JPS6029642A

JPS6029642A - メタンガス濃度測定法およびその装置

Info

Publication number: JPS6029642A
Application number: JP58136727A
Authority: JP
Inventors: Akio Shinohara; 篠原　彰男
Original assignee: Showa Denko KK
Current assignee: Resonac Holdings Corp
Priority date: 1983-07-28
Filing date: 1983-07-28
Publication date: 1985-02-15
Also published as: JPH0220935B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】この発明はＬＮＧタンカー、ＬＮＧタンク、さらには炭
鉱坑道内などの測定地点が遠く離れてい゛る箇所でのメ
タンガスの濃度の測定に好適なメタンガス濃度測定法お
よびその測定装置に関づる。

メタンガスは燃料用ガスとして極めて重要なものであり
、天然ガスなどに多量に含まれている。

特に近年都市ガスの高カロリー化に伴って都市ガスに天
然ガスを利用することが多くなっている。

したがって、都市ガスの漏出によるガス爆発等を未然に
防止するために地下街、高層ビル等の特定地域における
メタンガスの漏出を確実に、迅速に検知し、警報を発す
る安全システムの開発が急務とされている。

また、メタンカスは炭鉱内に発生する炭鉱ガスの主成分
であり、炭鉱ガスによるガス爆発あるいはこれが引き金
となる炭塵爆発を未然に防止（るためにも、同様のシス
テムが必要とされている。

しかしながら、従来から用いられている接触燃焼式、熱
伝導式、半導体式などのメタンガスセンリーは、その動
作原理からしてカス選択性、応答性が不十分で周囲の共
存ガスおよび温度、湿度によって影響を受【プやすく、
信頼性に不満があった。

そのため、測定条件の厳しい採掘現場等には不適であり
、また実時間測定し回動である。しかも、遠隔監視、遠
隔測定の場合電気信号が送受されることから電ｖＡ誘導
による誤報やケーブル損傷による事故誘発などの危険性
も無視することができないなどの問題かある。

このような問題を解決するために、本発明者は先に、メ
タンガスが１．６μｍ帯、１．３μｍ帯に特性吸収を有
することおよび１．６μｍ帯、１．３μｍ帯の光は、一
般の通信用石英系光ファイバの最も伝送損失の小さい帯
域であることに塁づいたメタンガス濃度測定法およびそ
の装置を特願昭５７−１６６８３６号と特願昭５８−８
６７７０として提案した。これらの測定法は、１．６μ
ｍ帯と　１．３μｍ帯の光の少くとも１つ以上の波長域
において伝送損失か小さい光ファイバによって雰囲気ガ
スが流出入する測定セルに伝送し、測定セルでメタンガ
スの特性吸収波長である１、６６６μｍと１，３３１μ
ｍの少くとも１つ以上の波長での吸収がなされた後の光
を１．６μｍ帯と１．３μｍ帯の少くとも１つ以上の波
長域において伝送損失が小さい光ファイバによって帯域
透過フィルタに送り、上記メタンガスの吸収波長く測定
波長）とそれ以外の波長（参照波長）との光に分光し、
これら測定波長と参照波長の光をそれぞれ光検出器に送
り、これら光の強度比をめ、これによって上記測定セル
中のメタンガス濃度を測定するものである。

しかしなから、この測定法によれば、上記問題点は解決
されるものの得られた測定値がより信頼性のあるメタン
ガス濃度を表示しているかどうか判断がつかない場合が
あった。

ずなわら、被測定ガス中にメタン以外の炭化水素系カス
、例えばプロパン等が微ｍｋ：混在した場合、これら炭
化水素系カスは１．６μｍ　（４近または１．３μｍ　
（り近に特性吸収を有しているため、得られる測定値か
らは被測定ガス中にメタン以外の炭化水素系ガスが存在
ゼずメタンガスのみの濃度を測定しているのかあるいは
上記炭化水素系カスが混入しメタン以外の炭化水素系ガ
スとの混合物の濃度を測定しているのか判断がつかない
ことがあった。

この発明は上記事情に鑑みてなされたもので、参照波長
の光を複数採り、測定波長の光との比を複数個とること
によって信頼性を増そうとづるものであつＣ１厳しい測
定条件下でも信頼性が高く、実時間測定ができ、かつ極
めて遠隔の監視Ｊ３よび測定が行え、事故誘発等の危険
性がなく、さらにメタン以外の炭化水素系ガスの妨害の
有無を判断づることのできるメタンカスｉｌ１度測定法
およびその装置を提供することを目的とするものである
。

