JPS6250719A - 顕微鏡等による画像測定における走査位置の割り出し方法 - Google Patents
顕微鏡等による画像測定における走査位置の割り出し方法Info
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- JPS6250719A JPS6250719A JP60190300A JP19030085A JPS6250719A JP S6250719 A JPS6250719 A JP S6250719A JP 60190300 A JP60190300 A JP 60190300A JP 19030085 A JP19030085 A JP 19030085A JP S6250719 A JPS6250719 A JP S6250719A
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- Japan
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
良栗上亘剋■分団
本発明は顕微鏡等による染色体、細胞、金属組織等の測
定用試料（検体）の画像測定の自動化に係わり、特に検
体の走査位置の割り出し方法に関する。
定用試料（検体）の画像測定の自動化に係わり、特に検
体の走査位置の割り出し方法に関する。
従】ｕ４避
一般に画像測定のためにＴＶカメラを組付けられた顕微
鏡等は固定配置されており、この視野に対して検体の所
定の個所を適正に位置決めさせることが望ましい。
鏡等は固定配置されており、この視野に対して検体の所
定の個所を適正に位置決めさせることが望ましい。
しかし実際には検体を自動的に適正に位置決めすること
は困難であるため、人手によって検体セットの調整や走
査位置の割り出しを行う必要があった。特に試料ホルダ
ーにモールドされた複数の検体を次々に走査して画像測
定する場合、各検体のモールド位置が必ずしも正確では
ないので、各検体毎に走査位置を割り出す必要も生じる
。
は困難であるため、人手によって検体セットの調整や走
査位置の割り出しを行う必要があった。特に試料ホルダ
ーにモールドされた複数の検体を次々に走査して画像測
定する場合、各検体のモールド位置が必ずしも正確では
ないので、各検体毎に走査位置を割り出す必要も生じる
。
また、人手によって走査位置の割り出しを行う場合には
、検体の寸法や形状を制限して検体外形もしくは表面の
図形、文字等の端点、直線、曲線等の特徴点やパターン
を割り出しのための基準とする等の方法が採られている
。
、検体の寸法や形状を制限して検体外形もしくは表面の
図形、文字等の端点、直線、曲線等の特徴点やパターン
を割り出しのための基準とする等の方法が採られている
。
従来技術の問題点
従来の人手による走査位置の割り出しでは、走査位置の
割り出し作業自体が非常に繁雑となる。
割り出し作業自体が非常に繁雑となる。
しかも人手に依存する以上、画像測定の自動化が達成し
得ない。
得ない。
このため、画像測定技術を利用して検体位置を認識し、
その測定（検査）のための走査位置の割り出しを自動化
する方法も考えられてきた。
その測定（検査）のための走査位置の割り出しを自動化
する方法も考えられてきた。
しかしこの場合も従来技術では所要の測定を行う顕微鏡
等によって先ず特徴点を抽出し、然る後これに基づいて
走査位置を割り出す方法であるため、倍率が大きい場合
や検体の位置のバラツキが大きいと抽出対象個所が視野
に入らず、特徴点の抽出のために迷走して割り出しがで
きなかったり時間がかかる欠点を免れない。しかも特徴
点自体のバラツキにより割り出し位置の信顛性が低下す
る欠点もある。従って実際には、パターンマツチングを
典型とする限定した範囲内の走査位置の割り出しに関す
る以外には一般に適用されていない。
等によって先ず特徴点を抽出し、然る後これに基づいて
走査位置を割り出す方法であるため、倍率が大きい場合
や検体の位置のバラツキが大きいと抽出対象個所が視野
に入らず、特徴点の抽出のために迷走して割り出しがで
きなかったり時間がかかる欠点を免れない。しかも特徴
点自体のバラツキにより割り出し位置の信顛性が低下す
る欠点もある。従って実際には、パターンマツチングを
典型とする限定した範囲内の走査位置の割り出しに関す
る以外には一般に適用されていない。
光貝且旦迫
本発明の目的は、比較的高い倍率での画像測定に際して
も、或いは検体位置のバラツキが大きな場合に際しても
、検体の走査位置の割り出しを確実に自動化できる割り
出し方法を提供することである。
も、或いは検体位置のバラツキが大きな場合に際しても
、検体の走査位置の割り出しを確実に自動化できる割り
出し方法を提供することである。
溌ｙ序Ｗ
本発明による顕微鏡等による画像測定における走査位置
