JPS6045429U - 薄膜形成装置 - Google Patents
薄膜形成装置Info
- Publication number
- JPS6045429U JPS6045429U JP13548583U JP13548583U JPS6045429U JP S6045429 U JPS6045429 U JP S6045429U JP 13548583 U JP13548583 U JP 13548583U JP 13548583 U JP13548583 U JP 13548583U JP S6045429 U JPS6045429 U JP S6045429U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- film forming
- forming equipment
- excitation light
- reaction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図は本考案の一実施例の光励起気相反応による薄膜形成
装置のブロック図である。 １０・・・反応ガス供給系、２０・・・反応系、３０・
・・排気系、２１・・・反応容器、２２・・・励起光源
、２５・・・被膜形成基板、２６・・・励起光入射窓。
装置のブロック図である。 １０・・・反応ガス供給系、２０・・・反応系、３０・
・・排気系、２１・・・反応容器、２２・・・励起光源
、２５・・・被膜形成基板、２６・・・励起光入射窓。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 光励起気相化学反応を用いた薄膜形成装置において、 反応容器の励起光入射窓の内面に、励起光の照射により
分解し、所望の反応には影響を与えないガスを放出する
性質の材料を付着させたことを特徴とする薄膜形成装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13548583U JPS6045429U (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | 薄膜形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13548583U JPS6045429U (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | 薄膜形成装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6045429U true JPS6045429U (ja) | 1985-03-30 |
Family
ID=30304932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13548583U Pending JPS6045429U (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | 薄膜形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6045429U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61228633A (ja) * | 1985-04-02 | 1986-10-11 | Hitachi Ltd | 薄膜形成方法 |
-
1983
- 1983-09-02 JP JP13548583U patent/JPS6045429U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61228633A (ja) * | 1985-04-02 | 1986-10-11 | Hitachi Ltd | 薄膜形成方法 |
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