JPS60262339A - 加速管のコンデシヨニング方法 - Google Patents
加速管のコンデシヨニング方法Info
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- JPS60262339A JPS60262339A JP11721984A JP11721984A JPS60262339A JP S60262339 A JPS60262339 A JP S60262339A JP 11721984 A JP11721984 A JP 11721984A JP 11721984 A JP11721984 A JP 11721984A JP S60262339 A JPS60262339 A JP S60262339A
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- Japan
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- accelerating
- voltage
- tube
- accelerating tube
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/44—Factory adjustment of completed discharge tubes or lamps to comply with desired tolerances
- H01J9/445—Aging of tubes or lamps, e.g. by "spot knocking"
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は超高圧加速管の］ンデショニング方法に関する
。
。
［従来の技術］
超＋１圧電子顕微鏡等の加速管においＣは、電子源より
の７ｈ了線を加速づ゛るために複数の加速電極を筒状の
絶縁体を介して積み重ねて構成している。
の７ｈ了線を加速づ゛るために複数の加速電極を筒状の
絶縁体を介して積み重ねて構成している。
この様な加速管では、加速電極間の真空絶縁耐圧を高め
るために所謂コンデショニングと称される処理が度々行
われる。このコンデショニング処理は、従来加速管内を
例えば１０−’〜１０’ Ｔｏｒｒに排気づると共に各
加速電極を電気的に並列に接続して、通常の運転時に印
加される電圧の１．５倍程度の交流電圧を前記電極間に
印加し゛（マイクロ放電を起こさせて行うようにしてい
る。このマイクロ放電により、加速管内部に付着した残
留ガス成分を除去すると共に、電極等の表面」この電荷
を取り除き、加速電極間等の真空絶縁耐圧を高め、運転
時に放電が起こりにくい状態にしている。
るために所謂コンデショニングと称される処理が度々行
われる。このコンデショニング処理は、従来加速管内を
例えば１０−’〜１０’ Ｔｏｒｒに排気づると共に各
加速電極を電気的に並列に接続して、通常の運転時に印
加される電圧の１．５倍程度の交流電圧を前記電極間に
印加し゛（マイクロ放電を起こさせて行うようにしてい
る。このマイクロ放電により、加速管内部に付着した残
留ガス成分を除去すると共に、電極等の表面」この電荷
を取り除き、加速電極間等の真空絶縁耐圧を高め、運転
時に放電が起こりにくい状態にしている。
しかし乍ら、この様な従来のコンデショニング方法にお
いては、放電の原因□になる加速電極又は絶縁碍子表面
の突起や、ゴミ等を充分取り除くことができないだけで
なく、逆に電極や碍子表面の状態を悪くしてマイクロ放
電を激しく発生させてしまう場合がある。この様な場合
、加速電極又は絶縁碍子表面がダメージを受け、加速管
をその都度オーバーホールしなければならないという欠
点があった。
いては、放電の原因□になる加速電極又は絶縁碍子表面
の突起や、ゴミ等を充分取り除くことができないだけで
なく、逆に電極や碍子表面の状態を悪くしてマイクロ放
電を激しく発生させてしまう場合がある。この様な場合
、加速電極又は絶縁碍子表面がダメージを受け、加速管
をその都度オーバーホールしなければならないという欠
点があった。
１発明の目的］
本什明は以１−の点に鑑みなされたもので、マイクＬ１
放電の発生を防ぎ得る新規な超高圧加速管の」ンデショ
ニング方法を提供覆ることを目的としくいる。
放電の発生を防ぎ得る新規な超高圧加速管の」ンデショ
ニング方法を提供覆ることを目的としくいる。
［発明の構成Ｊ
本発明は、６：ｉ重粒子を加速覆る複数個の加速電極を
筒状絶縁体を介して積み重ねた加速管のコンデショニン
グを行う方法において、加速管内部に不活性ガスを流入
させたて比較的低い真空度とした後、前記電極間に比較
的小さな第１の交流電圧を印加してグロー放電を生起せ
しめ、更に該加速管内部を比較的高い真空度に排気覆る
と共に、前記電極間に加速管運転時よりも高い第２の交
流型：１．′□ 圧を印加し−Ｃマイクロ放電を生起せ
