JPS6027138A - 半導体装置用外観検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、半導体装置用外観検査装置に関するものであ
る。

従来、一般的なセラミック封止型の半導体装置の外観検
査作業は、生産量が少ないために作業者が一個ずつ取出
して、手作業で行なわれていたが、高品質が請求されつ
つある近年では、セラミック封止型半導体装置の生産が
増大しておシ、検査作業を手作業で行なっていては処理
数が小さいという欠点がおった。

本発明は前記問題点を解消する半自動の装置盆提供する
ことを目的としている。

本発明の有機は、半導体装置をＴｈ倣銑で検査するため
の半導体装置用外観検査装置において、駒記顕微貌で検
査する以前に、前記半導体装置の任意設定位置からのズ
レｆをパターン認識装置で電気的に把握するｍ＝と、ズ
レ量を補正して検査する前記顕微鏡視野の＃ミは中央点
へ移動する本平方向の２次元移動＠構葡肩する半導体装
置用外観検査装置にめる。

次に本発明の一実施例を図面を用いて祝明する。

第１１に示す様に、半導体素子１を搭載したセラミック
刺止型の半導体装ＩｆＬ２は、某手段によってトレー３
に搭載されＣいるが、半導体装置２は　−Ｘ方向にはト
レー３の凸形状ＶＣよって必る程度の範囲に規制される
ため、外観検査には支障がない。

しかしながら、パターン認識装ｒＩＬ４のｌい場合はＹ
方向の規制はなく、検査点からＬｌの量がズして、顕微
鏡５の視野から外れることがあった。

つまシ、第２図で示す様に、第２図Φンはパターン認識
装置における半導体装置２の画塚を示ずが、この場合Ｙ
方向に中心からＬｌズしている。Ｌｌのズレがなければ
帛２図（ａ）の笑劇で示す様に、（ロ）足ピツチの移動
によシ顕微説の視野の中央に移動するが、Ｌｌのズレが
るるために一定鎖勝て示す様に視野から外れ外観検査が
困好になる。

本発明による装置では、顕微鏡５で検査する以前の個所
において、ズレ量Δノをパターン認識装置４にて電気的
に処理判断する。これケ任意の手段で記憶しておき、顕
微鏡５の検畳点へ半導体装置２をトレー３と共に固定さ
れｆｃ設定ピッチ移動する隙、Ｙ方向を（−Δ））補正
して視野のほぼ中央へ移動する。

さらに本装眞では、半導体装置・２およびＬｌ・３と共
に移、励するＸ−Ｙ方向の移動機構を設けてあシ、−こ
れはサーボモータ等で筒速駆動される。

本発明の効果は、検査する半導体装置・２の位置がズし
ていても常に補正しながら鵡倣鋭５の視野中央へ高速で
移動供給してくるために、外観検査作業の処理数が増大
し、コストの低減が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の災施？ｌＪを示す概略図でりシＡ第２
図は視野図でりる。 ＮｊＪ　、ＩＷ　ＶＣオイて、１・・・・・・千尋体系
子、２・・・・・・半導体装置、３・・・・・・トレー
、４・・川・パターン認識装置、５・・・・・・顕微鏡
でめる。 ゝ＼１−１′ 巣ｌ　図 第２　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体装置を抽微鏡で検査するだめの半導体装置用外観
   検査装置において、前記顕微鏡で検量する以前に、前記
   半導体装置の任意設定位置からのズレ量をパターンｇ識
   装筐が電気的に把握する機構と、該ズレ量を補正して検
   査する前記細微鋭視野のほぼ中央点へ移動する水平方向
   の２次元移動機構とをＭすることｆ：特徴とする半導体
   装置用外観検査装置。