JPS6040600Y2 - ソ−ス供給装置 - Google Patents
ソ−ス供給装置Info
- Publication number
- JPS6040600Y2 JPS6040600Y2 JP13213080U JP13213080U JPS6040600Y2 JP S6040600 Y2 JPS6040600 Y2 JP S6040600Y2 JP 13213080 U JP13213080 U JP 13213080U JP 13213080 U JP13213080 U JP 13213080U JP S6040600 Y2 JPS6040600 Y2 JP S6040600Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- source
- concentration
- trap
- solid
- box
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案はモリブデン等の固体ソースとする気相成長装置
に用いるソース供給装置に関する。
に用いるソース供給装置に関する。
気相成長装置に於て気相成長膜の膜厚や成長膜の性質の
制御の上で最も大きな問題点はソースの昇華量、即ちソ
ースの供給量である。
制御の上で最も大きな問題点はソースの昇華量、即ちソ
ースの供給量である。
気体をソースとする一般の気相成長装置に於てはマス・
フローメータを用いてソース量を制御しているが、この
マス・フローメータの使用温度範囲が限られており、一
般に固体ソースの昇華温度である１００〜２００°Ｃの
温度では使用出来ない。
フローメータを用いてソース量を制御しているが、この
マス・フローメータの使用温度範囲が限られており、一
般に固体ソースの昇華温度である１００〜２００°Ｃの
温度では使用出来ない。
本考案はソースに固体を用いた気相成長装置に用いるソ
ース供給装置を提供するもので、以下に詳述する。
ース供給装置を提供するもので、以下に詳述する。
図は本考案の構成を示す概略図であって、１は恒温槽、
２はＭＯ０１５等の固体ソース３を収納したソースボッ
クスで、ＬＥＤ４とフォトダイオード等の感光素子５と
から成る第１の濃度検出器が内設されており、この濃度
検出器でボックス２内のソース濃度が検出され、その検
出結果にもとすいて恒温槽１のヒータ６への給電量がヒ
ータ制御器７に依って制御される。
２はＭＯ０１５等の固体ソース３を収納したソースボッ
クスで、ＬＥＤ４とフォトダイオード等の感光素子５と
から成る第１の濃度検出器が内設されており、この濃度
検出器でボックス２内のソース濃度が検出され、その検
出結果にもとすいて恒温槽１のヒータ６への給電量がヒ
ータ制御器７に依って制御される。
このヒータ６への給電量が増加すると恒温槽１の温度が
上昇し、固体ソース３の昇華量が増えてソースボックス
２内のソース濃度が高くなり、これが第１の濃度検出器
で検出すれ、ヒータ制御器７ヘフイールドバツクされて
ヒータ６への給電量が低下し、ソースボックス：２内の
ソース濃度を一定に保つように動作する。
上昇し、固体ソース３の昇華量が増えてソースボックス
２内のソース濃度が高くなり、これが第１の濃度検出器
で検出すれ、ヒータ制御器７ヘフイールドバツクされて
ヒータ６への給電量が低下し、ソースボックス：２内の
ソース濃度を一定に保つように動作する。
然し乍ら固体ソースから気化したガス濃度の絶対量を恒
温槽１の温度のみに依って精度良く制御する事は困難で
ある。
温槽１の温度のみに依って精度良く制御する事は困難で
ある。
その為に本考案に於ては下記するシャッタ８とトラップ
９とを有している。
９とを有している。
シャッタ８はトラップ９をソースボックス２に連結する
もので、サーボモータ１０を主構成物とするシャッタ制
御器１１に依ってその開閉が制御される。
もので、サーボモータ１０を主構成物とするシャッタ制
御器１１に依ってその開閉が制御される。
トラップ９は水素ガス等のキャリヤガス源１２と気相成
長装置１３との間に位置したもので、このトラップ９内
にもＬＥＤ１４とフォトダイオード等の感光素子１５と
から成る第２のソース濃度検出器が設けてあり、この検
出器出力はシャッタ制御器１１に帰還されている。
長装置１３との間に位置したもので、このトラップ９内
にもＬＥＤ１４とフォトダイオード等の感光素子１５と
から成る第２のソース濃度検出器が設けてあり、この検
出器出力はシャッタ制御器１１に帰還されている。
そしてトラップ９内のソース濃度が低下するとそれを第
２の濃度検出器で検出してシャッタ制御器に伝え、サー
ボモータ１０を働かしてシャッタ８を開いてソースボッ
クス２内のソース３の気化ガスをトラップ９に導く。
２の濃度検出器で検出してシャッタ制御器に伝え、サー
ボモータ１０を働かしてシャッタ８を開いてソースボッ
クス２内のソース３の気化ガスをトラップ９に導く。
トラップ９内の濃度が高くなるとシャッタ８が閉じ、結
果的にトラップ９内のソース濃度を一定に保つ。
果的にトラップ９内のソース濃度を一定に保つ。
このように一定のソース濃度に保たれているトラップ９
内のソース３の気化ガスはキャリヤガスに依って気相成
長装置１３に供給され、所期の気相成長膜を成長させる
事となる。
内のソース３の気化ガスはキャリヤガスに依って気相成
長装置１３に供給され、所期の気相成長膜を成長させる
事となる。
尚、ソースボックス２内及びトラップ９内に設けるＬＥ
Ｄ４．１４と感光素子５，１５との組合せに依る濃度検
出器はソース３を昇華せしめる事に依って得られる気化
ガス濃度の検出に適した波長を選択するのが好ましく、
ソース３がＭｏＣｌ５の場合の波長は大略１μ〜１．５
μである。
Ｄ４．１４と感光素子５，１５との組合せに依る濃度検
出器はソース３を昇華せしめる事に依って得られる気化
ガス濃度の検出に適した波長を選択するのが好ましく、
ソース３がＭｏＣｌ５の場合の波長は大略１μ〜１．５
μである。
本考案は以上の説明から明らかな如く、ソースボックス
とトラップとに夫々ソース濃度検出器を設けて個々に濃
度制御を行っているので、固体ソース濃度を精度良く制
御出来、固体をソースとする気相成長に好結果をもたら
す事が出来る。
とトラップとに夫々ソース濃度検出器を設けて個々に濃
度制御を行っているので、固体ソース濃度を精度良く制
御出来、固体をソースとする気相成長に好結果をもたら
す事が出来る。
図は本考案装置の構成を示す概略図であって、２はソー
スボックス、３は固体ソース、８はシャッタ、９はトラ
ップ、を夫々示している。
スボックス、３は固体ソース、８はシャッタ、９はトラ
ップ、を夫々示している。
Claims (1)
- 固体をソースとする気相成長装置に用いるソース供給装
置に於て、固体ソースを収納したソースボックスと、該
ボックスにシャッタを介して連ったトラップと、を主構
成要素とし、上記ソースボックスに該ボックス内のソー
ス濃度を検出する第１の濃度検出器を設けると共にこの
第１の濃度検出器出力に依って制御され、固体ソースを
昇華させるとヒータを関連付け、上記トラップ内には該
トラップ内のソース濃度を検出する第２の濃度検出器を
設けると共にこの第２の濃度検出器出力に依って上記シ
ャッタの開閉を制御してトラップ内のソース濃度を一定
と腰このトラップからキャリヤガスを用いて一定濃度の
固体ソースガスを供給する事を特徴としたソース供給装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13213080U JPS6040600Y2 (ja) | 1980-09-17 | 1980-09-17 | ソ−ス供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13213080U JPS6040600Y2 (ja) | 1980-09-17 | 1980-09-17 | ソ−ス供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5756769U JPS5756769U (ja) | 1982-04-02 |
| JPS6040600Y2 true JPS6040600Y2 (ja) | 1985-12-07 |
Family
ID=29492385
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13213080U Expired JPS6040600Y2 (ja) | 1980-09-17 | 1980-09-17 | ソ−ス供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6040600Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6477075B2 (ja) * | 2015-03-17 | 2019-03-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 原料ガス供給装置及び成膜装置 |
| JP6409021B2 (ja) * | 2016-05-20 | 2018-10-17 | 日本エア・リキード株式会社 | 昇華ガス供給システムおよび昇華ガス供給方法 |
-
1980
- 1980-09-17 JP JP13213080U patent/JPS6040600Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5756769U (ja) | 1982-04-02 |
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