の割り出し方法は、低い倍率にて検体の位置を割り出す
ための位置割り出しステージを、前記所定の倍率にて検
体を走査して所定の画像測定を実施する検査ステージに
関連させて備えるとともに、前記位置割り出しステージ
から前記検査ステージへ検体を移動させるための搬送手
段を備えておき、 前記位置割り出しステージから前記搬送手段により前記
検査ステージへ検体を移動させた時に両ステージにおけ
る視野中心対象位置が一致するように予め光軸合わせを
行っておくとともに、前記位置割り出しステージにおけ
る検体の望ましい標準位置を設定しておき、 先ず、検体を前記位置割り出しステージに搬入し、前記
低倍率の下で検体全体もしくは一部の形状寸法等に基づ
く画像測定によって前記標準位置からの検体の実際の位
置のズレ量を検出し、然る後前記検査ステージへ検体を
搬送し、前記ズレ量を基にして検査ステージにおける走
査位置の割り出しを行う、 ことを特徴とする。
の割り出し方法は、低い倍率にて検体の位置を割り出す
ための位置割り出しステージを、前記所定の倍率にて検
体を走査して所定の画像測定を実施する検査ステージに
関連させて備えるとともに、前記位置割り出しステージ
から前記検査ステージへ検体を移動させるための搬送手
段を備えておき、 前記位置割り出しステージから前記搬送手段により前記
検査ステージへ検体を移動させた時に両ステージにおけ
る視野中心対象位置が一致するように予め光軸合わせを
行っておくとともに、前記位置割り出しステージにおけ
る検体の望ましい標準位置を設定しておき、 先ず、検体を前記位置割り出しステージに搬入し、前記
低倍率の下で検体全体もしくは一部の形状寸法等に基づ
く画像測定によって前記標準位置からの検体の実際の位
置のズレ量を検出し、然る後前記検査ステージへ検体を
搬送し、前記ズレ量を基にして検査ステージにおける走
査位置の割り出しを行う、 ことを特徴とする。
即ち、本発明によれば、所定の画像測定を行う。
前段階として検体の画像測定による位置割り出しのため
のステージを別途備えたことにより、所定の測定が如何
に高い倍率の下で行われようとも精度の高い走査位置の
割り出しを可能とし、もって自動化の達成を可能にした
のである。
のステージを別途備えたことにより、所定の測定が如何
に高い倍率の下で行われようとも精度の高い走査位置の
割り出しを可能とし、もって自動化の達成を可能にした
のである。
以下に図面を参照して実施例につき説明する。
去施開
第１図は本発明の走査位置の割り出し方法を実現するた
めに構成された画像測定装置の一例を示している。この
装置は、位置割り出しのために備えられた位置割り出し
ステージＳｌと、本来目的とする画像測定を行うための
検査ステージＳ２とを備えている。位置割り出しステー
ジＳｌは本発明の特徴として適当な低倍率、例えば倍率
５倍、の顕微鏡ＩＯを備えており、この顕微鏡１０には
その視野を映像としてとらえるためのＴＶカメラ１１が
組合されている。検査ステージＳ２は本来目的とする高
倍率での画像測定を行うために、所定の倍率、例えば倍
率２０倍、の顕微鏡２０を備えており、この顕微鏡２０
にはその視野を映像としてとらえるためのＴＶカメラ２
１および自動焦点機構２２が組合されている。また、位
置割り出しステージＳ１および検査ステージＳ２は検体
載置台３０を共有しており、この検体載置台３０はここ
では検体を位置割り出しステージＳ１から検査ステージ
Ｓ２へと搬送できるような移動可能な載置台（所謂オー
トステージ）とされている。
めに構成された画像測定装置の一例を示している。この
装置は、位置割り出しのために備えられた位置割り出し
ステージＳｌと、本来目的とする画像測定を行うための
検査ステージＳ２とを備えている。位置割り出しステー
ジＳｌは本発明の特徴として適当な低倍率、例えば倍率
５倍、の顕微鏡ＩＯを備えており、この顕微鏡１０には
その視野を映像としてとらえるためのＴＶカメラ１１が
組合されている。検査ステージＳ２は本来目的とする高
倍率での画像測定を行うために、所定の倍率、例えば倍
率２０倍、の顕微鏡２０を備えており、この顕微鏡２０
にはその視野を映像としてとらえるためのＴＶカメラ２
１および自動焦点機構２２が組合されている。また、位
置割り出しステージＳ１および検査ステージＳ２は検体
載置台３０を共有しており、この検体載置台３０はここ
では検体を位置割り出しステージＳ１から検査ステージ
Ｓ２へと搬送できるような移動可能な載置台（所謂オー
トステージ）とされている。
ここで、検体！３２１台３０の移動制御は、位置割り出
しステージＳ１および検査ステージＳ２における顕微鏡
１０および２０の視野、即ちＴＶカメラ１１および２１
により得られる画像の中心対象点が互いに一致するよう
に予め互いの光軸合わせを行うように調整される。
しステージＳ１および検査ステージＳ２における顕微鏡
１０および２０の視野、即ちＴＶカメラ１１および２１
により得られる画像の中心対象点が互いに一致するよう
に予め互いの光軸合わせを行うように調整される。
また第１図に示すように、ＴＶカメラ１１および２１の
出力信号はビデオ切換ユニット４０へ与えられ、何れか
のＴＶ左カメラ出力信号を選択的に画像解析装置４１へ
与えるようになされている。
出力信号はビデオ切換ユニット４０へ与えられ、何れか
のＴＶ左カメラ出力信号を選択的に画像解析装置４１へ
与えるようになされている。
符号４２は検体載置台３０の移動を制御するためのコン
トローラを示し、このコントローラ４２の制御によって
位置割り出しステージＳ１に位置された検体が検査ステ
ージＳ２へ搬送されるように検体ａｉ！置台３０が作動
制御されるのである。符号４３は顕微鏡２０の自動焦点
機構２２を作動制御するためのコントローラを示してい
る。これらのビデオ切換ユニット４０、画像解析装置４
１、コントローラ４２および４３はインターフェースバ
ス４４を介してコンピュータ４５に接続されており、上
述した総ての作動制御をコンピュータ４５の制御下で実
行するようになされている。
トローラを示し、このコントローラ４２の制御によって
位置割り出しステージＳ１に位置された検体が検査ステ
ージＳ２へ搬送されるように検体ａｉ！置台３０が作動
制御されるのである。符号４３は顕微鏡２０の自動焦点
機構２２を作動制御するためのコントローラを示してい
る。これらのビデオ切換ユニット４０、画像解析装置４
１、コントローラ４２および４３はインターフェースバ
ス４４を介してコンピュータ４５に接続されており、上
述した総ての作動制御をコンピュータ４５の制御下で実
行するようになされている。
ここで、顕微鏡１０および２０．ＴＶカメラ１１および
２１、自動焦点機構２２、および検体載置台３０は何れ
も通常知られている構造のもので良い。
２１、自動焦点機構２２、および検体載置台３０は何れ
も通常知られている構造のもので良い。
第２図は測定対象である検体の一例を示しており、試料
ホルダー５０に複数のここでは長方形断面の検体５１が
平行に並べて配置されてモールドされている。これらの
検体５１は、試料ホルダー５０を検体載置台３０上に位
置決め載置し、この検体載置台３０を移動制御すること
により、位置割り出しステージＳ１および検査ステージ
Ｓ２において後述のように位置割り出しおよび走査が行
われる。
ホルダー５０に複数のここでは長方形断面の検体５１が
平行に並べて配置されてモールドされている。これらの
検体５１は、試料ホルダー５０を検体載置台３０上に位
置決め載置し、この検体載置台３０を移動制御すること
により、位置割り出しステージＳ１および検査ステージ
Ｓ２において後述のように位置割り出しおよび走査が行
われる。
位置割り出しステージＳ１において行う位置割り出しの
方法を説明すれば、例えば第３図に示すように、検体５
１が望まれる正しい状態でセットされた場合の基準位置
５１゛を設定しておく。また、この基準位置５１°に対
して例えば図中左上部分から時計方向へ連続する視野Ｆ
１、Ｆ２、・・・Ｆｎ ％ Ｆ ｎ ＋ １、・・・Ｆ
２ｎを得るように走査するように設定してお（。このよ
うに基準位置５１°および走査視野を設定しておけば、
第４図に示すように位置割り出しステージＳｔにセット
された検体５１の実際の位置が基準位置５１”からズし
ている場合、例えば検体５１の左端部分に関するズレは
視野Ｆ１およびＦ２ｎにおける検体５１の部分のそれぞ
れの重心位置Ｇ１およびＧ２ｎを画像解析から求め、こ
れを予め求められる基準位置５１’ に関する重心位置
Ｇ１゜およびＧ２ｎｏと位置比較することで容易に検出
することができる。このような重心位置の画像解析を行
って基準位置５１゛のそれとを比較すれば、結果的に基
準位置５１゛から実際の検体５１がズしている量（上下
、左右、角度）を正確に求めることができる。
方法を説明すれば、例えば第３図に示すように、検体５
１が望まれる正しい状態でセットされた場合の基準位置
５１゛を設定しておく。また、この基準位置５１°に対
して例えば図中左上部分から時計方向へ連続する視野Ｆ
１、Ｆ２、・・・Ｆｎ ％ Ｆ ｎ ＋ １、・・・Ｆ
２ｎを得るように走査するように設定してお（。このよ
うに基準位置５１°および走査視野を設定しておけば、
第４図に示すように位置割り出しステージＳｔにセット
された検体５１の実際の位置が基準位置５１”からズし
ている場合、例えば検体５１の左端部分に関するズレは
視野Ｆ１およびＦ２ｎにおける検体５１の部分のそれぞ
れの重心位置Ｇ１およびＧ２ｎを画像解析から求め、こ
れを予め求められる基準位置５１’ に関する重心位置
Ｇ１゜およびＧ２ｎｏと位置比較することで容易に検出
