JPS6028298U - タ−ボ分子ポンプ - Google Patents

タ−ボ分子ポンプ

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JPS6028298U
JPS6028298U JP1983119648U JP11964883U JPS6028298U JP S6028298 U JPS6028298 U JP S6028298U JP 1983119648 U JP1983119648 U JP 1983119648U JP 11964883 U JP11964883 U JP 11964883U JP S6028298 U JPS6028298 U JP S6028298U
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JP
Japan
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casing
molecular pump
intake port
turbo molecular
turbo
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JP1983119648U
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JPS6346717Y2 (cs
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牧本　健一郎
秀人 西川
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Shimadzu Corp
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Shimadzu Corp
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
    • F04D29/601—Mounting; Assembling; Disassembling specially adapted for elastic fluid pumps

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
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