〜５ｐｓｉｇ（０，０３５〜 ０．３５１　ｋｇ／ｃｍ２　）、に保たれルＪ：ｌｃ、室１４に流入するヘリウ ムの流れを調整する。

ノズル３１ｖｃよって取り囲まれている１本のｔ極３０は、その先端の近くに図 には明示されていない一つの孔をもって〜・る。直流に変換された電価プラズマ 放射トーチを含むこの組立部品は、第４図に一層明確に示されているように、取 付用プラテン）３’２ｖｃそ、の位置２ を調整し得るように取付けられており、このブラケットは更に扉１６の内側に取 付けられている。電極３０はプラテン）３２に沿って上下に、かつ両方向の矢印 ３４で示さくているように角度を調節され得ろようになっている。このような位 置の調節については後に第４図の所で更に充分ｖＣ説明する。

室り後壁４０の中央部の凹み部分３Ｂを貫通して心棒４２が延びているが、この 心棒は軸受４１によって支持されている外部軸４３の軸端ｖＣ固定された１本の 細い（直径約２１／２インチ＝６３．５ｉ＋ｍの）むくの棒材から成っており、 この外部軸は台座４５の上に据付けられたモータ４４の軸４３（ｉによってベル ト車４３ａ。

４３ｂおよびベル）４３ｃを介して回転駆動されるようになって（・る。気密装 置４６は、在来法においてよく知られているように、調整された不活性雰囲気が 心棒４２と後壁４０との間のすき間を通って漏れるのを防いでいる。心！４２の 室１４の内側の端部には消尽されるべき固体金属素材から成る１枚の円板電極４ ８が取付けられている。後に第８図の所で説明するように電極３０と円板電極４ 日の周縁部との間に電価５０が作り出され、それによって電極４８の電価５０に 打たれた部分が溶かされる。モータ４４が心棒４２を、従って円板電極４８を矢 印５２で示すように回し、円板４８の円周郡全体が次々に溶かされてゆく。その 時電極３０は、円板４８の同縁部が次々に消尽されるようにするため電価５０が 円板４８の内側に向けて移動するように、下の方に向けて平行移動するように、 および／あるいは角度を変えるように調整される。回転速度は、粒子群５４で示 されているように電極４８がら溶解した部分を糸をひくように引離すに充分な速 さになっている。これらの粒子は冷えて金属の球状粉末となり室１４の底部に落 下し漏斗２０を経て第１図に示した容器２２の中へ集まる。

周縁の部分がそれぞれ次々に溶かされるのにつれて、第６図および第７図で更に 詳しく説明する円板直径監視装置６０が円板直径の減少を感知し、その情報を速 度調節装置６２に中継し、それが円板電極４８の回転速度を速めて、溶融してで きる粒子群５４が均一な遠心力で振り飛ばされるように作用する。

円板電極４８を心棒４２に取付ける方法が第３図に示されている。電極４８には 軸孔６４が明けられており、この軸孔６４が、心棒４２の内側にすき間が０．０ ０２〜０．００４インチ（０，０５１〜０．１０２龍）の滑りはめ合いで明けら れているはめ込み孔６６と一致するように心棒４２の室内側の端部に合わせてつ けられる。軸孔７０の明いたブツシュ６８が円板の軸孔６４を通って心棒に明け られている孔６６の内径の広がっている部分７２ｖｃはめ込まれる。押えねじ７ ４が軸孔７０を貫通してはめ込まれ、心棒の孔６６の内径の細くなっている部分 ７６の内側に切られたねじ（”／２　１３　Ｕ　Ｎ　ｃ　）に合って締めつけら れるようになっている。押えねじ７４の頭７７がブツシュ６８の抜は出すのを抑 え、ブツシュ６８の頭７８が円板４８を保持している。