することができる。このような重心位置の画像解析を行
って基準位置５１゛のそれとを比較すれば、結果的に基
準位置５１゛から実際の検体５１がズしている量（上下
、左右、角度）を正確に求めることができる。
従ってこのように基準位置５１°からの検体５１のズレ
量を検出すれば、次に検査ステージｓ２へ搬送した後、
実際の検体５１に対する所定の走査位置を決定できるの
である。何故ならば、検査ステージＳ２の顕微鏡２０は
位置割り出しステージＳ１の顕１５１１０と光軸合わせ
が行われているので、上記ズレ量を基にして顕微ｊａ２
０の視野内での実際の検体５１の位置を演算でき、従っ
て実際の検体５１の所要個所に対する視野を得るように
検体載置台３０の移動制御ができるからである。
量を検出すれば、次に検査ステージｓ２へ搬送した後、
実際の検体５１に対する所定の走査位置を決定できるの
である。何故ならば、検査ステージＳ２の顕微鏡２０は
位置割り出しステージＳ１の顕１５１１０と光軸合わせ
が行われているので、上記ズレ量を基にして顕微ｊａ２
０の視野内での実際の検体５１の位置を演算でき、従っ
て実際の検体５１の所要個所に対する視野を得るように
検体載置台３０の移動制御ができるからである。
尚、位置割り出しステージＳ１における実際の検体５１
の位置割り出しの方法は、上述したように重心位置を基
にする方法以外に他の様々な方法が考えられる。例えば
検体の外形を利用する以外に特徴部分のみ抽出する等が
可能である０本発明はこのような知られている何れの方
法をも許容し、特に限定するものではない。
の位置割り出しの方法は、上述したように重心位置を基
にする方法以外に他の様々な方法が考えられる。例えば
検体の外形を利用する以外に特徴部分のみ抽出する等が
可能である０本発明はこのような知られている何れの方
法をも許容し、特に限定するものではない。
然る後検査ステージＳ２において走査し画像解析が行わ
れるのである。この画像解析は予め望まれたものが行わ
れるのであって、特に本発明の一部をなすものではない
。
れるのである。この画像解析は予め望まれたものが行わ
れるのであって、特に本発明の一部をなすものではない
。
光里東飲果
本発明は上述したように画像測定を行うにおいて、検体
に対する所定の走査位置を割り出すために専用の低倍率
の位置割り出しステージを設け、これにより先ず検体の
位置を割り出した後所定の画像解析を行うための顕微鏡
等に搬送セントすることを特徴とするので、以下のよう
な効果を得られる。
に対する所定の走査位置を割り出すために専用の低倍率
の位置割り出しステージを設け、これにより先ず検体の
位置を割り出した後所定の画像解析を行うための顕微鏡
等に搬送セントすることを特徴とするので、以下のよう
な効果を得られる。
■ 検体の位置割り出しが確実且つ速やかに実行できる
。
。
■ 検体の外形寸法や形状等に無関係に位置割り出しで
きる。
きる。
■ 最初に調整を行っておけば、以降は同じロフトの検
体を連続的に自動的に実行できる。
体を連続的に自動的に実行できる。
■ 同一検体に対して異なる倍率下で異なる検査を連続
して行えるようになす。
して行えるようになす。
■ 細胞等の粒子や組織の一部分を拡大して測定する場
合等における位置割り出しに応用できる等、顕微鏡測定
に関しての応用分野が広く、極めて有利である。
合等における位置割り出しに応用できる等、顕微鏡測定
に関しての応用分野が広く、極めて有利である。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明による位置割り出し方法を実施する一例
とせる装置の概略構成を示す説明図。 第２図は一例とせる検体を示す正面図。 第３図および第４図は本発明の位置割り出し方法の手順
の一例を示す説明図。 Ｓｌ・・・位置割り出しステージ Ｓ２・・・検査ステージ Ｆ１〜Ｆ２ｎ・・・視野 Ｇｌｏ ＳＧｌ、Ｇ２ｎ０、Ｇ２ｎ・・・重心１０．２
０・・・顕微鏡 １１．２１・・・ＴＶカメラ ２２・・・自動焦点機構 ３０・・・検体載置台 ４０・・・ビデオ切換ユニット ４１・・・画像解析装置 ４２・・・コントローラ ４３・・・コントローラ ４４・・・インターフェースバス ４５・・・コンユータ ５０・・・試料ホルダー ５１・・・検体 ５１゛ ・・基準位置 特許出願人 株式会社 ニ し コ 代理人 弁理士 小 野 栄 濯 築ｚ（５Ｊ
とせる装置の概略構成を示す説明図。 第２図は一例とせる検体を示す正面図。 第３図および第４図は本発明の位置割り出し方法の手順
の一例を示す説明図。 Ｓｌ・・・位置割り出しステージ Ｓ２・・・検査ステージ Ｆ１〜Ｆ２ｎ・・・視野 Ｇｌｏ ＳＧｌ、Ｇ２ｎ０、Ｇ２ｎ・・・重心１０．２
