JPS6035836B2 - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS6035836B2 JPS6035836B2 JP2777080A JP2777080A JPS6035836B2 JP S6035836 B2 JPS6035836 B2 JP S6035836B2 JP 2777080 A JP2777080 A JP 2777080A JP 2777080 A JP2777080 A JP 2777080A JP S6035836 B2 JPS6035836 B2 JP S6035836B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- voltage
- electrodes
- electrode
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、無声放電式ガスレーザ装置の改良に関する
ものである。
ものである。
まず、従来の無声放電式ガスレーザ装置を直交形Ｃ０２
レーザを例にとって説明する。
レーザを例にとって説明する。
第１図は、従来の装置の髪部の構成を示す図、第２図は
、その０−０線からみた電極断面及びガス系統を示す図
、第３図は、その電極に印加される電圧波形図、第４図
は、その電極間に生じる無声放電を肉眼で観測した放電
状態を示す図である。
、その０−０線からみた電極断面及びガス系統を示す図
、第３図は、その電極に印加される電圧波形図、第４図
は、その電極間に生じる無声放電を肉眼で観測した放電
状態を示す図である。
まず第１図において１は誘電体電極で高電圧側、２は１
と同じく誘電体電極で接地側に配置されている。
と同じく誘電体電極で接地側に配置されている。
誘電体電極１，２は、それぞれ金属部分ｌａ，２ａに誘
電体ｌｂ，２ｂが被覆されたものである。３は、放電空
間、４は、レーザ管体、５は、全反射鏡、６は部分反射
鏡、７は透過窓、８は、高周波高圧電源（以下単に高圧
電源という）で、発振部８１と昇圧部８２より成ってい
る。
電体ｌｂ，２ｂが被覆されたものである。３は、放電空
間、４は、レーザ管体、５は、全反射鏡、６は部分反射
鏡、７は透過窓、８は、高周波高圧電源（以下単に高圧
電源という）で、発振部８１と昇圧部８２より成ってい
る。
９は、冷却水循環ポンプ、１０‘よ、冷却器、１１は、
イオン交換純水器である。
イオン交換純水器である。
なお図中の破線は、電極冷却系を示す。上記の構成にお
いて、高圧電源８より１皿ＨＺピーク電圧１郎Ｖの交流
電圧が誘電体電極１，２間に印加されると、放電空間３
に無声放電と呼ばれる安定なクロー状の放電が生じる。
いて、高圧電源８より１皿ＨＺピーク電圧１郎Ｖの交流
電圧が誘電体電極１，２間に印加されると、放電空間３
に無声放電と呼ばれる安定なクロー状の放電が生じる。
レーザ煤質ガス（Ｃ０２レーザの場合は、一般にＣ０２
，Ｃ０，Ｎ２，Ｈｅの混合気体）は、放電空間３を通過
するとき「‘こ、この無声放電によりレーザ励起され、
全反射鏡５と部分反射鏡６により構成される光共振器に
よってレーザ発振を起こし、励起された分子エネルギー
は、レーザ光として、部分反射鏡６から、透過窓７を通
して、レーザ管体４の外へ取り出される。誘電体電極１
，２は共に電気伝導度の低い冷却水で冷却されており、
冷却水は、冷却水循環ポンプ９で冷却器１０、イオン交
換純水器１１を通って循環される。イオン交換純水器１
１は、冷却水の電気伝導度を小さくして、高電圧側電極
からの電流漏洩を防ぐため必要である。次に、第２図で
は、第１図のローＵ線からみた電極断面及びガス系統図
が示されており、１２は、ブロア、１３は熱交換器、１
４は、無機絶縁物でできているガスガィドである。熱交
換器１３で温度が下がりブロア１２によって加速され高
速になったしーザ媒質ガスは、ガスガィド１４によって
、放電としーザ光（紙面に垂直）のいづれにも直交する
方向に放電空間３を通過する。
，Ｃ０，Ｎ２，Ｈｅの混合気体）は、放電空間３を通過
するとき「‘こ、この無声放電によりレーザ励起され、