、しめるようにしたことを特徴としている。
筒状絶縁体を介して積み重ねた加速管のコンデショニン
グを行う方法において、加速管内部に不活性ガスを流入
させたて比較的低い真空度とした後、前記電極間に比較
的小さな第１の交流電圧を印加してグロー放電を生起せ
しめ、更に該加速管内部を比較的高い真空度に排気覆る
と共に、前記電極間に加速管運転時よりも高い第２の交
流型：１．′□ 圧を印加し−Ｃマイクロ放電を生起せ
、しめるようにしたことを特徴としている。
［実施例］
以下本発明の実施例を添ｆ＝Ｊ図面に基づき詳述する。
第１図は本発明を実Ｍ ？ＪるＩＣめの装置の〜例を示
すためのもので、図中１は複数個の加速電極２ａ、２ｂ
・・・２ｆを円筒状の例えば絶縁碍子等の絶縁部月３８
，３ｂ、・・・３ｆにて気密を保持して一体として構成
された加速管である。該加速管上部には、フィラメント
４及びウェーネルト電極５から成る電子源が設けられて
おり、該フィラメント４とウェーネルト電極５には稼動
状態又は］ンデショニング状態の切り換えを行なうため
のスイッチ機構６を介して高圧電源７が接続されている
。
すためのもので、図中１は複数個の加速電極２ａ、２ｂ
・・・２ｆを円筒状の例えば絶縁碍子等の絶縁部月３８
，３ｂ、・・・３ｆにて気密を保持して一体として構成
された加速管である。該加速管上部には、フィラメント
４及びウェーネルト電極５から成る電子源が設けられて
おり、該フィラメント４とウェーネルト電極５には稼動
状態又は］ンデショニング状態の切り換えを行なうため
のスイッチ機構６を介して高圧電源７が接続されている
。
又、加速管１の下部には鏡筒８が連通しており、該加速
管１及び鏡筒８内部は、該内部を１０−’〜１０ ’
１’ ｏｒｒの高真空に排気するための例えばイＡンボ
ンプ９及び１０−１〜１０″２ＴＯｒｒの低真空に排気
するための油回転ポンプ１０がバルブ１１を介して接続
されている。１３は加速管内部及び鎖筒内に窒素ガス供
給ｍ（図示せず）より窒素ガスを供給するためのバルブ
である。１４，１５゜１６は導電性部材より形成されそ
れぞれ加速電極２Ｆ２．２Ｇ、２ｅに電気的に接続され
たプーリである。同様に、１７，１８．．１９．２０も
それぞれつＪ、−ネルト電極５．加速電１ｔｉ２ｂ、２
ｄ、２ｆに接続さ゛れたブーりである。２１は各ブーり
に接触しく移動りるベル１〜であり、該ベルト２１は第
２図及び第３図より明らかなように導電部材で形成され
た導電体部分２１ａど、絶縁部月で形成されＩこ絶縁体
部分２１ｂとを有しておりベルト駆動手段２２により移
動覆る。その１〔め、ベル１〜２１がベル１へ駆ｆｈ手
段２２により移動し、各プーリ間がベルト２１の′ｆＪ
電休部体２１ａが接触した状態（二１ンデショニング状
態）′Ｃ′は、第２図に示す様に各加速電極は並列に接
続される。又、ベルト２１が更に移動し、該ベルト２１
の絶縁体部分２１ｂが各プーリに接触した状態（稼動状
態）では、第３図に示づ様に各加速電極はそれぞれ絶縁
されｌ〔状態となる。尚、第２図及び第３図においては
、電気的接続関係のみを中心に示しているため、各プ−
リ２０間の位置及び各電極の形状は第１図のものから変
更されている。２３は］ンデショニング用の可変交流電
源であり、該電源２３の出力電圧は昇圧トランス２４に
より昇圧されコンデショニング抑制抵抗Ｒ＋ 、Ｒ２を
介してプーリ１６及びプーリ２０間に印加されている。
管１及び鏡筒８内部は、該内部を１０−’〜１０ ’
１’ ｏｒｒの高真空に排気するための例えばイＡンボ
ンプ９及び１０−１〜１０″２ＴＯｒｒの低真空に排気
するための油回転ポンプ１０がバルブ１１を介して接続
されている。１３は加速管内部及び鎖筒内に窒素ガス供
給ｍ（図示せず）より窒素ガスを供給するためのバルブ
である。１４，１５゜１６は導電性部材より形成されそ
れぞれ加速電極２Ｆ２．２Ｇ、２ｅに電気的に接続され
たプーリである。同様に、１７，１８．．１９．２０も
それぞれつＪ、−ネルト電極５．加速電１ｔｉ２ｂ、２
ｄ、２ｆに接続さ゛れたブーりである。２１は各ブーり
に接触しく移動りるベル１〜であり、該ベルト２１は第
２図及び第３図より明らかなように導電部材で形成され
た導電体部分２１ａど、絶縁部月で形成されＩこ絶縁体
部分２１ｂとを有しておりベルト駆動手段２２により移
動覆る。その１〔め、ベル１〜２１がベル１へ駆ｆｈ手
段２２により移動し、各プーリ間がベルト２１の′ｆＪ
電休部体２１ａが接触した状態（二１ンデショニング状
態）′Ｃ′は、第２図に示す様に各加速電極は並列に接
続される。又、ベルト２１が更に移動し、該ベルト２１
の絶縁体部分２１ｂが各プーリに接触した状態（稼動状
態）では、第３図に示づ様に各加速電極はそれぞれ絶縁
されｌ〔状態となる。尚、第２図及び第３図においては
、電気的接続関係のみを中心に示しているため、各プ−
リ２０間の位置及び各電極の形状は第１図のものから変
更されている。２３は］ンデショニング用の可変交流電
源であり、該電源２３の出力電圧は昇圧トランス２４に
