JPS60301A - 薄板保持具 - Google Patents
薄板保持具Info
- Publication number
- JPS60301A JPS60301A JP10870683A JP10870683A JPS60301A JP S60301 A JPS60301 A JP S60301A JP 10870683 A JP10870683 A JP 10870683A JP 10870683 A JP10870683 A JP 10870683A JP S60301 A JPS60301 A JP S60301A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- thin plate
- plate
- movable plate
- small projection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0002—Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
- G01B5/0004—Supports
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、ガラスや結晶の薄板試料の表面加工精度や異
方的性質を光学的方法によシ測定する場合に用いる薄板
保持具に関するものである。
方的性質を光学的方法によシ測定する場合に用いる薄板
保持具に関するものである。
従来例の構成とその問題点
ガラスや結晶を材料として作成された平板などは、例え
ばその表面加工精度をレーザ光を用いた干渉計によって
測定される。このとき、試料が本来の試料の面状態を保
ったまま固定できる試料保持具によって保持されること
が望まれる。
ばその表面加工精度をレーザ光を用いた干渉計によって
測定される。このとき、試料が本来の試料の面状態を保
ったまま固定できる試料保持具によって保持されること
が望まれる。
上記のような光学的測定を行なうときの、試料保持具の
一従来例を第１図に示す。平板１に一対の板ばね２をね
じ３によって固定し、平板１と板ばね２の間に試料４を
挾み保持するものである。
一従来例を第１図に示す。平板１に一対の板ばね２をね
じ３によって固定し、平板１と板ばね２の間に試料４を
挾み保持するものである。
この実施例は、主面に対する曲げ方向の機械的強度が十
分な程度の厚さを有する従来の試料に対しては有用であ
るが、数十μｍ程度の厚さの試料を前記保持具によって
固定した場合、試料の曲げ方向の機械的強度が弱いため
、第２図に示すように本来の試料の面状態を保つことが
困難であった。
分な程度の厚さを有する従来の試料に対しては有用であ
るが、数十μｍ程度の厚さの試料を前記保持具によって
固定した場合、試料の曲げ方向の機械的強度が弱いため
、第２図に示すように本来の試料の面状態を保つことが
困難であった。
これは、平板１の面精度の良否や板ばね２の圧着力の強
さに起因しておシ、また平板１と試料４の間に挾み込ま
れた微小な塵５によることもあった。
さに起因しておシ、また平板１と試料４の間に挾み込ま
れた微小な塵５によることもあった。
また、上記実施例では試料が板ばねによって隠される部
分がかなりあシ、試料全体を同時に測定することは不可
能である。
分がかなりあシ、試料全体を同時に測定することは不可
能である。
別の従来例として、第３図に示すように平板１１に設け
た孔７により試料４をその裏面から真空吸着する保持具
もあるが、これも第１図に示した従来例と同様に平板の
面精度と塵が問題となる０また、上記２件の従来例とも
試料を透過光によって計測する場合には、平板中央に光
透過のために開孔部６を設けるが、試料を保持する都合
上試料より大きな開孔部を設けることができず、すなわ
ち透過光で試料全体を同時に測定することが不可能であ
った。
た孔７により試料４をその裏面から真空吸着する保持具
もあるが、これも第１図に示した従来例と同様に平板の
面精度と塵が問題となる０また、上記２件の従来例とも
試料を透過光によって計測する場合には、平板中央に光
透過のために開孔部６を設けるが、試料を保持する都合
上試料より大きな開孔部を設けることができず、すなわ
ち透過光で試料全体を同時に測定することが不可能であ
った。
発明の目的
本発明は、上述の従来の試料保持具が薄板の光学的測定
に利用されていた場合に生じた問題点を解決し、容易に
試料の面精度を保ったまま保持することのできる薄板保
持具を提供するものである。
に利用されていた場合に生じた問題点を解決し、容易に
試料の面精度を保ったまま保持することのできる薄板保
持具を提供するものである。
発明の構成
本発明による薄板保持具は、基部と、それに対置された
可動部によって構成され、外力が加えられていないとき
には両者がばねなどによって圧接されており、試料とな
る薄板を前記基部と前記可動部の間に挾む形態のもので
あって、前記基部と前記可動部が薄板を挾む面積を小さ
くすることによシ薄板の面状態に及ぼす影響を抑え、か
つ反射光測定及び透過光測定の込ずれの場合にも試料の
ほぼ全体の同時測定を可能にするものである。
可動部によって構成され、外力が加えられていないとき
には両者がばねなどによって圧接されており、試料とな
る薄板を前記基部と前記可動部の間に挾む形態のもので
あって、前記基部と前記可動部が薄板を挾む面積を小さ
くすることによシ薄板の面状態に及ぼす影響を抑え、か
つ反射光測定及び透過光測定の込ずれの場合にも試料の
ほぼ全体の同時測定を可能にするものである。
実施例の説明
以下、本発明を図面を参照して説明する。
第４図は本発明の一実施例を表わす斜視図、第６図は同
実施例を第４図の矢印入方向から見た側面図である。本
実施例の薄板保持具は、小突起１２と軸受１３、及び測
定台に固定するためのねじ止め穴１４を備えた基板１１
に、小突起１７と回転軸１８を備えた可動板１６を、基
板１１の軸受１３に可動板１６の回転軸１８を一致させ
て組み、２枚の座金２１の間に挾んだ圧縮コイルばね２
２をねじ２ｏに通して、可動板１６の穴１９を通し基板
１１のねじ穴１６に止めたものである。これにより、外
力が加えられない状態では圧縮コイルばね２２の力によ
り小突起１２の先端と小突起１７の先端が接し、ここに
試料となる薄板２３を挾めばそれを保持することができ
る。試料の着脱は、可動板１６の、回転軸１８に対して
小突起１７と反対側の端部を矢印Ｂ方向から押すことに
よシ容易に行なうことができる。また薄板の保持力はね
じ２ｏの締め具合にょシ調節ができる。
実施例を第４図の矢印入方向から見た側面図である。本
実施例の薄板保持具は、小突起１２と軸受１３、及び測
定台に固定するためのねじ止め穴１４を備えた基板１１
に、小突起１７と回転軸１８を備えた可動板１６を、基
板１１の軸受１３に可動板１６の回転軸１８を一致させ
て組み、２枚の座金２１の間に挾んだ圧縮コイルばね２
２をねじ２ｏに通して、可動板１６の穴１９を通し基板
１１のねじ穴１６に止めたものである。これにより、外
力が加えられない状態では圧縮コイルばね２２の力によ
り小突起１２の先端と小突起１７の先端が接し、ここに
試料となる薄板２３を挾めばそれを保持することができ
る。試料の着脱は、可動板１６の、回転軸１８に対して
小突起１７と反対側の端部を矢印Ｂ方向から押すことに
よシ容易に行なうことができる。また薄板の保持力はね
じ２ｏの締め具合にょシ調節ができる。
発明の効果
以上のように、本発明による薄板保持具はばねによって
基板と可動板の間に挾んだ試料を保持するものであり、
試料の着脱が容易であって、したがって着脱時に試料を
損傷させる危険性が軽減される。
基板と可動板の間に挾んだ試料を保持するものであり、
試料の着脱が容易であって、したがって着脱時に試料を
損傷させる危険性が軽減される。
また、小突起の先端部を小さくすれば、試料はほとんど
一点で保持されることになシ、試料本来の面状態に保持
具が及はす影響は小さくなる。同時に、試料が保持具に
よって隠される面積が極めて小さくなシ、試料全体の光
学的測定が可能となる利点を有する。
一点で保持されることになシ、試料本来の面状態に保持
具が及はす影響は小さくなる。同時に、試料が保持具に
よって隠される面積が極めて小さくなシ、試料全体の光
学的測定が可能となる利点を有する。
第１図、第２図、第３図は、光学的測定時における従来
の試料保持具の構成を示す図、第４図は本発明の一実施
例による薄板保持具の斜視図、第６図は第４図において
矢印入方向から見た側面図である。 １．１１・・・・・・基板、２・旧・・板ばね、４．２
３・・・・・・試料、１６・・・・・・可動板、２ｏ・
・・・・・保持力調節ねじ、２２・・・・・・圧縮コイ
ルばね。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図 第４図 ／Ｊ 第５図 ２θ
の試料保持具の構成を示す図、第４図は本発明の一実施
例による薄板保持具の斜視図、第６図は第４図において
矢印入方向から見た側面図である。 １．１１・・・・・・基板、２・旧・・板ばね、４．２
３・・・・・・試料、１６・・・・・・可動板、２ｏ・
・・・・・保持力調節ねじ、２２・・・・・・圧縮コイ
ルばね。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図 第４図 ／Ｊ 第５図 ２θ
Claims (1)
- 基部と、前記基部に対置された可動部とによって構成さ
れ、前記可動部が前記基部に弾性体によって微小面積で
圧接されており、その圧接された部分に薄板を挾んで保
持することを特徴とする薄板保持具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10870683A JPS60301A (ja) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | 薄板保持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10870683A JPS60301A (ja) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | 薄板保持具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60301A true JPS60301A (ja) | 1985-01-05 |
Family
ID=14491541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10870683A Pending JPS60301A (ja) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | 薄板保持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60301A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6244601A (ja) * | 1985-08-22 | 1987-02-26 | Tokyo Optical Co Ltd | 移動載置台装置 |
| JPH0232010U (ja) * | 1988-08-20 | 1990-02-28 | ||
| JP2014106158A (ja) * | 2012-11-28 | 2014-06-09 | Canon Inc | 測定装置、および物品の製造方法 |
| KR102580889B1 (ko) * | 2022-11-20 | 2023-09-20 | 이민래 | 유기용제 회수장치 |
-
1983
- 1983-06-16 JP JP10870683A patent/JPS60301A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6244601A (ja) * | 1985-08-22 | 1987-02-26 | Tokyo Optical Co Ltd | 移動載置台装置 |
| JPH0232010U (ja) * | 1988-08-20 | 1990-02-28 | ||
| JP2014106158A (ja) * | 2012-11-28 | 2014-06-09 | Canon Inc | 測定装置、および物品の製造方法 |
| KR102580889B1 (ko) * | 2022-11-20 | 2023-09-20 | 이민래 | 유기용제 회수장치 |
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