JPS60258719A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents
薄膜磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS60258719A JPS60258719A JP11454284A JP11454284A JPS60258719A JP S60258719 A JPS60258719 A JP S60258719A JP 11454284 A JP11454284 A JP 11454284A JP 11454284 A JP11454284 A JP 11454284A JP S60258719 A JPS60258719 A JP S60258719A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- coil
- thin film
- magnetic
- magnetic head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/3116—Shaping of layers, poles or gaps for improving the form of the electrical signal transduced, e.g. for shielding, contour effect, equalizing, side flux fringing, cross talk reduction between heads or between heads and information tracks
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は薄膜磁気ヘッドの構造に係り、特に上ｓ ｉ
柱層をイオンエツチング法でエンチングするのに好適な
上部磁性層のパターン形状に関する。
柱層をイオンエツチング法でエンチングするのに好適な
上部磁性層のパターン形状に関する。
従来の薄膜磁気ヘッドは特開昭５５−４７３７％開昭５
６−１１６１５号に記載されている構造が知られている
。すなわち、上部コアの形状としては、記録媒体対向面
と下部コアとの接続部との間において、トラック幅に等
しい幅の長方形をなしているか、もしくは記録媒体対向
端部を除いて、その幅をトラック幅より大伴〈シた形状
をなしている。
６−１１６１５号に記載されている構造が知られている
。すなわち、上部コアの形状としては、記録媒体対向面
と下部コアとの接続部との間において、トラック幅に等
しい幅の長方形をなしているか、もしくは記録媒体対向
端部を除いて、その幅をトラック幅より大伴〈シた形状
をなしている。
このような上部コアの形状はヘッドの記録再生効率の点
から考えられており、後者の形状の方が効率はよい。し
かし、従来は上部コアの形状方法を考慮したパターン設
計がなされていなかった。
から考えられており、後者の形状の方が効率はよい。し
かし、従来は上部コアの形状方法を考慮したパターン設
計がなされていなかった。
）７材料としてはセンダストやアモルファス等の軟磁性
簿膜が用いられるが、適切なエツチング液がないことが
段差上でのエツチングになること等からバターニング方
法としてはイオンエツチング法が適している。
簿膜が用いられるが、適切なエツチング液がないことが
段差上でのエツチングになること等からバターニング方
法としてはイオンエツチング法が適している。
ところがイオンエツチング法には周知のようにトレンチ
の形成やエッチ速度のビーム入射角依存性（一般に平担
部より傾斜部のエッチ速度が早くなる）という特有の現
象があり、このため上部コア形成時にコイルまでエツチ
ングされコイル断面積の減少あるいはフィルの断線とい
う問題を生じる。アモルファス材の場合には特に顕著に
現われる。
の形成やエッチ速度のビーム入射角依存性（一般に平担
部より傾斜部のエッチ速度が早くなる）という特有の現
象があり、このため上部コア形成時にコイルまでエツチ
ングされコイル断面積の減少あるいはフィルの断線とい
う問題を生じる。アモルファス材の場合には特に顕著に
現われる。
これらの現象のうちトレンチの形成についてはビーム入
射角を変えることで対策可能であるが、後の現象につい
ては、傾斜部をなくすことはプロセス上非常に難しい。
射角を変えることで対策可能であるが、後の現象につい
ては、傾斜部をなくすことはプロセス上非常に難しい。
傾斜部としては、多層コイルの重なり合う部分、多層コ
イルの接続部、スパイラル状のアルチターンコイルのコ
イル端、ギヤツブ製およびコア接続部側のフィル端、等
ヘッド作成上やむなくできる傾斜がたくさん夛、るため
である。
イルの接続部、スパイラル状のアルチターンコイルのコ
イル端、ギヤツブ製およびコア接続部側のフィル端、等
ヘッド作成上やむなくできる傾斜がたくさん夛、るため
である。
以上のように、従来の薄膜磁気ヘッドはイオンエツチン