以下、図面を参照しながらこの発明の詳細な説明する。

この発明は、近年光通信用に開光された、例えば石英系
光ファイバのような光ファイバが、波長１．０〜１．８
μｍで極めて伝送損失が低く、また、この波長域内の１
．３μｍ付近および１．６μｍ付近にメタンガスの特性
吸収があり、さらに　１．３μｍおよび１．６μｍのメ
タンガスの特性吸収帯の附近には水蒸気（１−４０）お
よび二酸化炭素（ＣＯ２）による吸収がほとんどないと
いう知見に基づいてなされたものである。

第１図は石英系光ファイバの波長０．６μｍ１〜１．８
μｍの波長域における伝送損失を示すグラフである。こ
のグラフから明らかなように波長１．１〜１．１μｍで
は伝送損失は１ｄＢ／ｋｍ以下であり、特に　１．６μ
ｍ付近では０．２６Ｂ／ｋｍと言う超低損失を示してい
る。このような超低損失の光ファイバを光伝送路とすれ
ば、遠隔地に存在するメタンガスの濃度を吸光光度法に
よって測定できる可能性の生じることがわかる。

第２図おにび第３図は、この発明の対象どなるメタンガ
スの１４性吸収を示づもので、第２図のグラフはメタン
カスの１．３３μｎ１帯の特性吸収を示し、１．３３１
μ０１に強度の強い吸収バンドがあるこがわかる。第３
図のグラフはメタンカスの１．６６μｎ１帯の特性吸収
を示し、　１，６６６μｎ１に比較的強度の強いブロー
ドな吸収バンドのあることがわかる。イして、これらの
２つの吸収バンドのイ」近には１イ２０．ＣＯ２の特性
吸収帯がほとんど存在しないことが別の測定によって確
められた。

しかし、」二連のように　１．６μｍ　４ｔ’ｔあるい
は　１．３μｍ帯にはメタン以外の炭化水素系ガスの特
性吸収帯が存在覆ることがわかっている。

したがって、例えば石英系光ファイバを光伝送路どし、
波長１．Ｇ６Ｃ１μｍど　１．３３１７１ｍのメタンカ
ス特性吸収波長く測定波長）を少くとも１つ利用づれば
、遠隔地にあるメタンガスを共存Ｈ２０、ＣＯ２の影響
をほとんど受（）ることなく高精度で測定でき、しかも
、測定波長とは別に、測定波長の近傍で、かつ測定波長
くメタンガスの特性吸収波長）ではなく、又、１」２０
やＣＯ２の吸収が（Ｊどｌυど生じない波長の光を少く
とも２つ双子参照波長として選び、例えば１．３３１μ
ｍの測定波長を選／υだ時は参照波長として、その前後
の波長である１、３０μ川と１．３４μｍの２つを、又
、測定波長として１，３３１μｍと１，６６６μ口１を
選んだ時は参照波長として１，３０μｍと　１．０２μ
ｎ１を）がぶなど、少くとも２つ以上の参照波長を選択
づることによって１．６６６μｍでの吸光比あるいは　
Ｌ３３？μｎ１での吸光比あるいはその両波長での吸光
比において少くとも２つ以上の比をめ、１．６６６μｍ
で測定されたメタン濃度と　１．３３１μｍで測定され
たメタン濃度とを比較Ｊ゛ることにより、あるいは、１
つの測定波長（例えば１．３３１μｍ）に対して、参照
波長を２つ以上とするため、測定波長での光の強度と参
照波長での光の強度との比は複数個得られ、これら複数
個を比較することにより、他の炭化水素系ガスによる妨
害の有無を知ることができることになる。

次に、波長１．３μｍ　１５よび１．６μｍの近赤外域
の光を発光づる光源について説明する。この波長域の光
源としては、従来より周知のガスマントル、グローバー
燈、ネルンストランプ、タングステン電球、キセノンラ
ンプ、加熱電線などの光源も使用することができるが、
取扱いの簡便性、耐久性、消費電力等の点から半導体レ
ザーダイオード（ＬＤ）　、発光ダイオード＜ＬＬ：Ｄ
）等が用いられる。