０・・・顕微鏡 １１．２１・・・ＴＶカメラ ２２・・・自動焦点機構 ３０・・・検体載置台 ４０・・・ビデオ切換ユニット ４１・・・画像解析装置 ４２・・・コントローラ ４３・・・コントローラ ４４・・・インターフェースバス ４５・・・コンユータ ５０・・・試料ホルダー ５１・・・検体 ５１゛ ・・基準位置 特許出願人 株式会社 ニ し コ 代理人 弁理士 小 野 栄 濯 築ｚ（５Ｊ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 顕微鏡等により所定の倍率で検体の画像測定を実施する
ための走査位置の割り出し方法において、前記所定の倍
率よりも低い倍率にて検体の位置を割り出すための位置
割り出しステージを、前記所定の倍率にて検体を走査し
て所定の画像測定を実施する検査ステージに関連させて
備えるとともに、前記位置割り出しステージから前記検
査ステージへ検体を移動させるための搬送手段を備えて
おき、 前記位置割り出しステージから前記搬送手段により前記
検査ステージへ検体を移動させた時に両ステージにおけ
る視野中心対象位置が一致するように予め光軸合わせを
行っておくとともに、前記位置割り出しステージにおけ
る検体の望ましい標準位置を設定しておき、 先ず、検体を前記位置割り出しステージに搬入し、前記
低倍率の下で検体全体もしくは一部の形状寸法等に基づ
く画像測定によって前記標準位置からの検体の実際の位
置のズレ量を検出し、然る後前記検査ステージへ検体を
搬送し、前記ズレ量を基にして検査ステージにおける走
査位置の割り出しを行う、 ことを特徴とする顕微鏡等による画像測定における走査
位置の割り出し方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60190300A JPS6250719A (ja) | 1985-08-29 | 1985-08-29 | 顕微鏡等による画像測定における走査位置の割り出し方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60190300A JPS6250719A (ja) | 1985-08-29 | 1985-08-29 | 顕微鏡等による画像測定における走査位置の割り出し方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6250719A true JPS6250719A (ja) | 1987-03-05 |
| JPH0570126B2 JPH0570126B2 (ja) | 1993-10-04 |
Family
ID=16255865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60190300A Granted JPS6250719A (ja) | 1985-08-29 | 1985-08-29 | 顕微鏡等による画像測定における走査位置の割り出し方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6250719A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6461718A (en) * | 1987-09-01 | 1989-03-08 | Nikon Corp | Microscope device |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS503397A (ja) * | 1973-05-11 | 1975-01-14 | ||
| JPS6027138A (ja) * | 1983-07-25 | 1985-02-12 | Nec Kyushu Ltd | 半導体装置用外観検査装置 |
-
1985
- 1985-08-29 JP JP60190300A patent/JPS6250719A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS503397A (ja) * | 1973-05-11 | 1975-01-14 | ||
| JPS6027138A (ja) * | 1983-07-25 | 1985-02-12 | Nec Kyushu Ltd | 半導体装置用外観検査装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6461718A (en) * | 1987-09-01 | 1989-03-08 | Nikon Corp | Microscope device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0570126B2 (ja) | 1993-10-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |