JPS6047358A - 電子線装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、高分解能像観察に好適な二次電子検出器を備
えた電子線装置に関するっ 〔発明の背景〕 電子線をできるだけ細く絞って部分解能な二次電子像を
得ようとする場合、レンズはできるだけ短焦点距離で用
いる必要がある。そのために、第１図に示すような構成
のものが考えられている。

試料２はレンズ１の内部に配置され、試料がら出１きた
二次電子は検出器３で検出する。

しかし１本構成では、二次電子はレンズ１の磁場内否通
過し、かつエネルギーが入射電子よシ極次＊：１を検出
器側に引っばっても、試料２３発生し々−二次電子の出
射条件（出射角やエネルギー等）により、エネルギーの
極めて弱い二次電子７は検出器３に入射するが、比較的
高いエネルギーの二次電子８は、周辺の部材（例えば、
偏向器４の支持台５）に衝突して検出器３に入射しない
。

％？こ、検出器３の電界は支持台５やレンズ１にょつＣ
二次電子軌道上まで到達し難いことももう一つの原因で
ある。すなわち、本構成の二次電子収率１．ＬＸ甑めて
悪いという欠点がある。

〔・１′、ヴ」の目的〕 本発明の目的は、高分解能二次電子像を得る際に、篩状
率な二次電子検出器を具備した電子線装置−ｆ：提ｔｌ
（することにある７ 〔りら明の概要〕 筒収率化とは、二次電子をできるだけ多く検出器に入射
させることである。収率の悪い原因は、したがって、本
発明では、別手段により二次′ｔ１１゜子を検出器に入
射させるように構成したもので４ｋ）る。

〔発明の実施例〕

以１、本発明を実施例を用いて説明する。

第２図は、本発明の一実施例を示す図である、。

本発明の構成は、従来の検出器３どレンズ１の間に二次
電子を偏向するための偏向器６を挿入したものである。

この位置でのレンズ磁場は比較的弱いために二次′電子
を束縛する力は小さい。また、二次電子は一次′鑞子に
比べてエネルギーが極めて小さい。したがって、弱い偏
向磁場で二次電子を偏向することができる。このような
偏向磁場に対し−ご一次電子はエネルギーが高いために
ほとんど偏向でれない。

すなわち、二次電子のみを検出器３の方向に偏向させ、
従来検出器に入射しなかった二次′電子８ｋ・も検出で
きるようになる。したがって、二次電いづＪＬを用いて
もよいし、ｌｋ両者を組み合わせ１用いてもよい。

婁 第：１図のように磁Ｎ型、静電型を直交させて配１倒し
、磁、ＩＢと電界Ｅとの関係が となるように動作させる。ここで、Ｖｌ　ニー次電：ｆ
のエネルギー、ｅ：電荷、ｍ；電子の質量、＝＝　ｖ”
　：１である。このとき、−次電子は何ら偏向作用を受
けない。このとき、二次電子に対しては、Ｊ−なる。こ
こで、■２は二次電子のエネルギーで４・、す、Ｖ２　
＜Ｖｌである。すなわち、二次電子に関し一〇は静電型
のみの動作とほとんど変らない作用を受ける。したがっ
て、二次電子は検出器３の方向に偏向される。本構成は
、−次電子線が低加示したが、これに限るも′のではな
い。また、、　ｉＶｉ＋寛型の偏向板１２は平行平板で
示したが、例えは円筒状のものでもよいことは言うまで
もない。

本発明において、レンズ形状、試料位置等番」第３図の
ものに限るものではない。要は、試料からの二次電子を
レンズの上方の検出器で検出すＺ）構成なら、どのよう
な構成でも適用できる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、二次電子を効率よく検出１゛きるので
、高分解能な像観察が容易にできる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来の構成全示した断面図、第２図は本発明
の一実施例を示した断面図、第３図は、本発明における
偏向器の一具体例を示した図で・ちる。 ■・・・レンズ、２・・・試料、３・・・検出器、４・
・・偏向器：）・・・グ持台、６・・・二次電子用偏向
器、７．８・・・二次、電ト軌道、１１・・・磁界型偏
向器、１２・・・静電型丞　／ＩＤ 革　２　（イ） 第　３　凶

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、電子銃より出た電子線を細く絞って試料に照射させ
   るレンズと、該レンズと電子銃との間に二次電子検出器
   を具備し７′ｃ電子線装置において、該レンズと検出器
   との間に偏向器を配置せしめて、試料よｐ出た二次電子
   を該偏向器によシ倹