グ法特有の現象についての配慮が全くなされていなかっ
た。
グ法特有の現象についての配慮が全くなされていなかっ
た。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、上部コアをイオンエンチング法を用い
て形成してもコイル損傷のないヘッド構造をもつ簿膜磁
気ヘッドを提供することにある。
て形成してもコイル損傷のないヘッド構造をもつ簿膜磁
気ヘッドを提供することにある。
本発明の要点は、上述した多層コイルの重なり合う部分
、多層コイルの接続部、ギャップ側およびコア接続部側
のコイル端等の傾斜部分に上部コアと連続した磁性膜パ
ターンあるいは上部コアとは切り離された別の上部磁性
膜パターンを設けたことにある。
、多層コイルの接続部、ギャップ側およびコア接続部側
のコイル端等の傾斜部分に上部コアと連続した磁性膜パ
ターンあるいは上部コアとは切り離された別の上部磁性
膜パターンを設けたことにある。
以下、本発明の実施例を図を用いて説明する。
第１図は本発明の実施例である薄膜磁気ヘッドの正面図
、第２図は記録媒体摺動面、第３図は第１図Ａ−Ａ’断
面図、第４図は第１図のＢ−Ｂ／断面図を示したもので
ある。
、第２図は記録媒体摺動面、第３図は第１図Ａ−Ａ’断
面図、第４図は第１図のＢ−Ｂ／断面図を示したもので
ある。
第１図から第４図において、１は非磁性基板２ａ、２ｂ
は各瞬接するトラックの下部フ了、３は非磁性のギャッ
プ材、６ 、６ａ 、 ６ｂ 、６ｃ は絶縁体、７ａ
、７ｂは第１層目コイル、８ａ、８ｂは第２層目コイル
、４ａ、４ｂは上部コア、４ａ’、４ｂ’は上部コアと
同時に形成したもう１つの上部磁性体パターン、５は保
護膜、１０ａ、１０ｂは第１層目コイルと第２層目コイ
ルの接続部、９ａ、９ｂｋ！下部コアと上？Ｒココア接
続部、１１ａ、１１ｂはヘッドギャップ形成部である。
は各瞬接するトラックの下部フ了、３は非磁性のギャッ
プ材、６ 、６ａ 、 ６ｂ 、６ｃ は絶縁体、７ａ
、７ｂは第１層目コイル、８ａ、８ｂは第２層目コイル
、４ａ、４ｂは上部コア、４ａ’、４ｂ’は上部コアと
同時に形成したもう１つの上部磁性体パターン、５は保
護膜、１０ａ、１０ｂは第１層目コイルと第２層目コイ
ルの接続部、９ａ、９ｂｋ！下部コアと上？Ｒココア接
続部、１１ａ、１１ｂはヘッドギャップ形成部である。
このように上部コア４ａ、４ｂ形成と同時に下地の傾斜
部をおおうようにもう１つの上部磁性体パターン４ ａ
’、 ４ ｂ’を形成することによって、イオンエツチ
ングで傾斜部のコイルまでエツチングされることはなく
なる。特に、第４図において、記号Ｐ 、 Ｑ 、 Ｒ
で示した、１層目コイルと２層目コイルの重なり合う部
分や、１層目と２層目コイルの接続部の傾斜部でのコイ
ルの損傷は磁気ヘッドとして致命的な欠陥となるもので
あるが、本発明によれば完全に防止できる。
部をおおうようにもう１つの上部磁性体パターン４ ａ
’、 ４ ｂ’を形成することによって、イオンエツチ
ングで傾斜部のコイルまでエツチングされることはなく
なる。特に、第４図において、記号Ｐ 、 Ｑ 、 Ｒ
で示した、１層目コイルと２層目コイルの重なり合う部
分や、１層目と２層目コイルの接続部の傾斜部でのコイ
ルの損傷は磁気ヘッドとして致命的な欠陥となるもので
あるが、本発明によれば完全に防止できる。
本発明の他の実施例としては、上部コアパターンそのも
のを広くして、下地傾斜部をおおうようにした形状（第
１図の４ａ（又は４ｂ）を４ａ′（又は４ｂ′）とがつ
ながった上部コア形状）や第１図の上部磁性体パターン
４ａ’と４ｂ’とがつながった形状、または第１図の上
部磁性体パターン４ａ’、４ｂ’を下地傾斜部分のみに
限定した形状、等種々変形が考えられる。ただ、本実施
例にあげた多素子薄膜磁気ヘッドの場合には、上部コア
の大きさがクロストークに影響する、クロストークの点
では第１図に示した実施例がすぐれている。
のを広くして、下地傾斜部をおおうようにした形状（第
１図の４ａ（又は４ｂ）を４ａ′（又は４ｂ′）とがつ
ながった上部コア形状）や第１図の上部磁性体パターン
４ａ’と４ｂ’とがつながった形状、または第１図の上
部磁性体パターン４ａ’、４ｂ’を下地傾斜部分のみに
限定した形状、等種々変形が考えられる。ただ、本実施
例にあげた多素子薄膜磁気ヘッドの場合には、上部コア
の大きさがクロストークに影響する、クロストークの点
では第１図に示した実施例がすぐれている。
本発明によれば、下地の傾斜部分を上部コアとつながっ
た上部磁性体パターンあるいは上部コアとは切り離され
たもう１つの上部磁性体パターンにより被ふくしている
ため、イオンエツチング法による上部コア形成時にコイ
ルがエツチングされるのを防止できるので設計仕様どお
りの薄膜磁気ヘッドを歩留りよく製造可能となる。
た上部磁性体パターンあるいは上部コアとは切り離され
たもう１つの上部磁性体パターンにより被ふくしている
ため、イオンエツチング法による上部コア形成時にコイ
ルがエツチングされるのを防止できるので設計仕様どお
りの薄膜磁気ヘッドを歩留りよく製造可能となる。
第１図は本発明である実施例の正面図、第２図は本発明
である実施例の記録媒体摺動面、第３図および第４図は
それぞれ第１図のＡ−Ａ／断面図およびＢ−Ｂ’断面図
である。 １・・・非磁性基板、 ２ａ 、 ２ｂ・・・下部コア
、４ａ、４ｂ・・・上部コア、３・・・ギャップ材、６
．６ａ、６ｂ、６ｃ −−−絶縁体、 ７ａ、７ｂ−・
１層目コイル。 ８ａ 、 ８ｂ・・・２層目コイル、 ４ａ’、４ｂ’・・・上部コアと同時に形成した上部磁
性体パターン。 き 矛／ケｊ ７Ｌ Ｆｒｃ ｐｇ ２に メ２の Ｌ斤 ＄を 昭和５９ 年特許願第 １１４５４２ ’：ｉ発明の名
称 博涙蝋気ヘッド 補正をする者 Ｉｆｉ’ｌとの１耶 特許出願人 名 称 ！５１０１科式会Ｈ： ｔ’１ ．１″ｌ：
装 作 所 代 理 人 居 所 〒１００東京都千代田区丸の内−丁目５番１号
梢式会月Ｉ］ｒｌ−製作所内 ｉｊｉ話 Φハ・２１１
１１１１ｆ人代ノ／）補正の内容 ＪＩＩｔ畳及びｌｌｌ１誉に厳初に硝何した鴫帷簀の紗
膏・別鰍の通り（同各に変史なし）。
である実施例の記録媒体摺動面、第３図および第４図は
それぞれ第１図のＡ−Ａ／断面図およびＢ−Ｂ’断面図
である。 １・・・非磁性基板、 ２ａ 、 ２ｂ・・・下部コア
、４ａ、４ｂ・・・上部コア、３・・・ギャップ材、６
．６ａ、６ｂ、６ｃ −−−絶縁体、 ７ａ、７ｂ−・
１層目コイル。 ８ａ 、 ８ｂ・・・２層目コイル、 ４ａ’、４ｂ’・・・上部コアと同時に形成した上部磁
性体パターン。 き 矛／ケｊ ７Ｌ Ｆｒｃ ｐｇ ２に メ２の Ｌ斤 ＄を 昭和５９ 年特許願第 １１４５４２ ’：ｉ発明の名
称 博涙蝋気ヘッド 補正をする者 Ｉｆｉ’ｌとの１耶 特許出願人 名 称 ！５１０１科式会Ｈ： ｔ’１ ．１″ｌ：
装 作 所 代 理 人 居 所 〒１００東京都千代田区丸の内−丁目５番１号
梢式会月Ｉ］ｒｌ−製作所内 ｉｊｉ話 Φハ・２１１
１１１１ｆ人代ノ／）補正の内容 ＪＩＩｔ畳及びｌｌｌ１誉に厳初に硝何した鴫帷簀の紗
膏・別鰍の通り（同各に変史なし）。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）基板上に下部磁性体層、フィル導体層、絶縁体層、
上部磁性体層等のｇ膜を所定の形状に形成ｔ２てなる薄
膜磁気ヘッドにおいて、上述の上部磁性体層は下地の傾
斜部分をおおうように形成されてなることを特徴とする
薄膜磁気ヘッド。 ２）上述の上部磁性体層は磁気回路を構成する第１の磁
性体層と傾斜部分をおおって磁気回路を構成しない第２
の磁性体層とからなることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11454284A JPS60258719A (ja) | 1984-06-06 | 1984-06-06 | 薄膜磁気ヘツド |
| US06/719,057 US4752850A (en) | 1984-06-06 | 1985-04-02 | Multi-track magnetic thin film heads |
| DE8585105985T DE3579498D1 (de) | 1984-06-06 | 1985-05-15 | Duennschicht-mehrspur-magnetkoepfe und verfahren zu deren herstellung. |
| EP85105985A EP0163998B1 (en) | 1984-06-06 | 1985-05-15 | Multi-track magnetic thin film heads and a method of producing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11454284A JPS60258719A (ja) | 1984-06-06 | 1984-06-06 | 薄膜磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60258719A true JPS60258719A (ja) | 1985-12-20 |
Family
ID=14640375
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11454284A Pending JPS60258719A (ja) | 1984-06-06 | 1984-06-06 | 薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60258719A (ja) |
-
1984
- 1984-06-06 JP JP11454284A patent/JPS60258719A/ja active Pending
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