より昇圧されコンデショニング抑制抵抗Ｒ＋ 、Ｒ２を
介してプーリ１６及びプーリ２０間に印加されている。
２５はペル１〜駆動手段２２により制御され昇圧トラン
ス２４よりのコンデショニング電圧をオン、オフする電
源スィッチである。
ス２４よりのコンデショニング電圧をオン、オフする電
源スィッチである。
以」二の様な装置を用いて、該加速管１のコンデショニ
ングを行なう場合について説明する。先ず、ベルト駆動
手段２２により、ベル１−２１をその導電体部分２１ａ
が各プーリに接触するように移動さけると、第２図に示
す様に各加速電極が並列に接続される。この状態で、ス
イッチ機構６をオフ状態にし、スイッチ２５をオン状態
にする。次に、バルブ１３を開状態として加速管内部に
窒素ガスを流入する。この窒素ガスの流入により加速管
内部は略大気圧付近まで上昇する。その後、バルブ１１
を開状態として油回転ポンプ１０により加速管１内を″
１０−１〜１’６−２Ｔｏｒｒ程度に排気する。
ングを行なう場合について説明する。先ず、ベルト駆動
手段２２により、ベル１−２１をその導電体部分２１ａ
が各プーリに接触するように移動さけると、第２図に示
す様に各加速電極が並列に接続される。この状態で、ス
イッチ機構６をオフ状態にし、スイッチ２５をオン状態
にする。次に、バルブ１３を開状態として加速管内部に
窒素ガスを流入する。この窒素ガスの流入により加速管
内部は略大気圧付近まで上昇する。その後、バルブ１１
を開状態として油回転ポンプ１０により加速管１内を″
１０−１〜１’６−２Ｔｏｒｒ程度に排気する。
この状態にａ３いて、可変交流電源２３を操作し昇圧ト
ランス２４を介して、並列に接続された各加速電極間に
例えば２ＫＶ程度の電圧を１５分程度印加する。この各
加速電極間への印加により、気体はイオン化され各加速
電極間にはグロー放電が発’ＩＥする。このイオンは、
加速管内部の電極表面や絶縁碍子表面の突起物を丸くす
ると共にゴミを除去して加速電極間等の真空絶縁耐圧を
高める働きをする。このグロー放電によるフンデショニ
ングが終了したら、イオンポンプ９を動作させて該加速
管内部を１０４〜１０Ｊ８Ｔｏｒｒに排気する。
ランス２４を介して、並列に接続された各加速電極間に
例えば２ＫＶ程度の電圧を１５分程度印加する。この各
加速電極間への印加により、気体はイオン化され各加速
電極間にはグロー放電が発’ＩＥする。このイオンは、
加速管内部の電極表面や絶縁碍子表面の突起物を丸くす
ると共にゴミを除去して加速電極間等の真空絶縁耐圧を
高める働きをする。このグロー放電によるフンデショニ
ングが終了したら、イオンポンプ９を動作させて該加速
管内部を１０４〜１０Ｊ８Ｔｏｒｒに排気する。
そして、可変交流電源２３を操作し各加速電極間に通常
の運転時に印加される電圧の１．５倍程度の交流電圧を
３０分程麿印加する。この過電圧の印加によってマイク
ロ放電が起り、該表面の突起物は更に丸くなりゴミ等は
完全に除去されど共に加速管内部に付着した残留ガス成
分が完全に除去される。更に、このマイクロ放電によっ
て表面上の型部は完全に取り除かれるため真空絶縁耐圧
を更に向上させることができる。この様に、直接高真空
（１０−” Ｔｏｒｒ−ｆ′ｉ！度） ト過７＜圧（７
転時ニ印加される電圧の１．５倍）によってマイクロ放
電を発生させるコンデショニングによらず、予め低真空
（１０−１丁ｏｒｒ程度）と比較的低いコンデショニン
グ電圧（数ＫＶ）によりグロー放電によるコンデショニ
ングを行なうため、従来のコンデショニング方法と異な
りマイクロ放電を激しく発生させることもなく、従って
、加速電極又は絶縁碍子表面にダメージを与えることも
ない。そのため、加速管をオーバーボールレなければな
らない回数が大幅に減少りる。
の運転時に印加される電圧の１．５倍程度の交流電圧を
３０分程麿印加する。この過電圧の印加によってマイク
ロ放電が起り、該表面の突起物は更に丸くなりゴミ等は
完全に除去されど共に加速管内部に付着した残留ガス成
分が完全に除去される。更に、このマイクロ放電によっ
て表面上の型部は完全に取り除かれるため真空絶縁耐圧
を更に向上させることができる。この様に、直接高真空
（１０−” Ｔｏｒｒ−ｆ′ｉ！度） ト過７＜圧（７
転時ニ印加される電圧の１．５倍）によってマイクロ放
電を発生させるコンデショニングによらず、予め低真空
（１０−１丁ｏｒｒ程度）と比較的低いコンデショニン
グ電圧（数ＫＶ）によりグロー放電によるコンデショニ
ングを行なうため、従来のコンデショニング方法と異な
りマイクロ放電を激しく発生させることもなく、従って
、加速電極又は絶縁碍子表面にダメージを与えることも
ない。そのため、加速管をオーバーボールレなければな
らない回数が大幅に減少りる。
［発明の効果］
以上の様に本発明によれば、加速管等をコンデショニン
グする場合に６いて、加速電極又は絶縁碍子表面にダメ
ージを与えることがないため加速管のオーバーボールの
回数を大幅に減少させることができる。