全反射鏡５と部分反射鏡６により構成される光共振器に
よってレーザ発振を起こし、励起された分子エネルギー
は、レーザ光として、部分反射鏡６から、透過窓７を通
して、レーザ管体４の外へ取り出される。誘電体電極１
，２は共に電気伝導度の低い冷却水で冷却されており、
冷却水は、冷却水循環ポンプ９で冷却器１０、イオン交
換純水器１１を通って循環される。イオン交換純水器１
１は、冷却水の電気伝導度を小さくして、高電圧側電極
からの電流漏洩を防ぐため必要である。次に、第２図で
は、第１図のローＵ線からみた電極断面及びガス系統図
が示されており、１２は、ブロア、１３は熱交換器、１
４は、無機絶縁物でできているガスガィドである。熱交
換器１３で温度が下がりブロア１２によって加速され高
速になったしーザ媒質ガスは、ガスガィド１４によって
、放電としーザ光（紙面に垂直）のいづれにも直交する
方向に放電空間３を通過する。
放電空間３におけるガス速度は、３仇 ｍ・ｓ−，程度
の高速にし、放電によって受けた熱エネルギーによるガ
ス温度上昇を５０ｑｏ程度に低く抑える。これは、Ｃ０
２の光吸収率がガス温度上昇により急激に上昇し、レー
ザ発振のエネルギー効率を低下させるので、ガス温度を
低く抑える必要があるためである。第３図には、上記従
来装置の誘電体電極１，２（正確には、その金属部分ｌ
ａ，２ａに高圧電源８によって印加される電圧Ｖ，，Ｖ
２の波形図が示されている。
の高速にし、放電によって受けた熱エネルギーによるガ
ス温度上昇を５０ｑｏ程度に低く抑える。これは、Ｃ０
２の光吸収率がガス温度上昇により急激に上昇し、レー
ザ発振のエネルギー効率を低下させるので、ガス温度を
低く抑える必要があるためである。第３図には、上記従
来装置の誘電体電極１，２（正確には、その金属部分ｌ
ａ，２ａに高圧電源８によって印加される電圧Ｖ，，Ｖ
２の波形図が示されている。
高電圧側誘電体電極１にはピーク電圧１歌Ｖの電位Ｖ，
がかかっており、接地側叢電体電極２と、レーザ管体４
は共に接地されている。ここで無声放電の特性について
簡単に説明する。無声放電は、譲霞体ｌｂ，２ｂを介し
て生じる交流放電であり、電源電圧の上昇にしたがって
放電空間３の電圧が上昇し、放電空間電位差が放電開始
電圧に達するとパルス的放電が生じ、放電が生じると誘
電体ｌｂ，２ｂの表面に電荷が堆積され、逆電界が生じ
その結果、放電空間３の電圧が低下して放電が消滅する
。電圧の上昇により再び放電空間３の電圧が放電開始電
圧に達すると放電が起る。交流電源の半サイクル中にこ
のような放電が数回ないし数十回繰り返され、また次の
半サイクルでは、逆檀性の放電が繰り返される。ところ
で、放電開始電圧は放電条件（気体種類、圧力、放電空
隙長）でさまる一定値で、放電空間３の電位差は無声放
電の特質の故に決してこれを超えることはないが、誘電
体電極１（正確にはその金属部分ｌａ）にかかる電圧は
電源から印加される電圧そのものである。この為、レー
ザ管体４及び、その内部に構成される導電性を有する部
品は、すべて、高電圧側の誘電体電極１から印加電圧値
に対して安全な絶縁距離長だけ離して設置する必要があ
り、必然的に装置が大型となる欠点があった。
がかかっており、接地側叢電体電極２と、レーザ管体４
は共に接地されている。ここで無声放電の特性について
簡単に説明する。無声放電は、譲霞体ｌｂ，２ｂを介し
て生じる交流放電であり、電源電圧の上昇にしたがって
放電空間３の電圧が上昇し、放電空間電位差が放電開始
電圧に達するとパルス的放電が生じ、放電が生じると誘
電体ｌｂ，２ｂの表面に電荷が堆積され、逆電界が生じ
その結果、放電空間３の電圧が低下して放電が消滅する
。電圧の上昇により再び放電空間３の電圧が放電開始電
圧に達すると放電が起る。交流電源の半サイクル中にこ
のような放電が数回ないし数十回繰り返され、また次の
半サイクルでは、逆檀性の放電が繰り返される。ところ
で、放電開始電圧は放電条件（気体種類、圧力、放電空
隙長）でさまる一定値で、放電空間３の電位差は無声放
電の特質の故に決してこれを超えることはないが、誘電
体電極１（正確にはその金属部分ｌａ）にかかる電圧は
電源から印加される電圧そのものである。この為、レー
ザ管体４及び、その内部に構成される導電性を有する部
品は、すべて、高電圧側の誘電体電極１から印加電圧値
に対して安全な絶縁距離長だけ離して設置する必要があ
り、必然的に装置が大型となる欠点があった。
また、従釆の装置における放電状況は、第４図に示すよ
うに、高電圧側誘電体電極１の亀極沿面からも放電が生
じ設定した放電空間３（破線内部）から大きく外へはみ
出し、さらに放電空間３内での放電が均一でない。
うに、高電圧側誘電体電極１の亀極沿面からも放電が生
じ設定した放電空間３（破線内部）から大きく外へはみ
出し、さらに放電空間３内での放電が均一でない。
これは、各誘電体電極１，２の背後部のレーザ管体４が
接地電位である為、誘電体電極１，２のまわりの空間電
位分布が非対称となり、放電が高電圧側の誘電体電極１
に片寄ることが原因である。このことにより、設定され
た放電空間３（共振器空間）外で放電エネルギーが無駄
に消費されるので発振効率が低下する。同時に取り出さ
れるレーザビームの光軸に対する対称性も悪くなり、ビ
ームの収束性においても難点がある（レンズでいまつて
も一点に焦Ｖ点が結ばず加工用のレーザビームとしては
質が悪い）。この発明は、このような従来装置の欠点の
解消を目的とするものである。
接地電位である為、誘電体電極１，２のまわりの空間電
位分布が非対称となり、放電が高電圧側の誘電体電極１
に片寄ることが原因である。このことにより、設定され
た放電空間３（共振器空間）外で放電エネルギーが無駄
に消費されるので発振効率が低下する。同時に取り出さ
れるレーザビームの光軸に対する対称性も悪くなり、ビ
ームの収束性においても難点がある（レンズでいまつて
も一点に焦Ｖ点が結ばず加工用のレーザビームとしては
質が悪い）。この発明は、このような従来装置の欠点の
解消を目的とするものである。
以下、この発明を説明する。第５図は、この発明の一実
施例の要部の構成を示す図、第６図は、そのＷ−打線か
らみた電極断面図及びガス系統を示す図、第７図は、そ
の電極に印加される電圧波形図、第８図は、その電極間
で出じる無声放電を肉眼で観測した放電状態を示す図で
ある。
施例の要部の構成を示す図、第６図は、そのＷ−打線か
らみた電極断面図及びガス系統を示す図、第７図は、そ
の電極に印加される電圧波形図、第８図は、その電極間
で出じる無声放電を肉眼で観測した放電状態を示す図で
ある。
電極構成、電極冷却系、ガス系統は、従来の装置と同様
であるが、高圧電源を中点接地を有する昇圧部８２ａを
用いた単相三線式中点懐地高周波高圧電源８ａ（以下、
中点接地高圧電源という）とした点が異っており、この
結果レーザ管体４の小型化が可能となっている。
であるが、高圧電源を中点接地を有する昇圧部８２ａを
用いた単相三線式中点懐地高周波高圧電源８ａ（以下、
中点接地高圧電源という）とした点が異っており、この
結果レーザ管体４の小型化が可能となっている。
即ち中点接地高圧電源８ａにより従来の装置の時と同一
放電電力を投入する場合、第７図に示すような印加電圧
Ｖ，，Ｖ２を譲蟹体電極１，２（正確には、誘電体電極
１，２の金属部分ｌａ，２ａ間にかけることになる。す
なわち、誘電体電極１に印加する電圧Ｖ，（ピーク電圧
７．球Ｖ，１０ＫＨＺ）と、上記電圧に対して１８００
位相差のある電圧Ｖ２（ピーク電圧、７．弧ＶＩＯＫＨ
２）を誘電体電極２に印加する。このようにすると、従
来の装置と同一の放電電力を投入することができるにも
かかわらず、レーザ管体４と、誘電体電極１との間の耐
電圧が、従来の装置ではピーク電圧１歌Ｖを必要とした
のに対し、この実施例の装置では、半分のピーク電圧７
．斑Ｖで足りる。従って、レーザ管体４及び、その内部
に構成される導電性を有する部品と、議電体電極１，２
からの絶縁距離長が約半分でよくなり装置を小型化する
ことができた。言いかえれば、もしレーザ管体４を従釆
と同じ大きさに保っていれば、印加し得る電圧は約倍ま
で高めうるので、発振出力をより大きくすることができ
る。また、この実施例の放電状況は、第８図に示すよう
に、誘電体電極１，２のどちらに対しても対称で、設定
した放電空間３（破線部）から大きく外へ、はみ出すこ
とはなく、さらに放電空間３内での放電も対称となる。
放電電力を投入する場合、第７図に示すような印加電圧
Ｖ，，Ｖ２を譲蟹体電極１，２（正確には、誘電体電極
１，２の金属部分ｌａ，２ａ間にかけることになる。す
なわち、誘電体電極１に印加する電圧Ｖ，（ピーク電圧
７．球Ｖ，１０ＫＨＺ）と、上記電圧に対して１８００
位相差のある電圧Ｖ２（ピーク電圧、７．弧ＶＩＯＫＨ
２）を誘電体電極２に印加する。このようにすると、従
来の装置と同一の放電電力を投入することができるにも
かかわらず、レーザ管体４と、誘電体電極１との間の耐
電圧が、従来の装置ではピーク電圧１歌Ｖを必要とした
のに対し、この実施例の装置では、半分のピーク電圧７
．斑Ｖで足りる。従って、レーザ管体４及び、その内部
に構成される導電性を有する部品と、議電体電極１，２
からの絶縁距離長が約半分でよくなり装置を小型化する
ことができた。言いかえれば、もしレーザ管体４を従釆
と同じ大きさに保っていれば、印加し得る電圧は約倍ま
で高めうるので、発振出力をより大きくすることができ
る。また、この実施例の放電状況は、第８図に示すよう
に、誘電体電極１，２のどちらに対しても対称で、設定
した放電空間３（破線部）から大きく外へ、はみ出すこ
とはなく、さらに放電空間３内での放電も対称となる。
これは、レーザ管体４が鞍地電位であっても、空間電界
が各電極１，２に対して対称となる為である。このこと
により、設定した放電空間３（共振器空間）外で放電エ
ネルギーが無駄に消費されることがほとんどなく、発振
効率が従来より上昇する。また、放電空間３内での放電
分布も対称になるので取り出されるレーザビームの光蓬
内エネルギー分布も対称になるので収束性のよい加工用
、用途に適したビームが得られる。
が各電極１，２に対して対称となる為である。このこと
により、設定した放電空間３（共振器空間）外で放電エ
ネルギーが無駄に消費されることがほとんどなく、発振
効率が従来より上昇する。また、放電空間３内での放電
分布も対称になるので取り出されるレーザビームの光蓬
内エネルギー分布も対称になるので収束性のよい加工用
、用途に適したビームが得られる。
第９図はこの発明の実施例の要部の構成を示す図で、レ
ーザ光とガス流とが同一方向となる麹流形へ適用したも
ので、第１０図は、第９図のＸ−Ｘ線からみた断面図で
ある。
ーザ光とガス流とが同一方向となる麹流形へ適用したも
ので、第１０図は、第９図のＸ−Ｘ線からみた断面図で
ある。
各部の働きは、第５図に示した実施例と同様であるが、
この軸流形ガスレーザへの実施例では、レーザ光とガス
流とが同一方向となっており、ガス流に添って誘電体電
極１，２が設けられている構造である。この車由流形ガ
スレーザにおいても、中点接地高圧電源８ａから誘電体
電極１，２にそれぞれ、電圧Ｖ，，Ｖ２をＥＯ力ロする
ことにより前記実施例と同様に装置を４・型化すること
ができるとともに、発振効率が向上し、収束性のよい加
工用用途に通したレーザビームを得られる。なお、上記
実施例では中点接地高周波高圧電源を用いた例を示した
が、必ずしも厳密に中点に接地したものとする必要はな
く、中間点、例えば１′４分割点を接地したものとして
もよく、この場合にも同様の効果が得られるということ
はいうまでもない。
この軸流形ガスレーザへの実施例では、レーザ光とガス
流とが同一方向となっており、ガス流に添って誘電体電
極１，２が設けられている構造である。この車由流形ガ
スレーザにおいても、中点接地高圧電源８ａから誘電体
電極１，２にそれぞれ、電圧Ｖ，，Ｖ２をＥＯ力ロする
ことにより前記実施例と同様に装置を４・型化すること
ができるとともに、発振効率が向上し、収束性のよい加
工用用途に通したレーザビームを得られる。なお、上記
実施例では中点接地高周波高圧電源を用いた例を示した
が、必ずしも厳密に中点に接地したものとする必要はな
く、中間点、例えば１′４分割点を接地したものとして