新しい円板４８は直径２１／２インチ（６３，５闘）の心棒４２の端部正面にあ てがわれ、円板のセンタリング用のブツシュ６８によって正しく位置決めされ、 かつ心棒の中に切られたねじに合う’／２−１３０　Ｎ　Ｃのねじの六角穴付き 押えねじ７４あるいは類似のねじによってしつかり取付けられる。円板のセンタ リング用ブツシュ６８は心棒に滑りはめ合い（すき間０．００２〜０．００４イ ンチ＝　０．０５１〜０．１０２顛）ではまり合う。すき間６６は、円板が常に がたつかないように取付けられることを確実にしている。

第４図に示したように、電極３０は、電極４８の周縁部が次々に消尽されるにつ れて、電価が電極４８の半径方向に内側に向って移動させられるように調節され ている。電極３０は電価発生装置８０から突き出ており、先端部に孔８２の明い ている／ダル３１によって取り囲まれている。電極とノズルは共に、山車ブラケ ット８６の腕８４に更に取付けられている電価発生装置の中に引き込まれるよ５ ｖｃなっている。ちょうねじ８８が腕９２の孔９０な貫いて取付けられ取付金具 ９６のねじ穴９４ｉＣねじ込まれる。同様のちょうねじ９８が取付はブラケット ３２の長孔１００を貫いて、取付金具９６の反対側の端の図に明示されていない ねじ穴に取付けられる。ブラケット３２はボルト９７によって室の扉１６の内側 に更に取付けられる。ちょうねじ９８を緩めちょうねじを長孔１００の中を長手 方向に動かすことによって、電極３０をブラケット３２の長手に沿ってどこにて も調節することができる。そこでちょうねじ９８を締めればその位置が同定され る。

同様ｖｃ電極３０の角度の不具合は、ちょうねじ８８を緩め、電極３０を上下た は下に回し、そこで所望の位置＋ｃｌｔ極３０を合わせるようにちょうねじ８８ を再び締めることによって調整することができる。

電極３０のこのような平行移動および／または回転による調整は、円板電極４８ が電価５０によって消尽されるにつれて行なわれる。第４図では、円板電極４８ 、が矢印５２の方向へ回されるにつれて、電極（陰極）３０から射出される電価 ５０が円板電極（陽極）４８の周縁部を消尽する。円板の直径はかくして、小さ くなった円板直径の同縁部１０２ｖｃよって示されて〜・るように減小してゆく 。電価５０が円板４８上を内側に向って移動し従って用繰部１０２が溶がされる 。このような移動はちょうねじ９８を綬め、かつ電価発生装置８０を、電極３０ が円板周縁部１０２に直角な対面状態を維持するようにおおよそ矢印１０４で示 されているブラｔツ）３２上の位置に下げることによって行うことができる。も う一つの方法として、ちょうねじ６ ８８を緩め、電価５０が周縁部１０２に突き当たるように電極３０を矢印３４の 方向に下向きに回してもよ（・。

第４図には更に、後に第８図とともにその役目について説明する、電価発生装置 ８ｏに入る電極の配線１０６ならびに水およびヘリウムの５ｉｎｓ、ｉｔ。

が明示されている。

電価が円盤＠電極４８の上を内側に同はて移動するように陰電極３０を自動的に 調整する方法は、第５図に示すようになされている。簡明にするために、ノズル 、配線、水およびヘリウムの線のよう・な構造の細部などは省略しである。電価 発生装置８ｏはまた山型ブラケット１１２の一方の腕１１１に固着されている。

ブラケットのもう一方の腕１１３に明けろオ］だ図示されていない孔を貫いて、 回転サーボ＠構１１６のねぢを切った軸１１４が延びている。ナソ）１１８．１ ２０がブラケットの腕１１３のそれぞれの側で軸１１４ｖｃはめられ、電価発生 装置８ｏおよび電極３ｏが軸１１４と共に回転し得るように腕の両側がら締め付 けられる。

次いてサーボ機構１１６は、ラック１２２ｉＣ明けられた孔１２６を貫いて回転 サーボ機構１１６のＶ示されていない孔にねじ込んで固着されているボルト１２ ４によってラック１２２ｖｃ取付けられている。ランク１２２は長孔な切った支 持枠１２８の中に長手方向に移動し得るようにはめ込まれて−・る。サーボし構 １１６は軸１１４を回転させることによって、円板４８の周縁部が次々に溶けて ゆくのにつれて電価５０が円板４８の内側に向って移動するように、電極３００ 角度の不具合を矢印３４の方向に調整してゆく。