グする場合に６いて、加速電極又は絶縁碍子表面にダメ
ージを与えることがないため加速管のオーバーボールの
回数を大幅に減少させることができる。
第１図は本発明を実施するだめの装置の一例を示す図、
第２図及び第３図は各々加速管のコンデシコニング状態
を示すだめの図である。 １：加速管、４：フィラメント、５：ウエーネルト電極
、６：スイツチ機構、７：高圧Ｎ源、８；ａ向、９’：
イオンポンプ１１０：油回転ポンプ。 １１．１３：バルブ、１４，１５．１６．１７゜１８．
１９，２０：ブーリ、２１：ベルト、２２：ベルト駆動
手段、２３：可変交流Ｎ源、２４：が１、［トランス、
２５：電源スィッチ。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 伊藤 −夫 第２図 、：：：・ ”３．’４ 第３図 ｚ３，２ダ
第２図及び第３図は各々加速管のコンデシコニング状態
を示すだめの図である。 １：加速管、４：フィラメント、５：ウエーネルト電極
、６：スイツチ機構、７：高圧Ｎ源、８；ａ向、９’：
イオンポンプ１１０：油回転ポンプ。 １１．１３：バルブ、１４，１５．１６．１７゜１８．
１９，２０：ブーリ、２１：ベルト、２２：ベルト駆動
手段、２３：可変交流Ｎ源、２４：が１、［トランス、
２５：電源スィッチ。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 伊藤 −夫 第２図 、：：：・ ”３．’４ 第３図 ｚ３，２ダ
Claims (1)
- 伺電粒子を加速りる複数個の加速電極を筒状絶縁体を介
し′Ｃ積み重ねた加速管のコンデショニングを行うｈ法
において、加速管内部に不活性ガスを流入させたＣ比較
的低い真空度とした後、前記電極間に比較的小さな第１
の交流電圧を印加してグロー放電を生起せしめ、更に該
加速管内部を比較的高い真空度に排気づ゛ると共に、前
記電極間に加速管運転時よりも高い第２の交流電圧を印
加してマイクロ放電を生起せしめるようにしたことを特
徴どする加速管のコンデショニング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11721984A JPS60262339A (ja) | 1984-06-07 | 1984-06-07 | 加速管のコンデシヨニング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11721984A JPS60262339A (ja) | 1984-06-07 | 1984-06-07 | 加速管のコンデシヨニング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60262339A true JPS60262339A (ja) | 1985-12-25 |
| JPH0212374B2 JPH0212374B2 (ja) | 1990-03-20 |
Family
ID=14706340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11721984A Granted JPS60262339A (ja) | 1984-06-07 | 1984-06-07 | 加速管のコンデシヨニング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60262339A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012038668A (ja) * | 2010-08-11 | 2012-02-23 | Nissin Ion Equipment Co Ltd | イオン源電極のクリーニング方法 |
| JP2013012495A (ja) * | 2012-09-12 | 2013-01-17 | Nissin Ion Equipment Co Ltd | イオン源電極のクリーニング方法 |
-
1984
- 1984-06-07 JP JP11721984A patent/JPS60262339A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012038668A (ja) * | 2010-08-11 | 2012-02-23 | Nissin Ion Equipment Co Ltd | イオン源電極のクリーニング方法 |
| JP2013012495A (ja) * | 2012-09-12 | 2013-01-17 | Nissin Ion Equipment Co Ltd | イオン源電極のクリーニング方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0212374B2 (ja) | 1990-03-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |