JPS6032161B2 - 光フアイバ固定用基板の製作方法 - Google Patents
光フアイバ固定用基板の製作方法Info
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- JPS6032161B2 JPS6032161B2 JP9234980A JP9234980A JPS6032161B2 JP S6032161 B2 JPS6032161 B2 JP S6032161B2 JP 9234980 A JP9234980 A JP 9234980A JP 9234980 A JP9234980 A JP 9234980A JP S6032161 B2 JPS6032161 B2 JP S6032161B2
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- optical fiber
- optical fibers
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/36—Mechanical coupling means
- G02B6/3616—Holders, macro size fixtures for mechanically holding or positioning fibres, e.g. on an optical bench
- G02B6/362—Vacuum holders for optical elements
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/36—Mechanical coupling means
- G02B6/3628—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
- G02B6/3648—Supporting carriers of a microbench type, i.e. with micromachined additional mechanical structures
- G02B6/3652—Supporting carriers of a microbench type, i.e. with micromachined additional mechanical structures the additional structures being prepositioning mounting areas, allowing only movement in one dimension, e.g. grooves, trenches or vias in the microbench surface, i.e. self aligning supporting carriers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
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- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/36—Mechanical coupling means
- G02B6/3628—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
- G02B6/3632—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the cross-sectional shape of the mechanical coupling means
- G02B6/3636—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the cross-sectional shape of the mechanical coupling means the mechanical coupling means being grooves
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- G—PHYSICS
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- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/36—Mechanical coupling means
- G02B6/3628—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
- G02B6/3684—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the manufacturing process of surface profiling of the supporting carrier
- G02B6/3692—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the manufacturing process of surface profiling of the supporting carrier with surface micromachining involving etching, e.g. wet or dry etching steps
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- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は多心数の光フアィバを並列して一括接続するた
めに用いる光フアィバ固定用基板の製作方法に関するも
のである。
めに用いる光フアィバ固定用基板の製作方法に関するも
のである。
従来の単心の光ファィバ同志の融着後続は第１図Ａ，Ｂ
に示すように、２個の直角ブロックを階段状に積重して
結合した一方のブロックの積重面に、結合前予じめ真空
引き用スリット５を設けると共に該スリット５に通ずる
吸気孔７を設けてある光フアイバ固定具２，２′を用い
、これら両側の固定臭２，２′の各直角の角部にそれぞ
れ接続すべき光フアィバ１，１′を密着せしめ、真空ポ
ンプにより吸気孔７を介して真空引きし、光フアィバ１
，１′を角部に吸着させた状態でこれらをその軸方向に
スリップさせ、両光フアイバ１，１′端面を放電電極４
，４′の位置で突き合わせた後、両放電電極４，４′間
で放電させて光フアィバ１，１′の突き合せ部を２００
０ｑｏ程度に加熱して融着接続している。
に示すように、２個の直角ブロックを階段状に積重して
結合した一方のブロックの積重面に、結合前予じめ真空
引き用スリット５を設けると共に該スリット５に通ずる
吸気孔７を設けてある光フアイバ固定具２，２′を用い
、これら両側の固定臭２，２′の各直角の角部にそれぞ
れ接続すべき光フアィバ１，１′を密着せしめ、真空ポ
ンプにより吸気孔７を介して真空引きし、光フアィバ１
，１′を角部に吸着させた状態でこれらをその軸方向に
スリップさせ、両光フアイバ１，１′端面を放電電極４
，４′の位置で突き合わせた後、両放電電極４，４′間
で放電させて光フアィバ１，１′の突き合せ部を２００
０ｑｏ程度に加熱して融着接続している。
このような光フアィバ固定臭では真空引き用スリット５
を設けるため複雑かつ高精度な機械加工を行なう必要が
あり、更に加工上の要求から十分な機械強度を要するた
め、従来は焼き入れ鋼等に研削加工して作製したものを
用いている。一方光フアィバの後続においては、接続の
能率化、接続部の小型高密度化を計る上で、多心数の光
フアィバの一括接続が有効であるが、上記のような直角
ブロック形式の固定臭では構造が複雑で高精度な機械加
工を要するため、多心数の光フアイバ用のものを作るこ
とは困難であった。そこで従来、多心数の光ファィバを
一括して融着接続するための光フアィバ固定用基板とし
て第２図に示すように、ガラス基板８に多条のＶ溝９を
研削加工によって形成し、中間部に電極４，４′設置用
の角溝１０を形成したものを用いているが、Ｖ溝９内に
収容した光ファィバ１，１′を吸着固定する手段は設け
られていない。その理由はこのようなものでＶ溝９内に
収容した光フアィバを真空引きで吸着固定するにはＶ溝
の底部に微小な真空引き用の穴を設けねばならないが、
Ｖ溝の底部にそのような微小穴を形成することは極めて
困難であるためである。このような固定用基板を用いる
場合は、光フアィバ１，１′を一定の角度に曲げた状態
でＶ溝９内に納めて突き合わせるが、一般に光フアィバ
の切断面は正確にフアィバの軸に直角方向に切断されて
いないので、突き合せたときＶ溝９から浮き上る力を受
け、折れ曲りや、軸の不一致を釆たすことが多く、一方
またＶ溝９は研削によって形成するため高精度にするこ
とが困難であり、低損失な接続が行なえなかった。また
多心数光フアィバらのコネクタプラグとして、第３図に
示すように多条のＶ簿１２を設けただけの基板１１を用
い、そのＶ溝１２にそれぞれ光ファイバーを収容し、押
え板１３で押さえて接着固定するようにするものがある
が、光フアィバ１の中に若干径の大きいフアィバｌａが
あると、押さえ板１３が懐き、この間を接着剤で接着し
ても押さえ板１３で押えられない光フアイバはその下に
入り込んだ接着剤のため溝１２から浮き上るので全ての
光フアィバ１をＶ溝１２に均一に固定することができな
かった。本発明は上記の点にかんがみ光ファィバの尖鋭
な先端部による引かき傷の生ずるおそれなく、また空気
中で錆の発生のない安定な硬質材料であるシリコン単結
晶体よりなる板体に、多心数の光フアィバの収容多条Ｖ
溝を容易に高精度‘こ形成することができ、またこのＶ
溝の底部に破壊のおそれの多い機械的応力を加えないで
真空引き用の微小穴を容易に形成できてＶ構内に収容し
た光フアィバを吸引固定することができるようにした光
フアィバ固定用基板の製作方法を提供するものであって
、以下図面に従って詳細に説明する。
を設けるため複雑かつ高精度な機械加工を行なう必要が
あり、更に加工上の要求から十分な機械強度を要するた
め、従来は焼き入れ鋼等に研削加工して作製したものを
用いている。一方光フアィバの後続においては、接続の
能率化、接続部の小型高密度化を計る上で、多心数の光
フアィバの一括接続が有効であるが、上記のような直角
ブロック形式の固定臭では構造が複雑で高精度な機械加
工を要するため、多心数の光フアイバ用のものを作るこ
とは困難であった。そこで従来、多心数の光ファィバを
一括して融着接続するための光フアィバ固定用基板とし
て第２図に示すように、ガラス基板８に多条のＶ溝９を
研削加工によって形成し、中間部に電極４，４′設置用
の角溝１０を形成したものを用いているが、Ｖ溝９内に
収容した光ファィバ１，１′を吸着固定する手段は設け
られていない。その理由はこのようなものでＶ溝９内に
収容した光フアィバを真空引きで吸着固定するにはＶ溝
の底部に微小な真空引き用の穴を設けねばならないが、
Ｖ溝の底部にそのような微小穴を形成することは極めて
困難であるためである。このような固定用基板を用いる
場合は、光フアィバ１，１′を一定の角度に曲げた状態
でＶ溝９内に納めて突き合わせるが、一般に光フアィバ
の切断面は正確にフアィバの軸に直角方向に切断されて
いないので、突き合せたときＶ溝９から浮き上る力を受
け、折れ曲りや、軸の不一致を釆たすことが多く、一方
またＶ溝９は研削によって形成するため高精度にするこ
とが困難であり、低損失な接続が行なえなかった。また
多心数光フアィバらのコネクタプラグとして、第３図に
示すように多条のＶ簿１２を設けただけの基板１１を用
い、そのＶ溝１２にそれぞれ光ファイバーを収容し、押
え板１３で押さえて接着固定するようにするものがある
が、光フアィバ１の中に若干径の大きいフアィバｌａが
あると、押さえ板１３が懐き、この間を接着剤で接着し
ても押さえ板１３で押えられない光フアイバはその下に
入り込んだ接着剤のため溝１２から浮き上るので全ての
光フアィバ１をＶ溝１２に均一に固定することができな
かった。本発明は上記の点にかんがみ光ファィバの尖鋭
な先端部による引かき傷の生ずるおそれなく、また空気
中で錆の発生のない安定な硬質材料であるシリコン単結
晶体よりなる板体に、多心数の光フアィバの収容多条Ｖ
溝を容易に高精度‘こ形成することができ、またこのＶ
溝の底部に破壊のおそれの多い機械的応力を加えないで
真空引き用の微小穴を容易に形成できてＶ構内に収容し
た光フアィバを吸引固定することができるようにした光
フアィバ固定用基板の製作方法を提供するものであって
、以下図面に従って詳細に説明する。
第４図ないし第６図は本発明の一実施例を示し、シリコ
ンの単結晶体から両面が１００の結晶方位面になるよう
切り出され、各辺を１１１の結晶方位にした角状の板体
２１の表面側に、両方位選択エッチングにより多心数の
光フアィバを収容するための閉口幅が均一な直線状の平
行な多条のＶ溝２２を形成し、板体２１の裏面側には表
面側の多条Ｖ溝２２と直角方向に且つこれらＶ溝２２の
底部と微４・な角穴２４で通ずるように真空引き用Ｖ溝
２３を面方位選択エッチングにより形成したものである
。
ンの単結晶体から両面が１００の結晶方位面になるよう
切り出され、各辺を１１１の結晶方位にした角状の板体
２１の表面側に、両方位選択エッチングにより多心数の
光フアィバを収容するための閉口幅が均一な直線状の平
行な多条のＶ溝２２を形成し、板体２１の裏面側には表
面側の多条Ｖ溝２２と直角方向に且つこれらＶ溝２２の
底部と微４・な角穴２４で通ずるように真空引き用Ｖ溝
２３を面方位選択エッチングにより形成したものである
。
このような面方位選択エッチングによるＶ溝２２，２３
の形成は、上記のように表裏面が１００の結晶方位面に
なっているシリコン板体面に、フオトレジストを塗布し
ておき、その上に形成すべきＶ溝の関口幅に相当する部
分を光が透過しないような図形を描いたマスクを、上記
Ｖ溝の方向が上記板体の１１１の結晶方位と一致するよ
うに密着させた後、その上部から露光し、その露光した
ものを現像液中に浸潰することにより、露光しない関口
幅の両縁部分から中央に向って斜方向に次第にエッチン
グされてＶ溝頂角が７０．５ｏになるような高精度なＶ
溝に形成されてゆくものである。使用するマスクは、大
きな面に描いた大きな図形を写真縮小することによって
ｌｒｍ以下の高精度の図形をマスク上に作ることができ
る。このように作ったマスクを用いてエッチングにより
形成されるＶ溝の精度は１仏肌以下の高精度のものとな
り、またＶ溝の壁面粗さは０．１Ｓ以下の鏡面となる。
裏面側から形成する真空引き用Ｖ溝２３を形成するため
のマスクの帯状図形の幅を、その帯状図形に対応するよ
うエッチングされたときの溝底が光フアィバ収容Ｖ溝２
２の底部と交わり微小角孔２４が形成されるような値に
選んでおきさえすればよい。第７図は他の実施例を示し
、この場合は第４図ないし第６図に示した基板の板体２
１の裏面に形成する真空引き用Ｖ溝２３の代りに角錐形
の穴２５を面方位選択エッチングにより形成するもので
あり、穴２５の底部で微小な角穴２６により光フアィバ
収容Ｖ溝２２と運通している。
の形成は、上記のように表裏面が１００の結晶方位面に
なっているシリコン板体面に、フオトレジストを塗布し
ておき、その上に形成すべきＶ溝の関口幅に相当する部
分を光が透過しないような図形を描いたマスクを、上記
Ｖ溝の方向が上記板体の１１１の結晶方位と一致するよ
うに密着させた後、その上部から露光し、その露光した
ものを現像液中に浸潰することにより、露光しない関口
幅の両縁部分から中央に向って斜方向に次第にエッチン
グされてＶ溝頂角が７０．５ｏになるような高精度なＶ
溝に形成されてゆくものである。使用するマスクは、大
きな面に描いた大きな図形を写真縮小することによって
ｌｒｍ以下の高精度の図形をマスク上に作ることができ
る。このように作ったマスクを用いてエッチングにより
形成されるＶ溝の精度は１仏肌以下の高精度のものとな
り、またＶ溝の壁面粗さは０．１Ｓ以下の鏡面となる。
裏面側から形成する真空引き用Ｖ溝２３を形成するため
のマスクの帯状図形の幅を、その帯状図形に対応するよ
うエッチングされたときの溝底が光フアィバ収容Ｖ溝２
２の底部と交わり微小角孔２４が形成されるような値に
選んでおきさえすればよい。第７図は他の実施例を示し
、この場合は第４図ないし第６図に示した基板の板体２
１の裏面に形成する真空引き用Ｖ溝２３の代りに角錐形
の穴２５を面方位選択エッチングにより形成するもので
あり、穴２５の底部で微小な角穴２６により光フアィバ
収容Ｖ溝２２と運通している。
この場合の裏面側の角錐穴２５を形成させるマスクの図
形寸法は、Ｖ溝２２の底部で微小な角穴２６が形成され
るようにした長さの辺を有する角形図形にすればよい。
第８図は第４図ないし第６図に示した基板を光ファイバ
融着接続の固定用基板として用いた例を示し、２７は基
板鷹台であって、基板が収容される幅広の溝２８と、こ
の溝２８と直角方向の放電電極４，４′挿入溝２９と、
溝２８に収容した基板の真空引き用Ｖ簿２２と通ずる真
空引き用穴３０が設けられている。
形寸法は、Ｖ溝２２の底部で微小な角穴２６が形成され
るようにした長さの辺を有する角形図形にすればよい。
第８図は第４図ないし第６図に示した基板を光ファイバ
融着接続の固定用基板として用いた例を示し、２７は基
板鷹台であって、基板が収容される幅広の溝２８と、こ
の溝２８と直角方向の放電電極４，４′挿入溝２９と、
溝２８に収容した基板の真空引き用Ｖ簿２２と通ずる真
空引き用穴３０が設けられている。
贋台２７は最初に基板収容溝２８を全長に亘つて形成し
ておき、この溝２８の長さと同じ長さに作った基板を収
容して接着固定しておき、その後で電極挿入溝２９を切
削加工すればよい。従ってこの電極挿入溝２９の切削加
工で左右に分割された両側の基板の光フアィバ収容多条
Ｖ溝２２は一線上にある。そこで分割された両基板のそ
れぞれのＶ溝２２中に光フアィバ１，１′を収容して真
空引き用穴３０を通して真空引きし乍ら接続すべき両側
の光フアィバ１，１′の端面を突き合わせれば両側の光
フアィバ１，１′の軸が一致する。そこでこの状態で放
電電極４，４′により放電加熱して融着すれば、接続さ
れた両光フアィバ１，１′の接続部は低損失の接続とな
る。第９図は第４図ないし第６図に示した基板を多心光
ファイバコネクタのプラグに用いた例を示し、第８図に
示した鷹台２７の一方の基板を載層する部分と同じ層台
（図示せず）を用いて、基板．の光フアィバ収容溝２２
に光ファイバーを収容し、贋台の真空引き穴から真空引
きして光フアィバ１をＶ溝２２中に固定しておき、接着
剤等をＶ溝２２と光フアィバ１の間に充填した後、押え
板３１を載せてこの押え板３１も接着固定すればよい。
ておき、この溝２８の長さと同じ長さに作った基板を収