もよく、この場合にも同様の効果が得られるということ
はいうまでもない。
この発明は、放電面が誘電体で覆われた対称な１対の誘
電体電極を有する無声放電式ガスレーザ装置において、
中間点が接地された単相三線式高周波高圧電源から、上
記両電極に１８００の位相差のある高周波高電圧を印加
する構成としたことを特徴とするもので、装置の小型化
と、発振効率の向上と、レーザビームの収束性のよい無
声放電式ガスレーザ装置とすることができる。
電体電極を有する無声放電式ガスレーザ装置において、
中間点が接地された単相三線式高周波高圧電源から、上
記両電極に１８００の位相差のある高周波高電圧を印加
する構成としたことを特徴とするもので、装置の小型化
と、発振効率の向上と、レーザビームの収束性のよい無
声放電式ガスレーザ装置とすることができる。
第１図は、従来の直交形ガスレーザ装置の要部の構成を
示す図、第２図は、第１図のローロ線からみた電極断面
及びガス系統を示す図、第３図は、その電極に印加され
る電圧波形図、第４図は、その電極間に生じる無声放電
の状態を示す図、第５図は、この発明の一実施例の要部
の構成を示す図、第６図は、第５図のけ−の緩からみた
電極断面、及びガス系統を示す図、第７図はその電極に
印加される電圧波形図、第８図は、その電極間で生じる
無声放電の状態を示す図、第９図は、この発明の他の実
施例の要部の構成を示す図、第１０図は第９図のＸ−Ｘ
線からみた断面図である。 図において、１，２は誘電体電極、ｌａ，２ａは電極金
属部分、ｌｂ，２ｂは誘電体、３は放電空間、４はしー
ザ管体、５は全反射鏡、６は部分反射鏡、７は透過窓、
８は高周波高圧電源、８ａは単相三線式中点接地高周波
高圧電源、９は、冷却水循環ポンプ、１０は冷却器、１
１はイオン交換純水器、１２は、ブロア、１３は、熱交
換器、１４はガスガィドである。 なお、図中同一符号はそれぞれ同一または相当部分を示
す。第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第７図 第６図 第８図 第９図 第１０図
示す図、第２図は、第１図のローロ線からみた電極断面
及びガス系統を示す図、第３図は、その電極に印加され
る電圧波形図、第４図は、その電極間に生じる無声放電
の状態を示す図、第５図は、この発明の一実施例の要部
の構成を示す図、第６図は、第５図のけ−の緩からみた
電極断面、及びガス系統を示す図、第７図はその電極に
印加される電圧波形図、第８図は、その電極間で生じる
無声放電の状態を示す図、第９図は、この発明の他の実
施例の要部の構成を示す図、第１０図は第９図のＸ−Ｘ
線からみた断面図である。 図において、１，２は誘電体電極、ｌａ，２ａは電極金
属部分、ｌｂ，２ｂは誘電体、３は放電空間、４はしー
ザ管体、５は全反射鏡、６は部分反射鏡、７は透過窓、
８は高周波高圧電源、８ａは単相三線式中点接地高周波
高圧電源、９は、冷却水循環ポンプ、１０は冷却器、１
１はイオン交換純水器、１２は、ブロア、１３は、熱交
換器、１４はガスガィドである。 なお、図中同一符号はそれぞれ同一または相当部分を示
す。第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第７図 第６図 第８図 第９図 第１０図
Claims (1)
- １ 放電面が誘電体で覆われた対称な一対の誘電体電極
を有し、この電極間に高周波高圧電圧を印加して無声放
電を発生させ、その電極の間を流れるレーザ媒質ガスを
励起してレーザを発生さるように構成されたものにおい
て、中間点が接地された単相三線式高周波高圧電圧電源
を備え、この電源から上記両電極に１８０°の位相差の
ある高周波高圧電圧を印加する構成としたことを特徴と
するガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2777080A JPS6035836B2 (ja) | 1980-03-05 | 1980-03-05 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2777080A JPS6035836B2 (ja) | 1980-03-05 | 1980-03-05 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56124284A JPS56124284A (en) | 1981-09-29 |
| JPS6035836B2 true JPS6035836B2 (ja) | 1985-08-16 |
Family
ID=12230207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2777080A Expired JPS6035836B2 (ja) | 1980-03-05 | 1980-03-05 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6035836B2 (ja) |
-
1980
- 1980-03-05 JP JP2777080A patent/JPS6035836B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56124284A (en) | 1981-09-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5953360A (en) | All metal electrode sealed gas laser | |
| JPS637038B2 (ja) | ||
| JPS6248397B2 (ja) | ||
| US4677637A (en) | TE laser amplifier | |
| JPS6035836B2 (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPS6310597B2 (ja) | ||
| JPS6026310B2 (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPS639393B2 (ja) | ||
| GB2107512A (en) | Apparatus for producing a laser-active state in a fast subsonic flow | |
| US3452295A (en) | Gas laser discharge tube having insulator shields | |
| JPS6144481A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPS56131986A (en) | Gas laser device | |
| JPS6310916B2 (ja) | ||
| JPH02281671A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPS61137381A (ja) | 無声放電式ガスレ−ザ装置 | |
| JPS6026311B2 (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPS5917871B2 (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPS61170086A (ja) | 無声放電式ガスレ−ザ装置 | |
| JPS62183580A (ja) | 無声放電式ガスレ−ザ装置 | |
| JPH01214184A (ja) | パルスレーザ発振装置 | |
| RU1777526C (ru) | Электроразрядный лазер с диффузионным охлаждением | |
| JPH0225267B2 (ja) | ||
| JP4280132B2 (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JPS63313881A (ja) | 無声放電式ガスレ−ザ装置 | |
| JPS60260172A (ja) | 無声放電励起レ−ザ |