ＬＤは高出力が得られるが温度、電源電圧によって発光
波長が変動しゃすく、かつ単色性が高いので、このよう
な用途に利用するには高度な技術を必要とする。これに
対してＬＥＤは出力は低いものの、発光スペクトルがや
やブロードであるため波長の安定性かよく、特性吸収波
長をカバーすることが簡単で使用し′Ｉｂずく対象とな
る気体の検出範囲によっては存分利用Ｔ−宍乙−１．ｈ
口。

ＬＥＤを光源とした場合には、発光スペクトルがブロー
ドであるため、波長選択か必要となる。波長選択には種
々のタイプがあるがここでは安価な帯域透過フィルタを
用いることにした。

ここで、帯域透過フィルタの透過幅は一般に広く　１〜
数ｎｍ程度であり、測定物のスペクトル線がこの幅より
も狭い場合には効率的に不利となる。

しかし、メタンガスの１．３３１μｏ１やｉ、［ｉＧμ
ｍのように相当に幅が広い場合には、このにうな帯域透
過フィルタを用いても測定系全体の検出効率の改善に十
分役立つことを以下に具体的に検ｉ’Ｊ　シ見出した。

第４図は、中心波長１．６６６１μｍ１１、半（１ａ幅
２１１ｍで透過特性がガウス分布型の帯域透過フィルタ
を用い、このフィルタを透過した後の光の強度分イｌｉ
を示づもので、実線はメタンガスが光路長５０　ｃ　ｍ
の測定セル内に２０１−ｏｒｒの圧力で含まれている場
合を表わし、点線はメタンカスが存在しない場合を表わ
している。この両曲線の面積の差を点線で囲まれた面積
で割ればメタンガスによる吸光化をめ得ることが理解で
きる。

第５図は、中心波長が１．６６６１　μｍ　（Ａ＞、１
．６６６６　μｍ　（Ｂ　）および１．６６５６　ｔｔ
ｍ　（Ｃ）で半値幅が２％ｍの３種の帯域透過フィルタ
を用いてメタンガスの１．ｆ３Ｇ６μｍの吸収スペクト
ル線の吸光比をメタン濃度を変化させて測定した時のグ
ラフを示したものである。メタンガスと空気との混合気
体の圧力は１気圧とし、その内のメタンガスの分圧（Ｔ
ｏｒｒ）を変化させた。グラフより明らかなようにフィ
ルタの中心波長が異なればメタンカスが周一分圧であっ
ても吸光比は変化し、中心波長　１，６６６１μｍのフ
ィルり＜Ａ）が最も高い吸光比を与えることがわかる。

また、第６図は、中心波長１．６６６１μｍで、半値幅
が１．５％ｍ　（Ｅ　）、２．０％ｍ　（Ｆ　）およヒ
２．５ｎｍ（Ｇ）の３種の帯域透過フィルタを第５図に
示したものと同一条件で用いてメタンガスの吸光比をめ
！ζものである。これにより、例えば空気中の３Ｔ　ｏ
ｒｒのメタンカス（爆発下限界の約６％の濃度に相当す
る。）を検出するためには半値幅２．５％ｍ　（Ｇ　）
のフィルタを用いて約１．５％の吸光比、すなわち光強
度の減少を測定づればよいことがわかる。（ただし、第
６図からは（Ｅ）のフィルタが最も高感度となることが
わかるが、半値幅の狭いものはやや高価であり、また（
Ｇ）のフィルタでも充分使用できるため、（Ｇ）のフィ
ルタを選択した。）さらに、同様の検問をメタンカスが
含まれる都市ガスについても行った。第７図は、２０％
のメタンガスを含む都市カスと空気との混合気体を試料
とし、混合気体中の都市ガス量を変化させて吸光比を測
定したときのグラフである。帯域透過フィルタには中心
波長＋、６６６１μｍ１半値幅２．Ｏｎｍのものを用い
ている。

以上の検討結果から、光源に小型のしＥＤを用い、波長
選択に帯域透過フィルタを用いてもメタンガス濃度を定
量しうろことがわかった。また、メタンガスの特性吸収
波長である１、６ｆ３６μｍと１．３３１μｍの少くと
も１つ以上の測定波長と複数の参照波長との吸光比とか
らメタン刀ス′ａ痕を測定することにより、メタンガス
以外の炭化水素系ガスの妨害の検知が可能となる。ずな
わら、メタン以外の炭化水素系ガスも１．６μｍ帯およ
び１．３μ■１帯に特性吸収帯を有するものがあるが、
１．６６６μｍにおける分子吸光係数と１．３３１μｍ
における分子吸光係数とが異なるため、又測定波長近傍
においても複数の参照波長を採ることによって炭化水素
系ガスの分子吸光係数が異なるため被測定ガス中にメタ
ン以外の炭化水素系ガスが混在していると、１．６６６
μｍでめられたメタン濃度と　１．３３１μｍでめられ
たメタン濃度が一致しなくなり、あるいは１つの測定波
長の光においても参照波長の光との吸光比が異なって、
したがってメタンｍ度が一致しなくなりこの不一致によ
ってメタン以外の炭化水素系ガスによる妨害が確認でき
る。

第８図に示づものは、以上の知見に基づいて構成された
メタンガス測定装置の一例である。図中符＠１は発光ダ
イオード＜ＬＥＯ）よりなる光源である。この光源１で
発光された　１．３μｍ帯とは光結合器２を経て光信４
送路である低伝送損失の光ファイバ、例えば石英系光フ
ァイバ３に送られる。石英系光ファイバ３は第１図に示
すような伝送特性を有し、１．１〜１．７μｍで極めて
低損失のものであり、したがってその長さを数ｋｍ〜１
０ｋｍ程度としてもさしつかえない。石英系光ファイバ
３からの光は光結合器４ｂを経て測定セル４に送り込ま
れる。この測定セル４は円筒状の筒体４ａの両端部にそ
れぞれ光結合器４ｂ、４ｂ’　が設【プられており、筒
体４ａは測定ガスの自然流出入を可能とするように多孔
性焼結金属や連続気孔構造のプラスチックフＡ−ムなど
から形成されている。そして、セル内で光結合器４ｂか
ら４ｂ’　へ光が伝達する間に特定波長の光が吸収され
るセルである。また、この測定セル４の光路長（光結合
器４ｂ、旧）′間の距前）は、特に限定されることがな
いが一例どして５０〜１００ｃ＋ｎとされることが多い
。また、メタンガスが低濃度の場合には周知の多重光路
型吸収セルを用いることもできる。測定セル４から出た
光は、光ば石英系光ファイバ５に送られる。この石英系
光ファイバ５も同様に低損失のものが使用される。

光ファイバ５を通過した光は光結合器６からハーフミラ
−で構成された第１のビームスプリッタ　１に送られ、
ここでまず２つの光束に分けられる。

第１の光束８は第１の帯域透過フィルタ９に送られ、第
２の光束１０は第２のビームスプリッタ１１に送られ、
ここでさらに２つの光束：第３の光束１２および第４の
光束１３に分けられる。第３の光束１２は第２の帯域透
過フィルタ１４に送られ、第４の光束１３は、第３の帯
域透過フィルタ１５にそれぞれ送られる。

これらフィルタ９．１４．１５はいずれも薄膜による光
の干渉作用を利用した干渉フィルタであり、多層膜干渉
フィルタなどがりＹ適に用いられ、中心波長での透過率
ができるだけ高く、半値幅が１．０〜２．０ｎｌｌｌと
狭いものが望ましい。そして、第１のフィルタ９の中心
波長は１．３３１２μｍとされ、第２のフィルタ１４の
中心波長はメタンの吸収波長以外の波長で、Ｈ２Ｏ，Ｃ
Ｏ２でも特性吸収をほとんど示さない１．３０μｍとさ
れる。

また、第３のフィルタ１５も参照波長用であって、その
中心波長は１．３４μｍとされる。これによって、第１
のフィルタ　９を透過した光は、メタンガスでの吸収に
よって強度の低下した　１．３３１２μｍを中心とする
透過波長分布がガウス形の光となり、また第２、第３の
フィルタ１４．１５を透過した光は、メタンガスの吸収
には無関係で、しかもメタンの吸収波長１．３３１μｍ
の近傍にいずれも中心波長を持も、波長分布がガウス形
の光となる。これらの光は、それぞれアバランシェフォ
トダイオード（ＡＰＤ）やフォトダイオード（ＰＤ）（
例えばＱｅ半導体）などで構成された第１、第２、第３
の光検出器１６．１７．１８に送られ、電気信号に変換
され、増幅器１９，２０．２１にて増幅されたのち、マ
イクロコンピュータなどから構成された信号処理装置２
２に送られる。

信号処理装置２２においては、第１の光検出器１６で検
出された電気信号と、第２の光検出器１７で検出された
電気信号とが比較され、波長１．３３１２μｍと波長１
．３０μ川における光の強度比からメタンの吸光比Ａが
められ、予め標準メタンガスでめた吸光比Ａとメタンガ
ス濃度との関係を用いて演綽処理等が行われ、測定セル
４内に存在する気体中のメタンガスの１．３３１２μｍ
でのＪｊす定濃度がめられる。これと同時に、第１の光
検出器１Ｇで検出された電気信号と第３の光検出器１８
で検出された電気信号とが比較され、波長１．３３１２
μｍと波長１．３４μｍにＪ５　ｔｊる光の強度比から
メタンの吸光比Ａ′がめられ、同様にして、測定濃度が
められる。そして、これら二つの測定濃度は、ざらに相
ｎに比較され、両省が誤差範囲内で同一の場合はその結
果が測定セル４内の気体のメタンガスｍｅとして表示器
２３に表示される。また、両者の間に所定値以上の差が
ある場合には、測定セル４内の気体にはメタン以外の炭
化水素系ガスが含まれているか、あるいは測定装置の光
結合器６以降の部分：ビームスプリツタ７．１１．帯域
透過フィルタ９．１４．１５．光検出器１６．１７．１
８増幅器１９．２０．２１に異常が生じｌこことを意味
するので、その旨の表示が表示器２３に示される。なお
、光結合器６と第１のビームスプリッタ　７との間にデ
スト用発光源を設け、上記異常時に光結合器６からの光
を遮断し、上記テスト用発光源を発光させて測定装置自
体の異常を判断できるＪ、うにづれば、メタン以外の炭
化水素系ガスによる妨害が確認できる。

第９図は、この発明の測定装置の他の例を示すもので、
第８図に示したものと同一構成部分には同一符号を付し
てそのび２明は省略−する。この例では、測定セル４を
出た光はたとえば石英系光ファイバのような低損失の光
フッフィバ５を通り、光分岐路２４によって３つの光束
に分りられ、それぞれ光結合器２５，２６．２７からチ
ョッパ２８を経て、第１のフィルタ９、第２のフィルタ
１４、第３のフィルタ１５に送り込まれる点と、第１の
光検出器１６と第２の光検出器１１とからの電気信号が
増幅器２９に送られ、第１の光検出器１６と第３の光検
出器１８とからの電気信号が増幅器３０に送られる点が
前例と異るところである。この例ではチョッパ２８によ
って光検出器１６，１７．１８からの電気信号が交流と
なり、増幅等が容易である利点がある。

なお、上記例に限られず、光源１がらの光を光分岐路で
複数の光に分割し、これら光を別々の石英系光ファイバ
３で複数の測定セル４・・・に送り込み、複数の地点で
のメタンカスを同時に測定覆るように構成ブることもで
きる。

以上説明したように、この発明のメタンガス濃度測定法
および測定装置ににれば、メタンガスの特性吸収帯に、
光ファイバの最も低損失な波長領域であり、かつＣＯ２
、ｌ−１２０の吸収帯がほとんど存在しない　１．３３
μｍ帯と　１．６６μｍ　？＋）の少くとも１つ以上の
吸収帯を選び、光伝送路に低損失の光ファイバを、波長
選択に小型で安価な帯域透過フィルタを用い、１．３３
μｍと１６６６μ印の１つ以上の波長４１をと少くとも
２つ以上の参照波長とににつて吸光比をめてメタンカス
の定量を行うものであるので、ａｌす定セルを極めて遠
隔の地点に設置することができ、電磁誘導を受ｃノたり
、ケーブル断線時の知略事故を生ずることがなく、した
がって炭鉱の坑道ガス中のメタンカス濃度の、’ＩＩ！
Ｉ定や地下街等の広い地域に複数の測定セルを設置し、
１個所で集中監視する場合などに好適である。また、測
定ガス中に存在するｔ」２０．ＣＯ２の影響をほとんど
受けないので、精度も高い。ざらに、測定波長に１．３
３１μｍまたは１．６６６μｍあるいはその両者を用い
、参照波長も複数とづることによって、個々にメタンガ
ス濃度をめるようにしているので、これらの測定値を比
較することにより、被測定カス中にメタン以外の炭化水
素系ガスが混在しているか否かを知ることができるとと
もに測定装置自体の異常をも知ることができ、さらには
測定値そのものの信頼性も高められる。また、吸光光度
法であるので、実時間測定が可能であり、メタン温度変
動に対して迅速な対応が可能となる。さらに、波長選択
に帯域透過フィルタを用いているので装置を小型化かつ
安価とすることができる。さらに、小型、低電力で冷却
などを必要としない小出力の発光ダイオードを用いても
メタンの爆発限界より下のレベルの高感度の検出を達成
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に用いられる石英系光ファイバの伝送
損失を示すグラフ、第２図はメタンガスの１．３３μｍ
帯の吸収スペクトル、第３図はメタンガスの１．６６μ
ｍ帯のスペクトル、第４図はガウス分布型の帯域透過フ
ィルタを透過した光の強度分布を示すグラフ、第５図は
中心波長の異なる３種の帯域透過フィルタを用いた時の
メタンガスの濃度と吸光比との関係を示づグラフ、第６
図は半値幅の異なる３種の帯域透過フィルタを用いた時
のメタンガスのｍ度と吸光比との関係を示すグラフ、第
７図は帯域透過フィルタを用いて空気中の都市ガス濃度
と吸光比の関係を都市ガス中のメタンガス濃度によって
めｌζグラフ、第８図おにび第９図はいずれもこの発明
のメタンガス測定装置の例を示す概略構成図である。１・・・光源　３・・・石英系光ファイバ４・・・測定
セル　５・・・石英系光ファイバ、６・・・光結合器７・・・第１のビームスプリッタｑ・・・舘１の棗Ｖｉ迭過フィルタ１１・・・第２のビームスプリッタ１４・・・第２の帯域透過フィルタ１５・・・・・・第３の帯域透過フィルタ１６、１７．
１８・・・光検出器＋９．２０．２１・・・増幅器、２２・・・信号処理装置　２３・・・表示器２４・・・
光分岐路　２８・・・チョッパ。出　願　人　昭和電工株式会社代　理　人　菊　地　精　− 第５図ＬＯＣｒ（ＰＧＨ４）　（Ｔａｒｔ−）ＰＱＨ＋　＋Ｐ
ａ１ｒ−１ａｔ′ｒＩｌ第６図ＰＣＨ４＋Ｐａｔｒ−ｒｏ−ｔｍ第７図Ｐｇａｓ＋Ｐａ１ｒ＝１ｃｔｔｒｎ。第８図

Claims

【特許請求の範囲】 ■　１．６μｍ帯と１．３μｍ帯の少くとも１つ以上の
波長帯を含む光を、これらの波長帯において伝送損失が
小さい光ファイバによって雰囲気ガスが流出入する測定
セルに伝送し、この測定セルでメタンガスの特性吸収波
長である１、６６６μｍと１．３３１μｍの少くとも一
つ以上の波長で吸収された後の光を、１．６μｍ帯と１
．３μｍ帯の少くとも１つ以上の波長帯において伝送損
失が小さい光ファイバによって帯域透過フィルタに送り
、上記少くとも１つ以上のメタンガスでの吸収波長の光
−測定波長−とそれ以外の少くとも２つ以上の波長−参
照波長−の光に分光し、これら測定波長の光の強度と参
照波長の光の強度との比をめ、これによって上記測定セ
ル中のメタンガス濃度を測定することを特徴とするメタ
ンガス濃度測定法。 ■　１．６μｍ帯と１．３μｍ帯の少くとも１つ以上の
波長帯を含む光を発券する発光源と、この光を、伝送す
るこれら波長帯で伝送損失の小さい光ファイバと、雰囲
気ガスが流出入する測定セルと、測定セルでメタンガス
の特性吸収波長である１、６６６μｍと１．３３１μｍ
の少くとも１つ以上の波長で吸収の行なわれた光を、上
記少くとも１つ以上のメタンガスでの吸収波長の光とそ
れ以外の少くとも２つ以上の波長の光とに分光する帯１
８！透過フィルタと、これらの光を検出する光検出器と
、光検出器で検出された信号を処理する演算処理装置と
を具備してなるメタンガス濃度測定装置。