容して接着固定しておき、その後で電極挿入溝２９を切
削加工すればよい。従ってこの電極挿入溝２９の切削加
工で左右に分割された両側の基板の光フアィバ収容多条
Ｖ溝２２は一線上にある。そこで分割された両基板のそ
れぞれのＶ溝２２中に光フアィバ１，１′を収容して真
空引き用穴３０を通して真空引きし乍ら接続すべき両側
の光フアィバ１，１′の端面を突き合わせれば両側の光
フアィバ１，１′の軸が一致する。そこでこの状態で放
電電極４，４′により放電加熱して融着すれば、接続さ
れた両光フアィバ１，１′の接続部は低損失の接続とな
る。第９図は第４図ないし第６図に示した基板を多心光
ファイバコネクタのプラグに用いた例を示し、第８図に
示した鷹台２７の一方の基板を載層する部分と同じ層台
（図示せず）を用いて、基板．の光フアィバ収容溝２２
に光ファイバーを収容し、贋台の真空引き穴から真空引
きして光フアィバ１をＶ溝２２中に固定しておき、接着
剤等をＶ溝２２と光フアィバ１の間に充填した後、押え
板３１を載せてこの押え板３１も接着固定すればよい。
光フアィバ１の径の若干の差があっても真空引きで溝中
に固定され、浮き上ることがないので、高精度に整列固
定することができる。以上のように本発明は、シリコン
単結晶体の両面が１００の結晶方位面になるよう切り出
した板体を用い、その板体表面側に面方位選択エッチン
グにより多条数のＶ溝を形成するものであるから、多条
Ｖ溝の開口部形状に対応する露光用のマス図形をｌｒ仇
以下の高精度に容易に作り得ることよりエッチングによ
り形成される多条Ｖ溝の精度を容易に１〃の以下の高精
度にでき、Ｖ溝の壁面粗さが０．１ｓ以下の鏡面となり
、また多条Ｖ溝底部と微小穴で通ずる真空引き用凹所を
面方位選択エッチングにより形成するので脆性の高い上
記材料板体に破壊のおそれがある機械的な応力が加わら
ず容易に形成することができる。
に固定され、浮き上ることがないので、高精度に整列固
定することができる。以上のように本発明は、シリコン
単結晶体の両面が１００の結晶方位面になるよう切り出
した板体を用い、その板体表面側に面方位選択エッチン
グにより多条数のＶ溝を形成するものであるから、多条
Ｖ溝の開口部形状に対応する露光用のマス図形をｌｒ仇
以下の高精度に容易に作り得ることよりエッチングによ
り形成される多条Ｖ溝の精度を容易に１〃の以下の高精
度にでき、Ｖ溝の壁面粗さが０．１ｓ以下の鏡面となり
、また多条Ｖ溝底部と微小穴で通ずる真空引き用凹所を
面方位選択エッチングにより形成するので脆性の高い上
記材料板体に破壊のおそれがある機械的な応力が加わら
ず容易に形成することができる。
また上記多条Ｖ溝と、真空引き用凹所とを１回のエッチ
ング工程で同時に加工することができ得るので、高精度
な多条Ｖ溝と真空引き用凹所を有する光フアィバ固定用
基板を低い加工コストにより製作し得る。そしてまた基
板の板体はシリコン単結晶体よりなる硬質材料であるた
め、光ファィバの尖鋭な先端部で引かき傷が生じてＶ溝
面の寸法精度が維持できないようなおそれなく、また錆
を生ずることなく空気中で安定である。そしてこのよう
に作られた基板をその裏面側凹所と通ずる真空引き用遍
路を設けた鷹台と併用することにより、多条のＶ溝に収
容した各光フアィバをその溝底の方へ吸引固定しておく
ことができるので、多心数の光フアィバの雛着接続のと
きの固定用基板として用いれば、低損失な融着接続をな
し得、またコネクタプラグの光フアィバ固定に用いれば
、光フアィバ間に若干の外蚤偏差があっても、高精度な
整列固定をなし得る。
ング工程で同時に加工することができ得るので、高精度
な多条Ｖ溝と真空引き用凹所を有する光フアィバ固定用
基板を低い加工コストにより製作し得る。そしてまた基
板の板体はシリコン単結晶体よりなる硬質材料であるた
め、光ファィバの尖鋭な先端部で引かき傷が生じてＶ溝
面の寸法精度が維持できないようなおそれなく、また錆
を生ずることなく空気中で安定である。そしてこのよう
に作られた基板をその裏面側凹所と通ずる真空引き用遍
路を設けた鷹台と併用することにより、多条のＶ溝に収
容した各光フアィバをその溝底の方へ吸引固定しておく
ことができるので、多心数の光フアィバの雛着接続のと
きの固定用基板として用いれば、低損失な融着接続をな
し得、またコネクタプラグの光フアィバ固定に用いれば
、光フアィバ間に若干の外蚤偏差があっても、高精度な
整列固定をなし得る。
第１図は従釆の単心光フアィバの固定具を示し、同図ａ
は斜視図、同図ｂは縦断面図、第２図は従来の多心数光
フアィバの融着接続に用いる固定用基板の使用状態を示
す斜視図、第３図は従来の多心数光フアィバの固定用基
板をコネクタプラグに用いるときの一状態を示す斜視図
、第４図は本発明の一実施例の平面図、第５図は同正面
図、第６図は同側面図、第７図は他の実施例の斜視図、