また同様に電極３０の、従ってまたＮ弧５０の自動的な（上および下への）平行 移動も可能である。平行移動サーボ＠樺１３０は軸１３２を含んでおり、それが ラック１２２とかみ合っているピニオン１３６の軸孔１３４を貫いて延びている 。軸１３２の反時計回りの回転がラック１２２の下向きの運動と、従ってそれに よって支えられている電極３０の同じく下向きの運動をひき起こす。サーボ機構 の軸１３２の時計回りの回転は電極３０を上向きに動かすことになる。かくして 電価５０か円板４８の内側に向って平行移動の形で自動的に移動させられろこと となる。

第６図に示すように、サーボ＠構ｉｉａおよび１３０は円板直径監視装置６０に よって与えられる測定値に対応して応答する。監視装置６０は次第に減小する円 板直径を指示し、監視装置６０に線１４０で接紗されているサーボ機構１１６お よび１３０は、電極４８の直径の減小に伴って矢印１４１３で。示されるよ５　 ｖｃｔ弧５０を内側に向けて移動させるべく、電極３０の位置を矢印３゛４で示 す回転の方法で、および／あるいは矢印１４６で示す平行移動の方法で調整する ように応答する。

監視装置６０は同様に線１５０を経て速度調節装置６２に接縛されている。かく して直径の測定値はまた、モータ４４が円板電極４８を回転させる速度を、円板 ４８の直径と反対に、すなわぢ円板直径が小さくなると回転速度が増すよう（Ｃ 変えるへくあらかしめプログラムされている速度調節装置６２にも提供されてい る。

この方法で円板電極４８の直径が如何に変っても一定の周速度あるいは切線速度 が維持される。−足の遠心力、従って埃−なケイズと質の金属球がかくして供給 されることとなる。

こくに提示されている円板直径監視装置６０、第７図は、光源１６０と円板４８ を挾んで反対側に配置されたセンサ１６２とから成る単波長の光電管装置を含ん でいる。円板４８の周縁が浴はて従ってその直径が例えば１６４かも１６６に減 小すると、エレメント１６２を照射するエレメント１６０かもの光量が増大する 。線１５０を通して速度調節装置６２へ、同しくまた図示されていないサーボ機 構へ送られている信号かこれを反映し、これらの調節機構がそれぞれが制御する 装置を調整子べく応答する。すなわち速度調節装置６２は円板電極４８の回転速 度な増し、サーボ機構は電価？円板電極の内側に向って移動させるように陰電極 な調整する・。

電価５０は、第８図に示されているように、プラズマ放射銃２９ｖＣよって作り 出される。ノズル３１は水路１７０を含んでおり、そこを通って第４図に示した 線１０８から来る冷却水が矢印１７２で示されているよ５ｖｃ循環させられる。

電極３０は同じく水路１７４な含んでおり、そこ？通って冷却水が矢印１７６ｖ ｃ従って流通させられる。第４図の線１１０がも来るヘリウムは、第８図の矢印 １８０で示されるように、ノズル３１と電極３０との間の空間１８２を通って供 給される。

まず最初に、タングステン電極（陰極）３０ならびｖＣ銅製のノズル３１は、点 ＠図で示されているように円板電極４８の極く近くに位置させられる。この位置 におけるノズル３１ならびに電極３０の構造の詳細は図を簡明にするために・省 略されている。電源１８６を含む点火電価回路１８４がスイッチ１８８を閉しろ ことによって完成され、それによって電極３０とノズル３１との間に非架橋点火 ｆ％、１９０が作り出される。

点“火電価１９０の依然なイオン化作用とそれが円板電極４８１Ｃ近接している ことのためニ、電極３０と円板電極４８との間に架橋電価５０が作り出されろ。

直ちしτスイッチ１８８が開かれ、電極３０ならびにノズル３１は、矢印′１９ ２て示すように、円板電極４８から゛２〜３インチ（５０，８〜７６．２ｍｍ） 後退させられる。

電源１９４ｖｃよって作り出された架橋電価５０はそのま−飛び紗けている。゛ 架橋電価回路１９８の中のスイッチ１９６は閉じたまに残っていることを申し添 えて０ おく。円板電極４８の消尽かすでに説明したような仕方で進行する。当該円板の 溶融が終ったらスイッチ１９６が開かれ、電価５０は消される。

第９図に提示されている構造では円板４８は、軸受ならびにモータによるのでは なく精密軸４１によって駆動される心棒４２ａｖＣ取付けられている。押えねし ７４が、気密軸受４６を貫通している心律４２ａにブツシュ６８ならびに円板４ ８を締め付けている。第１゜図に提示するプラズマ放射銃２９ａのための手動調 節装置はボールおよびソケット継手ならびに、ボール２２６を受けとめる球面ソ ケット２２４を支えるハウジング２２２から成る気密装置２２０を含んでいる。

ソケッ）２２４１Ｃはめ込まれている゛０パリンダ２２８はボール２２６ｖＣ対 して、またボール２２６の孔２３２にはめ込まれている同様な′０”リング２３ ’Ｏはプラズマ放射銃２９ａｖｃ対して、プラズマ放射銃２９ａの垂直平面内に おける回転、矢印２３４、ならびに平行移動、矢印２３６、を許しながら気密を 保っている。

この他の実施例はこの技術に関係している者にとっては容易に考えつき得゛ろも のであろうし、以下に述べる諸求範囲の中に入るであろう。

ＦＩＧ　１ ＲＧ　５ ＦＩＧ　６ ＦＩＧ　７ ２旦 国際調査報告

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １．　金属粉末を生産するための回転電極装置にして、その中ｖｃ調整された雰 囲気を保持するだめの一つの室と、上述の室内において第１の電極を取付けるた めの第１の装置と、上述の室内において上述の第１の電極に対面する第２の消尽 されるべき円板電極を取付けるだめの第２の装置と、上述のＭｌの電極と上述の 円板電極の周縁部との間に上述の周縁部を溶かすために電弧を作り出すための装 置と、 上述の円板のｍ縁部を溶かしかつ溶けた部分をそこがら振り飛ばすことを可能な らしめるに充分な速度で上述の円板電極を回転させるための装置とな含む回転電 極装置。 ２　請求の範囲第１項の回転電極装置にして、その中で上述の取付けのための第 １の装置が、上述の円板電極の周縁部が次々に消尽されるのにつれて上述の電弧 を上述の円板電極の内側に向けて移動させるための装置を含む如き請求の範囲第 １項の回転電極装置。 ３、　請求の範囲第１項の回転電極装置にして、その中で上述の回転させるため の装置が、上述の円板電極の回転の速度をその直径に関連して反対に変化させる ための装置を含む如き請求の範囲第１項の回転電極装置。 ４、請求の範囲第２項の回転電極装置にして、その２ 中で上述の移動させるための装置が、上述の消尽されるべき円板電極に関連して 上述の第１の電極の角度を変えるための装置を含む如き請求の範囲第２項の回転 電極装置。 ５８　請求の範囲第１項の回転電極装置にして、その中で上述の取付けのための 第２の装置が、１本の回転可能な心棒と、１枚の消尽されるべき円板電極を上述 の心棒に取付げるための装置とを含む如き請求の範囲第１項の回転電極装置。 ６、請求の範囲第１項の回転電極装置にして、その中で上述の回転させるための 装置が、上述の消尽されるべき円板電極を回転させるための１台のモータラにむ 如き請求の範囲第１項の回転電極装置。 Ｚ　請求の範囲第１項の回転電極装置にして、その中で上述の速度を変化させろ ための装置が上述のモータの速度を制御するための装置を含む如き請求の範囲第 １項の回転電極装置。