第８図は第４図ないし第６図に示す基板を光ファイバ融
着接続に用いる光フアィバ固定用に使用した状態を示す
斜視図、第９図は第４図ないし第６図に示した基板をコ
ンネクタプラグ用として用いた状態を示す斜視図である
。 ２１・・・・・・板体、２２・・・・・・光ファィバ収
容Ｖ溝、２３，２５・・・・・・凹所、２４，２６・・
・・・・微小穴。 多ー図第２図 第３図 弟４図 界５図 券６図 多ｑ図 子７図 多８図
は斜視図、同図ｂは縦断面図、第２図は従来の多心数光
フアィバの融着接続に用いる固定用基板の使用状態を示
す斜視図、第３図は従来の多心数光フアィバの固定用基
板をコネクタプラグに用いるときの一状態を示す斜視図
、第４図は本発明の一実施例の平面図、第５図は同正面
図、第６図は同側面図、第７図は他の実施例の斜視図、
第８図は第４図ないし第６図に示す基板を光ファイバ融
着接続に用いる光フアィバ固定用に使用した状態を示す
斜視図、第９図は第４図ないし第６図に示した基板をコ
ンネクタプラグ用として用いた状態を示す斜視図である
。 ２１・・・・・・板体、２２・・・・・・光ファィバ収
容Ｖ溝、２３，２５・・・・・・凹所、２４，２６・・
・・・・微小穴。 多ー図第２図 第３図 弟４図 界５図 券６図 多ｑ図 子７図 多８図
Claims (1)
- １ シリコン単結晶体より両面が１００の結晶方位面に
なるよう切り出した板体の表面側に面方位選択エツチン
グにより多心数の光フアイバのそれぞれを収容するため
の開口幅が均一な直線状のＶ溝を多条数平行に形成する
と共に、上記板体の裏面側に面方位選択エツチングによ
り上記の各光フアイバを収容するためのＶ溝底部と微小
穴で通ずる真空引き用凹所を形成することを特徴とする
光フアイバ固定用基板の製作方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9234980A JPS6032161B2 (ja) | 1980-07-07 | 1980-07-07 | 光フアイバ固定用基板の製作方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9234980A JPS6032161B2 (ja) | 1980-07-07 | 1980-07-07 | 光フアイバ固定用基板の製作方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5717913A JPS5717913A (en) | 1982-01-29 |
| JPS6032161B2 true JPS6032161B2 (ja) | 1985-07-26 |
Family
ID=14051920
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9234980A Expired JPS6032161B2 (ja) | 1980-07-07 | 1980-07-07 | 光フアイバ固定用基板の製作方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6032161B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6356615A (ja) * | 1986-08-27 | 1988-03-11 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光コネクタ |
| GB2349644A (en) | 1999-05-01 | 2000-11-08 | Biointeractions Ltd | Infection resistant polymers, methods for their preparation, and their uses |
| JP4536965B2 (ja) * | 2001-07-31 | 2010-09-01 | 東芝機械株式会社 | 細線状部材のクランプ装置 |
| US20220120976A1 (en) * | 2019-01-24 | 2022-04-21 | Thomas Palone | System, Device and Method for Aligning and Attaching Optical Fibers |
-
1980
- 1980-07-07 JP JP9234980A patent/JPS6032161B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5717913A (en) | 1982-01-29 |
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